1.一種光學元件面形檢測方法,其特征在于,包括:
2.如權利要求1所述的方法,其特征在于,所述根據(jù)探測器像面處的第一波前和探測器可分辨條紋的極限得到色散鏡頭的第一焦點可測量區(qū)域、第一極限測量點坐標、第一焦距以及與所述第一焦距對應的第一波長,具體包括:
3.如權利要求1所述的方法,特征在于,所述根據(jù)探測器像面處的第一波前和探測器可分辨條紋的極限得到色散鏡頭的第一焦點可測量區(qū)域之前,還包括:
4.如權利要求1所述的方法,特征在于,所述根據(jù)探測器像面處的第一波前和探測器可分辨條紋的極限得到色散鏡頭的第一焦點可測量區(qū)域之前,還包括:
5.如權利要求1所述的方法,其特征在于,所述將所述色散鏡頭設置所述待測非球面入光側(cè)對所述待測非球面進行干涉測量,得到包含所述待測非球面信息的干涉圖,具體包括:
6.如權利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一波長大于所述第二波長;所述第二波長大于所述第m波長。
7.一種光學元件面形檢測裝置,其特征在于,包括:
8.如權利要求7所述的裝置,其特征在于,所述第一得到單元具有用于:
9.一種計算機設備,其特征在于,所述計算機設備包括存儲器和處理器,所述存儲器存儲有計算機程序,所述計算機程序被所述處理器執(zhí)行時,使得所述處理器執(zhí)行如權利要求1-6任意一項所述的光學元件面形檢測方法。
10.一種計算機可讀存儲介質(zhì),其特征在于,存儲有計算機程序,所述計算機程序被處理器執(zhí)行時,使得所述處理器執(zhí)行如權利要求1-6任意一項所述的光學元件面形檢測方法。