本技術(shù)涉及功率半導(dǎo)體測(cè)試領(lǐng)域,具體為一種高溫下電流測(cè)量裝置。
背景技術(shù):
1、在功率半導(dǎo)體測(cè)試領(lǐng)域,高溫測(cè)試作為必不可少的一階段,對(duì)被測(cè)產(chǎn)品的性能檢查具有重要意義,而在高溫測(cè)試過(guò)程中,如何保證檢測(cè)設(shè)備的的可靠性尤其重要。
2、電流互感器具有在電力系統(tǒng)的電能計(jì)量、繼電保護(hù)、自動(dòng)控制等裝置中將大電流變換成小電流的功能,其工作的可靠性對(duì)整個(gè)電力系統(tǒng)的安全運(yùn)行具有非常重要的意義;但普通電流互感器在高溫環(huán)境中測(cè)試,高溫會(huì)影響電能測(cè)試數(shù)據(jù)的精確性;此外,被測(cè)產(chǎn)品各處溫度不均勻,也會(huì)導(dǎo)致電能測(cè)量數(shù)據(jù)的精確性降低。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于如何提高測(cè)量數(shù)據(jù)的精確性。
2、本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)手段實(shí)現(xiàn)解決上述技術(shù)問(wèn)題的:
3、一種高溫下電流測(cè)量裝置,包括上加熱模塊(1)、連接模塊(2)、測(cè)量模塊(3)、下加熱模塊(4)、絕緣板(5);所述上加熱模塊(1)、測(cè)量模塊(3)、下加熱模塊(4)通過(guò)連接模塊(2)依次進(jìn)行連接固定,絕緣板(5)設(shè)置在連接模塊(2)與測(cè)量模塊(3)之間;所述上加熱模塊(1)、下加熱模塊(4)內(nèi)均設(shè)置有加熱器(13)、熱電偶(16),所述熱電偶(16)、加熱器(13)與上位機(jī)、溫控器電性連接。
4、有益效果:通過(guò)上加熱模塊、連接模塊、測(cè)量模塊、下加熱模塊、絕緣板的設(shè)置,上加熱模塊、下加熱模塊內(nèi)均設(shè)置有加熱器、熱電偶,熱電偶、加熱器與上位機(jī)、溫控器電性連接,熱電偶檢測(cè)溫度,發(fā)送數(shù)據(jù)至上位機(jī),上位機(jī)接受溫度情況下達(dá)指令調(diào)試溫控器,溫控器控制加熱器,實(shí)現(xiàn)溫度控制,有效提高了電能測(cè)量數(shù)據(jù)的精確性。
5、進(jìn)一步的,所述測(cè)量模塊(3)放置在下加熱模塊(4)上,所述連接模塊(2)與下加熱模塊(4)進(jìn)行連接,所述上加熱模塊(1)通過(guò)絕緣板(5)與下加熱模塊(4)進(jìn)行連接,所述上加熱模塊(1)與下加熱模塊(4)將測(cè)量模塊(3)夾緊。
6、進(jìn)一步的,所述上加熱模塊(1)包括上加熱板(11)、加熱器石英管(12)、加熱器(13)、彈簧(14)、封板(17);所述上加熱板(11)內(nèi)沿著x軸間隔貫穿固定有多個(gè)加熱器石英管(12),各所述加熱器石英管(12)內(nèi)均安裝有加熱器(13),各所述加熱器(13)的左右兩端均固定有彈簧(14),通過(guò)左右兩側(cè)的所述封板(17)進(jìn)行夾緊固定,將加熱器(13)擠緊。
7、有益效果:通過(guò)上加熱板、加熱器石英管、加熱器、彈簧、封板的相互配合,上加熱模塊內(nèi)的加熱器均勻分布,保證在加熱時(shí)整個(gè)平面的熱量分布均勻,加熱器的兩端安裝有彈簧,夾持著加熱器,使加熱器處于穩(wěn)定居中狀態(tài),實(shí)現(xiàn)溫度均勻性;加熱器與熱電偶上套有石英管,增加耐壓性能,保證高電壓情況下工作穩(wěn)定。
8、進(jìn)一步的,所述上加熱模塊(1)還包括熱電偶石英管(15)、熱電偶(16),所述上加熱板(11)左右兩側(cè)內(nèi)均固定有熱電偶石英管(15),所述熱電偶石英管(15)內(nèi)均固定有熱電偶(16)。
9、進(jìn)一步的,所述上加熱板(11)左側(cè)安裝有一個(gè)熱電偶石英管(15),所述上加熱板(11)右側(cè)安裝有兩個(gè)熱電偶石英管(15),各所述熱電偶石英管(15)內(nèi)均固定有熱電偶(16)。
