本技術(shù)涉及半導(dǎo)體硅片，尤其涉及一種半導(dǎo)體硅片檢測裝置。

背景技術(shù)：

1、硅片又稱硅晶圓片，是制作集成電路的重要材料，通過對硅片進(jìn)行光刻、離子注入等手段，可以制成集成電路和各種半導(dǎo)體器件。硅片是以硅為材料制造的片狀物體，直徑有6英寸、8英寸、12英寸、18英寸等規(guī)格。單晶硅是硅的單晶體，是一種比較活潑的非金屬元素，具有基本完整的點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)。不同的方向具有不同的性質(zhì)，是一種良好的半導(dǎo)材料，該半導(dǎo)體硅片檢測裝置是對半導(dǎo)體硅片進(jìn)行厚度檢測的裝置；

2、現(xiàn)有申請?zhí)枮閏n202022837853.4，公開了一種半導(dǎo)體硅片的檢測裝置，包括檢測裝置本體，所述檢測裝置本體的頂部固定連接有安裝臺(tái)，所述安裝臺(tái)的頂部開設(shè)有凹槽，所述凹槽的內(nèi)部設(shè)有安裝殼，所述安裝殼的內(nèi)部活動(dòng)連接有硅片本體，所述凹槽的內(nèi)底壁固定連接有頂塊，所述頂塊的頂部與硅片本體的底部活動(dòng)連接，所述安裝殼的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有兩個(gè)安裝架。該半導(dǎo)體硅片的檢測裝置，通過推動(dòng)兩個(gè)套板相對移動(dòng)，使兩個(gè)套板分別擠壓兩個(gè)連接板，使兩個(gè)彈簧被壓縮，通過兩個(gè)橡膠固定柱相對的一端分別與硅片本體的左右兩側(cè)相抵持，且凹槽內(nèi)底壁的頂塊將硅片本體頂至安裝殼的內(nèi)頂壁處，從而使安裝殼內(nèi)的硅片本體固定，進(jìn)而防止硅片本體發(fā)生偏移。

3、但是當(dāng)半導(dǎo)體硅片檢測裝置所放置的面較為不平整時(shí)，可能導(dǎo)致硅片在測量過程中發(fā)生微小的位移或旋轉(zhuǎn)，這可能會(huì)導(dǎo)致測量結(jié)果的不準(zhǔn)確，本實(shí)用新型針對上述問題進(jìn)行改進(jìn)具體涉及一種能夠檢測放置面是否平整同時(shí)可以調(diào)節(jié)的半導(dǎo)體硅片檢測裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、基于此，有必要針對當(dāng)半導(dǎo)體硅片檢測裝置所放置的面較為不平整時(shí)，可能導(dǎo)致硅片在測量過程中發(fā)生微小的位移或旋轉(zhuǎn)，這可能會(huì)導(dǎo)致測量結(jié)果的不準(zhǔn)確的的問題，提供一種半導(dǎo)體硅片檢測裝置。

2、本實(shí)用新型提供了一種半導(dǎo)體硅片檢測裝置，包括：檢測裝置主體及其所述檢測裝置主體上端設(shè)置的檢測裝置驅(qū)動(dòng)體。

3、所述檢測裝置驅(qū)動(dòng)體的前側(cè)面設(shè)置有下壓探針；

4、所述下壓探針的下側(cè)設(shè)置有放置檢測臺(tái)面。

5、上述半導(dǎo)體硅片檢測裝置，所述檢測裝置主體的下端設(shè)置有底置調(diào)節(jié)連接柱，所述底置調(diào)節(jié)連接柱的中間設(shè)置有撥動(dòng)調(diào)節(jié)旋鈕，所述撥動(dòng)調(diào)節(jié)旋鈕的內(nèi)側(cè)面設(shè)置有中置連接螺紋柱，所述中置連接螺紋柱靠近頂部的內(nèi)側(cè)設(shè)置有小型水平尺，所述小型水平尺的內(nèi)側(cè)設(shè)置有擠壓連接彈簧，所述小型水平尺的側(cè)面設(shè)置有限位連接塊，所述檢測裝置主體上限位連接塊的外側(cè)接觸有按壓紐扣，所述檢測裝置主體上小型水平尺外側(cè)設(shè)置有插接扣接槽，根據(jù)小型水平尺的指示進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)撥動(dòng)調(diào)節(jié)旋鈕可以進(jìn)行其底置調(diào)節(jié)連接柱所處的拐角進(jìn)行調(diào)整高度。

6、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述撥動(dòng)調(diào)節(jié)旋鈕的外側(cè)面設(shè)置有豎紋，所述撥動(dòng)調(diào)節(jié)旋鈕的內(nèi)側(cè)面設(shè)置有與中置連接螺紋柱吻合的內(nèi)螺紋。

7、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述底置調(diào)節(jié)連接柱的底部設(shè)置有底置橡膠面，所述底置橡膠面通過粘膠進(jìn)行安裝連接至底置調(diào)節(jié)連接柱的底側(cè)面。

8、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述檢測裝置主體的前側(cè)面中間設(shè)置有顯示屏幕，所述顯示屏幕的前側(cè)面貼有保護(hù)膜。

9、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述顯示屏幕的側(cè)面設(shè)置有控制調(diào)節(jié)按鈕，所述控制調(diào)節(jié)按鈕對檢測裝置主體進(jìn)行操作控制。

10、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述控制調(diào)節(jié)按鈕的中間設(shè)置有狀態(tài)顯示燈，所述狀態(tài)顯示燈分別有紅綠黃三種狀態(tài)顏色燈。

11、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述檢測裝置主體的側(cè)面設(shè)置有透氣網(wǎng)孔，所述透氣網(wǎng)孔與檢測裝置主體為一體式結(jié)構(gòu)，所述透氣網(wǎng)孔為檢測裝置主體結(jié)構(gòu)形成的通孔條結(jié)構(gòu)。

12、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供了一種半導(dǎo)體硅片檢測裝置，具備以下

13、有益效果：

14、在半導(dǎo)體硅片檢測裝置中，檢測裝置主體的下端設(shè)置有底置調(diào)節(jié)連接柱，底置調(diào)節(jié)連接柱的中間設(shè)置有撥動(dòng)調(diào)節(jié)旋鈕，撥動(dòng)調(diào)節(jié)旋鈕的內(nèi)側(cè)面設(shè)置有中置連接螺紋柱，中置連接螺紋柱靠近頂部的內(nèi)側(cè)設(shè)置有小型水平尺，小型水平尺的內(nèi)側(cè)設(shè)置有擠壓連接彈簧，小型水平尺的側(cè)面設(shè)置有限位連接塊，檢測裝置主體上限位連接塊的外側(cè)接觸有按壓紐扣，檢測裝置主體上小型水平尺外側(cè)設(shè)置有插接扣接槽，根據(jù)小型水平尺的指示進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)撥動(dòng)調(diào)節(jié)旋鈕可以進(jìn)行其底置調(diào)節(jié)連接柱所處的拐角進(jìn)行調(diào)整高度，調(diào)整后可以使得半導(dǎo)體硅片檢測裝置保持水平，從而有效的避免了可能導(dǎo)致硅片在測量過程中發(fā)生微小的位移或旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致測量結(jié)構(gòu)不準(zhǔn)的現(xiàn)象發(fā)生，從而有效的提高了半導(dǎo)體硅片檢測裝置的使用實(shí)用性。

技術(shù)特征：

1.一種半導(dǎo)體硅片檢測裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體硅片檢測裝置，其特征在于，所述撥動(dòng)調(diào)節(jié)旋鈕(12)的外側(cè)面設(shè)置有豎紋，所述撥動(dòng)調(diào)節(jié)旋鈕(12)的內(nèi)側(cè)面設(shè)置有與中置連接螺紋柱(18)吻合的內(nèi)螺紋。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體硅片檢測裝置，其特征在于，所述底置調(diào)節(jié)連接柱(9)的底部設(shè)置有底置橡膠面(13)，所述底置橡膠面(13)通過粘膠進(jìn)行安裝連接至底置調(diào)節(jié)連接柱(9)的底側(cè)面。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體硅片檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置主體(1)設(shè)置有顯示屏幕(7)，所述顯示屏幕(7)的前側(cè)面貼有保護(hù)膜。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體硅片檢測裝置，其特征在于，顯示屏幕(7)的側(cè)面設(shè)置有控制調(diào)節(jié)按鈕(5)，所述控制調(diào)節(jié)按鈕(5)對檢測裝置主體(1)進(jìn)行操作控制。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體硅片檢測裝置，其特征在于，控制調(diào)節(jié)按鈕(5)的中間設(shè)置有狀態(tài)顯示燈(6)，所述狀態(tài)顯示燈(6)分別有紅綠黃三種狀態(tài)顏色燈。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體硅片檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置主體(1)的側(cè)面設(shè)置有透氣網(wǎng)孔(8)，所述透氣網(wǎng)孔(8)與檢測裝置主體(1)為一體式結(jié)構(gòu)，所述透氣網(wǎng)孔(8)為檢測裝置主體(1)結(jié)構(gòu)形成的通孔條結(jié)構(gòu)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供了一種半導(dǎo)體硅片檢測裝置，涉及半導(dǎo)體硅片技術(shù)領(lǐng)域，包括檢測裝置主體及其所述檢測裝置主體上端設(shè)置的檢測裝置驅(qū)動(dòng)體。半導(dǎo)體硅片檢測裝置，檢測裝置主體的下端設(shè)置有底置調(diào)節(jié)連接柱，底置調(diào)節(jié)連接柱的中間設(shè)置有撥動(dòng)調(diào)節(jié)旋鈕，撥動(dòng)調(diào)節(jié)旋鈕的內(nèi)側(cè)面設(shè)置有中置連接螺紋柱，中置連接螺紋柱靠近頂部的內(nèi)側(cè)設(shè)置有小型水平尺，根據(jù)小型水平尺的指示進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)撥動(dòng)調(diào)節(jié)旋鈕可以進(jìn)行其底置調(diào)節(jié)連接柱所處的拐角進(jìn)行調(diào)整高度，調(diào)整后可以使得半導(dǎo)體硅片檢測裝置保持水平，從而有效的避免了可能導(dǎo)致硅片在測量過程中發(fā)生微小的位移或旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致測量結(jié)構(gòu)不準(zhǔn)的現(xiàn)象發(fā)生，從而有效的提高了半導(dǎo)體硅片檢測裝置的使用實(shí)用性。

技術(shù)研發(fā)人員：易正瑜,廖毅,鄭彥,王素強(qiáng)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳匯義科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240512
技術(shù)公布日：2025/1/2