本發(fā)明涉及潔凈度檢測，尤其涉及一種夾具污染程度的檢測控制方法。

背景技術(shù)：

1、光掩膜基板制作過程中需要在潔凈的玻璃基板上采用磁控濺射或蒸發(fā)鍍膜等方式鍍一層鉻膜，而玻璃基板的潔凈的效果直接影響了鍍膜針孔漏光及膜層的致密性。在清洗過程中最重要的目的是處理玻璃表面的顆粒，其前提是槽體及部件本身沒有污染。而實(shí)際上設(shè)備在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，顆粒的產(chǎn)生由多方面原因造成，如玻璃基板上顆粒的脫落未能及時自潔而造成的污染、停機(jī)后設(shè)備潮濕部件滋生的細(xì)菌、設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)過程中摩擦等原因造成的污染，一般情況下需要定期進(jìn)行人工清理。另外一個方面，隨著新技術(shù)的推進(jìn)，在多槽式連體清洗設(shè)備的純水漂洗的部分安裝在線式的電導(dǎo)率測試儀和顆粒測試儀，能時刻監(jiān)控漂洗槽的電導(dǎo)率及顆粒情況，根據(jù)電導(dǎo)率的大小及顆粒測試的數(shù)據(jù)來判斷槽體的殘留或污染情況。

2、這種方式能及時地監(jiān)控整個槽體的污染情況，但污染源無法判斷，而槽體又比較復(fù)雜，通常情況下循環(huán)及進(jìn)水管道、氣體、槽體內(nèi)壁、過濾器、清洗籃及清洗籃夾具等均是潛在的污染源，所采取的措施主要以嘗試性的換水、衛(wèi)生處理等方式為主。如果沒有在線式的檢測裝置，對具體槽位的判斷只能通過實(shí)驗(yàn)逐一排除，比如讓清洗籃裝片不經(jīng)過某個槽體實(shí)驗(yàn)流片，根據(jù)產(chǎn)品的情況，判斷該槽有無污染；同樣采用目視檢查的方法不一定能找到哪個具體的部件，往往采用整體槽體衛(wèi)生的方式嘗試恢復(fù)。這些部件之中，清洗夾具屬于共用部件：它夾帶玻璃基板一起經(jīng)歷清洗上料、清洗、卸料過程，且與玻璃基板直接接觸，其污染與否、污染程度不亞于純水污染對產(chǎn)品的影響。

3、在清洗過程中只有兩種物質(zhì)與玻璃基板屬于全過程直接接觸，其一是純水，其二是夾具，夾具的重要性不言而喻。其他部件都是不與玻璃直接接觸，如槽體、過濾器等，或不是全過程接觸，如洗劑等；其中純水污染與否是通過動力在線監(jiān)管電導(dǎo)率等數(shù)據(jù)來保障供應(yīng)質(zhì)量，通過數(shù)據(jù)來確認(rèn)其穩(wěn)定性，理由充分，效果好；夾具的穩(wěn)定性是定期清潔，至于其有無問題均處理一遍，一般沒有定量的數(shù)據(jù)。因此，如何精細(xì)化判斷夾具是否被污染，以及被污染后如何控制處理，是目前需要解決的問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、鑒于目前夾具檢測方法存在的上述不足，本發(fā)明提供一種夾具污染程度的檢測控制方法，能夠定量確認(rèn)夾具有無異常，為精細(xì)化的管理提供決策依據(jù)。

2、為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案：

3、一種夾具污染程度的檢測控制方法，包括以下步驟：

4、從清洗籃上取下夾具，用純水進(jìn)行沖洗；

5、將清洗后的夾具，放入純水超聲波中進(jìn)行超聲處理，所述超聲波的音壓強(qiáng)度范圍為0.1-0.2mv；

6、取樣清洗后的純水廢液，在培養(yǎng)箱中進(jìn)行細(xì)菌培養(yǎng)；

7、獲取細(xì)菌團(tuán)聚數(shù)量；

8、根據(jù)培養(yǎng)后的細(xì)菌團(tuán)聚數(shù)量判斷夾具的污染情況；

9、若判斷夾具受污染則對對應(yīng)受污染的夾具進(jìn)行浸泡處理或高溫烘烤處理；

10、對處理過后的夾具進(jìn)行沖洗，完成潔凈度控制。

11、依照本發(fā)明的一個方面，對夾具進(jìn)行分類，根據(jù)所述夾具的材質(zhì)不同分為耐高溫、耐強(qiáng)酸、耐弱酸三類。

12、依照本發(fā)明的一個方面，所述夾具的材質(zhì)為耐高溫材質(zhì)，則對所述受污染的夾具采用高溫烘烤方式進(jìn)行處理。

13、依照本發(fā)明的一個方面，所述高溫烘烤的溫度為140-200℃，所述高溫烘烤的時間為10-30min。

14、依照本發(fā)明的一個方面，所述夾具的材質(zhì)為耐強(qiáng)酸材質(zhì)，則對所述受污染的夾具進(jìn)行濃度為98％的濃硫酸浸泡處理。

15、依照本發(fā)明的一個方面，所述夾具的材質(zhì)為耐弱酸材質(zhì)，則對所述受污染的夾具進(jìn)行濃度為0.5％-1％的鹽酸浸泡處理或采用濃度為30％的雙氧水按照體積比為1:2配純水進(jìn)行浸泡處理。

