1.一種復(fù)合介質(zhì)柵光敏探測(cè)器的非穩(wěn)態(tài)激勵(lì)噪聲測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，包括硬件部分和軟件部分，硬件部分包括電流電壓信號(hào)采樣分析儀、晶圓測(cè)試探針臺(tái)和非穩(wěn)態(tài)激勵(lì)函數(shù)信號(hào)發(fā)生器三個(gè)模塊；軟件部分包括任意波形文件生成程序和電流噪聲分析程序兩部分；待測(cè)對(duì)象為復(fù)合介質(zhì)柵光敏探測(cè)器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的非穩(wěn)態(tài)激勵(lì)噪聲測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，復(fù)合介質(zhì)柵光敏探測(cè)器包括控制柵電極、源電極、漏電極、襯底電極四個(gè)獨(dú)立電極。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的非穩(wěn)態(tài)激勵(lì)噪聲測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，非穩(wěn)態(tài)激勵(lì)信號(hào)函數(shù)信號(hào)發(fā)生器包括一個(gè)接收外部觸發(fā)信號(hào)的接口和一個(gè)向外發(fā)射函數(shù)信號(hào)的接口。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的非穩(wěn)態(tài)激勵(lì)噪聲測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，硬件部分按照如下的方式連接：
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的非穩(wěn)態(tài)激勵(lì)噪聲測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，軟件部分按照如下方式運(yùn)行：
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的非穩(wěn)態(tài)激勵(lì)噪聲測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，電流電壓信號(hào)采樣分析儀將控制整個(gè)測(cè)試系統(tǒng)的測(cè)試流程，同時(shí)利用測(cè)試端口采集待測(cè)的復(fù)合介質(zhì)柵光敏探測(cè)器的漏電極的電流數(shù)據(jù)，并將其保存在分析儀內(nèi)部。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的非穩(wěn)態(tài)激勵(lì)噪聲測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，任意波形文件生成程序?qū)凑諟y(cè)試需求生成指定的非穩(wěn)態(tài)激勵(lì)信號(hào)波形文件，并將該波形文件輸入到非穩(wěn)態(tài)激勵(lì)信號(hào)函數(shù)發(fā)生器中；非穩(wěn)態(tài)激勵(lì)信號(hào)函數(shù)信號(hào)發(fā)生器將在電流電壓信號(hào)采樣分析儀的控制下，按照任意波形文件中的信號(hào)波形輸出指定的函數(shù)信號(hào)，并將其偏置于復(fù)合介質(zhì)柵光敏探測(cè)器的控制柵電極上。
8.權(quán)利要求1～7任一項(xiàng)所述的復(fù)合介質(zhì)柵光敏探測(cè)器的非穩(wěn)態(tài)激勵(lì)噪聲測(cè)試系統(tǒng)的工作方法，其特征在于，所述的工作方法分為兩種，第一種為穩(wěn)態(tài)激勵(lì)電流采樣的工作方法，第二種為非穩(wěn)態(tài)激勵(lì)電流采樣的工作方法。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的工作方法，其特征在于，穩(wěn)態(tài)激勵(lì)電流采樣的工作方法，包括如下步驟：
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的工作方法，其特征在于，非穩(wěn)態(tài)激勵(lì)電流采樣的工作方法，包括如下步驟：