專利名稱：柔性基底上的電路跡線的測試裝置和方法
由James Edward Boyette等在1994年1月3日提出的，題為“開放的框架臺架探針系統(tǒng)”、編號為08/176,810的未決美國專利申請與本發(fā)明具有共同的受讓人。該專利申請公開的內容在此作為參考。該專利描述一種沿被測試的一個印制電路的每個側面移動兩個測試探針、并在使探針處于所要求的位置時移動探針使之與該電路的相鄰表面相接觸的系統(tǒng)。該四個探針中的每一個可以在相互垂直的兩個方向(X和Y)上移動(但是要平行于該印制電路的相鄰表面)。
本發(fā)明涉及印制電路的測試，更詳細地說，涉及測試沿一個柔性基底的兩個側面延伸的電路的短路和開路狀態(tài)。
用于印制電路板的測試過程包括雙探針法和單探針法。在雙探針法中，把兩個探針同時放置在一個印制電路板上的兩個點或結點處以測試在這些點之間延伸的電路部分的電阻和連續(xù)性等電特性。在單探針法中，把一個探針放置在該電路板上的一個點處，以測試在從該點延伸的該電路的一部分和通過介電材料與該電路隔開的一個導電表面間的電容。該導電表面可以是被測試的電路板的一部分，例如在一個多層電路板中的一個接地面或電壓面，也可以是在測試過程中支撐該電路的一個導電表面。
在典型情況下，對電路板的測試涉及檢測電“短路”或“開路”是否存在。當兩個應該被隔開的相鄰電路由于偶然原因被電連接起來時，發(fā)生短路。當在兩個點之間延伸的、應該被電連接起來的一條電路線中有一處斷裂時，發(fā)生開路。雙探針法和單探針法都可以用來探測短路和開路。但是，盡管雙探針法適于通過對應該連接起來的二個點同時進行探針檢測以發(fā)現是否開路，把該方法用于發(fā)現短路卻相當復雜而且費時。如用雙探針法來檢驗短路的話，當把第一個探針接觸在第一個點上時，必須使第二個探針在所有與電路跡線連接的其它的測試點之中移動，這些跡線在某個點處鄰近從該第一個點延伸的電路。單探針法用來檢測在每個測試點與該導電面間的電容。如果該電容低于預期的最小值，則可確定已明顯地發(fā)生了開路。如果該電容大于預期的最大值，則可確定顯然發(fā)生了短路。因此，采用單探針法大大減少了采用雙探針法充分地檢驗短路時所需的測試量。
這些類型的電路測試過程可以在剛性印制電路板上進行，也可以在柔性基底上進行。柔性基底包括幾個單獨的層(最終把這幾層疊合在一起以形成剛性多層電路板)和各種類型的柔性電路(越來越多地把這種電路用于提供可形成不同形狀的電路以及提供能在它們的工作期間改變形狀的電路)。這些柔性材料中的許多是以一種從卷軸到卷軸的形式來提供和進行測試的。一般來說，必須在整個測試過程中把柔性材料支撐起來。在該材料與外加探針的那一例相對的側面上的背襯支撐是特別重要的，這是由于必須承受住由探針加到電路上的機械力。也希望在測試過程中把柔性材料撐平，或者用另一種方式控制其相對于探針位置的幾何形狀。此外，如果把單探針法用于一個沒有導電面的柔性電路，那么背襯板必須提供測量電路電容所需的導電面。
在一些電路應用中，在柔性材料的兩個側面上提供電路跡線。在這些應用中，特別希望能同時測試該電路的兩個側面，以增加一次測試過程的處理量(如果不是同時測試的話就要測試兩遍)，和盡可能減少對該電路的損傷(如果測試兩遍的話對電路造成的損傷肯定比測試一遍對電路造成的損傷要大。經常把在電路板和柔性基底的相對兩個側面上的電路通過貫穿該絕緣基底材料的通孔連接起來，以使一個單獨的電路線部分地沿著該絕緣材料的每個側面延伸。
所需要的是提供一種采用雙探針或單探針方法對一個剛性電路板或一個柔性基底的兩個側面上的電路進行同時測試的方法。該方法應該在不同的探針與測試點接觸期間對該電路材料提供機械支撐，同時提供單探針法所需要的一個導電背襯層和提供使探針與不同的電路點相接觸的移動余地。
上文中已引用過的、申請?zhí)枮?8/176,810的未決美國專利申請描述了一種特別適用于對一個電路板的兩個側面上的電路進行測試的開放的框架臺架探針系統(tǒng)，但該系統(tǒng)中的固定裝置只是為了托住一個剛性電路板而制作的。而所需要的是用于在該測試裝置內支撐一個柔性基底并提供單探針法所需的導電背襯層的裝置和方法。
