本技術(shù)實(shí)施例涉及檢測(cè)分析儀器,尤其是涉及一種x射線衍射儀。
背景技術(shù):
1、隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展,人們逐漸開發(fā)出了用于檢測(cè)物質(zhì)的儀器,例如x射線衍儀。x射線衍射儀是利用衍射原理,精確測(cè)定物質(zhì)的晶體結(jié)構(gòu),織構(gòu)及應(yīng)力,精確的進(jìn)行物相分析、定性分析以及定量分析,廣泛應(yīng)用于冶金、石油、化工、科研、航空航天、教學(xué)以及材料生產(chǎn)等領(lǐng)域。
2、一般來說,x射線衍射儀包括x射線源、樣品臺(tái)、探測(cè)器以及控制器,探測(cè)器采用單個(gè)的點(diǎn)探測(cè)器。檢測(cè)時(shí),x射線經(jīng)過光路調(diào)整后射向樣品臺(tái),探測(cè)器沿著弧形曲線移動(dòng),同時(shí)探測(cè)從樣品衍射的x射線,每移動(dòng)一步僅能收集一個(gè)小角度的數(shù)據(jù),并且由于從樣品衍射的x射線分布成以樣品為頂點(diǎn)的圓錐狀,而探測(cè)器在沿著弧形曲線移動(dòng)時(shí),僅能探測(cè)相對(duì)較少的衍射的一部分x射線,導(dǎo)致獲得可用于分析的數(shù)據(jù)量較少,由此帶來測(cè)量不便。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為了解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種方便測(cè)量的x射線衍射儀。
2、本實(shí)用新型實(shí)施例解決其技術(shù)問題采用以下技術(shù)方案:
3、一種x射線衍射儀,包括:樣品臺(tái),具有用于放置樣品的樣品放置區(qū);x射線源,所述x射線源用于向所述樣品放置區(qū)發(fā)射x射線;至少一個(gè)探測(cè)器組,所述探測(cè)器組包括多個(gè)探測(cè)器,所述多個(gè)探測(cè)器沿著彎曲的排列方向排列成一列,所述排列方向在探測(cè)器組的中心平面內(nèi)延伸,各個(gè)探測(cè)器的具有有效探測(cè)區(qū)的第一表面朝向所述樣品放置區(qū),所述有效探測(cè)區(qū)用于探測(cè)衍射后的x射線,所述多個(gè)探測(cè)器的有效探測(cè)區(qū)沿著所述排列方向間隔排列,其中,所述中心平面是所述探測(cè)器組的所述多個(gè)探測(cè)器的所述第一表面的所述有效探測(cè)區(qū)的幾何中心所在的平面,所述有效探測(cè)區(qū)包括多個(gè)像素,所述多個(gè)像素排列成二維陣列。
4、可選地,所述探測(cè)器組能夠繞著垂直于所述中心平面的軸線轉(zhuǎn)動(dòng),所述軸線垂直于從所述x射線源至所述樣品放置區(qū)的x射線的行進(jìn)路徑,所述軸線穿過所述樣品放置區(qū)。
5、可選地,所述排列方向以圓弧的形式延伸,所述軸線經(jīng)過所述圓弧的圓心,所述圓心位于所述中心平面內(nèi)。
6、可選地,所述圓弧的圓心位于所述樣品放置區(qū)。
7、可選地,所述x射線衍射儀包括兩個(gè)探測(cè)器組,所述兩個(gè)探測(cè)器組以不阻礙彼此探測(cè)所述x射線的方式沿所述兩個(gè)探測(cè)器組的橫向方向排列。
8、可選地,所述有效探測(cè)區(qū)具有沿著所述排列方向的第一尺寸和沿著所述橫向方向的第二尺寸,所述橫向方向垂直于所述第一尺寸所在的直線。
9、可選地,所述探測(cè)器組中的相鄰的兩個(gè)探測(cè)器的有效探測(cè)區(qū)之間的距離不超過所述探測(cè)器的有效探測(cè)區(qū)的第一尺寸,并且,沿著所述橫向方向,所述兩個(gè)探測(cè)器組中的一個(gè)探測(cè)器組的相鄰的兩個(gè)探測(cè)器的有效探測(cè)區(qū)之間的間隙與所述兩個(gè)探測(cè)器組中的另一個(gè)探測(cè)器組的一個(gè)探測(cè)器重疊。
10、可選地,所述多個(gè)探測(cè)器的第一表面垂直于所述中心平面,且所述橫向方向垂直于所述中心平面,
11、所述兩個(gè)探測(cè)器組中的一個(gè)探測(cè)器組的橫向方向平行于所述兩個(gè)探測(cè)器組中的另一個(gè)探測(cè)器組的橫向方向。
12、可選地,x射線衍射儀還包括光路組件,所述光路組件位于所述x射線源和所述樣品放置區(qū)之間,且連接于所述x射線源,所述光路組件的入射端與所述x射線源的射出端對(duì)接,所述光路組件用于將所述x射線源發(fā)射的x射線調(diào)整后射向所述樣品放置區(qū)。
13、可選地,x射線衍射儀還包括主支架、固定支架以及基座,所述樣品臺(tái)、所述x射線源安裝于所述主支架,所述固定支架具有朝向所述樣品放置區(qū)的彎曲表面,所述至少一個(gè)探測(cè)器組的多個(gè)探測(cè)器的與所述第一表面相背的第二表面安裝于所述彎曲表面,所述固定支架設(shè)置于所述基座,所述基座可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于所述主支架。
14、本實(shí)用新型實(shí)施例的有益效果是:本申請(qǐng)實(shí)施例提供的x射線衍射儀,包括樣品臺(tái)、x射線源以及至少一個(gè)探測(cè)器組,樣品臺(tái)具有用于放置樣品的樣品放置區(qū);x射線源用于向樣品放置區(qū)發(fā)射x射線;探測(cè)器組包括多個(gè)探測(cè)器,多個(gè)探測(cè)器沿著彎曲的排列方向排列成一列,排列方向在探測(cè)器組的中心平面內(nèi)延伸,各個(gè)探測(cè)器的具有有效探測(cè)區(qū)的第一表面朝向樣品放置區(qū),有效探測(cè)區(qū)用于探測(cè)衍射后的x射線,多個(gè)探測(cè)器的有效探測(cè)區(qū)沿著排列方向間隔排列。采用上述結(jié)構(gòu)的x射線衍射儀,多個(gè)探測(cè)器采用彎曲的排列方式進(jìn)行排列,多個(gè)探測(cè)器可以同時(shí)探測(cè)衍射后的x射線,從而提高了探測(cè)的效率,并能夠得到在空間上連續(xù)分布的x射線的衍射信息,由于探測(cè)器的有效探測(cè)區(qū)是二維像素陣列,因而獲得的衍射信息更多,從而能夠更全面地獲知衍射后的x射線在空間里的分布狀況,有利于提高x射線衍射儀的探測(cè)效果。
1.一種x射線衍射儀,其特征在于,包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的x射線衍射儀,其特征在于,所述探測(cè)器組能夠繞著垂直于所述中心平面的軸線轉(zhuǎn)動(dòng),所述軸線垂直于從所述x射線源至所述樣品放置區(qū)的x射線的行進(jìn)路徑,所述軸線穿過所述樣品放置區(qū)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的x射線衍射儀,其特征在于,所述排列方向以圓弧的形式延伸,所述軸線經(jīng)過所述圓弧的圓心,所述圓心位于所述中心平面內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的x射線衍射儀,其特征在于,所述圓弧的圓心位于所述樣品放置區(qū)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的x射線衍射儀,其特征在于,所述x射線衍射儀包括兩個(gè)探測(cè)器組,所述兩個(gè)探測(cè)器組以不阻礙彼此探測(cè)所述x射線的方式沿所述兩個(gè)探測(cè)器組的橫向方向排列。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的x射線衍射儀,其特征在于,所述有效探測(cè)區(qū)具有沿著所述排列方向的第一尺寸和沿著所述橫向方向的第二尺寸,所述橫向方向垂直于所述第一尺寸所在的直線。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的x射線衍射儀,其特征在于,所述探測(cè)器組中的相鄰的兩個(gè)探測(cè)器的有效探測(cè)區(qū)之間的距離不超過所述探測(cè)器的有效探測(cè)區(qū)的第一尺寸,并且,沿著所述橫向方向,所述兩個(gè)探測(cè)器組中的一個(gè)探測(cè)器組的相鄰的兩個(gè)探測(cè)器的有效探測(cè)區(qū)之間的間隙與所述兩個(gè)探測(cè)器組中的另一個(gè)探測(cè)器組的一個(gè)探測(cè)器重疊。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的x射線衍射儀,其特征在于,所述多個(gè)探測(cè)器的第一表面垂直于所述中心平面,且所述橫向方向垂直于所述中心平面,
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的x射線衍射儀,其特征在于,還包括光路組件,所述光路組件位于所述x射線源和所述樣品放置區(qū)之間,且連接于所述x射線源,所述光路組件的入射端與所述x射線源的射出端對(duì)接,所述光路組件用于將所述x射線源發(fā)射的x射線調(diào)整后射向所述樣品放置區(qū)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的x射線衍射儀,其特征在于,還包括主支架、固定支架以及基座,