本技術(shù)是有關(guān)于一種偵測(cè)與控制流體，如液體與氣體，的流量的，尤指一種可降低感測(cè)器被壓力破壞機(jī)率的質(zhì)量流量計(jì)與具有該質(zhì)量流量計(jì)的質(zhì)量流量控制器。

背景技術(shù)：

1、質(zhì)量流量控制器(mass?flow?controller,mfc)是為一種考慮到溫度和壓力的流體流量測(cè)量與控制裝置，近年來(lái)已普遍應(yīng)用于較測(cè)量和控制氣體與液體等可壓縮流體的流量。一般而言，質(zhì)量流量控制器的主要組成元件包含有一質(zhì)量流量計(jì)(mass?flow?meter,mfm)、一控制閥以及一控制器。該質(zhì)量流量計(jì)具有一管路與一感測(cè)器。該管路具有過(guò)濾、穩(wěn)流和結(jié)合該感測(cè)器與該控制閥等作用；該感測(cè)器用來(lái)監(jiān)測(cè)通過(guò)該管路的流體的流量，并傳送一流量訊號(hào)至該控制器；該控制器則根據(jù)該流量訊號(hào)控制該控制閥，據(jù)以調(diào)整流出該管路的流體的流量大小。

2、前述的質(zhì)量流量控制器最重要的元件，顯而易見(jiàn)地，就是質(zhì)量流量計(jì)。目前市場(chǎng)上常見(jiàn)的兩種質(zhì)量流量計(jì)為熱質(zhì)量流量計(jì)(thermal?mass?flow?meter)以及科氏型流量計(jì)(coriolis?mass?flow?meter)。熱質(zhì)量流量計(jì)是利用氣體的熱擴(kuò)散效應(yīng)進(jìn)行量測(cè)，而科氏型流量計(jì)則是根據(jù)科氏原理進(jìn)行量測(cè)。

3、實(shí)務(wù)上發(fā)現(xiàn)，由于該管路與該感測(cè)器是由不同材料所制成(通常該管路為金屬，而該感測(cè)器是塑膠)，造成該感測(cè)器常會(huì)被管路本體中的高壓流體所破壞，或是產(chǎn)生泄漏，致使該感測(cè)器無(wú)法正確感測(cè)流體的流量。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種質(zhì)量流量計(jì)以及一種具有該質(zhì)量流量計(jì)的質(zhì)量流量控制器，其可降低感測(cè)器被高壓流體破壞機(jī)率。

2、為達(dá)上述目的以及功效，本實(shí)用新型提供一種質(zhì)量流量計(jì)包含有：一管路本體，具有一主流道、一第一感測(cè)器支流道、一第二感測(cè)器支流道以及一容室；其中，該第一感測(cè)器支流道與該第二感測(cè)器支流道的二端分別連通至該主流道與該容室；該主流道中設(shè)置有一過(guò)濾器；以及一感測(cè)器，具有一入口氣嘴以及一出口氣嘴；該感測(cè)器裝設(shè)于該容室中，使該入口氣嘴連接至該第一感測(cè)器支流道，該出口氣嘴連接至該第二感測(cè)器支流道，借此，一部分通過(guò)該主流道的流體可經(jīng)由該第一感測(cè)器支流道而進(jìn)入該感測(cè)器，再由該第二感測(cè)器支流道回到該主流道，借以量測(cè)該流體的流量。其中，該管路本體更設(shè)有一壓力室，該壓力室分別連通該容室與該主流道，使一部分通過(guò)該主流道的流體會(huì)進(jìn)入該壓力室，造成該感測(cè)器內(nèi)外的壓力一致。

3、本實(shí)用新型更提供一種質(zhì)量流量控制器，包含有：一管路本體，具有一主流道、一第一感測(cè)器支流道、一第二感測(cè)器支流道、一容室、一閥后主流道、一第一閥支流道與一第二閥支流道；其中，該第一感測(cè)器支流道與該第二感測(cè)器支流道的二端分別連通至該主流道與該容室；該第一閥支流道的一端連通至該主流道，該第二閥支流道的一端連通至該閥后主流道；該主流道中設(shè)置有一過(guò)濾器；一感測(cè)器，具有一入口氣嘴以及一出口氣嘴；該感測(cè)器裝設(shè)于該容室中，使該入口氣嘴連接至該第一感測(cè)器支流道，該出口氣嘴連接至該第二感測(cè)器支流道；借此，一部分通過(guò)該主流道的流體可經(jīng)由該第一感測(cè)器支流道而進(jìn)入該感測(cè)器，再由該第二感測(cè)器支流道回到該主流道，借以偵測(cè)該流體的流量；以及一控制閥，具有一閥入口與一閥出口，該控制閥設(shè)置于該管路本體，使該閥入口連接該第一閥支流道，該閥出口連接該第二閥支流道；借此，該主流道的流體由該第一閥支流道進(jìn)入該控制閥，再由該第二閥支流道進(jìn)入該閥后主流道；該控制閥根據(jù)該感測(cè)器所偵測(cè)的流量，調(diào)整由該閥出口流出的流體的流量。其中，該管路本體更設(shè)有一壓力室與一氣道，該壓力室連通該容室，該氣道分別連通該壓力室與該主流道，使一部分通過(guò)該主流道的流體會(huì)由該氣道進(jìn)入該壓力室，造成該感測(cè)器內(nèi)外的壓力一致。