一些美國專利描述了對于單獨放置在被傳送通過一個測試裝置的一個長條狀柔性帶上的集成電路芯片進行支撐和測試的方法。為了測試的目的，使該帶子上的電路跡線分別與每個電路芯片上的不同電路焊接區(qū)進行電連接。例如，Shreeve等的4,987,365號美國專利描述了當使在一個裝置中的一些探針通過一個壓板中的孔與該帶相接觸時、當使所有探針與該帶相接觸以進行該測試時和在其后把探針從該帶處拔出時，采用該壓板使該帶子貼住一個支撐板。Breg-man等的5,189,363號美國專利描述了一種測試系統(tǒng)，其中把該帶上的圖形做成一種在測試過程中與該電路芯片的輸入/輸出端相接觸的懸臂狀接觸引線的陣列。Honma等的5,237,268號美國專利描述一種疊加在載有電路芯片的長條狀柔性帶上的薄膜狀的探針，該薄膜狀的探針上的電路跡線把在該長條狀柔性帶上的電路與外電路連接起來。
雖然這些裝置特別適用于對沿一個長條狀柔性帶延伸的電路進行探針測試，如，可讓柔性帶隨著它從一個卷軸被拉到另一個卷軸時送到該測試裝置上，但沒有對該帶子的兩個相對側面上的電路進行探針檢測的措施。在由Shreeve，Bregman和Honma描述的電路芯片測試應用中，把在該柔性帶上的電路跡線電連接到通常在電路芯片周圍延伸的電路焊接區(qū)上，而在這種情況下沒有必要在該柔性帶的兩個側面上提供電路跡線。此外，在這些專利中描述的裝置適合于用一種固定的探針點陣列來接觸在該長條狀柔性帶上的不同的測試位置。盡管這種途徑很適合于測試具有相似的輸入/輸出接觸圖形的電路芯片(這種接觸連接到該長條帶的電路上)，仍然需要一種更靈活的、可使探針快速移動以形成一個更靈活的測試系統(tǒng)的途徑(該測試系統(tǒng)可處理關于其電路導線沿該柔性基底的兩個側面延伸的柔性電路的各種不同應用)。
按照本發(fā)明的一個方面，提供一種用于測試沿一個柔性基底延伸的電路跡線的裝置。該裝置包括一個上板、一個下板和板固定構件。上板包括許多延伸橫跨該柔性基底的寬度的上板隙。相鄰的上板隙被上板的板條分隔開，上板條也延伸橫跨該柔性基底的寬度。下板包括許多在上板隙下面延伸的下板條和許多在上板條下面延伸的下板隙。板固定構件使上板和下板保持分離狀態(tài)，以形成可接納該柔性基底的一個狹槽的上表面和下表面，同時使該柔性基底能在其長度方向上移動。
以下，在具體地參照下述附圖的情況下描述本發(fā)明的一個較佳實施例，其中

圖1是按本發(fā)明制造的一個測試裝置的中心部分的平面剖視圖，穿過該裝置拉出一個柔性基底；
圖2是從上述一個臺架部件看的立體視圖，該部件用于移動伸過圖1的測試裝置的柔性基底的一部分之下的一個測試探針；圖3是表示把雙探針測試過程應用于一個沿伸過圖1測試裝置的柔性基底的一個上表面延伸的電路跡線上的情況的正剖視圖；圖4是表示把雙探針測試應用于一個沿伸過圖1測試裝置的柔性基底的一個下表面延伸的電路跡線上的情況的正剖視圖；圖5是表示把雙探針測試應用于到一個部分地沿伸過圖1測試裝置的柔性基底的上表面、部分地沿該基底的下表面延伸的電路跡線上的情況的正剖視圖；圖6是表示在該電路跡線和測試裝置的一個板結構之間測量電容時，把單探針測試過程應用于一個沿伸過圖1測試裝置的柔性基底的上表面延伸的電路跡線上的情況的正剖視圖；圖7是顯示在該電路跡線和該柔性基底的一個電壓面之間測量電容時，把單探針測試過程應用到一個沿伸過圖1測試裝置的柔性基底的上表面延伸的電路跡線上的情況的正剖視圖；圖8是表示一個探針的尖端和圖1所示測試裝置的板邊緣的正剖視圖；圖9沿圖1中線IX-IX所取的局部正剖圖，它顯示一個用于移動上板使其與伸過圖1的測試裝置的柔性基底咬合或脫離咬合的凸輪機構；圖10表示一個用于移動下板使其與伸過圖1的測試裝置的柔性基底咬合或脫離咬合的凸輪機構，為沿圖1中X-X線所取的局部正剖視圖；圖11是一個具有許多在圖1的測試裝置中進行測試的電路區(qū)域的柔性基底的局部平面圖；圖12顯示對柔性基底進行透射以確定基底上的電路跡線相對于圖1的測試裝置的位置，為由圖1所示XII-XII線