本發(fā)明涉及探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)，具體涉及一種用于探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)的高隔離度電磁屏蔽裝置。

背景技術(shù)：

1、晶圓在片測(cè)試是半導(dǎo)體制造行業(yè)所必須采用的測(cè)試方法，探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)是用于半導(dǎo)體器件測(cè)試的重要設(shè)備之一，主要用于晶圓級(jí)別的測(cè)試。這種系統(tǒng)允許用戶在晶圓上直接對(duì)單個(gè)裸芯片進(jìn)行電氣性能測(cè)試，而無(wú)需先將其封裝成成品。這對(duì)于早期發(fā)現(xiàn)問(wèn)題、提高良率以及優(yōu)化生產(chǎn)工藝至關(guān)重要。

2、在現(xiàn)有技術(shù)中，由于測(cè)試信號(hào)易受到外面無(wú)線電磁信號(hào)的干擾對(duì)測(cè)試結(jié)果產(chǎn)生偏差，為了進(jìn)一步提高測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確度需要在測(cè)試時(shí)給探針臺(tái)安裝屏蔽機(jī)構(gòu)。

3、但是上述探針臺(tái)屏蔽機(jī)構(gòu)在使用的過(guò)程中仍然存在以下缺陷：

4、在使用探針進(jìn)行晶圓測(cè)試的過(guò)程中，為了調(diào)整探針的位置以精確測(cè)試不同的點(diǎn)位，通常需要在探針臺(tái)的屏蔽罩與探針測(cè)試設(shè)備之間留有一定的空隙；盡管這一設(shè)計(jì)為探針移動(dòng)提供了必要的避讓空間，但它同時(shí)也破壞了屏蔽罩的完整封閉狀態(tài)，從而降低了系統(tǒng)的電磁密封性能，最終影響整體的屏蔽效果。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了克服上述的技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供一種用于探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)的高隔離度電磁屏蔽裝置，用來(lái)解決上述背景技術(shù)中提出的現(xiàn)有屏蔽罩上為了給探針測(cè)試位置提供避讓空間而設(shè)置的空隙影響了電磁屏蔽效果的問(wèn)題。

2、本發(fā)明的目的可以通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

3、一種用于探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)的高隔離度電磁屏蔽裝置，包括設(shè)置于探針臺(tái)上的屏蔽罩；所述屏蔽罩內(nèi)設(shè)置有安裝座，所述安裝座上設(shè)置有用于測(cè)試晶圓的探針；所述屏蔽罩與安裝座之間設(shè)置有用于調(diào)節(jié)探針位置的位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；所述位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括：

4、前后調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述前后調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)置于屏蔽罩和安裝座之間；所述前后調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)用于前后調(diào)節(jié)探針；

5、上下調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述上下調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)置于安裝座；所述上下調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)用于上下調(diào)節(jié)探針；

6、以及轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)置于探針臺(tái)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)晶圓沿其圓心自轉(zhuǎn)，以調(diào)節(jié)探針與晶圓上測(cè)試點(diǎn)之間的位置。

7、優(yōu)選的，所述前后調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括第一安裝板和外螺紋套；所述第一安裝板安裝于屏蔽罩的內(nèi)壁，所述外螺紋套螺紋連接于第一安裝板，所述外螺紋套的一端沿其軸線轉(zhuǎn)動(dòng)連接于安裝座，所述外螺紋套的另一端延伸至屏蔽罩的外側(cè)；

8、所述第一安裝板與安裝座之間設(shè)置有第一伸縮桿，所述第一伸縮桿上設(shè)置有第一壓縮彈簧。

9、優(yōu)選的，所述上下調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括安裝塊、螺紋桿、第一導(dǎo)向機(jī)構(gòu)以及多個(gè)滾珠；所述安裝塊滑動(dòng)連接于安裝座，所述螺紋桿同軸螺紋插接于外螺紋套，所述安裝塊上開(kāi)設(shè)有第一導(dǎo)向孔，所述螺紋桿的一端插接于第一導(dǎo)向孔，所述安裝座上開(kāi)設(shè)有第二導(dǎo)向孔，且所述第一導(dǎo)向孔與第二導(dǎo)向孔連通，多個(gè)所述滾珠設(shè)置于第一導(dǎo)向孔和第二導(dǎo)向孔內(nèi)，且相鄰所述滾珠之間相互抵觸；所述第一導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)置于安裝塊與安裝座之間，所述第一導(dǎo)向機(jī)構(gòu)用于當(dāng)安裝塊與安裝座遠(yuǎn)離時(shí)，為滾珠的移動(dòng)提供導(dǎo)向。

