本發(fā)明涉及電子槍，尤其涉及一種電子槍線束的斷裂檢測(cè)方法、裝置及系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體制造業(yè)中，電子束掃描測(cè)量技術(shù)因其高靈敏度和能夠檢測(cè)到光學(xué)檢查設(shè)備無(wú)法發(fā)現(xiàn)的缺陷而變得越發(fā)重要。電子束掃描測(cè)量?jī)x通過對(duì)熱場(chǎng)電子槍燈絲陰極施加加熱電流以達(dá)到其額定工作溫度后，對(duì)燈絲施加抽取電壓使其內(nèi)部的大量自由電子逃逸，再施加抑制電壓將自由電子形成電子束流。該電子束流可被數(shù)個(gè)高壓電場(chǎng)牽引和加速，用于轟擊被測(cè)樣品，從而能夠激發(fā)出二次電子，并通過收集和分析這些二次電子來(lái)捕捉缺陷。

2、上述電子束掃描測(cè)量?jī)x的加熱電流，抽取電壓，抑制電壓和高壓電場(chǎng)由電子槍高壓電源提供。通常該高壓電源占用空間大且沉重難以搬運(yùn)，無(wú)法直接安裝在真空腔體上，必須通過高壓線束來(lái)連接燈絲和各高壓線圈。這些電子槍高壓線束往往需要特別設(shè)計(jì)，通常使用將至少10股銅線絞成1根的內(nèi)芯，加上半徑3毫米以上的絕緣層，以及包裹屏蔽線來(lái)滿足載流3a和耐壓20kv的要求。在實(shí)際使用場(chǎng)景上，這些高壓線束往往長(zhǎng)1-3米，且足夠柔軟可以被捆在一起，貼合固定在掃描測(cè)量?jī)x的外殼內(nèi)側(cè)。

3、在掃描測(cè)量?jī)x長(zhǎng)期的運(yùn)行過程中，這些高壓線束往往會(huì)因?yàn)楦鞣N原因損壞。比如絕緣層老化；比如安裝方式的局限導(dǎo)致線束內(nèi)部容易產(chǎn)生應(yīng)力，而在應(yīng)力集中效應(yīng)下非常容易發(fā)生材料疲勞而斷裂的現(xiàn)象；又或者線束因被用力拉扯而斷裂。有時(shí)損壞的高壓線束是完全斷裂的，這導(dǎo)致電子槍高壓電源的輸出無(wú)法正常通過高壓線束施加在高真空腔體內(nèi)；而有時(shí)高壓線束只是局部斷裂，例如10股銅線中的一半斷裂且不良接觸，此時(shí)會(huì)導(dǎo)致高壓線束出現(xiàn)輸出電壓不穩(wěn)，或者過電流能力下降等各種故障。這些故障使得電子束掃描測(cè)量?jī)x的測(cè)量圖像不佳甚至沒有成像。由于高壓線束斷裂發(fā)生在內(nèi)部無(wú)法被肉眼直接觀察到，且此故障現(xiàn)象和高壓電源故障，真空腔真空故障，二次電子探頭故障等現(xiàn)象相同，又因?yàn)楦邏壕€束更換步驟繁瑣，因此容易被工程師在排查設(shè)備故障原因時(shí)忽略。

4、對(duì)于出現(xiàn)故障的高壓線束，現(xiàn)有的檢測(cè)高壓線束斷裂的手段效果不佳。簡(jiǎn)單的例如萬(wàn)用表測(cè)量可以測(cè)出完全斷裂的線束，但對(duì)于局部斷裂的線束往往束手無(wú)策。一是因?yàn)?-3米的高壓線束本身電阻為毫歐級(jí)，而局部斷裂導(dǎo)致的電阻增加量為微歐姆級(jí)別，無(wú)法被萬(wàn)用表有效識(shí)別。二是如果以折線法輔助萬(wàn)用表測(cè)量，在高壓線束需要被施加額定的高壓電才能有效測(cè)量的前提下，折線法在操作上有觸電風(fēng)險(xiǎn)，不建議使用。此外，成熟且被廣泛商用的各種方法，比如法脈沖反射法，高壓電壓直閃法，高壓電壓沖閃法等，雖然可以確定故障點(diǎn)的位置，但對(duì)于10m以下，且橫截面積小的高壓線束是其測(cè)量盲區(qū)。這些測(cè)量裝置本身價(jià)格昂貴，改進(jìn)它們是不經(jīng)濟(jì)的。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明提供了一種電子槍線束的斷裂檢測(cè)方法、裝置及系統(tǒng)，通過對(duì)電子槍線束的實(shí)際電流的檢測(cè)，將實(shí)際電流和預(yù)設(shè)電流之間的分析比對(duì)來(lái)確定電子槍線束的斷裂程度，該斷裂檢測(cè)方法不僅成本低廉、操作簡(jiǎn)單而且可以實(shí)現(xiàn)對(duì)電子槍線束斷裂程度的精準(zhǔn)檢測(cè)，還不會(huì)損壞電子槍線束。

2、根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供了一種電子槍線束的斷裂檢測(cè)方法，包括：

3、調(diào)節(jié)施加至電子槍線束的測(cè)試電流；

4、獲取所述電子槍線束的實(shí)際電流；

5、根據(jù)所述測(cè)試電流和所述實(shí)際電流確定所述電子槍線束的斷裂程度。

6、可選的，調(diào)節(jié)施加至電子槍線束的測(cè)試電流，包括：

7、向所述電子槍線束施加第一預(yù)設(shè)電流，以第一預(yù)設(shè)步長(zhǎng)依次增大測(cè)試電流，或者

8、向所述電子槍線束施加第二預(yù)設(shè)電流，以第二預(yù)設(shè)步長(zhǎng)依次減小測(cè)試電流；

9、其中，所述第一預(yù)設(shè)電流小于所述第二預(yù)設(shè)電流。

10、可選的，根據(jù)所述測(cè)試電流和所述實(shí)際電流確定所述電子槍線束的斷裂程度，包括：

11、當(dāng)所述實(shí)際電流根據(jù)所述測(cè)試電流增大而增大或當(dāng)所述實(shí)際電流根據(jù)所述測(cè)試電流減小而減小時(shí)，則進(jìn)入待診斷狀態(tài)；

