專利名稱：低量程壓力傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種低量程的壓力傳感器，可以測(cè)試0.1×105Pa及至5×105Pa壓力，準(zhǔn)確度為±0.2％。
壓力測(cè)試通常使用壓力表或壓力傳感器，但模擬式壓力表做到5×105Pa以下量程時(shí)，準(zhǔn)確度低；而現(xiàn)有低量程壓力傳感器，是用一個(gè)傳感器來感受薄膜片彈性元件變形這種方式來測(cè)試壓力。因此，傳感器的準(zhǔn)確度受到薄膜片非線性變形的影響。
本實(shí)用新型的目的是要提供一種壓力傳感器，它既能測(cè)試0.1×105Pa及至5×105Pa的壓力，又能達(dá)到±0.2％的準(zhǔn)確度。
本實(shí)用新型的目的是這樣達(dá)到的在一個(gè)波紋管彈性元件內(nèi)安裝一個(gè)S形力傳感器，波紋管彈性元件的縱向軸線與S形力傳感器的受力軸線一致。由于波紋管縱向剛度相比于S形力傳感器在同一方向上的剛度來講，前者可以略計(jì)，被測(cè)介質(zhì)壓力作用于波紋管外時(shí)，波紋管的縱向變形由S形力傳感器來決定，而該S形力傳感器的準(zhǔn)確度可做到±0.1％。做成的壓力傳感器準(zhǔn)確度可達(dá)±0.2％。
本實(shí)用新型，只需要使力傳感器的變形不受薄膜片彈性元件非線性變形的影響，將薄膜片改為波形管彈性元件，并充分利用波紋管縱向剛度遠(yuǎn)小于力傳感器剛度的特點(diǎn)，就能達(dá)到目的。當(dāng)選用內(nèi)徑為41mm的波紋管時(shí)，S形力傳感器的量程為13N，可測(cè)(0.01～0.1)×105Pa的壓力。S形傳感器的量程為650N時(shí)，可測(cè)(0.5～5)×105Pa的壓力。
實(shí)用新型的具體結(jié)構(gòu)見附圖
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附圖是本實(shí)用新型提出的低量程力傳感器的剖面圖。
以下結(jié)合附圖詳細(xì)說明依據(jù)本實(shí)用新型提出的壓力傳感器的細(xì)節(jié)及工作情況。
該壓力傳感器在帶有螺紋接頭1的園柱形外殼4內(nèi)，是被測(cè)壓力腔16，被測(cè)壓力腔16內(nèi)裝有一個(gè)一端開口的波紋管3，在波紋管3內(nèi)裝有S形傳感器6，波紋管3的下端開口與底座7焊封牢。波紋管3的縱向軸線與S形傳感器6的受力軸線一致。在S形傳感器6中間梁的兩端貼有四片應(yīng)變計(jì)5，并連接成電阻惠斯登電橋，引接電線均可接到接線板12上，S形力傳感器6的上部用墊片17和螺釘18與波紋管3固緊焊封。S型傳感器6的下部用墊片13、彈簧墊片14和螺母15與底座7緊固。外接電纜11從底座7中央孔上的墊片13、彈簧墊片14和螺母15中心穿過，并接到接線板12上。外接電纜11通過橡膠密封圈8、斜墊圈9和密封堵頭10，密封緊固在底座7上。在螺紋接頭1下方，有凸出的六角形凸起2，是將壓力傳感器安裝到被測(cè)位置上固緊用的。當(dāng)被測(cè)氣體或液體壓力由通道19進(jìn)入被測(cè)壓力腔16后，腔內(nèi)壓力的合力通過波紋管3加到S形力傳感器6上，使得應(yīng)變計(jì)5有相應(yīng)的電阻變化。這時(shí)，由應(yīng)變計(jì)5組成的惠斯登電橋就有一個(gè)對(duì)應(yīng)的電壓，由外接電纜11輸出。
權(quán)利要求1.低量程壓力傳感器有一個(gè)封裝在波紋管3內(nèi)的S形力傳感器6，其特征是波紋管3的縱向軸線與S形力傳感器6的受力軸線重合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低量程壓力傳器，其特征是波紋管內(nèi)徑為38mm至55mm。
專利摘要一種低量程壓力傳感器，可以用來測(cè)試0.1×10
文檔編號(hào)G01L7/02GK2154478SQ92239049
公開日1994年1月26日 申請(qǐng)日期1992年11月9日 優(yōu)先權(quán)日1992年11月9日
發(fā)明者夏國泰, 蘇大偉 申請(qǐng)人:夏國泰, 蘇大偉