作出的局部正剖視圖；圖13是一個具有橫向配置的、被圖1所示測試裝置中的雙探針法所測試的測試點的短的電路跡線的局部平面圖；圖14的局部正剖圖說明與把雙探針測試方法用于在縱方向上隔開等于圖1測試裝置的板條寬度偶數倍的距離的測試點時出現的問題；圖15的局部正剖圖說明如何通過提供不同寬度的板條來避免圖14問題；圖16是按照本發(fā)明制造的、采用另一種支撐上、下板方法的一個測試裝置的平面圖；圖17為沿圖16所示線XVII-XVII作出的局部正剖視圖，說明用于移動上板使其與伸過圖16測試裝置的柔性基底咬合或脫離咬合的凸輪機構。
圖1是按照本發(fā)明制造的一個電路測試裝置中心部分的平面圖，其中把一個柔性基底10沿箭頭15的方向穿過一個電路測試裝置16，從一個供給輥筒12拉到一個接收輥筒14。在電路測試裝置16內，在上板17和下板18之間拉動柔性基底10。上板17包括多個在柔性基底10之上橫向延伸的上板條20，而下板18包括多個在柔性基底10之下橫向延伸的下板條22。在相鄰的上板條20間橫向延伸的每個上板隙23之下各有一個下板條22延伸，而在相鄰的下板條22之間橫向延伸的每個下板隙(未示出)之上各有一個上板條20橫向延伸。在電路測試裝置16內，使兩個上探針24在柔性基底10和上板條20之上移動，而使兩個下探針在柔性基底10和下板條22之下移動。使所有四個探針24和26各自獨立地在柔性基底10的縱向(即沿箭頭28的方向)和柔性基底10的橫向(即沿箭頭30的方向)移動。也使每個探針24向下移動使其與柔性基底10的相鄰上表面接觸和向上移動從而使探針24在上板條20之上通過。類似地，也使每個探針26向上移動使其與柔性基底10的相鄰下表面接觸和向下移動從而使探針26在下板條22之下通過。
為了便于進行各種類型的、可用于柔性基底10的測試，上板17和下板18由一種導電材料(例如金屬)構成，并至少在與柔性基底10相鄰的板面上附加一層介層涂層。因此，在沿基底10的表面延伸的不同電路和板17和18間實現電容性耦合，同時防止在這些電路和這些板之間產生電接觸。
圖1實際上是測試裝置16的平面剖視圖，其中未示出支撐和移動上探針24所需的、在上板17之上延伸的機構。盡管在圖1中省略了這個機構(這是因為該機構的出現會遮蔽板17和18和相關的構件)，但現在將詳細參照圖2，討論用于移動探針24和26的機構。
圖2是支撐和移動一個下探針(在上文中已大體上作了描述)的機構的立體視圖。把探針26安裝在一個探針部件32內，該部件又通過一對空氣支承36安裝在一個探針載體34內，該空氣支承36可以使探針部件32移向和離開基底10(在圖1中示出)的相鄰表面，也就是在箭頭37所指的方向上移動。一個電磁傳動器38(例如一個音圈)使探針部件32沿這些支承36滑動。再把探針載體34固定到一個滑動臺39上，安裝該滑動臺使其在箭頭41所示方向沿臺架結構40滑動，它由線性馬達繞組42發(fā)出的加速力推動，在一個帶有極性可變的永久磁鐵44的導槽43內的狹槽中滑動?；瑒优_39在箭頭41的方向上的移動由連接在該滑動臺上的編碼器讀出頭(未示出)來跟蹤(該讀出頭在一個編碼尺(encoder scale)45的鄰近處移動)，在線性馬達繞組42上加一定的電流強度使滑動臺39按所需方式移動。
通過軸承47把臺架結構40安裝在一對軌道46上，該結構在由箭頭49所指示的方向上移動。在臺架結構40的每一端，線性馬達繞組50在帶有極性交替的永久磁鐵53的一個導槽52內移動。一個連接在臺架結構40的一端附近的編碼器讀出頭54，在編碼尺56的鄰近處移動，在加一定的電流強度到線性馬達繞組50使臺架結構40按所需方式移動時，它跟蹤臺架結構40沿箭頭49的方向移動。
