1.一種靜壓主軸單元端面跳動測量裝備，其特征在于，包括定心裝置(2)、測量裝置(3)和支撐裝置(4)，所述支撐裝置(4)設(shè)置于靜壓主軸單元(1)的下部，所述定心裝置(2)安裝在所述支撐裝置(4)頂端，且與所述靜壓主軸單元(1)內(nèi)側(cè)設(shè)置的軸承組件內(nèi)孔活動連接，用于在徑向?qū)o壓主軸單元(1)的軸承組件形成圓周定位；所述測量裝置(3)轉(zhuǎn)動連接在定心裝置(2)的頂端，用于實現(xiàn)對靜壓主軸單元(1)的軸承組件的端面軸承靜壓作用面(109)進(jìn)行跳動誤差的測量。
2.如權(quán)利要求1所述的一種靜壓主軸單元端面跳動測量裝備，其特征在于，所述定心裝置(2)包括：定心軸桿(201)、第一薄壁套筒(205)和第二薄壁套筒(210)，所述第一薄壁套筒(205)和第二薄壁套筒(210)分別套設(shè)在定心軸桿(201)的下端和上端；所述定心軸桿(201)和第一薄壁套筒(205)之間設(shè)有第一液性塑料通道(206)，所述定心軸桿(201)和第二薄壁套筒(210)之間設(shè)有第二液性塑料通道(211)；所述定心軸桿(201)下端面開設(shè)通向第一液性塑料通道(206)的第一液性塑料輸入通道和第一液性塑料輸出通道，所述第一液性塑料輸入通道內(nèi)從外向內(nèi)放置第一加壓螺釘(202)和第一滑柱(204)，所述第一液性塑料輸出通道口上設(shè)有第一螺塞(203)；所述定心軸桿(201)上端面開設(shè)通向第二液性塑料通道(211)的第二液性塑料輸入通道和第二液性塑料輸出通道，所述第二液性塑料輸入通道內(nèi)從外向內(nèi)放置第二加壓螺釘(214)和第二滑柱(215)，所述第二液性塑料輸出通道口上設(shè)有第二螺塞(213)；所述第一薄壁套筒(205)和定心軸桿(201)之間的第一液性塑料通道(206)內(nèi)裝有液性塑料；所述第二薄壁套筒(210)和定心軸桿(201)之間的第二液性塑料通道(211)內(nèi)裝有液性塑料。
3.如權(quán)利要求2所述的一種靜壓主軸單元端面跳動測量裝備，其特征在于，所述第一加壓螺釘(202)的下方和第二加壓螺釘(214)的上方均設(shè)置有把手。
4.如權(quán)利要求2或3所述的一種靜壓主軸單元端面跳動測量裝備，其特征在于，所述測量裝置(3)包括：復(fù)合軸承(303)、第一隔套(301)、回轉(zhuǎn)支架(302)、第二隔套(307)、鎖緊螺母(308)、軸承套(304)、壓蓋(306)和位移傳感器測量機構(gòu)，所述定心軸桿(201)上端設(shè)置一軸肩，所述第一隔套(301)、復(fù)合軸承(303)的內(nèi)圈、第二隔套(307)從下往上依次外套設(shè)在定心軸桿(201)上，最上端通過鎖緊螺母(308)向下鎖緊而實現(xiàn)第一隔套(301)下端面抵靠在定心軸桿(201)的軸肩端面上；所述復(fù)合軸承(303)外圈外套設(shè)回轉(zhuǎn)支架(302)，所述回轉(zhuǎn)支架(302)上方依次安裝軸承套(304)和壓蓋(306)，所述壓蓋(306)和回轉(zhuǎn)支架(302)通過螺釘連接，實現(xiàn)對復(fù)合軸承(303)的軸向定位；所述回轉(zhuǎn)支架(302)外側(cè)壁安裝有位移傳感器測量機構(gòu)，所述位移傳感器測量機構(gòu)內(nèi)設(shè)有位移傳感器(326)。
