專利名稱:用于被測裝置具有近似控溫管理的微型熱處理室的制作方法
背景技術：
在制作半導體設備的過程中，制作出的半導體設備需要進行一系列綜合性測驗，以保證其適于被最終用戶使用。該測試程序是利用自動測試儀器(ATE)進行的。該ATE系統(tǒng)是設計來測試多種條件下的裝置(通常指的是被測裝置或DUT)。ATE系統(tǒng)一般包括對設備進行測試的檢測器、將將裝置放入檢測器并將裝置從檢測器中取出的操縱器。在檢測的過程中，由于溫度會影響被測裝置的電性能，因此最好是將裝置保持在預定溫度下。另外，為了在設計溫度下測試裝置以模擬該裝置的設計和操作條件，該檢測器需要在很寬溫度范圍內測試裝置。因此，就有必要在測試過程中控制裝置的溫度。
控制溫度的一種解決方案涉及將加熱單元設置到被測裝置和液冷散熱片之間。然而，該解決方法對加熱和冷卻不能作出迅速響應。另外，加熱元件其實必須非常薄以防止過度屏蔽，并防止影響熱沉冷卻效果。因此，加熱單元需要具有低的熱質量(thermal mass)，這既增加成本又影響了響應時間和高瓦特數的應用。
根據另一解決方案，液體被設置在加熱單元和該裝置之間以降低此間的熱阻。然而，在測試之后，液體自身需要蒸發(fā)掉，不能在設備上留有任何殘留。另外，液體需要在較大的溫度范圍內以供測試。因此，這種液體很難找到，使得采用液體不實際。
另外，備選的解決方案包括使用熱電設備和熱交換器。然而，熱電設備不能用在高功率密度上，并且在工業(yè)環(huán)境中是不可靠的。
因此，提供DUT溫度控制的已有解決方案不能控制大范圍的溫度，不具有快速響應時間，在測試過程中不穩(wěn)定也不易于控制。

發(fā)明內容本發(fā)明的一個方面是提供一種具有快速響應并用機械方法控制被測裝置溫度的低成本機械溫度控制單元。
本發(fā)明的另一個方面是提供一種低成本的機械溫度控制單元，其通過機械調節(jié)被測裝置上方的熱阻和/或熱屬性，來控制被測裝置的溫度。
本發(fā)明的其他方面以及優(yōu)點部分將在下文中闡述，部分在描述中已很明顯，或者可以在本發(fā)明的實踐中得出。
根據本發(fā)明的一個方面，控制被測裝置溫度的溫度單元包括加熱元件，該加熱元件與被測裝置對置并生成被測裝置可以透過間隙接收的熱量；以及執(zhí)行器，在加熱元件生成熱量時，其移動加熱元件以調節(jié)該間隙，從而改變被測裝置所接收到的熱量，并從而調節(jié)被測裝置的溫度。
根據本發(fā)明的另一方面，該執(zhí)行器增大該間隙以增加加熱元件及被測裝置之間的熱阻，從而降低被測裝置接收到的熱量；該執(zhí)行器減小該間隙以減小加熱元件和被測裝置之間的熱阻，以增加被測裝置接收到的熱量。
根據本發(fā)明的另一方面，溫度單元還包括殼體，該殼體將執(zhí)行器和加熱元件封裝在內，并包括支撐被測裝置的界面，其中該殼體可連接至用在自動測試設備中的操縱器。
根據本發(fā)明的另一方面，利用液體控制被測裝置溫度的溫度單元包括與被測裝置對置的部件，該部件限定了其與被測裝置之間的間隙，液體以間隙液體流速通過該間隙流過被測裝置，還包括執(zhí)行器，該執(zhí)行器移動該部件以調節(jié)間隙并改變流過被測裝置液體的間隙流速，從而調節(jié)被測裝置的溫度。
根據本發(fā)明的另一方面，部件包括加熱元件，被測裝置可以透過間隙接收該加熱元件產生的熱量。
根據本發(fā)明的另一方面，溫度單元還包括通道和閥門，液體通過該通道流經溫度單元，該閥門控制導入該通道的液體的初始流速，其中執(zhí)行器調節(jié)間隙從而使間隙流速與初始流速不同。
根據本發(fā)明的另一方面，溫度單元還包括通道和泵，液體通過該通道流經溫度單元，該泵控制導入該通道的液體的初始流速，其中執(zhí)行器調節(jié)間隙從而使間隙流速與初始流速不同。