因此如分別由箭頭37、41和49指示那樣在三個相互垂直的方向上實現一個單獨的探針尖端26的移動。正如根據圖1所描述的那樣，把兩個探針尖端24加到柔性基底10的上側面，把兩個探針尖端26加到柔性基底10的下側面。因此，在測試裝置16中需要四個根據圖2所描述的類型的探針移動機構。把兩個臺架結構40設置在柔性基底10的下面移動而探針26指向上方，同時把另外兩個臺架結構40從圖2中所示的位置翻轉過來，在柔性基底10的上面移動使探針24(在圖1中示出)朝下對著基底10。在柔性基底10的每個側面上，兩個臺架結構40通過耐磨軸承結構在一對共同的軌道46上滑動，與在柔性基底10的每個側面上的兩個臺架結構40相關連的線性馬達繞組50在共同的磁鐵導槽52內移動。在于1994年1月3日是提出的編號為08/176,810、題為“開放的框架臺架橋形探針系統(tǒng)”的、作為相互參照的合同未決美國專利申請中查到關于該臺架結構和安裝該結構并使之在其中移動的構架的詳細描述。
現在將討論可應用本發(fā)明的裝置來進行各種測試的實例，在討論中將詳細參照圖3—7，這些圖都是顯示把一種測試方法用于沿柔性基底10延伸的一個電路跡線的正剖視圖。在每個圖中，為清晰起見，把柔性基底10和沿該基底延伸的各個電路跡線的厚度放大了。
圖3—5示出一種雙探針測試法的應用，這種測試法是用于確定在放置探針的兩個點或結點之間延伸的電路跡線的電特性。例如，可以用這個方法檢驗電連續(xù)性以發(fā)現“開路”(在該處本應具有連續(xù)性的一個電路在一些點處被斷開)和“短路”(在該處本應互相電隔離的二個相鄰電路被電連接起來)。用這個方法也可檢驗在兩點間延伸的其它電路特性，例如電路阻抗。
先參照圖3，在由兩個上探針24接觸的二個結點64之間檢驗沿柔性基底10的上表面62延伸的電路跡線60。在可以進行該測試之前，把基底10在箭頭15的方向上傳送到一個點，在該點處兩個結點64在相鄰的上板條20之間的上板隙23中被向上暴露出來。在每個結點64的下面，下板條22吸收一部分由一個探針24所加的力，這樣就可以施加足夠大的力以得到在探針24的尖端和鄰近的結點64之間的可靠的電接觸。一個用導線連接在兩個探針24間的測試電路66提供一個測量所需的電路特性的手段。
雖然這個測試是作為用在向上暴露的兩個上板隙內的、朝上的結點的情況來顯示的(這兩個上板隙由一個單獨的上板條20分隔開)，但是被測試的電路跡線的長度選擇是任意的。該電路跡線可以短到足以使兩個測試探針24作用于在兩個相鄰的上板條20間的一個單獨的向上暴露的上板隙內。該電路跡線也可以是足夠長，以至需要測試探針作用于由幾個上板條20分隔開的、向上暴露的上板隙內。
圖4示出一個類似的情況，在該圖中把雙探針法用于測試沿基底10下表面70延伸的一個電路跡線68。這時，把測試電路72用導線連接在兩個下探針26之間，使下探針26與電路跡線68相接觸。
參照圖5，電路74可以部分地沿基底10的上表面62延伸、部分地沿基底10的下表面70延伸，把該電路74兩個分開的部分通過一個通孔76電連接，該通孔76是通過用一種導電材料(例如一種焊料)充填基底10上一個貫穿基底的孔78而形成的。在這種場合，把測試電路80用導線連接在一個上探針24和一個下探針26之間，并把這兩個探針與該電路的二端相接觸。這個測試方法是特別有效的，這是由于通孔76的電特性與跡線74沿上表面62和下表面70延伸的二部分的電特性一起被檢驗。
圖6顯示當把一個單探針24作用于一個電路結點84時采用單探針法進行測試的電路跡線82。把測試電路86連接在該探針24和包括板條20與22的板17與18之間。應用這個方法時，通過測量在電路結點84和板17與18間的電容來檢驗電路跡線82?？梢苑奖愕匕堰@個單探針法用于沿柔性基底10下表面70延伸的電路跡線(如在圖4中示出的那樣)和沿上表面62和下表面70延伸的電路跡線(如在圖5中示出的那樣)。對于某些類型的測試，可能把上板17與下板18電隔離開來，因而可測量一個電路結點和這些板中之一之間的電容。
參照圖7，在一些情況下，柔性基底10可以包括一些信號跡線(例如在一個側面上的電路跡線88)和一個沿相對于該信號跡線的側面延伸的電壓面90。當遇到這樣一個電路時，可方便地通過測量在電路跡線88上的一個結點92和該電壓面90之間的電容來應用單探針測試法?？梢杂靡粋€連接在與結點92接觸的一個上探針24和與電壓面90接觸的下探針26之間的測試電路94來測量該電容。盡管在該方法中用了二個探針，但是這仍是一個應用單探針法的例子，這是由于只讓一個探針與被測試的電路跡線88相接觸。
