本申請涉及射頻，尤其涉及一種匹配參數(shù)確定方法、匹配參數(shù)確定裝置、射頻電源系統(tǒng)以及計算機可讀存儲介質(zhì)。

背景技術(shù)：

1、射頻電源可以產(chǎn)生射頻頻率且具有一定輸出功率的射頻信號。射頻電源廣泛應(yīng)用于多個領(lǐng)域，為各種核心制造設(shè)備的負載輸出射頻信號。在射頻電源向負載輸出射頻信號時，需要根據(jù)反射系數(shù)、反射系數(shù)模值、駐波比等匹配參數(shù)來確定射頻電源與負載之間的阻抗匹配情況，從而避免射頻電源的損壞，并提高輸出效率。

2、因此，如何確定反射系數(shù)模值等匹配參數(shù)，以反映射頻電源向負載輸出射頻信號時射頻電源與負載之間的阻抗匹配情況，成為了需要考慮的問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本申請?zhí)峁┮环N匹配參數(shù)確定方法、匹配參數(shù)確定裝置、射頻電源系統(tǒng)以及計算機可讀存儲介質(zhì)，可快速確定反射系數(shù)模值，以反映射頻電源向負載輸出射頻信號時射頻電源與負載之間的阻抗匹配情況。

2、第一方面，提供一種匹配參數(shù)確定方法，所述匹配參數(shù)確定方法用于確定匹配參數(shù)，所述匹配參數(shù)包括反射系數(shù)模值，所述匹配參數(shù)確定方法包括：至少獲取測試交流源向負載輸出測試交流信號時所述負載的測試電流值和測試電壓值；至少根據(jù)測試電流值和測試電壓值，確定負載的電阻值和阻抗模值；根據(jù)預(yù)設(shè)特性阻抗值、負載的電阻值和阻抗模值，確定反射系數(shù)模值；其中，所述反射系數(shù)模值用于反映射頻電源向所述負載輸出射頻信號時所述射頻電源與所述負載之間的阻抗匹配情況。

3、在一種可能的實施方式中，所述至少獲取測試交流源向負載輸出測試交流信號時所述負載的測試電流值和測試電壓值，包括：獲取測試交流源向負載輸出測試交流信號時所述負載的測試電流值、測試電壓值以及測試功率值；所述至少根據(jù)測試電流值和測試電壓值，確定負載的電阻值和阻抗模值，包括：根據(jù)測試電流值、測試電壓值以及測試功率值，確定負載的電阻值和阻抗模值。

4、在一種可能的實施方式中，所述根據(jù)測試電流值、測試電壓值以及測試功率值，確定負載的電阻值和阻抗模值，包括：根據(jù)測試電壓值和測試功率值，確定負載的電阻值；根據(jù)測試電流值和測試電壓值，確定負載的阻抗模值。

5、在一種可能的實施方式中，所述匹配參數(shù)還包括駐波比，所述駐波比也用于反映所述射頻電源向所述負載輸出射頻信號時所述射頻電源與所述負載之間的阻抗匹配情況；其中，在所述根據(jù)預(yù)設(shè)特性阻抗值、負載的電阻值和阻抗模值，確定反射系數(shù)模值之后，所述匹配參數(shù)確定方法還包括：基于反射系數(shù)模值與駐波比之間的第一換算關(guān)系，根據(jù)所述反射系數(shù)模值，確定所述駐波比。

6、在一種可能的實施方式中，在所述反射系數(shù)模值小于等于第一預(yù)設(shè)值以及所述駐波比小于等于第二預(yù)設(shè)值時，反映所述射頻電源與所述負載之間完成阻抗匹配；在所述反射系數(shù)模值大于第一預(yù)設(shè)值和/或所述駐波比大于第二預(yù)設(shè)值時，反映所述射頻電源與所述負載之間未完成阻抗匹配；其中，所述第二預(yù)設(shè)值基于所述第一換算關(guān)系以及所述第一預(yù)設(shè)值對應(yīng)得到。

7、在一種可能的實施方式中，所述根據(jù)預(yù)設(shè)特性阻抗值、負載的電阻值和阻抗模值，確定反射系數(shù)模值，包括：獲取反射系數(shù)、虛數(shù)單位、預(yù)設(shè)特性阻抗值、負載的電阻值、電抗值和阻抗模值之間的第一預(yù)設(shè)關(guān)系；基于反射系數(shù)模值、預(yù)設(shè)特性阻抗值、負載的電阻值和阻抗模值之間的第二預(yù)設(shè)關(guān)系，根據(jù)所述預(yù)設(shè)特性阻抗值、所述負載的電阻值和阻抗模值，確定所述反射系數(shù)模值，其中，所述第二預(yù)設(shè)關(guān)系基于第一預(yù)設(shè)關(guān)系以及所述反射系數(shù)模值與反射系數(shù)之間的第二換算關(guān)系得到。

8、在一種可能的實施方式中，所述反射系數(shù)具有實部、虛部以及虛部系數(shù)，所述虛數(shù)單位是所述反射系數(shù)中的虛部系數(shù)；其中，在所述第一預(yù)設(shè)關(guān)系中，所述反射系數(shù)的實部和虛部均與所述預(yù)設(shè)特性阻抗值、所述負載的電阻值和阻抗模值相關(guān)；在所述第二換算關(guān)系中，所述反射系數(shù)模值為所述反射系數(shù)的實部的平方與虛部的平方之和的平方根，以使得基于所述第一預(yù)設(shè)關(guān)系以及所述第二換算關(guān)系建立的所述第二預(yù)設(shè)關(guān)系中，所述反射系數(shù)模值與所述預(yù)設(shè)特性阻抗值、所述負載的電阻值和阻抗模值相關(guān)。

