本技術(shù)涉及半導體電子材料領(lǐng)域,特別涉及一種半導體電子專用材料生產(chǎn)用取樣裝置。
背景技術(shù):
1、半導體是一種在常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料。生活中所有的物體按照導電性大致可分為三類:導體、半導體、絕緣體。
2、在上述半導體材料進行生產(chǎn)時,需要使用取樣裝置對部分樣品進行取樣,方便后期對半導體材料進行檢驗,取樣時需要使用取樣機器人進行取樣,取樣機器人上的機械手方便對塊狀的半導體材料進行取樣,機械手在不使用時,長時間與外部灰塵接觸,使機械手不潔凈,取樣時機械手上的灰塵會影響到半導體材料的檢驗結(jié)果。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、為了克服現(xiàn)有技術(shù)中機械手容易積灰,影響到取樣半導體檢驗結(jié)果的不足,本實用新型的目的之一在于提供一種半導體電子專用材料生產(chǎn)用取樣裝置。
2、本實用新型的目的之一采用如下技術(shù)方案實現(xiàn):一種半導體電子專用材料生產(chǎn)用取樣裝置,包括工作臺:所述工作臺的上側(cè)轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)軸,所述轉(zhuǎn)軸的上端固定連接有轉(zhuǎn)盤,所述轉(zhuǎn)盤的上側(cè)固定連接有連接架,所述連接架的上側(cè)固定連接有氣缸,所述連接架的下側(cè)設(shè)置有防護單元;
3、所述防護單元包括固定板,所述固定板固定連接在連接架的下側(cè),所述固定板的下側(cè)固定連接有防護框,所述防護框左右兩端的外側(cè)均設(shè)置有封板,左右兩側(cè)所述封板的前側(cè)均固定連接有固定塊,左右兩側(cè)所述固定塊的外側(cè)固定連接有轉(zhuǎn)塊一,所述轉(zhuǎn)塊一的外側(cè)轉(zhuǎn)動連接有控制板,所述控制板上端的外側(cè)轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)塊二,所述轉(zhuǎn)塊二的外側(cè)固定連接有移動塊,所述固定板與移動塊之間固定連接有電動推桿,所述氣缸的輸出端固定連接有升降板,所述升降板的下側(cè)開設(shè)有滑槽,所述滑槽前后兩端的內(nèi)側(cè)均滑動連接有滑板,前后兩側(cè)所述滑板的下側(cè)均固定連接有取樣塊。
4、根據(jù)所述的一種半導體電子專用材料生產(chǎn)用取樣裝置,所述封板與防護框滑動連接。便于控制封板移動。
5、根據(jù)所述的一種半導體電子專用材料生產(chǎn)用取樣裝置,所述防護框的前側(cè)開設(shè)有升降槽,所述升降槽的內(nèi)側(cè)滑動連接有升降塊,所述升降塊與移動塊固定連接。
6、根據(jù)所述的一種半導體電子專用材料生產(chǎn)用取樣裝置,左右兩側(cè)所述控制板為傾斜對稱結(jié)構(gòu)設(shè)置。
7、根據(jù)所述的一種半導體電子專用材料生產(chǎn)用取樣裝置,所述滑槽的內(nèi)側(cè)轉(zhuǎn)動連接有雙向螺桿,所述雙向螺桿的兩端設(shè)置有相反螺紋,且所述雙向螺桿的兩端分別與左右兩側(cè)滑板螺紋連接。便于控制左右兩側(cè)滑板相向移動。
8、根據(jù)所述的一種半導體電子專用材料生產(chǎn)用取樣裝置,所述升降板的前側(cè)固定連接有電機二。
9、根據(jù)所述的一種半導體電子專用材料生產(chǎn)用取樣裝置,所述工作臺的下側(cè)固定連接有電機一,所述電機一輸出端的外側(cè)與轉(zhuǎn)軸的外側(cè)均固定連接有齒輪。
10、有益效果:
11、通過設(shè)置有工作臺、固定架、防護框、封板、控制板、移動塊、電動推桿,便于取樣塊對半導體取樣結(jié)束后,通過左右兩側(cè)的封板與防護框?qū)θ訅K進行密封,避免外部灰塵積累在取樣塊上,影響到半導體材料的檢驗結(jié)果。
12、本實用新型的附加方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出,部分將從下面的描述中變得明顯,或通過本實用新型的實踐了解到。
1.一種半導體電子專用材料生產(chǎn)用取樣裝置,其特征在于,包括工作臺(1):所述工作臺(1)的上側(cè)轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)軸(3),所述轉(zhuǎn)軸(3)的上端固定連接有轉(zhuǎn)盤(5),所述轉(zhuǎn)盤(5)的上側(cè)固定連接有連接架(6),所述連接架(6)的上側(cè)固定連接有氣缸(8),所述連接架(6)的下側(cè)設(shè)置有防護單元(7);
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導體電子專用材料生產(chǎn)用取樣裝置,其特征在于,所述封板(703)與防護框(702)滑動連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導體電子專用材料生產(chǎn)用取樣裝置,其特征在于,所述防護框(702)的前側(cè)開設(shè)有升降槽(707),所述升降槽(707)的內(nèi)側(cè)滑動連接有升降塊(708),所述升降塊(708)與移動塊(709)固定連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導體電子專用材料生產(chǎn)用取樣裝置,其特征在于,左右兩側(cè)所述控制板(706)為傾斜對稱結(jié)構(gòu)設(shè)置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導體電子專用材料生產(chǎn)用取樣裝置,其特征在于,所述滑槽(713)的內(nèi)側(cè)轉(zhuǎn)動連接有雙向螺桿(714),所述雙向螺桿(714)的兩端設(shè)置有相反螺紋,且所述雙向螺桿(714)的兩端分別與左右兩側(cè)滑板(715)螺紋連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導體電子專用材料生產(chǎn)用取樣裝置,其特征在于,所述升降板(712)的前側(cè)固定連接有電機二(717)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導體電子專用材料生產(chǎn)用取樣裝置,其特征在于,所述工作臺(1)的下側(cè)固定連接有電機一(2),所述電機一(2)輸出端的外側(cè)與轉(zhuǎn)軸(3)的外側(cè)均固定連接有齒輪(4)。