根據本發(fā)明另一方面，溫度單元還包括閥，液體通過該閥從通道和泵之間流過，其中該閥是關閉的，以便泵在間隙處產生吸力。
根據本發(fā)明的另一方面，當產生吸力時，加熱元件產生熱量以調節(jié)被測裝置的溫度。
根據本發(fā)明的另一方面，一種記錄有處理指令的計算機可讀介質，采用計算機執(zhí)行控制被測裝置溫度的方法，該方法包括確定執(zhí)行器及加熱元件的設置以實現被測裝置所要求的溫度，根據已確定的加熱器部件設置調節(jié)加熱元件以生成熱量，并根據確定的執(zhí)行器設置調節(jié)執(zhí)行器以將加熱元件移動到被測裝置上方一定距離處。
根據本發(fā)明的另一方面，一種帶有處理指令的計算機可讀介質，采用計算機執(zhí)行被測裝置的溫度控制的方法，該方法包括，對引入溫度單元的液體的初始流速來說，確定需要的執(zhí)行器設置以獲得被測裝置需要的溫度，根據確定的執(zhí)行器設置調節(jié)執(zhí)行器以將部件移動至被測裝置上方的間隙中，以改變流經已獲得所需溫度的被測裝置的液體的初始流速，獲得其間隙流速。
根據本發(fā)明的另一方面，該部件包括加熱元件，該加熱元件生成被測裝置可以透過間隙接收的熱量，以及該方法進一步包括決定所需加熱元件的設置已獲得與確定的執(zhí)行器設置相一致的被測裝置的所需溫度，并根據設定的加熱器部件設置調節(jié)加熱器部件以生成熱量。
根據本發(fā)明的另一方面，該方法進一步包括檢測被測裝置的當前溫度，并且如果當前溫度不是所需溫度時，調節(jié)加熱器部件和執(zhí)行器中的一個。
根據本發(fā)明的另一方面，確定執(zhí)行器和加熱器部件的設置包括檢測被測裝置的當前溫度，并且如果當前溫度不是所需溫度時設定該加熱器部件和執(zhí)行器的設置。
根據本發(fā)明的另一方面，該方法進一步包括通過調節(jié)液體流入或流出溫度單元所經過的閥、并通過控制使液體在溫度單元中循環(huán)的泵，在間隙中生成吸力。
根據下文參照附圖對實施例的描述，本發(fā)明這些及其他目標將變得明顯并更易理解，附圖中圖1為根據本發(fā)明實施例的與處理器相連的模塊示意圖；圖2為圖1所示模塊實施例的示意圖；圖3為圖1所示模塊另一實施例的示意圖；圖4為圖3所示模塊的另一實施例，其中該模塊支撐著被測裝置；及圖5和圖6為根據本發(fā)明另一實施例的微型熱處理室內部的立體圖。
具體實施方式現在就詳細描述本發(fā)明的現有實施例，附圖中示出了其示例，其中相同的附圖標記始終指代相同的元件。下文將對實施例進行描述以參照附圖解釋本發(fā)明。
圖1簡要地示出了本發(fā)明的實施例，其中模塊100與處理器200一起使用。如圖2中的實施例所示，模塊100包括溫度控制單元10，溫度控制單元10支撐在被測裝置1000上，用界面40生成控制溫度的空間。在該空間內，加熱元件20被連接到執(zhí)行器30上，這樣就能在執(zhí)行器30的作用下相對于被測裝置1000移動。如圖所示，該執(zhí)行器30為螺旋式執(zhí)行器，具有螺桿35，螺桿35能使加熱元件20精確地設置在被測裝置1000上方，以控制這二者之間的間隙g。然而，當然也可以使用其他類型的執(zhí)行器30。其他類型的執(zhí)行器30包括但不限于線性電動機、齒條齒輪裝置和其他類型的線性運動裝置。
間隙g的改變會改變熱阻以增加或降低被測裝置1000的溫度。具體來說，間隙g的改變調節(jié)了被測裝置1000和加熱元件20之間的距離。間隙g使被測裝置1000和加熱元件20之間具有熱阻。因此，對加熱元件20產生的一定的熱量來說，被測裝置1000獲得的溫度作為間隙g的函數會發(fā)生改變。這種改變大致成反比，即間隙g越小，被測裝置1000的溫度越高。
