本申請實施例涉及半導(dǎo)體測試，特別涉及一種功率半導(dǎo)體器件測試用連接結(jié)構(gòu)及其測試用裝置。

背景技術(shù)：

1、功率半導(dǎo)體器件是一種特殊類型的半導(dǎo)體元件，主要用于處理和控制從低壓到高壓的電流和電壓，并在轉(zhuǎn)換、開關(guān)和調(diào)節(jié)電能過程中承擔(dān)重要角色。這類器件具有較高的耐壓能力與較大的電流處理能力，廣泛應(yīng)用于汽車電子系統(tǒng)、電源轉(zhuǎn)換設(shè)備、太陽能發(fā)電系統(tǒng)中的電力轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)以及其他需要進(jìn)行大功率管理與能量轉(zhuǎn)換的場合。為了確保功率半導(dǎo)體器件能在各種工況下保持穩(wěn)定高效的性能，在制造完成后通常需要對半導(dǎo)體器件進(jìn)行高溫靜態(tài)參數(shù)測試。

2、現(xiàn)有技術(shù)中，通常采用將功率半導(dǎo)體器件放在溫箱中再用導(dǎo)線將其與溫箱外測試座相連接的方式測試半導(dǎo)體元件的高溫靜態(tài)參數(shù)。但是這種測試方法經(jīng)常會受到電磁干擾信號的影響，這大大降低了數(shù)據(jù)測量的精確性和一致性。

3、因此，如何設(shè)計一種能夠確保數(shù)據(jù)測量的準(zhǔn)確性的功率半導(dǎo)體器件測試用裝置已經(jīng)成為功率半導(dǎo)體器件測試時急需要解決的技術(shù)問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本申請實施方式的目的在于提供一種功率半導(dǎo)體器件測試用連接結(jié)構(gòu)及其測試用裝置，解決了傳統(tǒng)測試裝置測試數(shù)據(jù)存在一定的偏差和不穩(wěn)定性的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本申請的實施方式提供了一種半導(dǎo)體器件測試用連接結(jié)構(gòu)，包括插件板、控制板、測試座。功率半導(dǎo)體器件測試用連接結(jié)構(gòu)包括插件板、控制板、測試座。插件板設(shè)置有多個功率器件插座，每個功率器件插座設(shè)置有與待測功率半導(dǎo)體器件每個管腳對應(yīng)的多個引出腳；控制板設(shè)置有傳輸線路、連接座，傳輸線路有多條，每條傳輸線路上設(shè)置有機(jī)械開關(guān)，傳輸線路將不同的引出腳連接至連接座上的接口，不同的功率器件插座的相同引出腳共同連接至連接座的同一接口；測試座的接口與連接座的接口通過傳輸線路一對一電性連接。

3、另外，本申請的實施方式還提供了一種功率半導(dǎo)體器件測試用裝置，功率半導(dǎo)體器件測試用裝置包括溫箱、測試機(jī)及任一項半導(dǎo)體器件測試用連接結(jié)構(gòu)，插件板設(shè)置在溫箱內(nèi)，測試座設(shè)置在測試機(jī)上。

4、本申請的實施方式提供的功率半導(dǎo)體器件測試用連接結(jié)構(gòu)及其測試用裝置通過集成多個插座于插件板上，每個插座引出多個關(guān)鍵測試線路，并采用機(jī)械開關(guān)控制各測試線路的通斷，避免了電氣干擾對實驗結(jié)果的影響，較大的降低了控制線路對實驗結(jié)果帶來的干擾。

5、在一些實施方式中，功率器件插座設(shè)置的與待測功率器件半導(dǎo)體器件的每個管腳對應(yīng)的引出腳有兩個。

6、在一些實施方式中，機(jī)械開關(guān)為撥碼開關(guān)，撥碼開關(guān)有多組，多個功率器件插座與多組撥碼開關(guān)一一對應(yīng)連接，每組撥碼開關(guān)包括六個子開關(guān)，每組撥碼開關(guān)中的多個子開關(guān)一對一串聯(lián)在與對應(yīng)的功率器件插座連接的傳輸線上。

7、在一些實施方式中，傳輸線路為耐高溫導(dǎo)線。

8、在一些實施方式中，多個功率器件插座排列在同一直線方向上。

9、在一些實施方式中，溫箱設(shè)置有供傳輸線穿過的測試孔。

10、在一些實施方式中，溫箱內(nèi)設(shè)置有溫度傳感器。

11、在一些實施方式中，連接座鄰近測試機(jī)設(shè)置。

12、在一些實施方式中，測試機(jī)與溫箱位于控制板相背離的兩側(cè)。

技術(shù)特征：

1.一種功率半導(dǎo)體器件測試用連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的功率半導(dǎo)體器件測試用連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述功率器件插座設(shè)置的與待測功率器件半導(dǎo)體器件的每個管腳對應(yīng)的引出腳有兩個。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的功率半導(dǎo)體器件測試用連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述機(jī)械開關(guān)為撥碼開關(guān)，所述撥碼開關(guān)有多組，多個所述功率器件插座與多組撥碼開關(guān)一一對應(yīng)連接，每組所述撥碼開關(guān)包括六個子開關(guān)，每組所述撥碼開關(guān)中的多個所述子開關(guān)一對一串聯(lián)在與對應(yīng)的所述功率器件插座連接的所述傳輸線上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的功率半導(dǎo)體器件測試用連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述傳輸線路為耐高溫導(dǎo)線。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的功率半導(dǎo)體器件測試用連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，多個所述功率器件插座排列在同一直線方向上。

6.一種功率半導(dǎo)體器件測試用裝置，其特征在于，包括：溫箱、測試機(jī)及權(quán)利要求1至4任一項所述的半導(dǎo)體器件測試用連接結(jié)構(gòu)，所述插件板設(shè)置在所述溫箱內(nèi)，所述測試座設(shè)置在所述測試機(jī)上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的功率半導(dǎo)體器件測試用裝置，其特征在于，所述溫箱設(shè)置有供所述傳輸線穿過的測試孔。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的功率半導(dǎo)體器件測試用裝置，其特征在于，所述溫箱內(nèi)設(shè)置有溫度傳感器。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的功率半導(dǎo)體器件測試用裝置，其特征在于，所述連接座鄰近所述測試機(jī)設(shè)置。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的功率半導(dǎo)體器件測試用裝置，其特征在于，所述測試機(jī)與所述溫箱位于所述控制板相背離的兩側(cè)。

技術(shù)總結(jié)
本申請實施例屬于半導(dǎo)體測試技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種功率半導(dǎo)體器件測試用連接結(jié)構(gòu)及其測試用裝置。功率半導(dǎo)體器件測試用連接結(jié)構(gòu)包括插件板、控制板、測試座。插件板設(shè)置有多個功率器件插座，每個功率器件插座設(shè)置有與待測功率半導(dǎo)體器件每個管腳對應(yīng)的多個引出腳；控制板設(shè)置有傳輸線路、連接座，傳輸線路有多條，每條傳輸線路上設(shè)置有機(jī)械開關(guān)，傳輸線路將不同的引出腳連接至連接座上的接口，不同的功率器件插座的相同引出腳共同連接至連接座的同一接口；測試座的接口與連接座的接口通過傳輸線路一對一電性連接。本申請實施例提供的功率半導(dǎo)體器件測試用連接結(jié)構(gòu)及其測試用裝置，提升了測試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。

技術(shù)研發(fā)人員：葛驥
受保護(hù)的技術(shù)使用者：南通尚陽通集成電路有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240326
技術(shù)公布日：2025/1/2