10、優(yōu)選的，所述第一導(dǎo)向機(jī)構(gòu)包括第二壓縮彈簧和至少三個(gè)第二伸縮桿；所述第二伸縮桿設(shè)置于安裝塊與安裝座之間，且至少三個(gè)所述第二伸縮桿沿第二導(dǎo)向孔的軸線圓周等間距設(shè)置；

11、所述第二伸縮桿的側(cè)壁上設(shè)置有凹槽；當(dāng)?shù)诙炜s桿與滾珠相抵觸時(shí)，所述凹槽與滾珠相適配。

12、優(yōu)選的，所述安裝座上設(shè)置有滑軌，所述滑軌的方向與安裝座上下移動(dòng)方向平行；所述第一安裝板上設(shè)置有第三伸縮桿，所述第三伸縮桿的輸出端與滑軌連接。

13、優(yōu)選的，所述轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括載物盤(pán)和電機(jī)；所述載物盤(pán)沿其軸線轉(zhuǎn)動(dòng)連接于探針臺(tái)，所述載物盤(pán)設(shè)置于屏蔽罩的內(nèi)部，且晶圓放置于載物盤(pán)，所述探針臺(tái)上安裝有電機(jī)，所述電機(jī)的輸出端與載物盤(pán)同軸連接。

14、優(yōu)選的，所述屏蔽罩的頂端開(kāi)設(shè)有通孔；所述通孔用于為顯微鏡觀察提供錯(cuò)位空間。

15、優(yōu)選的，所述屏蔽罩上設(shè)置有第一屏蔽機(jī)構(gòu)，所述第一屏蔽機(jī)構(gòu)用于對(duì)通孔進(jìn)行遮擋；在第一屏蔽機(jī)構(gòu)保持電磁屏蔽狀態(tài)不變的情況下允許顯微鏡穿過(guò)通孔向屏蔽罩內(nèi)伸入觀察晶圓測(cè)試狀態(tài)。

16、優(yōu)選的，所述第一屏蔽機(jī)構(gòu)包括金屬濾網(wǎng)和拉力控制機(jī)構(gòu)，所述金屬濾網(wǎng)為柔性結(jié)構(gòu)，所述拉力控制機(jī)構(gòu)設(shè)置于金屬濾網(wǎng)與屏蔽罩之間；當(dāng)顯微鏡向上移動(dòng)與金屬濾網(wǎng)分離時(shí)，所述拉力控制機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)金屬濾網(wǎng)恢復(fù)狀態(tài)。

17、優(yōu)選的，所述拉力控制機(jī)構(gòu)包括多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)塊和連接繩；多個(gè)所述轉(zhuǎn)動(dòng)塊轉(zhuǎn)動(dòng)連接于屏蔽罩，每個(gè)所述連接繩均呈渦旋狀纏繞于轉(zhuǎn)動(dòng)塊，且所述連接繩的兩端均與金屬濾網(wǎng)連接；所述屏蔽罩和每個(gè)所述轉(zhuǎn)動(dòng)塊之間均設(shè)置有扭力彈簧；當(dāng)顯微鏡與金屬濾網(wǎng)分離時(shí)，所述扭力彈簧用于驅(qū)動(dòng)金屬濾網(wǎng)自動(dòng)復(fù)位；

18、所述轉(zhuǎn)動(dòng)塊上設(shè)置有第二安裝板，所述轉(zhuǎn)動(dòng)塊與屏蔽罩之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有導(dǎo)向輪；所述導(dǎo)向輪用于為連接繩的運(yùn)動(dòng)提供導(dǎo)向。