圖3—5的雙探針法在確定是否存在一個由被測試電路中的斷開引起的一個開路狀態(tài)方面是特別有效的。這樣一種發(fā)生在放置探針的二個結點間的任一點處的斷開導致在探針間的一個開路狀態(tài)，該狀態(tài)可很容易地由該測試電路檢測出來。如果一個電路跡線延伸到幾個結點，可以在該跡線的不同結點間把這個方法使用幾次。另一方面，雙探針法不容易應用于短路的測試，當鄰近的電路間發(fā)生因疏忽等引起電接觸時可出現短路現象。應用雙探針法對短路狀態(tài)進行的一種無遺漏的測試過程要求在對一個特定的電路進行探針測試時必須檢驗所有與該特定電路相鄰的電路。由于所需測試量很大，因此這種測試過程是很費時的、復雜的和成本高的。
圖6—7的單探針方法在確定柔性基底10中是否存在短路是特別有效的。例如，參照圖6，如通過一個短路使電路跡線82電連接到一個相鄰的電路(未示出)，在典型情況下使在結點84處測量到的電容增加得很多，結果通過測試電路86可容易地識別出這個狀態(tài)。采用單探針法測試柔性電路10中的短路狀態(tài)比起采用雙探針法來要快得多，這是由于采用單探針法時對于每個電路跡線至多只要用單探針測一次。另一方面，單探針法在發(fā)現開路狀態(tài)方面可能不如雙探針法那樣快或準確。
由于一個單個的柔性基底10可能在每個側面上包含要測試的電路以及典型的測試要求規(guī)定要對各種不同的電路測試其開路和短路狀態(tài)，故電路測試裝置應當能采用單探針法和雙探針法對柔性基底的二個側面進行測試這一點是特別有利的。為了盡可能增加測試過程的處理量和盡可能減少對柔性基底的實際操作(由于這種操作可能會導致在基底上的電路的損傷)，特別希望在柔性基底通過測試裝置一次的過程中的柔性基底的二個側面進行二種類型(即單探針法和雙探針法)的測試。本發(fā)明的裝置就具有這種能力，這種能力使本裝置比起在背景技術中可購得的和在現有技術中所描述的各種類型的測試裝置來有很多優(yōu)點。
圖8是顯示探針24的尖端和上板條20和下板條22邊緣的實際形狀的剖視圖。每個探針24或26包括一個直徑為0.014英寸(0.36mm)的圓柱形部分100和具有一個以30度的內角形成表面的一個圓錐表部分102。把圓錐形部分102的尖端做成球形。每個板條20和22的厚度是0.013英寸(0.33mm)每個板條有一個斜切邊104，該斜切邊使一個探針尖端24或26可緊靠著板條20或22移動而不致在該尖端和該板間發(fā)生接觸。沿每個板條20或22表面延伸的一個絕緣層106的厚度是0.002英寸(0.05mm)。柔性基底10的厚度例如也是0.002英寸(0.05mm)。
再參照圖1，雖然可以在柔性基底10于箭頭15的方向在板17和18之間一次通過，完成上述根據圖3—7的各種類型的測試，但在典型情況下必須在該過程中使該柔性基底10“停下—移動—再停下—再移動”數次。為了便于進行這種方式的移動，驅動一對夾輥110來推進柔性基底10，為的是使該柔性基底10的上下表面的不同區(qū)域通過上下板隙暴露出來以便與探針24和26接觸，以及使基底10的移動按所需的那樣停下來以進行不同的測試。通過第一伺服電機112來精確地驅動夾輥110中的一個，而在相對于驅動夾輥110的柔性基底10的側面上的另一個夾輥110是一個導輥，它于柔性基底10在這二個夾輥110之間通過時在基底10上施加一個夾緊力。因此，就可迫使柔性基底10按由第一伺服電機112提供的轉動而移動，并使滑動量減到最小。最好用第二伺服電機113來提供阻滯柔性基底10按箭頭15方向移動的轉動力矩。這樣一來就有張力作用在柔性基底10上以防止基底10松弛，這種松弛可能會使電路在移動時相對于各個表面垂下來和拖長。接收輥筒14由第三伺服電機114驅動，為的是在把柔性基底10傳送通過在輥筒110和114之間形成的一個輥隙時把基底10繞在該輥筒14上。
