本技術(shù)涉及光學(xué)檢測,特別是一種基于光柵尺的鏡片半徑測量裝置。
背景技術(shù):
1、光學(xué)鏡片是成像光學(xué)系統(tǒng)的主要組成部分,球面光學(xué)鏡片曲率半徑是決定光學(xué)鏡片光學(xué)特性的重要參數(shù)之一。通過測量鏡片半徑,可判定被測光學(xué)元件的加工質(zhì)量。當(dāng)前,測量半徑的主要方法為球徑儀法,此類方法采用接觸式測量定位,測量重復(fù)性較好,其測量精度可達(dá)到3μm以內(nèi),但在測量過程中需探針接觸被測光學(xué)鏡片,易出現(xiàn)鏡片劃傷等外觀問題,且測量范圍小,只能測量口徑為70mm以下的光學(xué)鏡片,難以滿足大口徑鏡片測量需求。
2、因此,亟需一種基于光柵尺的鏡片半徑測量裝置。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本實用新型的目的在于提供一種基于光柵尺的鏡片半徑測量裝置,用于滿足大口徑鏡片測量需求。具體技術(shù)方案如下:
2、本實用新型提供一種基于光柵尺的鏡片半徑測量裝置,所述裝置包括:干涉儀組合和光柵尺檢測組合;
3、所述干涉儀組合包括干涉儀、橫向滑軌,所述光柵尺檢測組合包括:光柵尺、縱向滑軌、鏡片夾持結(jié)構(gòu);所述光柵尺設(shè)置在所述縱向滑軌上,所述鏡片加持結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述縱向滑軌上,所述干涉儀安裝在所述橫向滑軌上,調(diào)整干涉儀的位置與待測鏡片對焦,調(diào)整光柵尺檢測組合的位置使得干涉儀中獲取的條紋發(fā)生變化,并基于條紋的變化確定待測鏡片的半徑。
4、本實用新型的另一實施例中,所述干涉儀組合還包括:升降平臺、干涉儀乘靠底板;
5、所述干涉儀乘靠底板設(shè)置在所述橫向滑軌上,所述升降平臺設(shè)置在所述干涉儀乘靠底板上,所述干涉儀設(shè)置在所述升降平臺上;通過調(diào)整所述升降平臺微調(diào)所述干涉儀的高度位置。
6、本實用新型的另一實施例中,所述橫向?qū)к壴O(shè)置有兩個,每個橫向?qū)к壈M向直線軌道和橫向直線軌道滑塊;每個橫向直線導(dǎo)軌上設(shè)置有多個所述橫向直線導(dǎo)軌滑塊,每個橫向直線導(dǎo)軌滑塊固定在所述干涉儀乘靠底板上。
7、本實用新型的另一實施例中,所述干涉儀組合還包括微調(diào)組合,所述微調(diào)組合安裝在所述橫向滑軌和所述干涉儀乘靠底板之間,所述微調(diào)組合包括:精密滾珠絲桿,固定座、微調(diào)組合滑塊;
8、所述固定座設(shè)置在所述橫向滑軌的滑塊上,所述固定座上設(shè)置所述精密滾珠絲杠,所述精密滾珠絲杠上設(shè)置微調(diào)組合滑塊,所述微調(diào)組合滑塊固定在所述干涉儀乘靠底板上;通過轉(zhuǎn)動所述精密滾珠絲桿微調(diào)所述干涉儀的水平位置。
9、本實用新型的另一實施例中,所述微調(diào)組合的調(diào)整精度為0.01mm。
10、本實用新型的另一實施例中,光柵尺檢測組合包括:光柵尺、鏡片固定座、橋式拖鏈、鏡片夾;
11、所述光柵尺固定安裝所述縱向滑軌的側(cè)面,所述鏡片固定座固定在所述縱向滑軌的滑塊上,所述橋式拖鏈固定在所述鏡片固定座上,所述鏡片夾安裝在所述橋式拖鏈上。
12、本實用新型的另一實施例中,所述縱向滑軌設(shè)置有1個。
13、本實用新型的另一實施例中,所述光柵尺為電子光柵尺。
14、本實用新型的另一實施例中,光柵尺檢測組合還設(shè)置有位置檢測裝置,所述位置檢測裝置用于測量鏡片在光柵尺上的位置。
15、本實用新型的另一實施例中,所述縱向滑軌為電動滑軌,可通過電機控制實現(xiàn)鏡片的移動。
16、本實用新型的有益效果如下:
17、本實用新型提供一種基于光柵尺的鏡片半徑測量裝置,所述干涉儀組合包括干涉儀、橫向滑軌,所述光柵尺檢測組合包括:光柵尺、縱向滑軌、鏡片夾持結(jié)構(gòu);所述光柵尺設(shè)置在所述縱向滑軌上,所述鏡片加持結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述縱向滑軌上,所述干涉儀安裝在所述橫向滑軌上,調(diào)整干涉儀的位置與待測鏡片對焦,調(diào)整光柵尺檢測組合的位置使得干涉儀中獲取的條紋發(fā)生變化,并基于條紋的變化確定待測鏡片的半徑。該方法可實現(xiàn)自動化鏡片半徑測量,適用于大型鏡片,測量時不會對鏡片造成損傷。
1.一種基于光柵尺的鏡片半徑測量裝置,其特征在于,所述裝置包括:干涉儀組合和光柵尺檢測組合;
2.如權(quán)利要求1所述的一種基于光柵尺的鏡片半徑測量裝置,其特征在于,所述干涉儀組合還包括:升降平臺、干涉儀乘靠底板;
3.如權(quán)利要求2所述的一種基于光柵尺的鏡片半徑測量裝置,其特征在于,所述橫向滑軌設(shè)置有兩個,每個橫向滑軌包括橫向直線軌道和橫向直線軌道滑塊;每個橫向直線導(dǎo)軌上設(shè)置有多個所述橫向直線導(dǎo)軌滑塊,每個橫向直線導(dǎo)軌滑塊固定在所述干涉儀乘靠底板上。
4.如權(quán)利要求1所述的一種基于光柵尺的鏡片半徑測量裝置,其特征在于,所述干涉儀組合還包括微調(diào)組合,所述微調(diào)組合安裝在所述橫向滑軌和所述干涉儀乘靠底板之間,所述微調(diào)組合包括:精密滾珠絲桿,固定座、微調(diào)組合滑塊;
5.如權(quán)利要求4所述的一種基于光柵尺的鏡片半徑測量裝置,其特征在于,所述微調(diào)組合的調(diào)整精度為0.01mm。
6.如權(quán)利要求1所述的一種基于光柵尺的鏡片半徑測量裝置,其特征在于,光柵尺檢測組合包括:光柵尺、鏡片固定座、橋式拖鏈、鏡片夾;
7.如權(quán)利要求1所述的一種基于光柵尺的鏡片半徑測量裝置,其特征在于,所述縱向滑軌設(shè)置有1個。
8.如權(quán)利要求1所述的一種基于光柵尺的鏡片半徑測量裝置,其特征在于,所述光柵尺為電子光柵尺。
9.如權(quán)利要求1所述的一種基于光柵尺的鏡片半徑測量裝置,其特征在于,光柵尺檢測組合還設(shè)置有位置檢測裝置,所述位置檢測裝置用于測量鏡片在光柵尺上的位置。
10.如權(quán)利要求1所述的一種基于光柵尺的鏡片半徑測量裝置,其特征在于,所述縱向滑軌為電動滑軌,可通過電機控制實現(xiàn)鏡片的移動。