19、本發(fā)明的有益效果：

20、1、通過(guò)將位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和探針設(shè)置于屏蔽罩的內(nèi)部，使得在不影響對(duì)探針位置調(diào)節(jié)的同時(shí)，使得屏蔽罩整體形成相對(duì)密封結(jié)構(gòu)，可有效提高電磁屏蔽度，提高晶圓探針測(cè)試探針結(jié)果的準(zhǔn)確度，提高測(cè)試效率；

21、2、通過(guò)設(shè)置前后調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、上下調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，形成對(duì)探針位置的調(diào)節(jié)，使得只需轉(zhuǎn)動(dòng)暴露于設(shè)置于屏蔽罩外側(cè)的外螺紋套和螺紋桿，即可調(diào)節(jié)探針的位置，使得在不影響對(duì)探針位置調(diào)節(jié)的同時(shí)，提高屏蔽罩的電磁屏蔽效果；

22、3、通過(guò)設(shè)置第一屏蔽機(jī)構(gòu)，形成對(duì)屏蔽罩上通孔的隔離結(jié)構(gòu)，使得在不影響顯微鏡對(duì)晶圓待測(cè)位置處觀察的同時(shí)，進(jìn)一步提高屏蔽罩整體電磁屏蔽效果，提高測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確度。

技術(shù)特征：

1.一種用于探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)的高隔離度電磁屏蔽裝置，包括設(shè)置于探針臺(tái)(1)上的屏蔽罩(2)；其特征在于，所述屏蔽罩(2)內(nèi)設(shè)置有安裝座(3)，所述安裝座(3)上設(shè)置有用于測(cè)試晶圓的探針(4)；所述屏蔽罩(2)與安裝座(3)之間設(shè)置有位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(5)；所述位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(5)包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)的高隔離度電磁屏蔽裝置，其特征在于，所述前后調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(51)包括第一安裝板(511)和外螺紋套(512)；所述第一安裝板(511)安裝于屏蔽罩(2)的內(nèi)壁，所述外螺紋套(512)螺紋連接于第一安裝板(511)，所述外螺紋套(512)的一端沿其軸線轉(zhuǎn)動(dòng)連接于安裝座(3)，所述外螺紋套(512)的另一端延伸至屏蔽罩(2)的外側(cè)；

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)的高隔離度電磁屏蔽裝置，其特征在于，所述上下調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(52)包括安裝塊(521)、螺紋桿(522)、第一導(dǎo)向機(jī)構(gòu)以及多個(gè)滾珠(525)；所述安裝塊(521)滑動(dòng)連接于安裝座(3)，所述螺紋桿(522)同軸螺紋插接于外螺紋套(512)，所述安裝塊(521)上開(kāi)設(shè)有第一導(dǎo)向孔(523)，所述螺紋桿(522)的一端插接于第一導(dǎo)向孔(523)，所述安裝座(3)上開(kāi)設(shè)有第二導(dǎo)向孔(524)，且所述第一導(dǎo)向孔(523)與第二導(dǎo)向孔(524)連通，多個(gè)所述滾珠(525)設(shè)置于第一導(dǎo)向孔(523)和第二導(dǎo)向孔(524)內(nèi)，且相鄰所述滾珠(525)之間相互抵觸；所述第一導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)置于安裝塊(521)與安裝座(3)之間，所述第一導(dǎo)向機(jī)構(gòu)用于當(dāng)安裝塊(521)與安裝座(3)遠(yuǎn)離時(shí)，為滾珠(525)的移動(dòng)提供導(dǎo)向。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)的高隔離度電磁屏蔽裝置，其特征在于，所述第一導(dǎo)向機(jī)構(gòu)包括第二壓縮彈簧(527)和至少三個(gè)第二伸縮桿(526)；所述第二伸縮桿(526)設(shè)置于安裝塊(521)與安裝座(3)之間，且至少三個(gè)所述第二伸縮桿(526)沿第二導(dǎo)向孔(524)的軸線圓周等間距設(shè)置；

