專利名稱:用于高速原子力顯微鏡的激光檢測(cè)裝置及其檢測(cè)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及掃描探針顯微成像技術(shù)領(lǐng)域：
，特別涉及一種用于高速原子力顯微鏡的共軸-對(duì)稱式激光檢測(cè)方法及其檢測(cè)裝置，屬于掃描探針顯微技術(shù)領(lǐng)域：
。
背景技術(shù)：
隨著科技的發(fā)展，生物、化學(xué)、材料以及納米科技等領(lǐng)域迫切需要能夠在微納米尺度上實(shí)現(xiàn)快速檢測(cè)或高速成像的技術(shù)。掃描探針顯微鏡(SPM)是目前開展納米檢測(cè)與表征的重要工具，能夠?qū)崿F(xiàn)微納米尺度顯微成像、檢測(cè)和加工。
原子力顯微鏡屬于掃描探針顯微鏡家族，是在掃描隧道顯微鏡基礎(chǔ)上發(fā)展起來、用途廣泛的顯微設(shè)備。然而，常規(guī)原子力顯微鏡的成像速度很慢，應(yīng)用范圍受到很大限制，·無法對(duì)樣品的動(dòng)態(tài)過程進(jìn)行觀測(cè)，例如生物細(xì)胞或分子動(dòng)態(tài)過程的檢測(cè)等。所以，如何提高常規(guī)原子力顯微鏡的掃描速度一直成為人們關(guān)注和研究的熱點(diǎn)。
提高原子力顯微鏡掃描速度關(guān)鍵問題之一就是減小微懸臂探針的幾何尺寸，提高其共振頻率。在常規(guī)原子力顯微鏡中，一般利用激光偏轉(zhuǎn)方法來檢測(cè)探針的運(yùn)動(dòng)狀況，從而獲得樣品表面的高度起伏。圖I給出了這種檢測(cè)方法的基本原理。由激光器I'發(fā)出的激光光束，照射到鍍有金膜的探針2'表面，經(jīng)探針2'反射后照射到位置靈敏度探測(cè)器3'(PSD)的表面，通過檢測(cè)激光光斑在PSD3'表面位置的變化達(dá)到檢測(cè)樣品表面高度起伏的目的。在常規(guī)原子力顯微鏡中，如果照射到微懸臂探針上的激光光斑大小是恒定的，當(dāng)減小微懸臂的幾何尺寸時(shí)，會(huì)有多余的激光繞過微懸臂，照射到樣品表面。該部分激光經(jīng)樣品表面反射后，如果照射到位置靈敏度探測(cè)器PSD的表面，將對(duì)AFM (原子力顯微鏡，AtomicForce Microscope)的正常工作造成影響。為了能夠使用更小尺寸微懸臂探針,實(shí)現(xiàn)高速AFM成像，必須減小激光器光斑的幾何尺寸。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種用于高速原子力顯微鏡的激光檢測(cè)方法及其檢測(cè)裝置，以減小入射激光光斑的幾何尺寸，用于原子力顯微鏡高速成像。
本發(fā)明所述的激光檢測(cè)方法為由激光器發(fā)射出的水平激光束，經(jīng)過激光器透鏡準(zhǔn)直后，入射到分光棱鏡上，經(jīng)分光棱鏡反射后向下入射到非球面鏡中，經(jīng)過非球面鏡聚焦到探針表面；經(jīng)探針表面反射的光束再次經(jīng)過非球面鏡，經(jīng)另一分光棱鏡反射最終照射到位置靈敏度探測(cè)器上。這樣，激光束經(jīng)過非球面鏡聚焦后的光斑直徑大大降低，從而得到小于激光束直徑的小尺寸光斑?；谠摍z測(cè)方法，本發(fā)明提供的激光檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)組成主要包括激光器固定壓片(I)、激光器支撐板(2)、連接板(3)、分光棱鏡固定框架(4)、非球面鏡鏡筒(5 )、分光棱鏡壓板(6 )、前置放大器和PSD固定板(7 )、二維調(diào)節(jié)臺(tái)A、B (8，9 )、二維調(diào)節(jié)臺(tái)固定架(10)、AFM探針架(11)和底板(13)，還可以包括探針架固定板(12)、M3螺紋圈(14)和兩個(gè)探針架固定彈片(15)。