10、進(jìn)一步的,所述上加熱模塊(1)還包括第一固定板(18),所述第一固定板(18)設(shè)置有兩個(gè),分別固定在上加熱板(11)的前后側(cè),所述第一固定板(18)固定在連接模塊(2)的頂壁上。
11、進(jìn)一步的,所述下加熱模塊(4)的結(jié)構(gòu)與上加熱模塊(1)相同。
12、進(jìn)一步的,所述絕緣板(5)設(shè)置有兩個(gè),分別固定在第一固定板(18)內(nèi)側(cè)的底部。
13、進(jìn)一步的,所述連接模塊(2)包括連接板(21)、連接件(22);所述連接板(21)為中部貫空設(shè)置,中部貫空的尺寸略大于測(cè)量模塊(3)的尺寸,所述連接板(21)底壁前后側(cè)靠近中部貫空處均沿著x軸固定有多個(gè)連接件(22),所述連接件(22)的自由端固定在下加熱模塊(4)上。
14、進(jìn)一步的,所述測(cè)量模塊(3)包括隔熱上板(31)、隔熱下板(32)、電流互感器(33)、過(guò)流銅柱(34)、萬(wàn)向氣嘴(35);所述隔熱下板(32)的中部外圍開(kāi)設(shè)有第一凹槽(321),所述第一凹槽(321)的兩角處均固定有萬(wàn)向氣嘴(35),所述第一凹槽(321)的主體內(nèi)固定有電流互感器(33),所述隔熱下板(32)的中部貫通開(kāi)設(shè)有第二凹槽,所述第二凹槽內(nèi)固定有過(guò)流銅柱(34),所述隔熱下板(32)的頂壁上固定有隔熱上板(31),所述電流互感器(33)、過(guò)流銅柱(34)、萬(wàn)向氣嘴(35)夾在隔熱下板(32)與隔熱上板(31)之間,所述隔熱上板(31)靠近過(guò)流銅柱(34)處貫通開(kāi)設(shè)有開(kāi)孔(311),所述過(guò)流銅柱(34)貫通穿過(guò)電流互感器(33)、隔熱下板(32)、隔熱上板(31)上的孔槽;所述電流互感器(33)與上位機(jī)電連接。
15、有益效果:通過(guò)隔熱上板、隔熱下板、電流互感器、過(guò)流銅柱、萬(wàn)向氣嘴的相互配合,電流互感器上下具有非金屬材質(zhì)的隔熱板,隔熱板開(kāi)有橫豎交錯(cuò)槽位,通過(guò)萬(wàn)向氣嘴進(jìn)行散熱,中間穿過(guò)過(guò)流銅柱,保證過(guò)流能力又防止高溫對(duì)測(cè)量影響,進(jìn)一步保證電能測(cè)量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。
16、本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于:
17、本實(shí)用新型通過(guò)上加熱模塊、連接模塊、測(cè)量模塊、下加熱模塊、絕緣板的設(shè)置,上加熱模塊、下加熱模塊內(nèi)均設(shè)置有加熱器、熱電偶,熱電偶、加熱器與上位機(jī)、溫控器電性連接,熱電偶檢測(cè)溫度,發(fā)送數(shù)據(jù)至上位機(jī),上位機(jī)接受溫度情況下達(dá)指令調(diào)試溫控器,溫控器控制加熱器,實(shí)現(xiàn)溫度控制,有效提高了測(cè)量數(shù)據(jù)的精確性。
18、本實(shí)用新型通過(guò)上加熱板、加熱器石英管、加熱器、彈簧、封板的相互配合,上加熱模塊內(nèi)的加熱器均勻分布,保證在加熱時(shí)整個(gè)平面的熱量分布均勻,加熱器的兩端安裝有彈簧,夾持著加熱器,使加熱器處于穩(wěn)定居中狀態(tài),實(shí)現(xiàn)溫度均勻性;加熱器與熱電偶上套有石英管,增加耐壓性能,保證高電壓情況下工作穩(wěn)定。
19、本實(shí)用新型通過(guò)隔熱上板、隔熱下板、電流互感器、過(guò)流銅柱、萬(wàn)向氣嘴的相互配合,電流互感器上下具有非金屬材質(zhì)的隔熱板,隔熱板開(kāi)有橫豎交錯(cuò)槽位,通過(guò)萬(wàn)向氣嘴進(jìn)行散熱,中間穿過(guò)過(guò)流銅柱,保證過(guò)流能力又防止高溫對(duì)測(cè)量影響。
1.一種高溫下電流測(cè)量裝置,其特征在于,包括上加熱模塊(1)、連接模塊(2)、測(cè)量模塊(3)、下加熱模塊(4)、絕緣板(5);