16、依照本發(fā)明的一個方面，所述對處理過后的夾具進(jìn)行沖洗包括對處理過后的夾具采用ipa清洗擦洗和純水沖洗。

17、依照本發(fā)明的一個方面，所述取樣清洗后的純水廢液，在培養(yǎng)箱中進(jìn)行細(xì)菌培養(yǎng)包括：取樣200毫升清洗后的純水廢液，在恒溫生化培養(yǎng)箱中進(jìn)行細(xì)菌培養(yǎng)，培養(yǎng)溫度為37℃，培養(yǎng)時間為24h。

18、依照本發(fā)明的一個方面，所述浸泡處理的時間為30min-120min。

19、本發(fā)明實(shí)施的優(yōu)點(diǎn)：

20、(1)傳統(tǒng)的顆粒監(jiān)控方式為在線式顆粒監(jiān)控，即在待檢測的槽體內(nèi)安裝顆粒檢測探頭測試槽內(nèi)的電導(dǎo)率情況，它根據(jù)電導(dǎo)率等數(shù)據(jù)來判斷污染的程度。但由于槽體結(jié)構(gòu)部件較多(過濾器、噴淋管、槽體、清洗籃、產(chǎn)品本身、洗籃夾具等)，無法判斷是何處污染，也未提供具體的處理方式；而且這種在線式的方式只適合于純水槽，因?yàn)槌曄磩┎邸⑺釅A槽本身就有較多的離子濃度，無法通過電導(dǎo)率的在線式檢測來判斷污染情況。而本發(fā)明解決了其中一個問題，即清洗籃夾具的問題，通過對夾具進(jìn)行沖洗、超聲、取樣確認(rèn)細(xì)菌情況來判斷夾具的污染程度，再根據(jù)夾具耐酸耐溫情況，分別采用高溫烘烤、強(qiáng)酸浸泡、弱酸浸泡等方式進(jìn)行殺菌消毒，再進(jìn)行ipa擦洗及純水沖淋，即可消除污染。

21、(2)本發(fā)明為精細(xì)化決策提供一種有針對性的方案，首先可以通過本方案判斷夾具是否污染以及污染的程度，不再是當(dāng)產(chǎn)品受到污染后，只整體對清洗的各個環(huán)節(jié)進(jìn)行統(tǒng)一處理。而且本方法對夾具污染的程度有定量的對比，因此能夠直觀地根據(jù)細(xì)菌的數(shù)量反映污染的程度。

技術(shù)特征：

1.一種夾具污染程度的檢測控制方法，其特征在于，包括以下步驟：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具污染程度的檢測控制方法，其特征在于，所述超聲波的音壓強(qiáng)度范圍為0.1-0.2mv。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具污染程度的檢測控制方法，其特征在于，對所述夾具進(jìn)行分類，根據(jù)所述夾具的材質(zhì)不同分為耐高溫、耐強(qiáng)酸、耐弱酸三類。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的夾具污染程度的檢測控制方法，其特征在于，所述夾具的材質(zhì)為耐高溫材質(zhì)，則對所述受污染的夾具采用高溫烘烤方式進(jìn)行處理。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的夾具污染程度的檢測控制方法，其特征在于，所述高溫烘烤的溫度為140-200℃，所述高溫烘烤的時間為10-30min。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的夾具污染程度的檢測控制方法，其特征在于，所述夾具的材質(zhì)為耐強(qiáng)酸材質(zhì)，則對所述受污染的夾具進(jìn)行濃度為98％的濃硫酸浸泡處理。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的夾具污染程度的檢測控制方法，其特征在于，所述夾具的材質(zhì)為耐弱酸材質(zhì)，則對所述受污染的夾具進(jìn)行濃度為0.5％-1％的鹽酸浸泡處理或采用濃度為30％的雙氧水按照體積比為1:2配純水進(jìn)行浸泡處理。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具污染程度的檢測控制方法，其特征在于，所述對處理過后的夾具進(jìn)行沖洗包括對處理過后的夾具采用ipa清洗擦洗和純水沖洗。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具污染程度的檢測控制方法，其特征在于，所述取樣清洗后的純水廢液，在培養(yǎng)箱中進(jìn)行細(xì)菌培養(yǎng)包括：取樣200毫升清洗后的純水廢液，在恒溫生化培養(yǎng)箱中進(jìn)行細(xì)菌培養(yǎng)，培養(yǎng)溫度為37℃，培養(yǎng)時間為24h。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具污染程度的檢測控制方法，其特征在于，所述浸泡處理的時間為30min-120min。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種夾具污染程度的檢測控制方法，包括以下步驟：從清洗籃上取下夾具，用純水進(jìn)行沖洗；將清洗后的夾具，放入純水超聲波中進(jìn)行超聲處理，所述超聲波的音壓強(qiáng)度范圍為0.1?0.2mv；取樣清洗后的純水廢液，在培養(yǎng)箱中進(jìn)行細(xì)菌培養(yǎng)；根據(jù)培養(yǎng)后的細(xì)菌團(tuán)聚數(shù)量判斷夾具的污染情況；若判斷夾具受污染則對對應(yīng)受污染的夾具進(jìn)行浸泡處理或高溫烘烤處理；對處理過后的夾具進(jìn)行沖洗，完成潔凈度控制。本發(fā)明提供的夾具污染程度的檢測控制方法，能夠定量確認(rèn)夾具有無異常，為精細(xì)化的管理提供決策依據(jù)。

技術(shù)研發(fā)人員：徐根,李偉,楊旭,李翼
受保護(hù)的技術(shù)使用者：湖南普照信息材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/2