5.如權(quán)利要求4所述的一種靜壓主軸單元端面跳動測量裝備，其特征在于，所述位移傳感器測量機構(gòu)包括導(dǎo)軌橫梁(311)、上板(314)、下板(318)、第一上軸承支承組件(315)、第二上軸承支承組件(319)、垂直方向第一軸承支承組件(313)、垂直方向第二軸承支承組件(316)、垂直方向第三軸承支承組件(321)、垂直方向第四軸承支承組件(322)、第一下軸承支承組件(324)和第二下軸承支承組件(325)；所述導(dǎo)軌橫梁(311)設(shè)置在回轉(zhuǎn)支架(302)的外側(cè)，其導(dǎo)軌方向與復(fù)合軸承(303)的回轉(zhuǎn)中心線o-o垂直；所述上板(314)一內(nèi)一外安裝第一上軸承支承組件(315)和第二上軸承支承組件(319)；所述下板(318)一內(nèi)一外安裝第一下軸承支承組件(324)和第二下軸承支承組件(325)；所述下板(318)一側(cè)設(shè)有傳感器支架(317)；所述導(dǎo)軌橫梁(311)兩側(cè)一內(nèi)一外分別設(shè)置垂直方向第二軸承支承組件(316)、垂直方向第三軸承支承組件(321)和垂直方向第一軸承支承組件(313)、垂直方向第四軸承支承組件(322)；所述垂直方向第一軸承支承組件(313)、垂直方向第二軸承支承組件(316)、垂直方向第三軸承支承組件(321)和垂直方向第四軸承支承組件(322)兩端分別與上板(314)、下板(318)可拆連接，內(nèi)部均設(shè)有彈簧。
6.如權(quán)利要求5所述的一種靜壓主軸單元端面跳動測量裝備，其特征在于，所述測量裝置(3)還包括蝸輪(305)、蝸桿(309)、箱座(310)和電機(312)，所述蝸輪(305)設(shè)置在回轉(zhuǎn)支架(302)上方的軸承套(304)和壓蓋(306)之間，所述箱座(310)安裝在靜壓主軸單元(1)的體殼(101)的上端面，所述蝸桿(309)采用滾動軸承支承在箱座(310)的側(cè)壁孔中，所述蝸桿(309)的一端外設(shè)電機(312)并與電機(312)的輸出軸固連，且蝸桿(309)與蝸輪(305)嚙合。
7.如權(quán)利要求6所述的一種靜壓主軸單元端面跳動測量裝備，其特征在于，位移傳感器測量機構(gòu)還包括夾緊機構(gòu)(320)和定位裝置(323)，所述上板(314)一側(cè)設(shè)有兩個定位裝置(323)，所述上板(314)另一側(cè)設(shè)有夾緊機構(gòu)(320)。
8.如權(quán)利要求7所述的一種靜壓主軸單元端面跳動測量裝備，其特征在于，所述支撐裝置包括軸桿支撐座(401)和體殼支撐座(402)，軸桿支撐座(401)安裝在體殼支撐座(402)上；軸桿支撐座(401)設(shè)置在定心軸桿(201)下方，體殼支撐座(402)設(shè)置在靜壓主軸單元(1)的體殼(101)的下方。
9.一種靜壓主軸單元端面跳動測量方法，其特征在于，包括如下步驟：
10.如權(quán)利要求9所述的一種靜壓主軸單元端面跳動測量方法，其特征在于，步驟s7替換為：s7’：通過電機(312)驅(qū)動，在蝸輪(305)和蝸桿(309)的傳動作用下，回轉(zhuǎn)支架(302)回轉(zhuǎn)，使得導(dǎo)軌橫梁(311)繞復(fù)合軸承(303)回轉(zhuǎn)中心線o-o回轉(zhuǎn)，記錄回轉(zhuǎn)支架(302)每轉(zhuǎn)下的位移傳感器(326)測得的位移信號。