本發(fā)明涉及檢測(cè)器，具體涉及一種基于xray的檢測(cè)裝置及其工藝方法。

背景技術(shù)：

1、x射線是由于原子中的電子在能量相差懸殊的兩個(gè)能級(jí)之間的躍遷而產(chǎn)生的粒子流，其波長(zhǎng)很短約0.01-100埃之間，是介于紫色和γ射線之間的電磁輻射。x射線廣泛應(yīng)用于醫(yī)療檢測(cè)、工業(yè)無(wú)損檢測(cè)等生產(chǎn)、生活和科研活動(dòng)中。電子制造的制程中，大量使用x射線檢測(cè)技術(shù)，可用于半導(dǎo)體前道加工檢測(cè)、芯片封裝檢測(cè)、電路板線路檢測(cè)、電子器件焊接檢測(cè)、電池檢測(cè)等。同時(shí)在smt中回流焊后的焊接質(zhì)量檢測(cè)應(yīng)用也日益廣泛。電子元件器的隱藏焊點(diǎn)的焊接質(zhì)量檢測(cè)，采用可見光無(wú)法實(shí)現(xiàn)，故需要采用x射線穿透方式的無(wú)損檢測(cè)。

2、目前，smt產(chǎn)線上使用的產(chǎn)生x射線技術(shù)是微焦點(diǎn)x射線源方案。市場(chǎng)上的微焦點(diǎn)x射線源都是采用單管單發(fā)射源的方案。在3d檢測(cè)應(yīng)用中，單管單發(fā)射源的x射線源，對(duì)應(yīng)單個(gè)x射線接收板，x射線源和接收板之間需要多次位移多次取圖，速度慢、效率低、運(yùn)動(dòng)的位置精度控制難度大；還有就是檢測(cè)物的位置偏移，沒(méi)有糾偏功能等；還有載物臺(tái)也會(huì)對(duì)x射線造成干擾等。

3、因此，針對(duì)以上問(wèn)題，現(xiàn)有的檢測(cè)器技術(shù)有待進(jìn)一步改進(jìn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的是在于解決現(xiàn)有檢測(cè)技術(shù)上帶來(lái)的檢測(cè)誤差、效率低、速度慢和沒(méi)有糾偏功能等問(wèn)題；提供一種多點(diǎn)x射線發(fā)射接收裝置，多點(diǎn)x射線源對(duì)應(yīng)多個(gè)x射線接收板，其中，居中x射線照射被測(cè)物對(duì)應(yīng)居中接收板接收穿透被測(cè)物后的x光光強(qiáng)，產(chǎn)生圖像訊號(hào)，該訊號(hào)被圖像采集器采集后傳輸?shù)诫娔X；環(huán)繞x射線照射被測(cè)物對(duì)應(yīng)環(huán)繞接收板接收穿透被測(cè)物后的x光光強(qiáng)，產(chǎn)生圖像訊號(hào)，該訊號(hào)被圖像采集器采集后傳輸?shù)诫娔X；其他多點(diǎn)環(huán)繞照射方式相同。

2、本發(fā)明的技術(shù)方案具體如下：

3、一種基于xray的檢測(cè)裝置，所述檢測(cè)裝置包括：閘門、機(jī)架、機(jī)箱、上料傳輸機(jī)構(gòu)、下料傳輸機(jī)構(gòu)、位移載物機(jī)構(gòu)、x射線發(fā)射機(jī)構(gòu)、x射線接收機(jī)構(gòu)、控制器和定位檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述機(jī)架上安裝有所述閘門、機(jī)箱、上料傳輸機(jī)構(gòu)、下料傳輸機(jī)構(gòu)、位移載物機(jī)構(gòu)、x射線發(fā)射機(jī)構(gòu)、x射線接收機(jī)構(gòu)、控制器和定位檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述位移載物機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述上料傳輸機(jī)構(gòu)和下料傳輸機(jī)構(gòu)之間，所述上料傳輸機(jī)構(gòu)用于將檢測(cè)物傳輸至位移載物機(jī)構(gòu)上，并搭載到下料傳輸機(jī)構(gòu)上，所述位移載物機(jī)構(gòu)用于將檢測(cè)物進(jìn)行移位至檢測(cè)位置，所述下料機(jī)構(gòu)用于將檢測(cè)物進(jìn)行移至下料，所述x射線發(fā)射機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述位移載物機(jī)構(gòu)上方，所述x射線接收機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述位移載物機(jī)構(gòu)上，所述機(jī)箱罩在所述上料傳輸機(jī)構(gòu)、下料傳輸機(jī)構(gòu)、位移載物機(jī)構(gòu)、x射線發(fā)射機(jī)構(gòu)、x射線接收機(jī)構(gòu)和定位檢測(cè)機(jī)構(gòu)上，所述閘門分別設(shè)置在所述上料傳輸機(jī)構(gòu)的進(jìn)料端和下料傳輸機(jī)構(gòu)的出料端，所述閘門用于在x射線檢測(cè)時(shí)與機(jī)箱形成封閉整體并避免x射線射入外部，所述上料傳輸機(jī)構(gòu)的控制端、下料傳輸機(jī)構(gòu)的控制端、位移載物機(jī)構(gòu)的控制端、x射線發(fā)射機(jī)構(gòu)的控制端、x射線接收機(jī)構(gòu)的控制端和定位檢測(cè)機(jī)構(gòu)的控制端分別電連接所述控制器的控制端。

