本發(fā)明涉及半導體制造，特別是涉及一種燈退火機的燈管檢測結構。

背景技術：

1、近年來，可以實現快速加熱和冷卻的燈退火裝置已經被用于在半導體晶片上形成氧化物膜或氮化物膜。amat?centura快速燈退火機，因升/降溫度快，均勻性好，時間短被廣泛利用。但是其特性問題使用燈管加熱溫度高升溫速率快和跑片數量多反復給燈絲加壓會導致燈管老化加速損壞更換頻率高。

2、當燈管燈絲損壞時，機臺設備會有提示，如內圈重要zone的燈管損壞時(1-2組)會直接無法作業(yè)，外圈會顯示紅色當到一定數量后(3組)會產生報警無法作業(yè)。每次更換完損壞燈管后又會有別的燈管損壞，因為那些燈管燈絲雖然未斷但也已經老化嚴重無法長久使用影響其升溫速度，肉眼無法確認其老化問題，會加大設備維護保養(yǎng)次數以及機臺穩(wěn)定性，減少機臺uptime。

技術實現思路

1、本發(fā)明主要解決的技術問題是提供一種燈退火機的燈管檢測結構，能夠提高實時偵測其燈管狀態(tài)，工藝均勻性問題也能通過其電流排查出問題點等。

2、為解決上述技術問題，本發(fā)明采用的一個技術方案是：提供一種燈退火機的燈管檢測結構，包括燈模塊和與之電性連接的電源端，所述燈模塊包括安裝板和與之配合安裝的端蓋，所述安裝板上至少安裝有一組燈組，所述燈組和電源端的回路上設置有檢測模塊。本申請通過檢測模塊偵測燈組中燈管燈絲的老化程度，電流越低從而燈管表示燈管燈絲的老化嚴重，實現實時偵測燈組中的燈管狀態(tài)，減少設備維護保養(yǎng)次數，提升機臺運行時間。

3、還包括警示模塊，所述檢測模塊將信號輸送到所述警示模塊。當檢測模塊監(jiān)測到燈管的電流異常信號輸送到警示模塊，警示模塊提示操作人員進行更換燈管。

4、所述燈組外罩有燈罩，所述燈罩外端口安裝有密封模塊。

5、所述密封模塊包括夾緊環(huán)、窗體，所述窗體通過所述夾緊環(huán)固定于所述燈罩外端口。

6、所述燈罩與所述夾緊環(huán)之間安裝有密封件。

7、還包括與所述燈模塊配合的工作模塊，所述工作模塊包括室底板，所述室底板上設置有向下凹的反射室，所述反射室形狀與所述燈罩的形狀相同。

8、所述安裝板上安裝有多個燈管，燈管以蜂窩狀布置。

9、至少一圈所述燈管為一組燈組，每組燈組分別連接一所述檢測模塊。由于檢測模塊分別與每組燈組連接，可分別監(jiān)測每組燈組的電流變化，不需要將全部的燈管進行更換。

10、所述檢測模塊包括燈管電流表?？梢詡蓽y其燈管燈絲的老化程度，電流越低從而燈管老化嚴重可以一起更換。實時偵測其燈管狀態(tài)，工藝均勻性問題也能通過其電流排查出問題點等。

11、所述檢測模塊還包括燈管電流顯示器，所述燈管電流顯示器與所述燈管電流表電性連接。

12、本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明的一種燈退火機的燈管檢測結構，能夠實時偵測其燈管狀態(tài)，工藝均勻性問題也能通過其電流排查出問題點等。

技術特征：

1.一種燈退火機的燈管檢測結構，其特征在于，包括燈模塊和與之電性連接的電源端，所述燈模塊包括安裝板和與之配合安裝的端蓋，所述安裝板上至少安裝有一組燈組，所述燈組和電源端的回路上設置有檢測模塊。

2.根據權利要求1所述的燈退火機的燈管檢測結構，其特征在于，還包括警示模塊，所述檢測模塊將信號輸送到所述警示模塊。

3.根據權利要求1所述的燈退火機的燈管檢測結構，其特征在于，所述燈組外罩有燈罩，所述燈罩外端口安裝有密封模塊。

4.根據權利要求3所述的燈退火機的燈管檢測結構，其特征在于，所述密封模塊包括夾緊環(huán)、窗體，所述窗體通過所述夾緊環(huán)固定于所述燈罩外端口。

5.根據權利要求4所述的燈退火機的燈管檢測結構，其特征在于，所述燈罩與所述夾緊環(huán)之間安裝有密封件。

6.根據權利要求3所述的燈退火機的燈管檢測結構，其特征在于，還包括與所述燈模塊配合的工作模塊，所述工作模塊包括室底板，所述室底板上設置有向下凹的反射室，所述反射室形狀與所述燈罩的形狀相同。

7.根據權利要求1所述的燈退火機的燈管檢測結構，其特征在于，所述安裝板上安裝有多個燈管，燈管以蜂窩狀布置。

8.根據權利要求7所述的燈退火機的燈管檢測結構，其特征在于，至少一圈所述燈管為一區(qū)域，區(qū)域內燈管2個為1組，每區(qū)域燈組分別連接一所述檢測模塊。

9.根據權利要求8所述的燈退火機的燈管檢測機構，其特征在于，所述檢測模塊包括燈管電流表。

10.根據權利要求9所述的燈退火機的燈管檢測機構，其特征在于，所述檢測模塊還包括燈管電流顯示器，所述燈管電流顯示器與所述燈管電流表電性連接。

技術總結
本發(fā)明公開了一種燈退火機的燈管檢測結構，包括燈模塊和與之電性連接的電源端，所述燈模塊包括安裝板和與之配合安裝的端蓋，所述安裝板上至少安裝有一組燈組，所述燈組和電源端的回路上設置有檢測模塊。通過上述方式，本發(fā)明能夠偵測其燈管燈絲的老化程度，電流越低從而燈管老化嚴重可以一起更換，實時偵測其燈管狀態(tài)，工藝均勻性問題也能通過其電流排查出問題點等。

技術研發(fā)人員：張勇
受保護的技術使用者：上海新微技術研發(fā)中心有限公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2024/12/30