眾所周知可以方便地應用一些在細節(jié)方面稍有不同的技術在傳送柔性基底10方面提供所需的結果。例如，伺服電機112和114中的一個或兩者可由步進電機來代替，伺服電機113可由一種制動裝置來代替以維持基底內的張力。可采用對于輥軸定位的手動或自動調整來完成對于基底10通過該裝置時的適當的跟蹤?？梢詮目八_斯州的Lanexa的Preco工業(yè)公司購得傳送柔性薄板條(例如柔性基底10)的自動化系統(tǒng)的各種零件。
也提供使上板17從下板18處分離開的裝置，使柔性基底10可在該二板間自由地移動而不被夾住，否則的話會引起不必要的拖長。再參照圖1，把上板17在每個角部固定到一個上板座120，把下板18在每個角部固定以一個下板座122。各有一個軸124平行于柔性基底10并靠近板17的二個縱向延伸的邊125延伸，該軸通過在一端的一個齒輪箱128由一個馬達126來驅動并以可轉動的方式安裝在在另一端的一個軸承座130上。
圖9是沿圖1所示的線IX-IX的局剖正剖視圖，說明在上板17的每個角部用于移動上板17使其與柔性基底10咬合或脫離咬合的一個凸輪機構。一個連接到軸124上的上板驅動凸輪132在上板座120中的一個孔134內與該軸一起轉動。
圖10是沿圖1所示的線X-X的局部正剖視圖，說明在下板18的每個角部類似地用于移動下板18使其與柔性基底10咬合或脫離咬合的一個凸輪機構。連接到軸124上的下板驅動凸輪136在下板座140中的一個孔138內與該軸一起轉動。
正如圖9和10所示，通過凸輪132和136的偏心表面使上板17和下板18維持與柔性基底咬合。由于在軸124上把凸輪132和136安裝成彼此有180度相移的關系，讓這些凸輪表面的偏心度在軸124的徑向相對的二側進行調準，因此當下板18處于其最高位置時，上板17處于其最低位置。以這個方式使板17和18維持緊靠柔性基底10。每個軸124與所有相關連的板驅動凸輪132和136接著發(fā)生的轉動驅使板17和18分離，把柔性基底10放開使其能自由移動。由于把二個凸輪132安裝在各自軸上，使它們共軸地互相對準外表面，和由于把二個凸輪136也安裝在各自軸上使它們共軸地互相對準外表面，故只要使二個軸124一起轉動，就可使每個板17或18的四個角一起向上或向下驅動。
軸124的這種轉動也產生板17和18的橫向移動。例如，如讓軸124在箭頭142的方向轉半圈以使板17和18與柔性基底10完全脫離咬合，那么上板17在箭頭144的方向就可被移動，而下板18在箭頭144的反方向被移動。為了在板17和18的各個角部產生相同的移動，要使二個軸124的轉動同步。因此通過與凸輪132和136的咬合在水平和垂直方向上驅動和支撐板17和18，不需要附加的對板17和18的軸承支撐。這種裝置也提供了一個特殊的優(yōu)點，即由于沒有一種軸承裝置，故使在垂直于箭頭144的方向上所需的間距減至最小。
雖然上述根據圖1、9和10的描述指出了使上板17和下板18移動一個相等的和方向相反的距離以使柔性基底可移動，但是很顯然在一些應用中為了達到這個目的只要移動板17或18中的一個。關于這一點，特別希望只移動下板18，而讓上板17處于靜止狀態(tài)。在這個場合，可通過使柔性基底10在板17和18之間下垂來得到在上板17和柔性基底18之間的一個間隙。
圖11是柔性基底10的一種較佳形式的局部平面圖，該基底10包含多個按一種縱向延伸圖形排列的電路區(qū)域150。每個電路區(qū)域150包含在一柔性電路10的區(qū)段內，將把這一片段做成一個形成一個單個產品的全部或部分的單獨的區(qū)段。因而，在完成測試后在測試裝置16(在圖1中示出)內的某處把柔性基底10切成許多區(qū)段，每一片段包含一個區(qū)域150。在用這個方法把柔性基底10分離開之前，可完成一些附加的制造工序。例如，可把電子元件安裝到基底10上，或可以用一個或多個基它柔性基底與基底10疊合在一起以形成一種多層印制電路板。
柔性基底10最好由一種半透明的絕緣基底組成，在該基底上形成一些不透光的導電跡線152?？梢杂靡恍┦熘墓に噥硇纬梢环N合適的絕緣基底和在該基底單面或雙面上形成導電跡線的圖形。在每個區(qū)域150內的跡線152的圖形最好是相同的，因此當移動柔性基底10使其在箭頭15的方向通過測試裝置16(在圖1中示出)時可以對每個區(qū)域150應用一種相同的測試系列。
