本發(fā)明關(guān)于一種傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)，更具體地，關(guān)于一種能夠控制傳熱流體的壓力的傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、隨著半導(dǎo)體器件檢查所需溫度范圍的擴(kuò)大，用于檢查半導(dǎo)體器件的設(shè)備所提供的檢查環(huán)境也變得日益多樣化。

2、特別是，為了控制支撐半導(dǎo)體器件的探針卡盤的溫度，需要供應(yīng)給探針卡盤的傳熱流體的使用溫度范圍達(dá)到或超過極限的情況正在增多。

3、其中，在低溫下使用傳熱流體來(lái)控制探針卡盤的溫度時(shí)，考慮到熱交換性能、管道及泵的限制壓力等因素，使用低黏度的傳熱流體更為有利。

4、然而，低黏度的傳熱流體存在汽化點(diǎn)低導(dǎo)致流體流動(dòng)形成可能受限的問題。

5、此外，通常能在高溫下使用的傳熱流體，由于其物理特性具有高黏度，在低溫下在半導(dǎo)體器件檢查裝置中的使用受到限制。因此，通常將流入探針卡盤的傳熱流體的溫度設(shè)定為低于探針卡盤的溫度。

6、然而，隨著傳熱流體的溫度與探針卡盤的設(shè)定溫度之間的差值增大，用于加熱探針卡盤的加熱器需要更高的功率來(lái)進(jìn)行溫度補(bǔ)償，這對(duì)探針卡盤的溫度均勻度產(chǎn)生負(fù)面影響，從而導(dǎo)致半導(dǎo)體器件檢查時(shí)的良率(yield)降低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、技術(shù)問題

2、本發(fā)明旨在解決如上所述的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)，該系統(tǒng)能夠提高在低溫下具有低黏度的傳熱流體的汽化點(diǎn)。

3、本發(fā)明所解決的問題不限于以上所提及的，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員通過以下描述將能夠明確理解其他未提及的問題。

4、解決問題的方案

5、為解決所述問題，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，一種傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)可以包括：被冷卻體，其內(nèi)部形成有供傳熱流體經(jīng)過的傳熱流路；儲(chǔ)罐，其內(nèi)部形成的空間儲(chǔ)存所述傳熱流體；供應(yīng)流路，連接所述儲(chǔ)罐與所述傳熱流路的一側(cè)；回收流路，連接所述儲(chǔ)罐與所述傳熱流路的另一側(cè)；以及控制部，控制所述儲(chǔ)罐的內(nèi)部壓力。

6、此時(shí)，所述傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)還可以包括：加壓泵，用于向所述儲(chǔ)罐供應(yīng)干燥空氣，所述控制部可以通過所述加壓泵能夠在所述儲(chǔ)罐的內(nèi)部壓力的基礎(chǔ)上增加規(guī)定的壓力。

7、此時(shí)，所述傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)還可以包括：加壓泵閥，設(shè)置于所述儲(chǔ)罐，用于使所述儲(chǔ)罐的內(nèi)部空間與所述加壓泵能夠彼此連通。

8、此時(shí)，所述控制部可以通過控制所述加壓泵閥的開閉來(lái)控制所述儲(chǔ)罐的內(nèi)部壓力。

9、此時(shí)，所述加壓泵可以恒定地提供規(guī)定的壓力。

10、此時(shí)，連接到所述儲(chǔ)罐的所述加壓泵的位置，可以高于儲(chǔ)存在所述儲(chǔ)罐內(nèi)部的所述傳熱流體的水面。

11、此時(shí)，所述規(guī)定的壓力可以為0.4bar以上且0.6bar以下。

12、此時(shí)，所述傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)還可以包括：被冷卻體加熱器，用于加熱所述被冷卻體，所述控制部可以通過所述傳熱流體與所述被冷卻體加熱器來(lái)控制所述被冷卻體的溫度。

13、此時(shí)，所述傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)還可以包括：壓力調(diào)節(jié)閥，設(shè)置于所述儲(chǔ)罐，用于使所述儲(chǔ)罐的內(nèi)部空間與所述儲(chǔ)罐的外部能夠彼此連通。

14、此時(shí)，所述控制部可以通過控制所述壓力調(diào)節(jié)閥的開閉來(lái)控制所述儲(chǔ)罐的內(nèi)部壓力。

15、此時(shí)，所述控制部可以通過利用經(jīng)過所述被冷卻體的所述傳熱流體熱膨脹來(lái)控制增加的所述儲(chǔ)罐的內(nèi)部壓力。

16、此時(shí)，所述傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)還可以包括：壓力傳感器，設(shè)置于所述儲(chǔ)罐并用于測(cè)量所述儲(chǔ)罐的內(nèi)部壓力，所述控制部可以通過所述壓力傳感器測(cè)量的壓力信息來(lái)控制所述壓力調(diào)節(jié)閥的開閉，從而控制所述儲(chǔ)罐的內(nèi)部壓力。