12、當(dāng)所述實(shí)際電流為0時(shí)，則判定所述電子槍線束完全斷裂。

13、可選的，當(dāng)所述實(shí)際電流根據(jù)所述測(cè)試電流增大而增大或所述實(shí)際電流根據(jù)所述測(cè)試電流減小而減小時(shí)，則進(jìn)入待診斷狀態(tài)，包括：

14、當(dāng)所述實(shí)際電流持續(xù)根據(jù)所述測(cè)試電流的增大而增大，和/或

15、當(dāng)所述實(shí)際電流持續(xù)根據(jù)所述測(cè)試電流的減小而減小時(shí)，則判定所述電子槍線束未發(fā)生斷裂；

16、當(dāng)所述實(shí)際電流根據(jù)所述測(cè)試電流的增大而增大，且所述實(shí)際電流增大至第一閾值停止增大，和/或

17、當(dāng)所述實(shí)際電流根據(jù)所述測(cè)試電流的減小而減小，且所述實(shí)際電流減小至第二閾值停止減小時(shí)，則判定所述電子槍線束發(fā)生局部斷裂。

18、根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供了一種電子槍線束的斷裂檢測(cè)裝置，執(zhí)行第一方面所述的電子槍線束的斷裂檢測(cè)方法，所述檢測(cè)裝置包括：電流檢測(cè)模塊、電流設(shè)置模塊和恒流源模塊；

19、所述電流設(shè)置模塊的第一輸出端與所述恒流源模塊連接，所述電流設(shè)置模塊基于用戶端的控制指令調(diào)節(jié)施加于電子槍線束的測(cè)試電流；

20、所述電流檢測(cè)模塊的第一輸出端與所述電子槍線束連接，所述電流檢測(cè)模塊的第二輸出端與所述電流設(shè)置模塊的第一輸入端連接，所述電流檢測(cè)模塊用于實(shí)時(shí)檢測(cè)所述電子槍線束的實(shí)際電流并反饋至所述電流設(shè)置模塊；

21、所述恒流源模塊的輸出端與所述電流檢測(cè)模塊連接，所述恒流源模塊將所述測(cè)試電流施加至所述電子槍線束。

22、可選的，還包括顯示模塊；

23、所述顯示模塊的第一輸入端與所述電流設(shè)置模塊的第二輸出端連接，所述顯示模塊的第二輸入端與所述電流檢測(cè)模塊的第三輸出端連接，所述顯示模塊用于顯示所述測(cè)試電流和所述實(shí)際電流。

24、可選的，所述電流檢測(cè)模塊的第一輸出端包括第一接口和第二接口；

25、所述第一接口與所述電子槍線束的第一端連接，所述第二接口與所述電子槍線束的第二端連接；

26、所述第一接口和所述第二接口用于將所述測(cè)試電流傳輸至所述電子槍線束和將所述實(shí)際電流反饋至所述電流檢測(cè)模塊。

27、可選的，還包括電源接口模塊；

28、所述電源接口模塊的輸入端通過電源線與外部供電網(wǎng)絡(luò)連接，所述電源接口模塊用于將所述外部供電網(wǎng)絡(luò)提供的交流電轉(zhuǎn)換為直流電。

29、可選的，還包括警示模塊；

30、所述警示模塊與所述顯示模塊連接，所述警示模塊用于當(dāng)所述實(shí)際電流為0時(shí)發(fā)出警示信息；其中，所述警示信息包括下述至少一種：語(yǔ)音提醒、蜂鳴提醒和發(fā)光提醒。

31、根據(jù)本發(fā)明的第三方面，提供了一種電子槍線束的斷裂檢測(cè)系統(tǒng)，包括電源、待測(cè)電子槍線束以及第二方面中任一項(xiàng)所述的電子槍線束的斷裂檢測(cè)裝置。

32、本發(fā)明公開了一種電子槍線束的斷裂檢測(cè)方法、裝置及系統(tǒng)，包括調(diào)節(jié)施加至電子槍線束的測(cè)試電流；獲取電子槍線束的實(shí)際電流；根據(jù)測(cè)試電流和實(shí)際電流確定電子槍線束的斷裂程度。本發(fā)明提供了一種電子槍線束的斷裂檢測(cè)方法、裝置及系統(tǒng)，通過對(duì)電子槍線束的實(shí)際電流的檢測(cè)，將實(shí)際電流和預(yù)設(shè)電流之間的分析比對(duì)來(lái)確定電子槍線束的斷裂程度，該斷裂檢測(cè)方法不僅成本低廉、操作簡(jiǎn)單而且可以實(shí)現(xiàn)對(duì)電子槍線束斷裂程度的精準(zhǔn)檢測(cè)，還不會(huì)損壞電子槍線束。

33、應(yīng)當(dāng)理解，本部分所描述的內(nèi)容并非旨在標(biāo)識(shí)本發(fā)明的實(shí)施例的關(guān)鍵或重要特征，也不用于限制本發(fā)明的范圍。本發(fā)明的其它特征將通過以下的說(shuō)明書而變得容易理解。