本技術(shù)屬于光學芯片檢測,尤其涉及一種光學芯片檢測設備。
背景技術(shù):
1、在衍射光學元件產(chǎn)品領域內(nèi),產(chǎn)品的光學效果體現(xiàn)在成像光斑圖案上,涉及的波長范圍較寬從紫外光到紅外光波長,各個鏡片設計加工企業(yè)為衡量評價鏡片性能上的好與差,需要對產(chǎn)品進行光學性能參數(shù)上的檢測,而光學芯片屬于光學元件產(chǎn)品的一種。
2、在光學芯片檢測設備上沒有統(tǒng)一的標準,因為在光學芯片內(nèi)通常都是單一波長產(chǎn)品,對產(chǎn)品的光源波長唯一因此在檢測設備上有較多的變量,不同光學芯片的應用場景不同,會體現(xiàn)在檢測設備上各部件之間的距離不一,目前市場上各家單位都會自主開發(fā)光學芯片檢測設備對光學芯片進行檢測測量。
3、傳統(tǒng)的光學芯片檢測設備存在以下缺陷:1、設備體積較大,制造成本高;2、檢測性能較差,獲取的參數(shù)準確性較低,檢測精度不足;3、對光學芯片的定位精度較差,影響后續(xù)檢測操作。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本實用新型克服了現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種光學芯片檢測設備,以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題。
2、為達到上述目的,本實用新型采用的技術(shù)方案為:一種光學芯片檢測設備,包括
3、夾具,所述夾具包括外圓體與內(nèi)圓體,所述外圓體與所述內(nèi)圓體呈同心設置,所述內(nèi)圓體設置于所述外圓體的空腔內(nèi),所述內(nèi)圓體中心位置處設有定位空腔,將光學芯片定位;
4、檢測部,所述檢測部包括激光器、光屏以及面陣相機,所述激光器與所述面陣相機呈同平面設置,對光學芯片進行檢測,所述光屏位于所述激光器與所述夾具之間。
5、本實用新型一個較佳實施例中,還包括底座,所述外圓體通過若干安裝塊設置于所述底座上,所述檢測部通過支架與所述底座連接。
6、本實用新型一個較佳實施例中,所述安裝塊上設有安裝卡槽,所述安裝卡槽與所述外圓體的邊緣卡合,將所述外圓體安裝于所述底座上。
7、本實用新型一個較佳實施例中,所述內(nèi)圓體上設置有若干邊緣凸起,所述邊緣凸起沿所述定位空腔邊緣分布,對光學芯片進行支撐。
8、本實用新型一個較佳實施例中,所述內(nèi)圓體上設置有若干定位部,所述定位部沿所述定位空腔周向間隔分布,對光學芯片進行定位。
9、本實用新型一個較佳實施例中,所述定位部包括定位彈簧以及定位塊,所述定位彈簧安裝于所述內(nèi)圓體內(nèi),所述定位塊朝向光學芯片。
10、本實用新型一個較佳實施例中,所述定位塊上設有一傾斜面,所述傾斜面朝上設置,便于光學芯片進入所述定位空腔內(nèi)。
11、本實用新型解決了背景技術(shù)中存在的缺陷,本實用新型具備以下有益效果:
12、本實用新型的光學芯片檢測設備體積較小,制造成本較低,能夠?qū)鈱W芯片進行高精度穩(wěn)定檢測,對光學芯片的性能參數(shù)均勻性、零級能量以及對比度進行快速檢測,檢測精度更高,并且本實用新型中定位部的存在,能夠?qū)鈱W芯片進行穩(wěn)定定位,提高對光學芯片的檢測精度。
1.一種光學芯片檢測設備,其特征在于,包括
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光學芯片檢測設備,其特征在于,還包括底座(30),所述外圓體(11)通過若干安裝塊(40)設置于所述底座(30)上,所述檢測部(20)通過支架(50)與所述底座(30)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種光學芯片檢測設備,其特征在于,所述安裝塊(40)上設有安裝卡槽,所述安裝卡槽與所述外圓體(11)的邊緣卡合,將所述外圓體(11)安裝于所述底座(30)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光學芯片檢測設備,其特征在于,所述內(nèi)圓體(12)上設置有若干邊緣凸起(121),所述邊緣凸起(121)沿所述定位空腔邊緣分布,對光學芯片進行支撐。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光學芯片檢測設備,其特征在于,所述內(nèi)圓體(12)上設置有若干定位部(60),所述定位部(60)沿所述定位空腔周向間隔分布,對光學芯片進行定位。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種光學芯片檢測設備,其特征在于,所述定位部(60)包括定位彈簧(61)以及定位塊(62),所述定位彈簧(61)安裝于所述內(nèi)圓體(12)內(nèi),所述定位塊(62)朝向光學芯片。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種光學芯片檢測設備,其特征在于,所述定位塊(62)上設有一傾斜面(621),所述傾斜面(621)朝上設置,便于光學芯片進入所述定位空腔內(nèi)。