9、第二方面，還提供一種匹配參數(shù)確定裝置，所述匹配參數(shù)確定裝置采用上述的匹配參數(shù)確定方法來確定匹配參數(shù)，所述匹配參數(shù)包括反射系數(shù)模值；其中，所述匹配參數(shù)確定裝置包括測試交流源、獲取單元以及控制單元；所述測試交流源用于向負載輸出測試交流信號；所述獲取單元用于至少獲取所述測試交流源向所述負載輸出所述測試交流信號時所述負載的測試電流值和測試電壓值；所述控制單元用于至少根據(jù)所述測試電流值和所述測試電壓值，確定所述負載的電阻值和阻抗模值，且根據(jù)所述預(yù)設(shè)特性阻抗值、所述負載的電阻值和阻抗模值，確定所述反射系數(shù)模值；其中，所述反射系數(shù)模值作為匹配參數(shù)用于反映射頻電源向所述負載輸出射頻信號時所述射頻電源與所述負載之間的阻抗匹配情況。

10、第三方面，還提供一種射頻電源系統(tǒng)，所述射頻電源系統(tǒng)包括射頻電源以及上述的匹配參數(shù)確定裝置。

11、第四方面，還提供一種計算機可讀存儲介質(zhì)，所述計算機可讀存儲介質(zhì)中存儲有計算機程序，當(dāng)所述計算機程序在計算機或處理器上運行時，實現(xiàn)上述的匹配參數(shù)確定方法。

12、本申請的匹配參數(shù)確定方法、匹配參數(shù)確定裝置、射頻電源系統(tǒng)以及計算機可讀存儲介質(zhì)，通過至少獲取測試交流源向負載輸出測試交流信號時負載的測試電流值和測試電壓值，并至少根據(jù)測試電流值和測試電壓值，確定負載的電阻值和阻抗模值，從而能夠根據(jù)預(yù)設(shè)特性阻抗值、負載的電阻值和阻抗模值，快速確定反射系數(shù)模值，以根據(jù)反射系數(shù)模值快速反映射頻電源向負載輸出射頻信號時射頻電源與負載之間的阻抗匹配情況。

技術(shù)特征：

1.一種匹配參數(shù)確定方法，用于確定匹配參數(shù)，其特征在于，所述匹配參數(shù)包括反射系數(shù)模值，所述匹配參數(shù)確定方法包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的匹配參數(shù)確定方法，其特征在于，所述至少獲取測試交流源向負載輸出測試交流信號時所述負載的測試電流值和測試電壓值，包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的匹配參數(shù)確定方法，其特征在于，所述根據(jù)測試電流值、測試電壓值以及測試功率值，確定負載的電阻值和阻抗模值，包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的匹配參數(shù)確定方法，其特征在于，所述匹配參數(shù)還包括駐波比，所述駐波比也用于反映所述射頻電源向所述負載輸出射頻信號時所述射頻電源與所述負載之間的阻抗匹配情況；

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的匹配參數(shù)確定方法，其特征在于，在所述反射系數(shù)模值小于等于第一預(yù)設(shè)值以及所述駐波比小于等于第二預(yù)設(shè)值時，反映所述射頻電源與所述負載之間完成阻抗匹配；

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的匹配參數(shù)確定方法，其特征在于，所述根據(jù)預(yù)設(shè)特性阻抗值、負載的電阻值和阻抗模值，確定反射系數(shù)模值，包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的匹配參數(shù)確定方法，其特征在于，所述反射系數(shù)具有實部、虛部以及虛部系數(shù)，所述虛數(shù)單位是所述反射系數(shù)中的虛部系數(shù)；

8.一種匹配參數(shù)確定裝置，其特征在于，所述匹配參數(shù)確定裝置采用如權(quán)利要求1-7任一項所述的匹配參數(shù)確定方法來確定匹配參數(shù)，所述匹配參數(shù)包括反射系數(shù)模值；

9.一種射頻電源系統(tǒng)，其特征在于，包括射頻電源以及如權(quán)利要求8所述的匹配參數(shù)確定裝置。

10.一種計算機可讀存儲介質(zhì)，其特征在于，所述計算機可讀存儲介質(zhì)中存儲有計算機程序，當(dāng)所述計算機程序在計算機或處理器上運行時，實現(xiàn)如權(quán)利要求1-7任一項所述的匹配參數(shù)確定方法。

技術(shù)總結(jié)
本申請?zhí)峁┮环N匹配參數(shù)確定方法以及相關(guān)裝置，涉及射頻技術(shù)領(lǐng)域，匹配參數(shù)確定方法用于確定匹配參數(shù)，匹配參數(shù)包括反射系數(shù)模值，匹配參數(shù)確定方法包括：至少獲取測試交流源向負載輸出測試交流信號時負載的測試電流值和測試電壓值；至少根據(jù)測試電流值和測試電壓值，確定負載的電阻值和阻抗模值；根據(jù)預(yù)設(shè)特性阻抗值、負載的電阻值和阻抗模值，確定反射系數(shù)模值；其中，反射系數(shù)模值用于反映射頻電源向負載輸出射頻信號時射頻電源與負載之間的阻抗匹配情況。本申請可快速確定反射系數(shù)模值。

技術(shù)研發(fā)人員：王樹曉,林炯康,陳亞梯
受保護的技術(shù)使用者：深圳市瀚強科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6