4、進(jìn)一步地，所述上料傳輸機(jī)構(gòu)包括上料支架、上料傳輸帶、上料電機(jī)、上料主輪和上料輔輪，所述上料支架和上料電機(jī)均安裝在所述機(jī)架上，所述上料主輪和上料輔輪均轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在所述上料支架上，所述上料傳輸帶安裝在所述上料主輪和上料輔輪上，所述上料電機(jī)的控制端電連接所述控制器的控制端，所述上料電機(jī)的驅(qū)動(dòng)端連接所述上料主輪的受動(dòng)端。

5、進(jìn)一步地，所述下料傳輸機(jī)構(gòu)包括下料支架、下料傳輸帶、下料電機(jī)、下料主輪和下料輔輪，所述下料支架和下料電機(jī)均安裝在所述機(jī)架上，所述下料主輪和下料輔輪均轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在所述下料支架上，所述下料傳輸帶安裝在所述下料主輪和下料輔輪上，所述下料電機(jī)的控制端電連接所述控制器的控制端，所述下料電機(jī)的驅(qū)動(dòng)端連接所述下料主輪的受動(dòng)端。

6、進(jìn)一步地，所述機(jī)箱選取內(nèi)側(cè)設(shè)有鉛層的金屬板材質(zhì)的機(jī)箱；如內(nèi)側(cè)設(shè)有鉛層的金屬鐵板材質(zhì)的機(jī)箱。

7、進(jìn)一步地，所述位移載物機(jī)構(gòu)包括位移滑軌、位移滑座、位移氣缸和透明載物板，所述位移滑軌和位移氣缸均安裝在所述機(jī)架上，所述位移滑座滑動(dòng)安裝在所述位移滑軌上，所述x射線接收機(jī)構(gòu)安裝在所述位移滑座上，所述透明載物板安裝在所述x射線接收機(jī)構(gòu)上，所述x射線發(fā)射機(jī)構(gòu)發(fā)射x射線至透明載物板上的檢測(cè)物，并被x射線接收機(jī)構(gòu)所接收，所述位移氣缸的控制端電連接所述控制器的控制端，所述位移氣缸的驅(qū)動(dòng)端連接所述位移滑座。

8、進(jìn)一步地，所述定位檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括視覺檢測(cè)傳感器和調(diào)節(jié)支架，所述調(diào)節(jié)支架安裝在所述機(jī)架上，所述視覺檢測(cè)傳感器安裝在所述調(diào)節(jié)支架上，所述調(diào)節(jié)支架用于對(duì)視覺檢測(cè)傳感器進(jìn)行位置調(diào)節(jié)，所述視覺檢測(cè)傳感器的控制端電連接所述控制器的控制端。

9、進(jìn)一步地，所述視覺檢測(cè)傳感器選取ccd相機(jī)。

10、進(jìn)一步地，所述調(diào)節(jié)支架選取二維位移平臺(tái)或一維位移平臺(tái)。

11、進(jìn)一步地，所述x射線發(fā)射機(jī)構(gòu)和所述x射線接收機(jī)構(gòu)為一一對(duì)應(yīng)且相互配合設(shè)置，所述x射線發(fā)射機(jī)構(gòu)用于將x射線發(fā)射并通過(guò)位移載物機(jī)構(gòu)傳至x射線接收機(jī)構(gòu)進(jìn)行接收。