最好也采用形成各種導電跡線152的工藝在柔性基底10的一個表面上形成定位標記154，該標記與每個電路區(qū)域150的導電跡線有一種固定的相互關系。因而，舉例來說，形成定位標記的兩條印制線，每條印制線沿柔性基底10縱向延伸。第一印制線包括在一個相應于每個電路區(qū)域150的位置內的一個單個電路基準標記155，而第二印制線包括許多以固定的、比較小的距離互相分隔開的刻度標記156。
圖12是在如圖1所示的剖面線XII-XII作出的、顯示確定每個電路區(qū)域150(在圖11中示出)相對于測試裝置16的位置的一個裝置的一個局部正剖視圖。把一個照明光源160放在下板18的下面，通過下板18的一個板條22內的縫隙162對柔性基底10的一個鄰近部分進行背照明。調整第一光探測器164使其檢測每個相繼通過的基準標記155,同時調整第二光探測器166使其檢測每個相繼通過的刻度標記156。因此，第一光探測器164的輸出通過在測試裝置16中的一個已知點指示與電路區(qū)域150(在圖12中示出)之一有一種已知相互關系的一個點的通過，而用第二光探測器166的輸出產生的脈沖的累積指示柔性基底10移動通過的累計距離。例如，可把第二光探測器的輸出傳送到一個計數器內，該計數器由每個電路定位標記155通過時第一光探測器164的輸出提供的一個輸入來復位?？梢圆捎眠@個技術來保持對柔性基底10的移動的跟蹤，即使在使該電路的移動放慢和停下來以適應測試過程的需要時也是如此。
再參照圖1和11，可以用一個電視攝象機作為光探測器164和166的替代物(關于光探測器的情況上文已根據圖12描述過了)，或與這些光探測器一起作為獲得位置信息的一種附加裝置。這種被提供來確定電路區(qū)域150相對于測試裝置16的位置的裝置最好能確定在箭頭28的縱方向上和箭頭30的橫方向上的位置。對于基準標記155關于一個相鄰的電路區(qū)域150在橫方向和縱方向進行精確定位的場合，可以用由電視攝象機167探測到的基準標記的圖象來提供每個電路區(qū)域150在箭頭30的橫方向上的位置的信息。在另一種方式下，可以用電視攝象機167探測到的刻度標記156的圖象在橫方向上的位置在一種連續(xù)的基礎上確定電路跡線152在橫方向上的位置。由于定位標記154是用形成各種電路跡線152的制造工藝加到基底上的，故也可以用這些方法來補償這些跡線152在柔性基底10上的位置變動和基底10通過測試裝置16的行程的變動(即，基底10在裝置16內橫方向上的位置的變動)。
可以如在根據圖12討論的那樣通過背面照射提供電視攝象機167工作所需的光，也可以通過各種大家熟知的正面照射的技術，從安放電視攝象機167的柔性基底10的一側提供光。例如，可以根據柔性基底10相對于光透射和光反射的特性來改變光照射技術的選擇。
因此，可以用上面討論的方法來確定每個電路區(qū)域150在橫方向和縱方向上相對于固定在測試裝置16內的一個基準坐標的位置。例如，可以把這樣一種固定的基準坐標放在由電視攝象機觀察的區(qū)域的中心。
再參照圖2，通過一個在箭頭49的方向上沿一個編碼尺56移動的編碼器讀出頭54和通過一個在箭頭41的方向上沿一個編碼尺45移動的、安裝在滑動臺39上的編碼器讀出頭(未示出)來跟蹤每個探針24(在圖1中示出)或26的位置。在該測試過程中，需要把探針24和26移動到每個電路區(qū)域150上的不同的點。這一點是通過采用一個指示在每個電路區(qū)域150內必須訪問的不同位置的數據文件、采用根據圖11討論的確定每個電路區(qū)域150相對于測試裝置16的位置的方法和采用根據圖2討論的確定每個探針在測試裝置16內的位置的方法來完成。
再參照圖11，雖然一般來說可以把一個測試點放在一個電路區(qū)域150內的任一點處，但通常把電路配置成沿軸向延伸，即把在一個單獨的電路跡線上相互間的測試點設置在由箭頭28指示的縱方向上或由箭頭30指示的橫方向上。因此，在測試裝置16的配置中對于在上述二個方向中的任何一個方向上分隔開的探針間進行的測量都給予特別的考慮。以下在詳細參照圖13—15的情況下將討論影響測試裝置16的配置的一些考慮。