激光器固定壓片(I)與激光器支撐板(2)連接，用于固定激光器；分光棱鏡固定架(4)與分光棱鏡壓板(6)連接,用于固定分光棱鏡；非球面鏡鏡筒(5 )和分光棱鏡固定架(4) 一起固定在連接板(3 )上，然后將該連接板(3 )固定在一個(gè)二維調(diào)節(jié)臺(tái)A (8)上。前置放大器和PSD固定板(7)在另一個(gè)二維調(diào)節(jié)臺(tái)B (9)上，再把該二維調(diào)節(jié)臺(tái)B (9)固定在左側(cè)的二維調(diào)節(jié)臺(tái)固定架(10)上，所述的二維調(diào)節(jié)臺(tái)A (8)和二維調(diào)節(jié)臺(tái)B (9)都固定在底板(13)上。高速原子力掃描探針架固定板固定在底板(13)上。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于
(I)采用本發(fā)明提供的檢測(cè)裝置，獲得激光光斑尺寸小，可以達(dá)到16i!m以內(nèi)，比激光束光斑減小50%左右；
(2)本發(fā)明提供的整個(gè)檢測(cè)裝置可以安裝在現(xiàn)有原子力顯微鏡上，用于高速原子力顯微成像；
(3)本發(fā)明所述的檢測(cè)裝置結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉、工作穩(wěn)定性好；
(4)本發(fā)明提供的檢測(cè)裝置具有調(diào)節(jié)容易、使用簡單、抗干擾能力強(qiáng)等特點(diǎn)，可以用于原子力顯微高速成像。


圖I常規(guī)原子力顯微鏡探針檢測(cè)光路原理圖；
圖2本發(fā)明的檢測(cè)方法的光路原理圖；
圖3本發(fā)明的共軸-對(duì)稱式激光檢測(cè)裝置結(jié)構(gòu)圖；
圖中
I'、激光器；2'、探針；3'、PSD (位置靈敏度探測(cè)器)；
I"、激光器；2"、分光棱鏡A ;3"分光棱鏡B ;4"、非球面鏡；5"、探針；
6"、PSD;
I、激光器固定壓片；2、激光器支撐板；3、連接板；4、分光棱鏡固定框架；
5、非球面鏡鏡筒(上下兩個(gè)部分)；6、分光棱鏡壓板；7、前置放大器和PSD固定板；
8、二維調(diào)節(jié)臺(tái)A ;9、二維調(diào)節(jié)臺(tái)B ;10、二維調(diào)節(jié)臺(tái)固定板；11、探針架；
12、探針架固定板；13、底板；14、M3螺紋圈；15、探針架固定彈片。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)描述；
本發(fā)明提供一種用于高速原子力顯微鏡的激光檢測(cè)方法，所述方法為由激光器I"發(fā)射出的激光束經(jīng)過激光器準(zhǔn)直鏡準(zhǔn)直后，平行于主光軸經(jīng)非球面鏡4"聚焦到探針5"表面；經(jīng)探針5"表面反射的光束再次經(jīng)過非球面鏡4"，反射到位置靈敏度探測(cè)器6"上。
所述的方法還可以采用如下的方式，如圖2所示，進(jìn)行共軸-對(duì)稱式激光檢測(cè)由激光器I"發(fā)射出的水平激光束，經(jīng)過激光器準(zhǔn)直鏡準(zhǔn)直后，入射到分光棱鏡A2"上，經(jīng)分光棱鏡A2"反射后平行于主光軸向下入射到非球面鏡4"中，經(jīng)過非球面鏡4"聚焦到探針5"表面；經(jīng)探針5"表面反射的光束再次經(jīng)過非球面鏡4"，經(jīng)另一分光棱鏡B3"反射最終照射到位置靈敏度探測(cè)器6"上。上述檢測(cè)方法中，所述的位置靈敏度探測(cè)器6"的光接收點(diǎn)與激光器I"的光發(fā)射點(diǎn)的連線為水平線，即所述的位置靈敏度探測(cè)器6"接收的反射光線與激光器I"的出射光線共軸。