為了控制執(zhí)行器30和加熱元件20，控制器50驅動執(zhí)行器驅動器60和加熱器驅動器70。特別是控制器50控制加熱器驅動器70，以便使加熱元件20達到預定的溫度?？刂破?0控制執(zhí)行器驅動器60以控制執(zhí)行器30來操縱加熱元件20至被測裝置1000上的預定間隙g。這樣，被測裝置1000的溫度將通過加熱元件20所產生的熱量和通過由于執(zhí)行器30調整被測裝置1000和加熱元件20之間的間隙g所引起的預定熱阻兩種方式控制。
采用適當的介質如周圍空氣可以限定熱阻，適當的介質具有預定的熱行為和為距離函數的絕緣值。然而，可以理解的是真空或接近真空的條件也能夠被用來控制其間的熱阻。
根據本發(fā)明的一方面，控制器50使用反饋回路來控制加熱器驅動器70和執(zhí)行器驅動器60，以調整和/或保持加熱元件20的溫度和間隙g。例如，反饋回路可以使用一傳感器(未示出)，控制器50利用傳感器來確定被測裝置1000的當前溫度。該傳感器可以是外部溫度傳感器，并能夠在被測裝置1000接觸界面40上接觸被測裝置。另外，被測裝置1000可以包含內部溫度傳感器。在這種情況下，內部溫度傳感器可以包括二極管，并且控制器能夠通過連通被測裝置感知在二極管中正常方向上電壓的改變。無論如何，要獲得當前溫度，通過比較當前溫度和檢測所要求的溫度，控制器50調整加熱器驅動器70和執(zhí)行器驅動器60，以實現所要求的溫度。這樣，本發(fā)明的所有方面都不要求控制器50為了獲得被測裝置1000上的溫度而使用預先的標定值和設置。此外，控制器50能夠感知其他溫度如加熱元件20的表面溫度、輸入模塊的液體溫度、或流出模塊液體的溫度。另外，控制器50可以接收由被測裝置消耗的能量值。
此外，很明顯控制器50所使用的一個設置是預先校準的，同時為了實現并保持溫度使用反饋回路來控制其余的設置。根據本發(fā)明的一方面，控制器50使用預先校準變量作為設置來控制加熱元件20的溫度，并且使用反饋回路來控制執(zhí)行器30以調整間隙“g”。然而，很明顯也可以使用其他的排列和組合。
根據圖3中所示的模塊100的另一個實施例，模塊100進一步通過導入的流體240來控制熱阻。使用泵300，流體240被泵送通過入口210。被導入的液體240通過加熱元件20、界面40、溫度控制單元10和被測裝置1000之間的通道。來自模塊100的流體240通過出口220被排出。為了避免流體泄漏，在被測裝置接觸界面40點處可以包括密封件如O形圈或彈性密封組件。
為了另外使用流體240控制溫度，控制器50進一步利用閥門控制器310和泵控制器320。閥門控制器310控制吸入閥340和排出閥330，以便控制通過模塊100的流體240的流速。泵控制器320控制泵300，也以便控制通過模塊100的流體240的流速。流體240可以是任何類型的氣體或液體，這些氣體和液體在已有技術中用于冷卻裝置。另外，該流體可以是不蒸發(fā)的流體其在被測裝置上不會蒸發(fā)，蒸發(fā)流體其在被測裝置上蒸發(fā)。此外，雖然閥門330、340能夠是可變的控制閥門，但閥門330、340在本發(fā)明的所有方面中都不必是可變的。
通過控制加熱元件20，可以粗略地調整被測裝置1000的溫度。此外，由于被測裝置1000和加熱元件20之間的熱阻與間隙g之間通常成反比，使用執(zhí)行器30調整間隙g可以更精確地控制被測裝置1000的溫度。例如，當間隙g為0的時候，被測裝置1000將與加熱元件20接觸，并將可以實現給加熱元件設定的最高溫度。相反，當間隙g非常大的時候，對于給定的加熱元件設置來說加熱元件20的效果將被大大減小。
如圖3中所示流體240的進一步導入，如上文所述通過調整流過被測裝置1000上的流體240的流速和速度，溫度將進一步得到調節(jié)。由于流體240是直接接觸被測裝置1000的，熱阻可以被更精確地控制。特別地，通過調整間隙g，通過由流速導致的對流效應和傳導效應來控制溫度。同樣，在被測裝置1000處流體240的靜態(tài)熱阻和由于流速傳到走的熱量都影響間隙g的變化，這兩者也影響被測裝置1000的溫度(通過冷卻或加熱)。
