專利名稱:熱陰極極高真空規(guī)的制作方法
熱陰極極高真空規(guī)屬真空測量技術(shù)領(lǐng)域：
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目前國內(nèi)外所用測量真空范圍為10-10～10-12托的真空規(guī)，一般普通規(guī)(其結(jié)構(gòu)為螺旋柵極、V形燈絲、與柵極等長的收集極組成)是不能勝任的。普遍是采用調(diào)制規(guī)或分離規(guī)，而調(diào)制規(guī)多了一個調(diào)制極，測時要讀兩次數(shù)字，再經(jīng)計算才能得到結(jié)果，且重復(fù)性差。分離規(guī)則電極較多，增加了引出極、反射極，故不易除氣，且靈敏度較低。兩者均價格昂貴。
本發(fā)明目的在于研制一種真空測量重復(fù)性好，除氣方便，靈敏度較高，成本較低的熱陰極極高真空規(guī)。
本規(guī)管從內(nèi)部電極數(shù)目來看與原有普通規(guī)一樣簡單，只有三個電極-柵極，燈絲，收集極。從外部來看本規(guī)管是利用真空連接管導(dǎo)作為外屏，本規(guī)管的技術(shù)特征是1、柵極為鼠籠式。2、燈絲呈圓環(huán)狀。且與柵極同軸安裝于柵極中部位置。3、短收集極位于柵極內(nèi)部，其長度必需小于柵極長度的一半。4、利用真空連接管導(dǎo)作為外屏。5、所有電極裝架于金屬陶瓷法蘭芯柱上?；谝陨辖Y(jié)構(gòu)特點，只要使燈絲電位等于或略大于其所處的自然電位，則電子振蕩次數(shù)增加，且為柵極中、上部所接收，從而使規(guī)管靈敏度提高;柵極上產(chǎn)生的X射線照射到收集極的立體角減小，使光電流本底減小，其測量下限得以拓寬。
本規(guī)管與同類規(guī)管(如調(diào)制規(guī)、分離規(guī))相比的優(yōu)點是，結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、除氣方便、易于制作、成本低廉。
附圖 為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)簡圖。其中1為鼠籠式柵極，2為環(huán)形燈絲，3為短收集極，4為收集極屏蔽套，5為外屏(真空連接管導(dǎo))，6為金屬陶瓷法蘭芯柱。
實施例燈絲定形將鎢絲繞子圓筒形45＃鋼模上燒氫(1000℃，10分鐘)脫模后即可應(yīng)用。柵極制造，將鉭皮兩條做成圓形圈框，裝于柵極模上，再用經(jīng)真空拉直的鎢絲以等間距相互平行點焊于上、下圈框上。下端柵點焊成輪幅式，中間留有圓孔，不致使與收集極短路。上端柵用拉直后鎢絲以等間距相互平行點焊于第三個鉭皮圈框上，待裝架脫模后，再將上端柵與柵極點焊牢。另外，柵極也可由鉬皮，用光刻工藝腐蝕而成?？傃b架，先將收集極點焊于芯柱，套上收集極屏蔽套，再用保證同心度的模具裝架燈絲、柵極，最后脫模后，再點焊上上端柵。
權(quán)利要求
1.熱陰極極高真空規(guī)由柵極、燈絲、收集極組成，其特征在于有上、下端柵的鼠籠式柵極，環(huán)形燈絲，與小
柵極長度的處于柵極內(nèi)部的短收集極的同軸組合結(jié)構(gòu)，并且利用真空連接管導(dǎo)。作為其外屏。
2.按權(quán)利要求
1所述的熱陰極極高真空規(guī)，其特征在于柵極由鉭皮及鎢絲點焊而成。
3.按權(quán)利要求
2所述的熱陰極極高真空規(guī)，其特征在于柵極由鉬皮經(jīng)光刻、腐蝕而成。
專利摘要
熱陰極極高真空規(guī)屬真空測量技術(shù)領(lǐng)域：
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文檔編號G01L21/30GK85100568SQ85100568
公開日1986年3月10日 申請日期1985年4月1日
發(fā)明者陳洪元, 唐政清, 黃惠芬 申請人:南京工學(xué)院導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan