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一種光學元件面形檢測方法及裝置

文檔序號:40586684發(fā)布日期:2025-01-07 20:26閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種光學元件面形檢測方法,其特征在于,包括:

2.如權利要求1所述的方法,其特征在于,所述根據(jù)探測器像面處的第一波前和探測器可分辨條紋的極限得到色散鏡頭的第一焦點可測量區(qū)域、第一極限測量點坐標、第一焦距以及與所述第一焦距對應的第一波長,具體包括:

3.如權利要求1所述的方法,特征在于,所述根據(jù)探測器像面處的第一波前和探測器可分辨條紋的極限得到色散鏡頭的第一焦點可測量區(qū)域之前,還包括:

4.如權利要求1所述的方法,特征在于,所述根據(jù)探測器像面處的第一波前和探測器可分辨條紋的極限得到色散鏡頭的第一焦點可測量區(qū)域之前,還包括:

5.如權利要求1所述的方法,其特征在于,所述將所述色散鏡頭設置所述待測非球面入光側(cè)對所述待測非球面進行干涉測量,得到包含所述待測非球面信息的干涉圖,具體包括:

6.如權利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一波長大于所述第二波長;所述第二波長大于所述第m波長。

7.一種光學元件面形檢測裝置,其特征在于,包括:

8.如權利要求7所述的裝置,其特征在于,所述第一得到單元具有用于:

9.一種計算機設備,其特征在于,所述計算機設備包括存儲器和處理器,所述存儲器存儲有計算機程序,所述計算機程序被所述處理器執(zhí)行時,使得所述處理器執(zhí)行如權利要求1-6任意一項所述的光學元件面形檢測方法。

10.一種計算機可讀存儲介質(zhì),其特征在于,存儲有計算機程序,所述計算機程序被處理器執(zhí)行時,使得所述處理器執(zhí)行如權利要求1-6任意一項所述的光學元件面形檢測方法。


技術總結
本發(fā)明公開了光學元件面形檢測方法及裝置,涉及光學測量領域。用于解決現(xiàn)有非球面面形檢測存在補償鏡通用性差、部分補償法動態(tài)測量范圍小以及子孔徑干涉法有機械移動誤差等問題。包括:根據(jù)相機包括的通道數(shù)量確定色散鏡頭待使用的波長的數(shù)量,根據(jù)探測器像面處的第一波前和探測器可分辨條紋的極限得到色散鏡頭的第一焦點可測量區(qū)域、第一極限測量點坐標、第一焦距以及與所述第一焦距對應的第一波長;將所述第一極限測量點坐標確定為所述色散鏡頭的第二焦點可測量區(qū)域的起始點,根據(jù)探測器像面處的第二波前和探測器可分辨條紋的極限得到色散鏡頭的第二焦點可測量區(qū)域、第二極限測量點坐標、第二焦距以及與所述第二焦距對應的第二波長;當?shù)玫剿錾㈢R頭的第M焦距,且M與所述相機包括的通道數(shù)量相等時,得到所述色散鏡頭,所述M為正整數(shù);將所述色散鏡頭設置所述待測非球面入光側(cè)對所述待測非球面進行干涉測量,得到包含所述待測非球面信息的干涉圖,對所述干涉圖進行相位提取、面形解算得到所述待測非球面的面形信息。

技術研發(fā)人員:田愛玲,蘇嘉明,劉丙才,朱學亮,王紅軍,王思淇
受保護的技術使用者:西安工業(yè)大學
技術研發(fā)日:
技術公布日:2025/1/6
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