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)的高隔離度電磁屏蔽裝置，其特征在于，所述安裝座(3)上設(shè)置有滑軌(528)，所述滑軌(528)的方向與安裝座(3)上下移動(dòng)方向平行；所述第一安裝板(511)上設(shè)置有第三伸縮桿(529)，所述第三伸縮桿(529)的輸出端與滑軌(528)連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)的高隔離度電磁屏蔽裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(53)包括載物盤(pán)(531)和電機(jī)(532)；所述載物盤(pán)(531)沿其軸線轉(zhuǎn)動(dòng)連接于探針臺(tái)(1)，所述載物盤(pán)(531)設(shè)置于屏蔽罩(2)的內(nèi)部，且晶圓放置于載物盤(pán)(531)，所述探針臺(tái)(1)上安裝有電機(jī)(532)，所述電機(jī)(532)的輸出端與載物盤(pán)(531)同軸連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)的高隔離度電磁屏蔽裝置，其特征在于，所述屏蔽罩(2)的頂端開(kāi)設(shè)有通孔(6)；所述通孔(6)用于為顯微鏡觀察提供錯(cuò)位空間。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種用于探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)的高隔離度電磁屏蔽裝置，其特征在于，所述屏蔽罩(2)上設(shè)置有第一屏蔽機(jī)構(gòu)(7)，所述第一屏蔽機(jī)構(gòu)(7)用于對(duì)通孔(6)進(jìn)行遮擋；在第一屏蔽機(jī)構(gòu)(7)保持電池屏蔽狀態(tài)不變的情況下允許顯微鏡穿過(guò)通孔(6)向屏蔽罩(2)內(nèi)伸入觀察晶圓測(cè)試狀態(tài)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種用于探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)的高隔離度電磁屏蔽裝置，其特征在于，所述第一屏蔽機(jī)構(gòu)(7)包括金屬濾網(wǎng)(71)和拉力控制機(jī)構(gòu)(72)，所述金屬濾網(wǎng)(71)為柔性結(jié)構(gòu)，所述拉力控制機(jī)構(gòu)(72)設(shè)置于金屬濾網(wǎng)(71)與屏蔽罩(2)之間；當(dāng)顯微鏡向上移動(dòng)與金屬濾網(wǎng)(71)分離時(shí)，所述拉力控制機(jī)構(gòu)(72)用于驅(qū)動(dòng)金屬濾網(wǎng)(71)回復(fù)狀態(tài)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種用于探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)的高隔離度電磁屏蔽裝置，其特征在于，所述拉力控制機(jī)構(gòu)(72)包括多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)塊(722)和連接繩(723)；多個(gè)所述轉(zhuǎn)動(dòng)塊(722)轉(zhuǎn)動(dòng)連接于屏蔽罩(2)，每個(gè)所述連接繩(723)均呈渦旋狀纏繞于轉(zhuǎn)動(dòng)塊(722)，且所述連接繩(723)的兩端均與金屬濾網(wǎng)(71)連接；所述屏蔽罩(2)和每個(gè)所述轉(zhuǎn)動(dòng)塊(722)之間均設(shè)置有扭力彈簧；當(dāng)顯微鏡與金屬濾網(wǎng)(71)分離時(shí)，所述扭力彈簧用于驅(qū)動(dòng)金屬濾網(wǎng)(71)自動(dòng)復(fù)位；

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種用于探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)的高隔離度電磁屏蔽裝置，涉及探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域，包括設(shè)置于探針臺(tái)上的屏蔽罩；屏蔽罩內(nèi)設(shè)置有安裝座，安裝座上設(shè)置有用于測(cè)試晶圓的探針；屏蔽罩與安裝座之間設(shè)置有用于調(diào)節(jié)探針位置的位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括：前后調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，前后調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)置于屏蔽罩和安裝座之間；前后調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)用于前后調(diào)節(jié)探針；上下調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)以及轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。本發(fā)明通過(guò)將位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)和探針設(shè)置于屏蔽罩的內(nèi)部，使得在不影響對(duì)探針位置調(diào)節(jié)的同時(shí)，使得屏蔽罩整體形成相對(duì)密封結(jié)構(gòu)，可有效提高電磁屏蔽度，提高晶圓探針測(cè)試探針結(jié)果的準(zhǔn)確度，提高測(cè)試效率。

技術(shù)研發(fā)人員：成士其
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技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9