12、進(jìn)一步地，所述x射線發(fā)射機(jī)構(gòu)包括x射線發(fā)射器、x射線支架和x射線電機(jī)，所述x射線電機(jī)安裝在所述機(jī)架上，所述x射線支架安裝在所述x射線電機(jī)的驅(qū)動(dòng)端上，所述x射線發(fā)射器安裝在所述x射線支架上，所述x射線電機(jī)的控制端電連接所述控制器的控制端。

13、進(jìn)一步地，所述x射線發(fā)射器包括x射線源和x射線調(diào)整器，所述x射線源安裝在所述x射線支架上，所述x射線調(diào)整器安裝在所述x射線源的出射端處，且所述x射線調(diào)整器用于調(diào)節(jié)x射線源的出射線束的大小。

14、進(jìn)一步地，所述x射線調(diào)整器選取帶有通孔的罩板，所述帶有通孔的罩板安裝在所述x射線源的出射端處，通孔與出射端相互對(duì)應(yīng)，且通孔用于對(duì)x射線源的出射線束的大小進(jìn)行調(diào)節(jié)。

15、進(jìn)一步地，所述通孔選取圓形通孔或方形通孔。

16、進(jìn)一步地，所述罩板選取金屬鉛材質(zhì)的罩板。

17、進(jìn)一步地，所述x射線發(fā)射器包括中心x射線源、中心x射線調(diào)整器、周邊x射線源和周邊x射線調(diào)整器，所述中心x射線源和周邊x射線源均安裝在所述x射線支架上，且所述中心x射線源設(shè)置在所述x射線支架的中心，所述周邊x射線源設(shè)置在所述x射線支架的周邊，所述中心x射線源上設(shè)有所述中心x射線調(diào)整器，所述周邊x射線源上設(shè)有所述周邊x射線調(diào)整器。

18、進(jìn)一步地，所述周邊x射線源和周邊x射線調(diào)整器均選取至少一個(gè)；倘若選取兩個(gè)以上就均勻布置，如：所述周邊x射線源和周邊x射線調(diào)整器均選取兩個(gè)以上，則所述周邊x射線源和周邊x射線調(diào)整器在中心x射線源周邊均勻布置。

19、進(jìn)一步地，所述周邊x射線源和周邊x射線調(diào)整器均與豎直夾角在0°-90°之間。

20、進(jìn)一步地，所述x射線接收機(jī)構(gòu)包括接收支架、接收電機(jī)、中心接收器和周邊接收器，所述接收電機(jī)安裝在所述位移滑座上，所述接收支架安裝在所述接收電機(jī)的驅(qū)動(dòng)端上，所述中心接收器和周邊接收器均安裝在所述接收支架上，所述中心接收器與所述中心x射線源相互對(duì)應(yīng)，所述周邊x射線源與所述周邊接收器相互對(duì)應(yīng)，所述接收電機(jī)的控制端電連接所述控制器的控制端。

21、進(jìn)一步地，所述控制器的控制端分別電連接所述x射線發(fā)射機(jī)構(gòu)和x射線接收機(jī)構(gòu)的控制端。

22、進(jìn)一步地，所述控制器包括高壓電源模塊、柵極供電模塊、聚集極供電模塊、電源管理系統(tǒng)和通訊模塊，所述高壓電源模塊電連接所述電源管理系統(tǒng)，所述電源管理系統(tǒng)分別電連接所述柵極供電模塊、聚集極供電模塊和通訊模塊，所述柵極供電模塊和聚集極供電模塊分別電連接所述x射線發(fā)射機(jī)構(gòu)。

23、進(jìn)一步地，所述檢測(cè)裝置還包括電腦，所述電腦的通訊端分別電連接所述控制器的通訊模塊和x射線接收機(jī)構(gòu)的通訊端，所述電腦的采集端電連接所述x射線接收機(jī)構(gòu)的采集端。