4、于一實(shí)施例中，該容室的容積大于該感測(cè)器，使該感測(cè)器與該容室的側(cè)壁之間會(huì)產(chǎn)生一空間，此空間即形成該壓力室。

5、于一實(shí)施例中，在該第一感測(cè)器支流道的直徑大于該感測(cè)器的入口氣嘴，使該入口氣嘴與該第一感測(cè)器支流道的側(cè)壁之間產(chǎn)生一空間，此空間即形成該氣道。

6、于一實(shí)施例中，在該感測(cè)器的出口氣嘴設(shè)有一o型環(huán)，使該壓力室與該第二感測(cè)器支流道間呈氣密。

7、于一實(shí)施例中，更包含有一封蓋，當(dāng)該感測(cè)器裝設(shè)于該容室后，該封蓋封閉該容室。

8、以下即依本實(shí)用新型的目的與功效，茲舉出較佳實(shí)施例，并配合附圖，詳細(xì)說(shuō)明。

技術(shù)特征：

1.一種質(zhì)量流量計(jì)，其特征在于，包含有：

2.如權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流量計(jì)，其特征在于，該容室的容積大于該感測(cè)器，使該感測(cè)器與該容室的側(cè)壁之間會(huì)產(chǎn)生一空間，此空間即形成該壓力室。

3.如權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流量計(jì)，其特征在于，在該第一感測(cè)器支流道的直徑大于該感測(cè)器的入口氣嘴，使該入口氣嘴與該第一感測(cè)器支流道的側(cè)壁之間產(chǎn)生一空間，此空間即形成該氣道。

4.如權(quán)利要求2所述的質(zhì)量流量計(jì)，其特征在于，在該該感測(cè)器的出口氣嘴設(shè)置一o型環(huán)，使該壓力室與該第二感測(cè)器支流道間呈氣密。

5.如權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流量計(jì)，其特征在于，更包含有一封蓋，當(dāng)該感測(cè)器裝設(shè)于該容室后，該封蓋封閉該容室。

6.一種質(zhì)量流量控制器，其特征在于，包含有：

7.如權(quán)利要求6所述的質(zhì)量流量控制器，其特征在于，該容室的容積大于該感測(cè)器，使該感測(cè)器與該容室的側(cè)壁之間會(huì)產(chǎn)生一空間，此空間即形成該壓力室。

8.如權(quán)利要求6所述的質(zhì)量流量控制器，其特征在于，在該第一感測(cè)器支流道的直徑大于該感測(cè)器的入口氣嘴，使該入口氣嘴與該第一感測(cè)器支流道的側(cè)壁之間產(chǎn)生一空間，此空間即形成該氣道。

9.如權(quán)利要求8所述的質(zhì)量流量控制器，其特征在于，在該該感測(cè)器的出口氣嘴設(shè)置一o型環(huán)，使該壓力室與該第二感測(cè)器支流道間呈氣密。

10.如權(quán)利要求6所述的質(zhì)量流量控制器，其特征在于，更包含有一封蓋，當(dāng)該感測(cè)器裝設(shè)于該容室后，該封蓋封閉該容室。

技術(shù)總結(jié)
一種質(zhì)量流量計(jì)包含有一管路本體以及一感測(cè)器。該管路本體具有一主流道、一第一感測(cè)器支流道、一第二感測(cè)器支流道以及一容室；其中，該第一與該第二感測(cè)器支流道的二端分別連通至該主流道與該容室。該感測(cè)器裝設(shè)于該容室中，并連接至該第一感測(cè)器支流道與該第二感測(cè)器支流道，使一部分流體經(jīng)由該第一感測(cè)器支流道而進(jìn)入該感測(cè)器，借以量測(cè)該流體的流量。該管路本體更設(shè)有一壓力室，連通該容室與該主流道，使一部分流體會(huì)進(jìn)入該壓力室，造成該感測(cè)器內(nèi)外的壓力一致。此外，本技術(shù)更提供一種具有前述的質(zhì)量流量計(jì)的質(zhì)量流量控制器。本技術(shù)可降低感測(cè)器被高壓流體破壞機(jī)率。

技術(shù)研發(fā)人員：吳騰彥
受保護(hù)的技術(shù)使用者：微程式資訊股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240425
技術(shù)公布日：2025/1/9