圖2和圖3中所示的控制器50可以是已知的任何類型的控制器。特別地，控制器50可以是機械地、應用器件操作系統(tǒng)、或使用普通或特別目的的存儲在任何記錄介質上的計算機實施軟件來實施?？刂破?0存儲的設置和/或變量用于控制溫度。這些設置和/或變量包括實現給定溫度所需的間隙g、實現給定溫度提供給加熱元件20的電流或電能、以及為實現給定溫度以實現流過被測裝置1000的流體流動對泵300和閥門330，340的設置。另外，這里作為間隙g的函數，將加熱元件20形成為部分地堵塞入口210和排出口220，該變量還可以包括執(zhí)行器30的設置，執(zhí)行器30使用加熱元件20以進一步遮擋開口210、220來實現所希望的溫度。對于本領域的那些技術人員來說是明顯的，這些設置和/或變量可以利用本領域已知的經驗或其他模塊技術來確定。
還要注意到，由于加熱元件20的移動，在圖3中所示的實施例中在入口210和出口220之間具有可控制的通路。然而，可以理解的是不必包括這些特征，并且可以設置其他類型的單獨靠加熱元件20的運動來更精確控制通道形狀的可變通道。例如，可以用適當的傾斜機構控制形狀，改傾斜機構傾斜加熱元件20，在流體240流過被測裝置1000時，補償改變流體240。
根據本發(fā)明的另一個實施例，流體240是用于冷卻的適當氣體。特別地，流體240可以是冷卻的空氣、壓縮或液態(tài)的氮、或其他適于冷卻的混合氣體。當被測裝置1000設置在觸點或檢測器(未示出)的時候，流體240加速通過被測裝置1000。如圖4中所示，通路的高度在點2和7與3和6之間最窄，以便來自點1和8的初始流速Vi加速流體至間隙流速V。另外，間隙流速V在點4和5加速至排出流速Vo。流體240的這一加速度流過被測裝置1000后提高，并且在被測裝置1000上機械地控制冷卻效應。
如圖3和圖4中所示，從加熱元件20延伸出伸出部分250以便調節(jié)通道的輪廓。調整該輪廓以優(yōu)化流過被測裝置1000的流體240的流動。然而，在本發(fā)明的所有方面中不必都使用伸出部分250，并且不必都整體地連接到加熱元件20上。另外，可以在界面40和伸出部分250或加熱元件20之間設置密封件。
根據本發(fā)明的另一方面，使用流體240的流動來生成保持在被測裝置1000上的真空，如圖1中所示，這樣模塊100可以進一步用來補充操縱器200的抓取和放下動作。為了使用模塊100來生成真空，控制器50來控制關閉入口閥門340并開啟出口閥門330。在溫度控制單元10中生成這一真空，以便抵著界面40來夾持被測裝置1000。因此，如圖4中所示，界面40可以在被測裝置1000的上面。這樣，根據這一方面，在傳輸的過程中模塊100使用該吸力來夾持被測裝置1000。然而，很明顯其他的機械也能夠用于產生這種吸力，例如倒轉泵300，而非關閉出口閥門330。
另外，雖然示出了兩個閥門330和340，很明顯也可以僅僅使用一個閥門。在這樣的實施例中，根據溫度控制單元10的入口210或出口220之一的位置來控制泵300的方向。
另外，模塊100能夠啟動加熱元件20，以此調整被測裝置1000的溫度，同時被測裝置1000被傳送至檢測階段之前的檢測器上。這里使用傳輸功能，可以理解，可將傳統(tǒng)已知的真空墊(未示出)將安裝到被測裝置1000上以促進吸取效應。