24、進(jìn)一步地，所述x射線發(fā)射器包括x射線出射窗、真空腔、聚集極、柵極、柵極電極、陰極電極、聚集極電極、陰極、靶材、陽(yáng)極和陽(yáng)極電極，所述真空腔內(nèi)放置有所述靶材，所述靶材的陽(yáng)極電連接所述陽(yáng)極電極，所述靶材的出線端設(shè)有x射線出射窗，在x射線出射窗上罩有帶有通孔的罩板，與靶材出線端相對(duì)應(yīng)的真空腔內(nèi)設(shè)有聚集極、柵極和陰極，所述聚集極、柵極和陰極分別電連接所述聚集極電極、柵極電極和陰極電極，所述陽(yáng)極電極、聚集極電極、柵極電極和陰極電極分別電連接控制器的控制端。

25、進(jìn)一步地，一種基于xray的檢測(cè)裝置的工藝方法，所述工藝方法步驟如下：

26、步驟一：透明載物板的制作

27、選取一定厚度的光學(xué)石英玻璃板，將其切割成圓形石英基板，然后將其放入無(wú)水乙醇中靜置1小時(shí)，并將其用去離子水進(jìn)行沖洗掉無(wú)水乙醇，最后對(duì)其進(jìn)行烘干，制備出圓形石英板；

28、將上述的圓形石英板放在電解拋光機(jī)上，將圓形石英板連接正極端，并采用不銹鋼板連接負(fù)極端，電解拋光機(jī)中的電解液選取硫酸溶液，啟動(dòng)電解拋光機(jī)，并對(duì)圓形石英板進(jìn)行拋光處理，制備出拋光石英板；

29、將上述的拋光石英板放到具有5nm直徑的金剛石的拋光機(jī)中進(jìn)行拋光，制備出精拋石英板；

30、將上述的精拋石英板放入微波cvd反應(yīng)器中，然后將反應(yīng)器內(nèi)溫度升高至1000℃，采用ch4/n2/h2混合等離子體在精拋石英板表面沉積一層納米金剛石層，制備出透明載物板。

31、步驟二：x射線發(fā)射器的制作

32、選取x射線出射窗、真空腔、聚集極、柵極、柵極電極、陰極電極、聚集極電極、陰極、靶材、陽(yáng)極和陽(yáng)極電極，將真空腔內(nèi)放置有靶材，靶材的陽(yáng)極電連接陽(yáng)極電極，靶材的出線端設(shè)有x射線出射窗，在x射線出射窗上罩有帶有通孔的罩板，與靶材出線端相對(duì)應(yīng)的真空腔內(nèi)設(shè)有聚集極、柵極和陰極，聚集極、柵極和陰極分別電連接聚集極電極、柵極電極和陰極電極，陽(yáng)極電極、聚集極電極、柵極電極和陰極電極分別電連接控制器的控制端，制作出x射線發(fā)射器；

