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一種測量半導體薄膜材料第一電子親和勢的方法

文檔序號:40572939發(fā)布日期:2025-01-03 11:35閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種測量半導體薄膜材料第一電子親和勢的方法,其特征在于,包括以下步驟:

2.根據權利要求1所述的一種測量半導體薄膜材料第一電子親和勢的方法,其特征在于,所述真空紫外光電子能譜系統(tǒng)所用光源為紫外光,能量為21.22?ev;所述反光電子能譜系統(tǒng)的所用電子加速電壓可調連續(xù)能量為5~50?ev。

3.根據權利要求1所述的一種測量半導體薄膜材料第一電子親和勢的方法,其特征在于,所述校準完后的費米能級ef為0?ev,正方向指向芯能級。

4.根據權利要求1所述的一種測量半導體薄膜材料第一電子親和勢的方法,其特征在于,所述標定步驟中的所述標準樣品為純金屬ni。

5.根據權利要求2所述的一種測量半導體薄膜材料第一電子親和勢的方法,其特征在于,所述測試步驟中,應用真空紫外光電子能譜系統(tǒng),采集待測半導體薄膜材料的紫外光電子能譜譜圖,進行二次電子截止邊位置的測定時施加-5~-10?ev的偏壓p。

6.根據權利要求1所述的一種測量半導體薄膜材料第一電子親和勢的方法,其特征在于,所述測試步驟中獲得其相對于費米能級ef的二次電子截止邊能量位置ecut-off,包括:

7.根據權利要求5所述的一種測量半導體薄膜材料第一電子親和勢的方法,其特征在于,所述功函數wf為電子從費米能級到達真空能級evac所需最小能量,wf=21.22-[ecut-off-p]。

8.根據權利要求1所述的一種測量半導體薄膜材料第一電子親和勢的方法,其特征在于,所述測試步驟中獲得其相對于費米能級ef的導帶底位置ecbm或最低未占據分子軌道位置elumo;包括:


技術總結
本發(fā)明公開了一種測量半導體薄膜材料第一電子親和勢的方法,屬于表界面分析領域,該測量方法包括:標定步驟、測試步驟和計算步驟。該方法在主超高真空室中搭載真空紫外光電子能譜系統(tǒng)和反光電子能譜系統(tǒng),通過將紫外光電子能譜技術和反光電子能譜技術相結合,不僅能獲得相對于費米能級的二次電子截止邊能量位置以及功函數,還可以獲得導帶底位置或獲得最低未占據分子軌道位置,而且通過計算進一步獲得半導體薄膜材料的第一電子親和勢數值,該測量方法便捷、操作過程簡單、準確度高、普適性強。

技術研發(fā)人員:王珊珊,杜建新,朱城,彭紹春,于曉勇,高培峰,張鵬翔,張用桐,蔣浩然
受保護的技術使用者:北京理工大學
技術研發(fā)日:
技術公布日:2025/1/2
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