在使用的過程中，圖3中所示的設備將如下方式運行?？刂破?0將使用閥門控制器310來校準閥門330、340。該校準將是用在檢測階段為實現預期溫度的最佳設置?？刂破?0也將確定必須的間隙g以及要求的電流或電能，這樣加熱元件20結合流體流速來實現期望的溫度。該控制器50接著調整間隙g，將確定的電流提供給加熱元件20并通過閥門330、340和泵300的調整來調節(jié)流體240的流速。一旦使用傳感器(未示出)確定被測裝置1000達到期望的溫度，檢測器繼續(xù)檢測被測裝置1000。
這里的模塊100用來夾持被測裝置1000，控制器50將產生真空以便把被測裝置1000夾持在傳輸至檢測器(未示出)的位置上，以用于檢測。雖然沒有要求，很明顯在傳送的過程中可以控制加熱元件20來粗略地調整被測裝置1000的溫度，以便減少在檢測器上的整個的檢測時間。一旦在檢測器上，真空操作將不會連續(xù)，并且被測裝置1000將設置在相應的用于檢測的接觸器上。一旦檢測結束，模塊100再一次產生真空，以便夾持該被測裝置1000，并把該被測裝置1000移動到檢測器的出口位置。
根據圖5中所示的本發(fā)明的另一個實施例，模塊100包括具有絕緣的入口410和絕緣的出口420的加熱元件20。通過入口開口410從入口210流入的流體240由模塊100通過出口開口420移動到出口220。另外，加熱元件20包括其中可以插入分開的加熱元件的加熱元件口430。這樣加熱元件可以是圓柱形的加熱器，或任何其他類型的加熱器元件。然而，很明顯加熱元件20不必使用這種加熱器元件，而采用具有相同的直接插入到加熱元件20中的設計作為替代。
雖然就冷空氣和液態(tài)氮來描述流體240。顯然流體240可以是任何其他快速蒸發(fā)的流體，最好是無毒無污染的。然而，這里使用不蒸發(fā)流體240，很明顯可以在被測裝置1000和加熱元件20之間使用柔性薄膜以避免損失不蒸發(fā)的流體240。很明顯這種薄膜增加了熱阻，從而影響了模塊100的溫度控制，以至于通常優(yōu)選蒸發(fā)的流體240。
另外，流體能夠通過冷卻裝置作為一個循環(huán)流動。在通過出口220之后，具有壓縮機的冷卻單元能夠接收象液體、蒸汽、或液體和蒸汽這樣的熱流體。冷卻單元能夠能夠冷卻該流體至期望的溫度，接著再導入流體。
另外，很明顯非加熱元件能夠用于替代加熱元件20。在這樣的實施例中，流體240將根據流體的溫度和間隙g的尺寸被用來提供被測裝置1000的加熱和冷卻。
在本發(fā)明的另一方面中，通過間隙g的液體的流動僅僅通過間隙(g)的尺寸來控制。在這種情況下，閥門330和340可以不開啟或完全省略。
根據本發(fā)明的各個方面，可以通過調整源頭如加熱元件和目標物如被測裝置之間的熱阻，以在期望的溫度下精確地檢測被測裝置。此外，可以通過引入流體以及通過調整在被測裝置和加熱元件之間的通道的橫截面積來調整流速，以此來更精確地控制溫度。在這樣的組合系統(tǒng)中，被測裝置和加熱元件之間距離的修正，由于距離和流過其間的流體的流速兩者改變了熱阻。這樣，加熱和冷卻介質進入，直接接觸被測裝置，這進一步提高了效率并加快了響應時間。因此，可以以非?？斓捻憫獊砜刂拼鬁囟葏^(qū)間的熱和冷。另外，通過使用電動機機械地控制溫度來代替加熱元件改變溫度，本發(fā)明獲得了有效的解決方法，同時以快速的響應允許精確的溫度控制。因此，本發(fā)明具有低成本、有效的解決方法，并進一步具有拾起、放下被測裝置的選擇權，使得除具有在檢測期間提供溫度控制的優(yōu)點外，可具有被用來傳輸被測裝置的優(yōu)點。
盡管已經示出并描述了本發(fā)明的一些實施例，那些沒有脫離本發(fā)明的原理和精神對這些實施例所做的改變對本領域的那些技術人員來說是顯而易見的，在權利要求
以及它們的等效文件中限定了本發(fā)明的保護范圍。
權利要求
1.一種控制被測裝置溫度的溫度單元，包括與被測裝置相對設置的加熱元件，該加熱元件產生的熱能夠由被測裝置透過間隙所接收；及執(zhí)行器移動加熱元件，并在加熱元件產生熱量的同時調整間隙及改變被測裝置所接收到的熱量，以調整被測裝置的溫度。