[0026]基于上述的激光檢測(cè)方法，本發(fā)明還提供一種共軸-對(duì)稱式激光檢測(cè)裝置，如圖3所示，所述的檢測(cè)裝置包括激光器固定壓片I和激光器支撐板2、連接板3、分光棱鏡固定框架4和分光棱鏡壓板6、非球面鏡鏡筒5、前置放大器和PSD固定板7、二維調(diào)節(jié)臺(tái)A8和二維調(diào)節(jié)臺(tái)B9、二維調(diào)節(jié)臺(tái)固定板10、探針架11和底板13，還包括探針架固定板12、M3螺紋圈14以及探針架固定彈片15。所述的共軸-對(duì)稱式激光檢測(cè)裝置的具體連接關(guān)系如下
將激光器I"放置在激光器支撐板2上，并且用激光器固定壓片I進(jìn)行固定，用于產(chǎn)生水平激光束；所述的激光器支撐板2固定在連接板3上；分光棱鏡A2"和分光棱鏡B3"放置在水平激光束出射方向的分光棱鏡固定框架4中，用分光棱鏡壓板6進(jìn)行固定，所述
的分光棱鏡固定框架4也固定在連接板3上；非球面鏡4"放置并固定在非球面鏡鏡筒5的下半部分，非球面鏡鏡筒5的上半部分固定在連接板3的下方，非球面鏡鏡筒5的上、下兩個(gè)部分通過螺紋耦合在一起；所述的非球面鏡鏡筒5內(nèi)部的非球面鏡4"的光心距離探針5"的距離為非球面鏡4"的一倍焦距。連接板3用M2螺釘固定在二維調(diào)節(jié)臺(tái)AS上面，所述的二維調(diào)節(jié)臺(tái)AS可以在水平面內(nèi)實(shí)現(xiàn)連接板3及其上固定的部件的位置調(diào)節(jié)，如調(diào)節(jié)激光光斑在探針5"懸臂上的位置；左側(cè)前置放大器與PSD固定板7固定在二維調(diào)節(jié)臺(tái)B9上，所述的二維調(diào)節(jié)臺(tái)B9可以在豎直平面內(nèi)實(shí)現(xiàn)對(duì)前置放大器與PSD固定板7上的前置放大器與PSD的調(diào)節(jié)，使得反射激光剛好落在PSD的中心處，實(shí)現(xiàn)高速原子力顯微鏡的掃描和成像。二維調(diào)節(jié)臺(tái)B9固定在二維調(diào)節(jié)臺(tái)固定板10上,二維調(diào)節(jié)臺(tái)固定板10通過M3螺釘固定在底板13的左端；二維調(diào)節(jié)臺(tái)A8固定在底板13的右端；AFM探針放置在探針架11上，并且保證AFM探針位于非球面鏡鏡筒5的正下方；探針架11固定在探針架固定板12上，探針架固定板12通過探針架固定彈片15連接在底板13上。所述的探針架固定板12與探針架11為固定連接，當(dāng)需要更換探針時(shí)，只需要將探針架固定板12拆下來更換即可，因此，所述的探針架固定板12與底板13之間是通過探針架固定彈片15實(shí)現(xiàn)的可拆卸式連接。二維調(diào)節(jié)臺(tái)AS用于在水平方向調(diào)節(jié)激光光斑的位置；非球面鏡焦距的調(diào)節(jié)是通過改變非球面鏡鏡筒5上下兩部分的耦合螺紋實(shí)現(xiàn)；二維調(diào)節(jié)臺(tái)B9在豎直方向上調(diào)節(jié)前置放大器和位置靈敏度探測(cè)器PSD6"的位置，調(diào)節(jié)激光光斑在PSD6"上的位置。
實(shí)施例:
整個(gè)高速原子力顯微鏡共軸-對(duì)稱式激光檢測(cè)裝置的長度為122mm、寬度為90mm、高度為72mm。該裝置使用的激光器長度為47mm，其中，前端準(zhǔn)直部分長度為18mm，直徑17mm，后端長度為29mm，直徑15mm。分光棱鏡A2"和分光棱鏡B3"為立方體形，長、寬、高均為12. 7mm，反射、透射比為I :1。非球面鏡4"型號(hào)是Thorlabs公司AL1815-A，其直徑為18mm，有效焦距15mm，數(shù)值孔徑NA為0. 534。激光器固定壓片I通過M3螺釘固定在激光器支撐板2上；激光器支撐板2通過兩個(gè)M2. 5螺釘固定在連接板3上；分光棱鏡A2"和分光棱鏡B3"的長和寬均為30mm，高度為18mm，其中分光棱鏡固定框架4中間凹槽長度為28mm，寬度為14. 8mm,深度為13mm。兩個(gè)分光棱鏡A2"和分光棱鏡B3"相鄰兩個(gè)面附有黑色膠帶，防止光線的相互影響；兩個(gè)分光棱鏡A2"和分光棱鏡B3"兩側(cè)均固定在兩個(gè)厚度約為1_的硬質(zhì)塑料板上，其相互間距約為1mm，以便在進(jìn)行光路調(diào)節(jié)時(shí)用CCD (電荷耦合器件)進(jìn)行觀測(cè)。分光棱鏡壓板6上面固定一個(gè)凸透鏡，在光路調(diào)節(jié)時(shí)，配合CCD進(jìn)行觀測(cè)。兩個(gè)分光棱鏡A2"和分光棱鏡B3"固定好后放入分光棱鏡固定框架4中，然后使用M3螺釘將分光棱鏡壓板6固定在分光棱鏡固定框架4上。非球面鏡鏡筒5上端部分長度為12mm，中間通孔直徑為18mm。其中，帶外螺紋部分長度為6mm,內(nèi)徑為18mm,外徑為23mm ;不帶螺紋部分長度為6mm,內(nèi)徑18mm,外徑為25mm。非球面鏡鏡筒5下端部分長度為14mm,外徑26mm。其中，帶內(nèi)螺紋部分內(nèi)徑為23mm,長度為IOmm,固定非球面鏡4"部分內(nèi)徑為18mm,長度為3mm。在非球面鏡鏡筒5下端部分與上端部分螺紋連接后，采用M3螺紋圈14對(duì)上端部分的螺紋部分進(jìn)行反向螺紋旋緊，用以固定非球面鏡鏡筒5下端部分與上端部分之間的相對(duì)位置。所述的M3螺紋圈14長度為3mm，外徑為26mm，內(nèi)徑為23mm。將非球面鏡4"放入非球面鏡鏡筒5下端部分中，非球面鏡鏡筒5下端部分內(nèi)部附有M3螺紋，通過螺紋圈將非球面鏡4"固定，然后將非球面鏡鏡筒5上下兩個(gè)部分通過M3螺紋耦合在一起，然后用M3螺紋圈14進(jìn)行進(jìn)一步固定。用M3螺釘將分光棱鏡框架4、連接板3和非球面鏡鏡筒5固定在一起。左側(cè)前置放大器與PSD固定板7通過兩個(gè)M2. 5螺釘固定到二維調(diào)節(jié)臺(tái)B9上，用于接收反射激光，然后用4個(gè)M2. 5的螺釘將二維調(diào)節(jié)臺(tái)B9固定到二維調(diào)節(jié)臺(tái)固定板10上，最后將二維調(diào)節(jié)臺(tái)固定板10固定在底板13上。用4個(gè)M2. 5螺釘將連接板3固定到二維調(diào)節(jié)臺(tái)AS上，再將二維調(diào)節(jié)臺(tái)AS固定到底板13上。用M2的螺釘將探針架11固定到探針架固定板12上，并用底板13上的兩個(gè)探針架固定彈片15將探針架固定板12可拆卸式的連接在底板 13上。各個(gè)部件的材質(zhì)均為金屬鋁。
在儀器調(diào)節(jié)過程中，首先打開激光器，打開(XD，調(diào)節(jié)CXD的位置，直到觀測(cè)到微懸臂。調(diào)節(jié)二維調(diào)節(jié)臺(tái)AS，使激光光斑入射到微懸臂上，然后調(diào)節(jié)激光器前端的準(zhǔn)直部分，調(diào)節(jié)出射激光的準(zhǔn)直性。同時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)非球面鏡鏡筒5下端部分，調(diào)節(jié)非球面鏡4"的焦點(diǎn)，使其焦點(diǎn)剛好落在微懸臂上。在整個(gè)掃描過程中，實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)二維調(diào)節(jié)臺(tái)AS，保持激光聚焦點(diǎn)始終落在微懸臂上。