本技術(shù)涉及檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓標(biāo)識(shí)檢測(cè)設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、晶圓指制造半導(dǎo)體晶體管或集成電路的襯底(也叫基片)。由于是晶體材料，其形狀為圓形，所以稱為晶圓。近幾年國(guó)內(nèi)正大力發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，晶圓產(chǎn)線的自動(dòng)化程度成為提升晶圓產(chǎn)量和質(zhì)量的重要影響因素。

2、在晶圓的加工過(guò)程中，需要對(duì)晶圓進(jìn)行打印標(biāo)識(shí)的操作，在標(biāo)識(shí)打印的過(guò)程中需要通過(guò)視覺(jué)系統(tǒng)檢測(cè)是否出現(xiàn)漏打或者標(biāo)識(shí)位置、大小存在誤差。而現(xiàn)有技術(shù)中視覺(jué)檢測(cè)系統(tǒng)存在設(shè)備體積較大，檢測(cè)位置固定，無(wú)法進(jìn)行多角度檢測(cè)的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型目的是：提供一種晶圓標(biāo)識(shí)檢測(cè)設(shè)備，以解決現(xiàn)有技術(shù)中視覺(jué)檢測(cè)系統(tǒng)存在檢測(cè)位置固定，無(wú)法進(jìn)行多角度檢測(cè)的問(wèn)題。

2、本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：一種晶圓標(biāo)識(shí)檢測(cè)設(shè)備，包括：

3、安裝盤(pán)，頂端被構(gòu)造為安裝面，中部開(kāi)設(shè)有檢測(cè)槽，所述檢測(cè)槽提供被檢測(cè)產(chǎn)品的容納空間；

4、檢測(cè)架，具有對(duì)應(yīng)檢測(cè)槽設(shè)置的夾持端，所述夾持端用于夾持檢測(cè)設(shè)備；

5、其中，所述安裝盤(pán)頂端具有圍繞檢測(cè)槽的多個(gè)安裝孔，所述檢測(cè)架與任意相鄰的安裝孔配合，使其對(duì)應(yīng)被檢測(cè)產(chǎn)品具有多個(gè)不同的方位角；

6、所述夾持端通過(guò)調(diào)節(jié)部與安裝盤(pán)連接，所述調(diào)節(jié)部帶動(dòng)夾持端沿水平面運(yùn)動(dòng)以及圍繞水平軸線進(jìn)行俯仰運(yùn)動(dòng)。

7、優(yōu)選的，所述調(diào)節(jié)部包括第一位移平臺(tái)，所述第一位移平臺(tái)上沿豎直方向安裝有支架，所述支架在第一位移平臺(tái)的作用下于第一位移平臺(tái)所在平面運(yùn)動(dòng)；所述支架上安裝有第二位移平臺(tái)，所述夾持端設(shè)置于第二位移平臺(tái)上，并在第二位移平臺(tái)的帶動(dòng)下沿第二位移平臺(tái)的長(zhǎng)度方向運(yùn)動(dòng)。

8、優(yōu)選的，所述夾持端包括可拆卸連接的第一部分和第二部分；所述第一部分的兩端分別設(shè)定為第一端和第二端，所述第一端設(shè)置于第二位移平臺(tái)上，所述第二端延伸至檢測(cè)槽的上方，且第二端開(kāi)設(shè)有弧形槽；所述第二部分對(duì)應(yīng)第二端設(shè)置，并開(kāi)設(shè)有相同結(jié)構(gòu)的弧形槽，兩個(gè)弧形槽配合，形成夾持檢測(cè)設(shè)備的空間。

9、優(yōu)選的，所述第一部分設(shè)置為l型結(jié)構(gòu)，所述第一端設(shè)置有銷孔，并通過(guò)配合設(shè)置的銷與第二位移平臺(tái)鉸接；所述第一端還設(shè)置有鎖止機(jī)構(gòu)，包括鄰近銷孔設(shè)置的鎖止槽，所述鎖止槽設(shè)置為以銷孔為圓心的弧形結(jié)構(gòu)，且第二位移平臺(tái)對(duì)應(yīng)鎖止槽開(kāi)設(shè)有多個(gè)鎖止孔。

10、優(yōu)選的，所述第一部分和第二部分通過(guò)螺栓可拆卸連接。

11、優(yōu)選的，所述第一位移平臺(tái)通過(guò)底板與安裝盤(pán)連接，所述底板開(kāi)設(shè)有腰型孔，所述底板通過(guò)貫穿腰型孔的螺絲與安裝盤(pán)連接。