17、此時(shí)，所述傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)還可以包括：溫度傳感器，設(shè)置于所述儲(chǔ)罐并用于測(cè)量?jī)?chǔ)存在所述儲(chǔ)罐中的所述傳熱流體的溫度，所述控制部可以通過所述溫度傳感器測(cè)量的溫度信息來(lái)控制所述壓力調(diào)節(jié)閥的開閉，從而控制所述儲(chǔ)罐的內(nèi)部壓力。

18、此時(shí)，所述傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)還可以包括：加壓泵，通過向所述儲(chǔ)罐供應(yīng)干燥空氣來(lái)恒定地提供規(guī)定的壓力；以及加壓泵閥，設(shè)置于所述儲(chǔ)罐，用于使所述儲(chǔ)罐的內(nèi)部空間與所述加壓泵能夠彼此連通，所述控制部還可以通過控制加壓泵閥的開閉來(lái)控制所述儲(chǔ)罐的內(nèi)部壓力。

19、此時(shí)，當(dāng)所述溫度傳感器測(cè)量的溫度信息低于第一溫度時(shí)，所述控制部可以關(guān)閉所述加壓泵閥并打開所述壓力調(diào)節(jié)閥。

20、此時(shí)，當(dāng)所述溫度傳感器測(cè)量的溫度信息高于或等于第一溫度時(shí)，所述控制部可以關(guān)閉所述加壓泵閥并關(guān)閉所述壓力調(diào)節(jié)閥，使得經(jīng)過所述被冷卻體的所述傳熱流體熱膨脹，從而所述儲(chǔ)罐的內(nèi)部壓力逐漸增加。

21、此時(shí)，當(dāng)所述溫度傳感器測(cè)量的溫度信息高于或等于第二溫度，且第二溫度高于第一溫度時(shí)，所述控制部可以打開所述加壓泵閥。

22、此時(shí)，所述傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)還可以包括：氣動(dòng)調(diào)節(jié)器，在通過所述加壓泵加壓所述儲(chǔ)罐內(nèi)部的狀態(tài)下，使所述儲(chǔ)罐的內(nèi)部壓力保持恒定。

23、此時(shí)，連接到所述儲(chǔ)罐的所述供應(yīng)流路的位置可以低于儲(chǔ)存在所述儲(chǔ)罐內(nèi)部的所述傳熱流體的水面，連接到所述儲(chǔ)罐的所述回收流路的位置可以低于儲(chǔ)存在所述儲(chǔ)罐內(nèi)部的所述傳熱流體的水面。

24、此時(shí)，所述傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)還可以包括：泵，連接到所述供應(yīng)流路或所述回收流路，且形成流體流動(dòng)，使得儲(chǔ)存在所述儲(chǔ)罐內(nèi)部的所述傳熱流體依次經(jīng)過所述供應(yīng)流路、所述被冷卻體及所述回收流路后返回到所述儲(chǔ)罐；以及溫度調(diào)節(jié)器，將供應(yīng)到所述被冷卻體的所述傳熱流體的溫度保持在規(guī)定溫度。

25、發(fā)明的效果

26、根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)，通過加壓泵對(duì)傳熱流體進(jìn)行加壓，從而可以提高在低溫下具有低黏度的傳熱流體的汽化點(diǎn)。

27、此外，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)，通過經(jīng)過被冷卻體的傳熱流體的熱膨脹來(lái)增加儲(chǔ)罐內(nèi)部的壓力，從而可以提高在低溫下具有低黏度的傳熱流體的汽化點(diǎn)。

28、應(yīng)當(dāng)理解的是，本發(fā)明的效果不限于所述效果，并且包括能夠通過本發(fā)明的描述或權(quán)利要求范圍中的技術(shù)特征得出的所有效果。

技術(shù)特征：

1.一種傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，還包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，還包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，還包括：

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，還包括：

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，還包括：

13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，還包括：

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，還包括：

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，

16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，

18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，還包括：

19.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，

20.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，還包括：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，所述傳熱流體供應(yīng)系統(tǒng)可以包括：被冷卻體，其內(nèi)部形成有供傳熱流體經(jīng)過的傳熱流路；儲(chǔ)罐，其內(nèi)部形成的空間儲(chǔ)存所述傳熱流體；供應(yīng)流路，連接所述儲(chǔ)罐與所述傳熱流路的一側(cè)；回收流路，連接所述儲(chǔ)罐與所述傳熱流路的另一側(cè)；以及控制部，控制所述儲(chǔ)罐的內(nèi)部壓力。

技術(shù)研發(fā)人員：文浩鉉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社塞米克斯
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6