當(dāng)光路調(diào)節(jié)好后，左端可以觀測(cè)到入射到PSD的激光光斑是圓形的。利用M3螺紋圈14將非球面鏡鏡筒5上下兩個(gè)部分進(jìn)行固定。光路調(diào)節(jié)好后，調(diào)節(jié)二維調(diào)節(jié)臺(tái)B9，使出射激光光斑剛好落在PSD的中心處。將該裝置調(diào)節(jié)好之后，配合原子力顯微鏡掃描裝置的壓電陶瓷管，可以實(shí)現(xiàn)高速原子力顯微鏡的掃描與成像。上述方式調(diào)節(jié)得到的光斑尺寸小于16 V- m。
所述的檢測(cè)裝置中，激光器和PSD分別位于非球面鏡4"的主光軸的兩側(cè)，并且所述的激光器中發(fā)出的準(zhǔn)直激光線，與PSD接收的反射光線處于同一個(gè)水平線上，保證激光線共軸和對(duì)稱分布，這樣形成的檢測(cè)裝置也稱為共軸一對(duì)稱式檢測(cè)裝置，有利于檢測(cè)裝置的布置和布局，可以最大程度上減小掃描過程中的振動(dòng)可能對(duì)檢測(cè)裝置的精度的影響。
對(duì)于所述的檢測(cè)裝置，其中的激光器和PSD可以分別位于分光棱鏡固定框架4的上方，此時(shí)可以不采用分光棱鏡，激光器發(fā)射的激光經(jīng)過準(zhǔn)直后直接以平行于非球面鏡的主光軸的方向入射到非球面鏡上，經(jīng)過非球面鏡兩側(cè)反射后，PSD接收反射光斑。
對(duì)于所述的檢測(cè)裝置，探針在探針架11的位置，在水平面上傾斜15度。因此，連接板3左側(cè)部分，即與分光棱鏡相連接的部分，沿著入射激光軸向逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)15度，與水平面有15度的傾斜，以保證入射激光光束在軸向上與懸臂相互垂直，進(jìn)而保證照射到懸臂上的激光光斑為圓形。
權(quán)利要求
1.用于高速原子力顯微鏡的激光檢測(cè)方法，其特征在于由激光器發(fā)射出的激光束經(jīng)過激光器透鏡準(zhǔn)直后，平行于非球面鏡主光軸射入非球面鏡聚焦到探針表面；經(jīng)探針表面反射的光束再次經(jīng)過非球面鏡，反射到位置靈敏度探測(cè)器上。
2.根據(jù)權(quán)利要求
I所述的用于高速原子力顯微鏡的激光檢測(cè)方法，其特征在于由激光器發(fā)射出的水平激光束，經(jīng)過激光器透鏡準(zhǔn)直后，入射到分光棱鏡A上,經(jīng)分光棱鏡A反射后，豎直向下，并平行于非球面鏡主光軸入射到非球面鏡中，經(jīng)過非球面鏡聚焦到探針表面；經(jīng)探針表面反射的光束再次經(jīng)過非球面鏡，經(jīng)另一分光棱鏡B反射最終照射到位置靈敏度探測(cè)器上；上述檢測(cè)方法中，所述的位置靈敏度探測(cè)器和激光器分別設(shè)置在所述的非球面鏡主光軸的兩側(cè)，并且所述的位置靈敏度探測(cè)器接收的反射光線與激光器的出射光線共軸。
3.用于高速原子力顯微鏡的激光檢測(cè)裝置，其特征在于包括激光器固定壓片和激光器支撐板、連接板、非球面鏡鏡筒、前置放大器和PSD固定板、二維調(diào)節(jié)臺(tái)A、二維調(diào)節(jié)臺(tái)B、二維調(diào)節(jié)臺(tái)固定板、探針架和底板；將激光器放置在激光器支撐板上，并且用激光器固定壓片進(jìn)行固定；激光器支撐板固定在連接板上；非球面鏡放置并固定在非球面鏡鏡筒的下半部分內(nèi)，非球面鏡鏡筒的上半部分固定在連接板的下方，非球面鏡鏡筒的上半部分和下半部分通過螺紋耦合在一起；連接板固定在二維調(diào)節(jié)臺(tái)A上面，二維調(diào)節(jié)臺(tái)A固定在底板的右端；底板的左端固定二維調(diào)節(jié)臺(tái)固定板，前置放大器和PSD固定板固定在二維調(diào)節(jié)臺(tái)B上，二維調(diào)節(jié)臺(tái)B固定在二維調(diào)節(jié)臺(tái)固定板上；AFM探針通過探針架固定并放置在非球面鏡鏡筒下方。
4.根據(jù)權(quán)利要求
3所述的用于高速原子力顯微鏡的激光檢測(cè)裝置，其特征在于所述的檢測(cè)裝置還包括分光棱鏡固定框架和分光棱鏡壓板，分光棱鏡A和分光棱鏡B放置在水平激光束出射方向的分光棱鏡固定框架中，用分光棱鏡壓板進(jìn)行固定，所述的分光棱鏡固定框架也固定在連接板上，并位于非球面鏡鏡筒的上方。
5.根據(jù)權(quán)利要求
3或4所述的用于高速原子力顯微鏡的激光檢測(cè)裝置，其特征在于所述的檢測(cè)裝置還包括探針架固定板、探針架固定彈片以及底板；探針架固定在探針架固定板上，探針架固定板通過探針架固定彈片可拆卸式連接在底板上。
6.根據(jù)權(quán)利要求
3或4所述的用于高速原子力顯微鏡的激光檢測(cè)裝置，其特征在于在所述的非球面鏡鏡筒的上、下兩個(gè)部分通過螺紋耦合在一起后，將M3螺紋圈螺紋連接在所述的上部分的外螺紋上。
7.根據(jù)權(quán)利要求
3所述的用于高速原子力顯微鏡的激光檢測(cè)裝置，其特征在于激光器和PSD分別位于非球面鏡的主光軸的兩側(cè)，并且所述的激光器中發(fā)出的準(zhǔn)直激光線，與PSD接收的反射光線處于同一個(gè)水平線上。
8.根據(jù)權(quán)利要求
3所述的用于高速原子力顯微鏡的激光檢測(cè)裝置，其特征在于在所述的分光棱鏡壓板上固定有凸透鏡。
9.根據(jù)權(quán)利要求
4所述的用于高速原子力顯微鏡的激光檢測(cè)裝置，其特征在于兩個(gè)分光棱鏡A和分光棱鏡B相鄰兩個(gè)面附有黑色膠帶。
10.根據(jù)權(quán)利要求
3所述的用于高速原子力顯微鏡的激光檢測(cè)裝置，其特征在于二維調(diào)節(jié)臺(tái)A用于在水平方向調(diào)節(jié)激光光斑的位置；非球面鏡焦距的調(diào)節(jié)是通過改變非球面鏡鏡筒上下兩部分的耦合螺紋實(shí)現(xiàn)；二維調(diào)節(jié)臺(tái)B在豎直方向上調(diào)節(jié)前置放大器和位置靈敏度探測(cè)器PSD的位置，調(diào)節(jié)激光光斑在PSD上·的位置。
專利摘要
本發(fā)明公開一種用于高速原子力顯微鏡的激光檢測(cè)裝置及其檢測(cè)方法，涉及掃描探針顯微成像技術(shù)領(lǐng)域：
。所述的檢測(cè)方法為由激光器發(fā)射出的水平激光束，經(jīng)分光棱鏡反射后向下入射到非球面鏡中，經(jīng)過非球面鏡聚焦到探針表面；經(jīng)探針表面反射的光束再次經(jīng)過非球面鏡，經(jīng)另一分光棱鏡反射最終照射到位置靈敏度探測(cè)器上?；谠摍z測(cè)方法，本發(fā)明提供的激光檢測(cè)裝置主要包括激光器固定壓片、激光器支撐板、連接板、分光棱鏡固定框架、非球面鏡鏡筒、分光棱鏡壓板等。采用本發(fā)明提供的檢測(cè)裝置，獲得激光光斑尺寸小，可以達(dá)到16μm以內(nèi)，比激光束光斑減小50%左右；用于高速原子力顯微成像，具有調(diào)節(jié)容易、使用簡單、抗干擾能力強(qiáng)等特點(diǎn)。
文檔編號(hào)G01Q30/02GKCN102778588SQ201210245733
公開日2012年11月14日 申請(qǐng)日期2012年7月16日
發(fā)明者公為濤, 商廣義, 蔡微, 趙劍勇 申請(qǐng)人:北京航空航天大學(xué)導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan