1.一種測量半導體薄膜材料第一電子親和勢的方法,其特征在于,包括以下步驟:
2.根據權利要求1所述的一種測量半導體薄膜材料第一電子親和勢的方法,其特征在于,所述真空紫外光電子能譜系統(tǒng)所用光源為紫外光,能量為21.22?ev;所述反光電子能譜系統(tǒng)的所用電子加速電壓可調連續(xù)能量為5~50?ev。
3.根據權利要求1所述的一種測量半導體薄膜材料第一電子親和勢的方法,其特征在于,所述校準完后的費米能級ef為0?ev,正方向指向芯能級。
4.根據權利要求1所述的一種測量半導體薄膜材料第一電子親和勢的方法,其特征在于,所述標定步驟中的所述標準樣品為純金屬ni。
5.根據權利要求2所述的一種測量半導體薄膜材料第一電子親和勢的方法,其特征在于,所述測試步驟中,應用真空紫外光電子能譜系統(tǒng),采集待測半導體薄膜材料的紫外光電子能譜譜圖,進行二次電子截止邊位置的測定時施加-5~-10?ev的偏壓p。
6.根據權利要求1所述的一種測量半導體薄膜材料第一電子親和勢的方法,其特征在于,所述測試步驟中獲得其相對于費米能級ef的二次電子截止邊能量位置ecut-off,包括:
7.根據權利要求5所述的一種測量半導體薄膜材料第一電子親和勢的方法,其特征在于,所述功函數wf為電子從費米能級到達真空能級evac所需最小能量,wf=21.22-[ecut-off-p]。
8.根據權利要求1所述的一種測量半導體薄膜材料第一電子親和勢的方法,其特征在于,所述測試步驟中獲得其相對于費米能級ef的導帶底位置ecbm或最低未占據分子軌道位置elumo;包括: