本技術(shù)涉及真空鍍膜領(lǐng)域，尤其涉及一種長(zhǎng)軸磁流體真空測(cè)試裝置。

背景技術(shù)：

1、大型高溫連續(xù)鍍膜生產(chǎn)線(以下簡(jiǎn)稱(chēng)生產(chǎn)線)的基片傳輸，通常是把多個(gè)基片盛放在一個(gè)基片框內(nèi)，然后由固定在真空腔室側(cè)壁的長(zhǎng)軸磁流體托住基片框的兩邊做滾動(dòng)摩擦傳動(dòng)來(lái)完成工藝生產(chǎn)。一條生產(chǎn)線對(duì)長(zhǎng)軸磁流體的需求量往往有200-300個(gè)，同一批定制幾十條生產(chǎn)線的磁流體數(shù)量達(dá)到4000-5000個(gè)。生產(chǎn)出的長(zhǎng)軸磁流體若出現(xiàn)某一方面的缺陷，將會(huì)導(dǎo)致整個(gè)批次存在同樣的問(wèn)題，損失巨大，因此需要提前做好長(zhǎng)軸磁流體實(shí)際工況耐用測(cè)試工作。

2、目前，測(cè)試工作都是針對(duì)一項(xiàng)或兩項(xiàng)要測(cè)試的性能模擬測(cè)試環(huán)境，完成性能測(cè)試需要使用多個(gè)測(cè)試裝置，且不能模擬實(shí)際生產(chǎn)線載板傳輸工況，使測(cè)試工作繁瑣不便，測(cè)試結(jié)果存在偏差。

3、因此，本實(shí)用新型提供了一種長(zhǎng)軸磁流體真空測(cè)試裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

2、一種長(zhǎng)軸磁流體真空測(cè)試裝置，包括支架和設(shè)置于支架上的真空腔室體，真空腔室體兩側(cè)壁上各安裝若干長(zhǎng)軸磁流體，兩側(cè)對(duì)應(yīng)位置的長(zhǎng)軸磁流體同心，長(zhǎng)軸磁流體穿過(guò)真空腔室體側(cè)壁，一端懸于真空腔室體內(nèi)，一端連接傳動(dòng)系統(tǒng)；

3、進(jìn)一步地方案：所述真空腔室體內(nèi)設(shè)置有加熱系統(tǒng)，加熱系統(tǒng)上方設(shè)置有負(fù)載平板，負(fù)載平板搭裝在兩同心的長(zhǎng)軸磁流體之間；

4、所述真空腔室體與高真空系統(tǒng)管道連通。

5、進(jìn)一步地方案：所述真空腔室體安裝有長(zhǎng)軸磁流體的側(cè)壁設(shè)置有冷卻水通道，并設(shè)置有壁道進(jìn)水口、壁道出水口與冷卻水通道連通。

6、進(jìn)一步地方案：所述真空腔室體頂部開(kāi)設(shè)有開(kāi)口，并設(shè)置有上蓋，上蓋上設(shè)置有窗口；所述真空腔室體底部設(shè)置有撐腳。

7、進(jìn)一步地方案：所述支架包括頂部的腔室安裝板、兩側(cè)的側(cè)安裝板，真空腔室體安裝于腔室安裝板，側(cè)安裝板上通過(guò)導(dǎo)軌安裝板安裝有導(dǎo)軌，導(dǎo)軌上安裝有軸座。

8、進(jìn)一步地方案：所述高真空系統(tǒng)包括干泵組、充氣過(guò)濾器、電離規(guī)，干泵組通過(guò)管道分別連接于真空腔室體、分子泵，分子泵通過(guò)管道連接于真空腔室體，干泵組與真空腔室體之間的管道設(shè)置有粗抽閥，分子泵與真空腔室體之間的管道設(shè)置有第一高閥，分子泵與干泵組之間的管道設(shè)置有聯(lián)通閥，粗抽閥與干泵組之間的管道設(shè)置有皮拉尼規(guī)；

9、所述真空腔室體通過(guò)管道連接充氣過(guò)濾器、電離規(guī)，充氣過(guò)濾器與真空腔室體之間的管道設(shè)置有閥門(mén)，電離規(guī)與真空腔室體之間的管道設(shè)置有第二高閥。

10、進(jìn)一步地方案：所述傳動(dòng)系統(tǒng)包括電機(jī)和若干驅(qū)動(dòng)軸，電機(jī)與第一驅(qū)動(dòng)軸連接，相鄰驅(qū)動(dòng)軸通過(guò)同步帶連接，驅(qū)動(dòng)軸通過(guò)聯(lián)軸器與對(duì)應(yīng)位置的長(zhǎng)軸磁流體連接。

11、進(jìn)一步地方案：所述長(zhǎng)軸磁流體懸于真空腔室體內(nèi)的一端末端套裝有內(nèi)徑軸套。

12、進(jìn)一步地方案：所述真空腔室體兩側(cè)壁分別開(kāi)設(shè)通孔供長(zhǎng)軸磁流體穿過(guò)，并在長(zhǎng)軸磁流體上套裝法蘭，通過(guò)法蘭將長(zhǎng)軸磁流體安裝于真空腔室體。

13、進(jìn)一步地方案：所述真空腔室體還設(shè)置有高真空離子規(guī)。

14、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

15、1.本實(shí)用新型可以進(jìn)行長(zhǎng)軸磁流體的樣品試驗(yàn)測(cè)試，模仿實(shí)際生產(chǎn)線載板傳輸?shù)囊螅ㄟ^(guò)調(diào)節(jié)控制溫度、轉(zhuǎn)速、負(fù)載等參數(shù)，參考測(cè)試中測(cè)試裝置的真空情況，及時(shí)發(fā)現(xiàn)首次設(shè)計(jì)生產(chǎn)的磁流體在實(shí)際運(yùn)行中的問(wèn)題，并及時(shí)進(jìn)行修正、改良，以保證批量生產(chǎn)的磁流體產(chǎn)品品質(zhì)穩(wěn)定，滿足大型高溫連續(xù)真空鍍膜生產(chǎn)線傳輸磁流體軸的穩(wěn)定運(yùn)行，節(jié)省了試錯(cuò)成本，縮短了生產(chǎn)周期。

16、2.本實(shí)用新型通過(guò)更換連接法蘭、調(diào)整軸座的位置可適應(yīng)多種規(guī)格的磁流體測(cè)試。

技術(shù)特征：

1.一種長(zhǎng)軸磁流體真空測(cè)試裝置，其特征在于，包括支架和設(shè)置于支架上的真空腔室體，真空腔室體兩側(cè)壁上各安裝若干長(zhǎng)軸磁流體，兩側(cè)對(duì)應(yīng)位置的長(zhǎng)軸磁流體同心，長(zhǎng)軸磁流體穿過(guò)真空腔室體側(cè)壁，一端懸于真空腔室體內(nèi)，一端連接傳動(dòng)系統(tǒng)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種長(zhǎng)軸磁流體真空測(cè)試裝置，其特征在于，所述真空腔室體安裝有長(zhǎng)軸磁流體的側(cè)壁設(shè)置有冷卻水通道，并設(shè)置有壁道進(jìn)水口、壁道出水口與冷卻水通道連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種長(zhǎng)軸磁流體真空測(cè)試裝置，其特征在于，所述真空腔室體頂部開(kāi)設(shè)有開(kāi)口，并設(shè)置有上蓋，上蓋上設(shè)置有窗口；所述真空腔室體底部設(shè)置有撐腳。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種長(zhǎng)軸磁流體真空測(cè)試裝置，其特征在于，所述支架包括頂部的腔室安裝板、兩側(cè)的側(cè)安裝板，真空腔室體安裝于腔室安裝板，側(cè)安裝板上通過(guò)導(dǎo)軌安裝板安裝有導(dǎo)軌，導(dǎo)軌上安裝有軸座。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種長(zhǎng)軸磁流體真空測(cè)試裝置，其特征在于，所述高真空系統(tǒng)包括干泵組、充氣過(guò)濾器、電離規(guī)，干泵組通過(guò)管道分別連接于真空腔室體、分子泵，分子泵通過(guò)管道連接于真空腔室體，干泵組與真空腔室體之間的管道設(shè)置有粗抽閥，分子泵與真空腔室體之間的管道設(shè)置有第一高閥，分子泵與干泵組之間的管道設(shè)置有聯(lián)通閥，粗抽閥與干泵組之間的管道設(shè)置有皮拉尼規(guī)；

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種長(zhǎng)軸磁流體真空測(cè)試裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)系統(tǒng)包括電機(jī)和若干驅(qū)動(dòng)軸，電機(jī)與第一驅(qū)動(dòng)軸連接，相鄰驅(qū)動(dòng)軸通過(guò)同步帶連接，驅(qū)動(dòng)軸通過(guò)聯(lián)軸器與對(duì)應(yīng)位置的長(zhǎng)軸磁流體連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種長(zhǎng)軸磁流體真空測(cè)試裝置，其特征在于，所述長(zhǎng)軸磁流體懸于真空腔室體內(nèi)的一端末端套裝有內(nèi)徑軸套。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種長(zhǎng)軸磁流體真空測(cè)試裝置，其特征在于，所述真空腔室體兩側(cè)壁分別開(kāi)設(shè)通孔供長(zhǎng)軸磁流體穿過(guò)，并在長(zhǎng)軸磁流體上套裝法蘭，通過(guò)法蘭將長(zhǎng)軸磁流體安裝于真空腔室體。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種長(zhǎng)軸磁流體真空測(cè)試裝置，其特征在于，所述真空腔室體還設(shè)置有高真空離子規(guī)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開(kāi)了一種長(zhǎng)軸磁流體真空測(cè)試裝置，屬于真空鍍膜領(lǐng)域，包括支架和設(shè)置于支架上的真空腔室體，真空腔室體兩側(cè)壁上各安裝若干長(zhǎng)軸磁流體，兩側(cè)對(duì)應(yīng)位置的長(zhǎng)軸磁流體同心，長(zhǎng)軸磁流體穿過(guò)真空腔室體側(cè)壁，一端懸于真空腔室體內(nèi)，一端連接傳動(dòng)系統(tǒng)。所述真空腔室體內(nèi)設(shè)置有加熱系統(tǒng)，加熱系統(tǒng)上方設(shè)置有負(fù)載平板，負(fù)載平板搭裝在兩同心的長(zhǎng)軸磁流體之間。所述真空腔室體與高真空系統(tǒng)管道連通。本技術(shù)可以模仿實(shí)際生產(chǎn)線載板傳輸?shù)囊髮?duì)長(zhǎng)軸磁流體的樣品進(jìn)行試驗(yàn)測(cè)試。

技術(shù)研發(fā)人員：劉國(guó)利,歐陽(yáng)杰,李國(guó)強(qiáng)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：湖南玉豐真空科學(xué)技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240528
技術(shù)公布日：2025/1/2