12、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是：

13、(1)本申請(qǐng)通過(guò)將安裝有檢測(cè)設(shè)備的夾持端設(shè)置在調(diào)節(jié)部上，使得檢測(cè)設(shè)備可以在水平面移動(dòng)，并圍繞一水平軸線進(jìn)行俯仰運(yùn)動(dòng)，從而使得檢測(cè)設(shè)備可以對(duì)晶圓上不同位置的標(biāo)識(shí)進(jìn)行識(shí)別。

14、(2)安裝盤(pán)圍繞軸線均勻設(shè)置有多個(gè)安裝孔，使得檢測(cè)設(shè)備具有相對(duì)被檢測(cè)產(chǎn)品多個(gè)不同的方位角。

技術(shù)特征：

1.一種晶圓標(biāo)識(shí)檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓標(biāo)識(shí)檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述調(diào)節(jié)部包括第一位移平臺(tái)，所述第一位移平臺(tái)上沿豎直方向安裝有支架，所述支架在第一位移平臺(tái)的作用下于第一位移平臺(tái)所在平面運(yùn)動(dòng)；所述支架上安裝有第二位移平臺(tái)，所述夾持端設(shè)置于第二位移平臺(tái)上，并在第二位移平臺(tái)的帶動(dòng)下沿第二位移平臺(tái)的長(zhǎng)度方向運(yùn)動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓標(biāo)識(shí)檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述夾持端包括可拆卸連接的第一部分和第二部分；所述第一部分的兩端分別設(shè)定為第一端和第二端，所述第一端設(shè)置于第二位移平臺(tái)上，所述第二端延伸至檢測(cè)槽的上方，且第二端開(kāi)設(shè)有弧形槽；所述第二部分對(duì)應(yīng)第二端設(shè)置，并開(kāi)設(shè)有相同結(jié)構(gòu)的弧形槽，兩個(gè)弧形槽配合，形成夾持檢測(cè)設(shè)備的空間。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓標(biāo)識(shí)檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述第一部分設(shè)置為l型結(jié)構(gòu)，所述第一端設(shè)置有銷孔，并通過(guò)配合設(shè)置的銷與第二位移平臺(tái)鉸接；所述第一端還設(shè)置有鎖止機(jī)構(gòu)，包括鄰近銷孔設(shè)置的鎖止槽，所述鎖止槽設(shè)置為以銷孔為圓心的弧形結(jié)構(gòu)，且第二位移平臺(tái)對(duì)應(yīng)鎖止槽開(kāi)設(shè)有多個(gè)鎖止孔。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶圓標(biāo)識(shí)檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述第一部分和第二部分通過(guò)螺栓可拆卸連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓標(biāo)識(shí)檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述第一位移平臺(tái)通過(guò)底板與安裝盤(pán)連接，所述底板開(kāi)設(shè)有腰型孔，所述底板通過(guò)貫穿腰型孔的螺絲與安裝盤(pán)連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓標(biāo)識(shí)檢測(cè)設(shè)備。包括安裝盤(pán)和檢測(cè)架。其中，安裝盤(pán)頂端被構(gòu)造為安裝面，中部開(kāi)設(shè)有檢測(cè)槽，所述檢測(cè)槽提供被檢測(cè)產(chǎn)品的容納空間；檢測(cè)架具有對(duì)應(yīng)檢測(cè)槽設(shè)置的夾持端，所述夾持端用于夾持檢測(cè)設(shè)備；其中，安裝盤(pán)頂端具有圍繞檢測(cè)槽的多個(gè)安裝孔，所述檢測(cè)架與任意相鄰的安裝孔配合，使其對(duì)應(yīng)被檢測(cè)產(chǎn)品具有多個(gè)不同的方位角；所述夾持端通過(guò)調(diào)節(jié)部與安裝盤(pán)連接，所述調(diào)節(jié)部帶動(dòng)夾持端沿水平面運(yùn)動(dòng)以及圍繞水平軸線進(jìn)行俯仰運(yùn)動(dòng)。本申請(qǐng)通過(guò)將安裝有檢測(cè)設(shè)備的夾持端設(shè)置在調(diào)節(jié)部上，使得檢測(cè)設(shè)備可以在水平面移動(dòng)，并圍繞一水平軸線進(jìn)行俯仰運(yùn)動(dòng)，從而使得檢測(cè)設(shè)備可以對(duì)不同位置的標(biāo)識(shí)進(jìn)行識(shí)別。

技術(shù)研發(fā)人員：李光,蔡興琳
受保護(hù)的技術(shù)使用者：馬達(dá)西奇（蘇州）智能裝備科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240407
技術(shù)公布日：2025/1/2