1.一種具有多自由度調(diào)節(jié)能力的氣浮平臺(tái)裝置，其特征在于，包括氣浮空間位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)（1）、設(shè)置于氣浮空間位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)（1）上的氣浮平臺(tái)角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)（2）以及設(shè)置于氣浮平臺(tái)角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)（2）上的承載氣?。?），所述氣浮空間位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)（1）調(diào)節(jié)承載氣浮（3）的xyz三軸空間位置，所述氣浮平臺(tái)角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)（2）調(diào)節(jié)承載氣?。?）的安裝角度；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有多自由度調(diào)節(jié)能力的氣浮平臺(tái)裝置，其特征在于，所述x軸連桿組件包括第一x軸連桿（12a）和第二x軸連桿（13a），所述第一x軸連桿（12a）的一端與機(jī)械臂平臺(tái)（18）繞x軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接，另一端與第二x軸連桿（13a）的一端繞x軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接，第二x軸連桿（13a）與x軸調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)組件繞x軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接；
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有多自由度調(diào)節(jié)能力的氣浮平臺(tái)裝置，其特征在于，所述x軸調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)組件為沿x軸設(shè)置的x軸滑臺(tái)機(jī)構(gòu)，其x軸滑臺(tái)（17a）與x軸連桿組件繞x軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接，帶動(dòng)x軸連桿組件沿x軸方向移動(dòng)；
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有多自由度調(diào)節(jié)能力的氣浮平臺(tái)裝置，其特征在于，所述氣浮平臺(tái)角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)（2）包括安裝底座（21）、旋轉(zhuǎn)底座（22）、角度調(diào)節(jié)座（23）、z軸旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)組件和球面旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)組件，所述旋轉(zhuǎn)底座（22）繞z軸轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于安裝底座（21）中，所述角度調(diào)節(jié)座（23）通過(guò)球面轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于旋轉(zhuǎn)底座（22）中，所述承載氣?。?）設(shè)置于角度調(diào)節(jié)座（23）上，所述z軸旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)組件用以驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)底座（22）在安裝底座（21）上繞z軸轉(zhuǎn)動(dòng)角度，所述球面旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)組件用以驅(qū)動(dòng)角度調(diào)節(jié)座（23）在旋轉(zhuǎn)底座（22）上的沿球面方向轉(zhuǎn)動(dòng)角度。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種具有多自由度調(diào)節(jié)能力的氣浮平臺(tái)裝置，其特征在于，所述z軸旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)組件包括若干以安裝底座（21）軸線為中心線均勻環(huán)布于安裝底座（21）上的第一磁力件（24）和若干以旋轉(zhuǎn)底座（22）軸線為中心線均勻環(huán)布于旋轉(zhuǎn)底座（22）上的第二磁力件（25），所述第一磁力件（24）和第二磁力件（25）數(shù)量相同且位置一一對(duì)應(yīng)，所述第一磁力件（24）和第二磁力件（25）其中一者為第一永磁體，另一者為第一電磁體，當(dāng)?shù)谝浑姶朋w處于通電狀態(tài)時(shí)，第一電磁體與第一永磁體發(fā)生磁力作用并驅(qū)使旋轉(zhuǎn)底座（22）繞z軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種具有多自由度調(diào)節(jié)能力的氣浮平臺(tái)裝置，其特征在于，n極朝向第一電磁體的第一永磁體和s極朝向第一電磁體的第一永磁體交錯(cuò)布置，第一電磁體通過(guò)正反向通電控制其朝向第一永磁體一端的磁極。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種具有多自由度調(diào)節(jié)能力的氣浮平臺(tái)裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)底座（22）具有凹球面（221），所述角度調(diào)節(jié)座（23）具有用以與凹球面（221）轉(zhuǎn)動(dòng)連接的凸球面（231），所述球面旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)組件包括若干設(shè)置于旋轉(zhuǎn)底座（22）的凹球面（221）上的第一磁力鏈路和若干設(shè)置于角度調(diào)節(jié)座（23）的凸球面（231）上的第二磁力鏈路；每個(gè)第一磁力鏈路均經(jīng)過(guò)旋轉(zhuǎn)底座（22）的軸線并關(guān)于旋轉(zhuǎn)底座（22）的軸線對(duì)稱分布，每個(gè)第一磁力鏈路包括若干等間距排布的第三磁力件（26），所有第一磁力鏈路等角度均勻分布于凹球面（221）上并構(gòu)成星型球面陣列；每個(gè)第二磁力鏈路均經(jīng)過(guò)角度調(diào)節(jié)座（23）的軸線并關(guān)于角度調(diào)節(jié)座（23）的軸線對(duì)稱分布，每個(gè)第二磁力鏈路包括若干等間距排布的第四磁力件（27），所有第二磁力鏈路等角度均勻分布于凸球面（231）上并構(gòu)成星型球面陣列；
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種具有多自由度調(diào)節(jié)能力的氣浮平臺(tái)裝置，其特征在于，所述永磁體組中，n極朝向第二電磁體的第二永磁體和s極朝向第二電磁體的第二永磁體交錯(cuò)布置，所述電磁體組中，第二電磁體通過(guò)正反向通電控制其朝向第二永磁體一端的磁極。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種具有多自由度調(diào)節(jié)能力的氣浮平臺(tái)裝置，其特征在于，所述承載氣?。?）具有依次連通的進(jìn)氣孔（31）、第一出氣孔（32）和第一導(dǎo)氣通道（33），所述進(jìn)氣孔（31）位于承載氣浮（3）側(cè)部，所述第一出氣孔（32）位于承載氣浮（3）上端中心位置，所述第一導(dǎo)氣通道（33）設(shè)置于承載氣?。?）上端并位于第一出氣孔（32）的周圍，所述進(jìn)氣孔（31）通氣，所述第一出氣孔（32）出氣，所述第一導(dǎo)氣通道（33）將氣體均勻吹出，使承載氣浮（3）與配重塊之間形成氣膜，從而對(duì)配重塊重力進(jìn)行平衡。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種具有多自由度調(diào)節(jié)能力的氣浮平臺(tái)裝置，其特征在于，所述角度調(diào)節(jié)座（23）上設(shè)置連通的第二出氣孔（233）和第二導(dǎo)氣通道（232），所述第二出氣孔（233）位于角度調(diào)節(jié)座（23）下端中心位置，其與承載氣?。?）的進(jìn)氣孔（31）連通，所述第二導(dǎo)氣通道（232）有若干個(gè)，均勻環(huán)布于角度調(diào)節(jié)座（23）的凸球面（231）上，角度調(diào)節(jié)座（23）通過(guò)第二出氣孔（233）和第二導(dǎo)氣通道（232）形成向下吹的氣浮，使得整個(gè)角度調(diào)節(jié)座（23）懸浮于旋轉(zhuǎn)底座（22）上。