2.根據權利要求
1的溫度單元，其中執(zhí)行器增大間隙以增大加熱元件和被測裝置之間的熱阻，以減少在被測裝置上所接收到的熱量，及該執(zhí)行器減小間隙以減小加熱元件和被測裝置之間的熱阻，以增大被測裝置所接收到的熱量。
3.根據權利要求
2的溫度單元，進一步包括設置在間隙中的介質，并且該介質具有熱阻。
4.根據權利要求
1的溫度單元，其中執(zhí)行器進一步包括通過執(zhí)行器可轉動的螺桿，以調整加熱元件和被測裝置之間的間隙。
5.根據權利要求
1的溫度單元，進一步包括罩住執(zhí)行器和加熱元件的殼體，并且該殼體包括夾持被測裝置的界面，其中殼體可連接至用于自動檢測裝置的操縱器上。
6.根據權利要求
1的溫度單元，進一步包括控制執(zhí)行器和加熱元件的控制器，其中控制器包括關于加熱元件和執(zhí)行器設置的信息，用于取得被測裝置的不同溫度。
7.一種使用流體控制被測裝置的溫度的溫度單元，包括與被測裝置相對設置的元件，并且該元件限定了其間的間隙，并且通過該間隙流體以間隙流速通過被測裝置；及移動元件的執(zhí)行器，使得調整間隙并改變流過被測裝置間隙流體的流速，從而調節(jié)被測裝置的溫度。
8.根據權利要求
7的溫度單元，其中元件包括加熱元件，該加熱元件產生透過間隙可被被測裝置接收的熱。
9.根據權利要求
7的溫度單元，進一步包括通道，通過該通道流體流過溫度單元；及閥門，其控制導入到通道中流體的初始流速；其中執(zhí)行器調整間隙使得將初始流速改變?yōu)殚g隙流速。
10.根據權利要求
7的溫度單元，進一步包括通道，通過該通道流體流過溫度單元；及泵，該泵控制導入到通道中的流體的初始流速；其中執(zhí)行器調整間隙使得將初始流速改變?yōu)殚g隙流速。
11.根據權利要求
10的溫度單元，進一步包括閥門，通過該閥門流體在通道和泵之間通過。
12.根據權利要求
11的溫度單元，其中為了在間隙上產生吸力，使得泵足以支撐被測裝置的重量而關閉閥門。
13.根據權利要求
12的溫度單元，其中元件包括加熱元件，該加熱元件產生透過間隙被被測裝置能接收的熱。
14.根據權利要求
13的溫度單元，其中在產生吸力的同時加熱元件產生熱量以及調整被測裝置的溫度。
15.根據權利要求
7的溫度單元，進一步包括控制執(zhí)行器的控制器，其中控制器包括關于執(zhí)行器設置的信息，用于調整間隙流速以取得被測裝置的不同溫度。
16.根據權利要求
8的溫度單元，進一步包括控制執(zhí)行器和加熱元件的控制器，其中控制器包括關于加熱元件和執(zhí)行器設置的信息，用于實現被測裝置溫度的多樣性。
17.根據權利要求
11的溫度單元，進一步包括控制執(zhí)行器、泵、加熱元件和閥門的控制器，其中控制器包括關于執(zhí)行器、泵、加熱元件和閥門設置的信息，以實現被測裝置溫度的多樣性。
18.根據權利要求
17的溫度單元，其中控制器進一步包括關于執(zhí)行器、泵、加熱元件和閥門設置的信息，用于在間隙上產生吸力足以支撐被測裝置的重量。
19.根據權利要求
7的溫度單元，其中元件進一步包括從元件伸出的伸出部分，以限定與被測裝置相對的間隙的輪廓。
20.根據權利要求
19的溫度設備，其中伸出部分是可從元件上拆卸的。
21.一種記錄有處理指令用于通過計算機來實施被測裝置溫度的控制方法的計算機可讀介質，該方法包括檢測執(zhí)行器和加熱元件設置所要求實現的被測裝置的要求溫度；根據檢測到的加熱元件的設置來調整加熱元件產生的熱；及根據檢測到的執(zhí)行器的設置來調整執(zhí)行器以將加熱元件移動至被檢測元件上方的一段距離。
22.根據權利要求
21的計算機可讀介質，該方法進一步包括檢測被測裝置的當前溫度，并且如果當前溫度不是期望的溫度就調整加熱元件、執(zhí)行器中的一個。