33、步驟三：檢測(cè)裝置的組裝

34、選取閘門、機(jī)架、機(jī)箱、上料支架、上料傳輸帶、上料電機(jī)、上料主輪、上料輔輪、下料支架、下料傳輸帶、下料電機(jī)、下料主輪、下料輔輪、位移滑軌、位移滑座、位移氣缸、透明載物板、中心x射線源、中心x射線調(diào)整器、周邊x射線源、周邊x射線調(diào)整器、x射線支架、x射線電機(jī)、接收支架、接收電機(jī)、中心接收器、周邊接收器、控制器、視覺檢測(cè)傳感器和調(diào)節(jié)支架，其中，透明載物板選取步驟一的透明載物板，x射線源選取步驟二的x射線發(fā)射器；將上料支架和上料電機(jī)均安裝在所述機(jī)架上，上料主輪和上料輔輪均轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在上料支架上，上料傳輸帶安裝在上料主輪和上料輔輪上，上料電機(jī)的控制端電連接控制器的控制端，上料電機(jī)的驅(qū)動(dòng)端連接上料主輪的受動(dòng)端；將下料支架和下料電機(jī)均安裝在機(jī)架上，下料主輪和下料輔輪均轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在下料支架上，下料傳輸帶安裝在下料主輪和下料輔輪上，下料電機(jī)的控制端電連接控制器的控制端，下料電機(jī)的驅(qū)動(dòng)端連接下料主輪的受動(dòng)端；將位移滑軌和位移氣缸均安裝在機(jī)架上，且位移滑軌和位移氣缸設(shè)置在上料傳輸帶和下料傳輸帶之間的縫隙上，位移滑座滑動(dòng)安裝在位移滑軌上，位移氣缸的驅(qū)動(dòng)端連接位移滑座，接收電機(jī)安裝在位移滑座上，接收支架安裝在接收電機(jī)的驅(qū)動(dòng)端上，中心接收器和周邊接收器均安裝在接收支架上，接收電機(jī)的控制端電連接控制器的控制端，位移載物板安裝在接收支架上，位移載板與上料傳輸帶和下料傳輸帶在同一平面上；調(diào)節(jié)支架安裝在機(jī)架上，且設(shè)置在位移載物板的上方，視覺檢測(cè)傳感器安裝在調(diào)節(jié)支架上，調(diào)節(jié)支架用于對(duì)視覺檢測(cè)傳感器進(jìn)行位置調(diào)節(jié)，視覺檢測(cè)傳感器的控制端電連接控制器的控制端；x射線電機(jī)安裝在機(jī)架上，x射線支架安裝在x射線電機(jī)，x射線電機(jī)的控制端電連接所述控制器的控制端，中心x射線源和周邊x射線源均安裝在x射線支架上，且中心x射線源設(shè)置在x射線支架的中心，周邊x射線源設(shè)置在x射線支架的周邊，中心x射線源上設(shè)有中心x射線調(diào)整器，周邊x射線源上設(shè)有周邊x射線調(diào)整器；機(jī)箱罩在上料支架、上料傳輸帶、上料電機(jī)、上料主輪、上料輔輪、下料支架、下料傳輸帶、下料電機(jī)、下料主輪、下料輔輪、位移滑軌、位移滑座、位移氣缸、透明載物板、中心x射線源、中心x射線調(diào)整器、周邊x射線源、周邊x射線調(diào)整器、x射線支架、x射線電機(jī)、接收支架、接收電機(jī)、中心接收器、周邊接收器、視覺檢測(cè)傳感器和調(diào)節(jié)支架上，閘門分別設(shè)置在上料支架的進(jìn)料端和下料支架的出料端，閘門用于在x射線檢測(cè)時(shí)與機(jī)箱形成封閉整體并避免x射線射入外部；

35、步驟四：控制的搭建

36、選取步驟三的檢測(cè)裝置，并對(duì)含有高壓電源模塊、柵極供電模塊、聚集極供電模塊、電源管理系統(tǒng)和通訊模塊的控制器進(jìn)行組合，高壓電源模塊電連接電源管理系統(tǒng)，電源管理系統(tǒng)分別電連接?xùn)艠O供電模塊、聚集極供電模塊和通訊模塊，柵極供電模塊和聚集極供電模塊分別電連接x射線發(fā)射機(jī)構(gòu)，其中，還有電腦，電腦的通訊端分別電連接控制器的通訊模塊和x射線接收機(jī)構(gòu)的通訊端，電腦的采集端電連接x射線接收機(jī)構(gòu)的采集端，制作出xray的檢測(cè)裝置。

37、有益效果

38、本發(fā)明通過(guò)對(duì)檢測(cè)器進(jìn)行合理化設(shè)計(jì)，提供一種多點(diǎn)x射線發(fā)射接收裝置，多點(diǎn)x射線源對(duì)應(yīng)多個(gè)x射線接收板，其中，居中x射線照射被測(cè)物對(duì)應(yīng)居中接收板接收穿透被測(cè)物后的x光光強(qiáng)，產(chǎn)生圖像訊號(hào)，該訊號(hào)被圖像采集器采集后傳輸?shù)诫娔X；環(huán)繞x射線照射被測(cè)物對(duì)應(yīng)環(huán)繞接收板接收穿透被測(cè)物后的x光光強(qiáng)，產(chǎn)生圖像訊號(hào)，該訊號(hào)被圖像采集器采集后傳輸?shù)诫娔X；其他多點(diǎn)環(huán)繞照射方式相同。該xray檢測(cè)裝置實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化上料-檢測(cè)-下料整體檢測(cè)流程，便捷快速進(jìn)行大批量生產(chǎn)檢測(cè)，還能進(jìn)行檢測(cè)物的糾偏和降低載物臺(tái)的影響等，可以實(shí)現(xiàn)快速、便捷、自動(dòng)化檢測(cè)等。