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高溫下電流測(cè)量裝置,其特征在于:所述測(cè)量模塊(3)放置在下加熱模塊(4)上,所述連接模塊(2)與下加熱模塊(4)進(jìn)行連接,所述上加熱模塊(1)通過(guò)絕緣板(5)與下加熱模塊(4)進(jìn)行連接,所述上加熱模塊(1)與下加熱模塊(4)將測(cè)量模塊(3)夾緊。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高溫下電流測(cè)量裝置,其特征在于:所述上加熱模塊(1)包括上加熱板(11)、加熱器石英管(12)、加熱器(13)、彈簧(14)、封板(17);所述上加熱板(11)內(nèi)沿著x軸間隔貫穿固定有多個(gè)加熱器石英管(12),各所述加熱器石英管(12)內(nèi)均安裝有加熱器(13),各所述加熱器(13)的左右兩端均固定有彈簧(14),通過(guò)左右兩側(cè)的所述封板(17)進(jìn)行夾緊固定,將加熱器(13)擠緊。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種高溫下電流測(cè)量裝置,其特征在于:所述上加熱模塊(1)還包括熱電偶石英管(15)、熱電偶(16),所述上加熱板(11)左右兩側(cè)內(nèi)均固定有熱電偶石英管(15),所述熱電偶石英管(15)內(nèi)均固定有熱電偶(16)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種高溫下電流測(cè)量裝置,其特征在于:所述上加熱板(11)左側(cè)安裝有一個(gè)熱電偶石英管(15),所述上加熱板(11)右側(cè)安裝有兩個(gè)熱電偶石英管(15),各所述熱電偶石英管(15)內(nèi)均固定有熱電偶(16)。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種高溫下電流測(cè)量裝置,其特征在于:所述上加熱模塊(1)還包括第一固定板(18),所述第一固定板(18)設(shè)置有兩個(gè),分別固定在上加熱板(11)的前后側(cè),所述第一固定板(18)固定在連接模塊(2)的頂壁上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一所述的一種高溫下電流測(cè)量裝置,其特征在于:所述下加熱模塊(4)的結(jié)構(gòu)與上加熱模塊(1)相同。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種高溫下電流測(cè)量裝置,其特征在于:所述絕緣板(5)設(shè)置有兩個(gè),分別固定在第一固定板(18)內(nèi)側(cè)的底部。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高溫下電流測(cè)量裝置,其特征在于:所述連接模塊(2)包括連接板(21)、連接件(22);所述連接板(21)為中部貫空設(shè)置,中部貫空的尺寸大于測(cè)量模塊(3)的尺寸,所述連接板(21)底壁前后側(cè)靠近中部貫空處均沿著x軸固定有多個(gè)連接件(22),所述連接件(22)的自由端固定在下加熱模塊(4)上。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高溫下電流測(cè)量裝置,其特征在于:所述測(cè)量模塊(3)包括隔熱上板(31)、隔熱下板(32)、電流互感器(33)、過(guò)流銅柱(34)、萬(wàn)向氣嘴(35);所述隔熱下板(32)的中部外圍開(kāi)設(shè)有第一凹槽(321),所述第一凹槽(321)的兩角處均固定有萬(wàn)向氣嘴(35),所述第一凹槽(321)的主體內(nèi)固定有電流互感器(33),所述隔熱下板(32)的中部貫通開(kāi)設(shè)有第二凹槽,所述第二凹槽內(nèi)固定有過(guò)流銅柱(34),所述隔熱下板(32)的頂壁上固定有隔熱上板(31),所述電流互感器(33)、過(guò)流銅柱(34)、萬(wàn)向氣嘴(35)夾在隔熱下板(32)與隔熱上板(31)之間,所述隔熱上板(31)靠近過(guò)流銅柱(34)處貫通開(kāi)設(shè)有開(kāi)孔(311),所述過(guò)流銅柱(34)貫通穿過(guò)電流互感器(33)、隔熱下板(32)、隔熱上板(31)上的孔槽;所述電流互感器(33)與上位機(jī)電連接。