23.根據權利要求
21的計算機可讀介質，其中檢測執(zhí)行器和加熱器設置包括檢測被測裝置的當前溫度，并且如果當前溫度不是期望的溫度就檢測加熱元件和執(zhí)行器的設置。
24.一種記錄有用于實施控制被測裝置溫度方法的處理指令的計算機可讀介質，其中溫度單元由計算機執(zhí)行，該方法包括初始流速的流體導入到溫度單元，檢測執(zhí)行器的設置以實現被測裝置所要求的溫度及根據檢測到的執(zhí)行器設置來調整執(zhí)行器以移動元件至被測裝置上方的一間隔，以及改變初始流速以實現流過被測裝置的流體的間隙流速，該間隙流速實現要求的溫度。
25.根據權利要求
24的計算機可讀介質，其中元件包括產生的熱量透過間隙可被被測裝置接收的加熱元件，該方法進一步包括結合檢測到的執(zhí)行器設置，檢測加熱元件的設置所要求實現的被測裝置所要求的溫度；及根據檢測到的加熱元件的設置來調整加熱元件以產生熱量。
26.根據權利要求
25的計算機可讀介質，該方法進一步包括檢測被測裝置的當前溫度，并且如果當前溫度不是要求的溫度就調整加熱元件和執(zhí)行器中的一個。
27.根據權利要求
25的計算機可讀介質，其中檢測執(zhí)行器和加熱元件的設置包括檢測被測裝置的當前溫度，以及如果當前溫度不是要求的溫度就檢測加熱元件和執(zhí)行器的設置。
28.根據權利要求
24的計算機可讀介質，該方法進一步包括通過調整閥門在間隙內產生吸力，通過該閥門流體被導入到溫度單元，并且控制通過溫度單元循環(huán)該流體的泵。
29.根據權利要求
7的溫度單元，進一步包括再次導入流過設備的流體至間隙中的流體循環(huán)。
30.根據權利要求
29的溫度單元，其中流體循環(huán)進一步包括流體冷卻單元。
31.根據權利要求
7的溫度單元，進一步包括流體冷卻單元。
32.根據權利要求
6的溫度單元，進一步包括連接到控制器的溫度傳感器。
33.根據權利要求
32的溫度單元，其中溫度傳感器感知被測裝置的溫度。
34.根據權利要求
15的溫度單元，進一步包括連接到控制器上的溫度傳感器。
35.根據權利要求
34的溫度單元，進一步包括感知被測裝置溫度的溫度傳感器。
36.根據權利要求
16的溫度單元，進一步包括連接到控制器上的溫度傳感器。
37.根據權利要求
36的溫度單元，其中溫度傳感器感知被測裝置的溫度。
38.根據權利要求
17的溫度單元，進一步包括連接到控制器的溫度傳感器。
39.根據權利要求
38的溫度單元，其中溫度傳感器感知被測裝置的溫度。
40.根據權利要求
9的溫度單元，進一步包括與被測裝置、溫度單元和通道接觸的密封件。
41.根據權利要求
19的溫度單元，進一步包括與伸出部分和間隙接觸的密封件。
42.根據權利要求
6的溫度單元，其中控制器感知被測裝置所消耗的能量。
43.根據權利要求
15的溫度單元，其中控制器感知被測裝置所消耗的能量。
44.根據權利要求
16的溫度單元，其中控制器感知被測裝置所消耗的能量。
45.根據權利要求
17的溫度單元，其中控制器感知被測裝置所消耗的能量。
專利摘要
一種使用流體控制被測裝置溫度的溫度單元，該溫度單元包括與被測裝置相對設置的元件和移動該元件的執(zhí)行器，并且該元件限定了兩者之間的間隙，通過該間隙流體以間隙流速橫穿過被測裝置。通過調整這一間隙，流過被測裝置的流體的流速改變，從而調整被測裝置的溫度。另外，該元件可以是加熱元件，其產生的熱透過間隙可被被測裝置吸收，因此通過執(zhí)行器對加熱元件的調整改變橫跨間隙的熱阻。
文檔編號G01R31/28GK1997907SQ200580010977
公開日2007年7月11日 申請日期2005年4月13日
發(fā)明者S·N·羅伊 申請人:株式會社艾德溫特斯特導出引文BiBTeX, EndNote, RefMan