圖13是顯示把雙探針測試操作用于測試沿柔性基底10的兩個側面延伸的電路跡線170情況的平面圖，這時，必須把電路探針加在柔性基底在箭頭30的橫方向上相對短的距離分隔開的相對的兩個側面上。以上已參照圖5討論了把這個測試過程用于沿柔性基底的兩個側面延伸的一個電路的一般情況。由于有必要同時使用在柔性基底10相對側面上的兩個測試點，故如果上板條20和下板條22的邊緣也沿箭頭30的方向上延伸的話，該測試就不可能用于任何長度在箭頭30的方向上延伸的一個電路。由于這個原因，使各個板條22的邊緣相對于箭頭30所示的橫方向傾斜一個θ角。這個角度可以根據L(即，沿箭頭30的方向對準的點之間最短的中心到中心的距離)和R(即，探針和到板條20或22的一個相鄰邊的縫隙所允許的最小半徑)來確定。對于由中點172、探針的中心點174和點176(在該點處上板條20的邊178與中心在174、半徑為R的圓相切)形成的三角形的分析指出Sinθ=RL2=2RL]]>因此，傾角由下式給出θ=arcsin2RL]]>再參照圖1，一個上板條20的上邊緣180之一和相應下板條的下邊緣(未示出)以與角θ有所不同的一個角度傾斜，而其它板條20和22的邊緣以角θ傾斜。這個差別使當測試點間的一條線以角θ傾斜時把雙探針測試操作用于一個沿柔性基底10的二個側面延伸的電路跡線(未示出)成為可能，但是這要以測試點間的距離足以提供根據圖13討論的縫隙為條件。
圖14是顯示當把雙探針測試操作用于具有在柔性基底10的二個相對側面上的測試點188的、并且該測試點間的距離是板條寬度的偶數倍的(這樣一來測試點就落在不同的板條20和22的邊緣上)一個電路跡線186上時一種類似的問題是怎樣發(fā)生的一個正剖視圖。如所有的板條的寬度是相同的，在上述狀態(tài)下就不能應用這種測試。
圖15是顯示怎樣通過提供一個寬度不同的(在本例中，是較窄的)中間板條190來避免這個問題的一個正剖視圖。最好提供寬度較窄的一個下板條190和一個上板條192，這樣一來不論最左邊的測試點是在柔性基底10的上側面或下側面都可以避免這個問題。
現在，詳細參照圖16和17，討論另一種以可移動方式支撐上板17和下板18的方法，圖16是顯示該方法的應用的一個局部平面圖，圖17是如圖16所示的剖面線XVII-XVII作出的、顯示為移動上板17的一個凸輪隨動件座配置的一個局部正剖視圖。
先參照圖16，把上板17沿一個縱方向延伸的邊緣200連接到一對上板凸輪隨動件座204上(一對上板驅動凸輪208在其中轉動)，把該隨動件座204連接到由一個馬達212驅動的一個軸210上。類似地，把下板18沿一個鄰近于邊緣200的邊連接到一對下板凸輪隨動件座214上(一對下板驅動凸輪216在其中轉動)，把該隨動件座214連接到軸210上。
參照圖17，每個上板凸輪隨動件座204包括一個在箭頭218的水平方向開槽拉長的開口217，相關的凸輪208在該開口217中轉動，把箭頭219的方向的垂直移動傳給該凸輪隨動結構，但不把箭頭218的方向的水平移動傳給該結構。
再參照圖16，每個下板凸輪隨動件座214包括一個縫隙(未示出)，該開口也如根據圖17描述的那樣在水平方向被開槽的。把下板驅動凸輪216以與上板驅動凸輪208相移180度的方式安裝在軸210上，結果隨著軸210的轉動，凸輪216驅動下板18向上移動使之與柔性基底10咬合，同時凸輪208驅動上板17向下移動使之也與基底10咬合。關于這一點，板17和18的垂直移動一般地說是如上面根據圖1、9和10所描述的那樣來完成的。
通過一對上板樞軸臂224把上板17以可移動的方式裝在一個靜止的框架桿222上，把每個上板樞軸臂224在一端以樞軸方式裝在一個框架樞軸226上，在另一端裝在一個從一個上板凸輪隨動件座204延伸出來的樞軸228上。類似地，通過一對下板樞軸臂229把下板18以可移動的方式裝在框架桿222上，每個下板樞軸臂229在一端以樞軸方式裝在框架樞軸226上，在另一端裝在一個從一個下板凸輪隨動件座214延伸出來的樞軸230上。
在一個第二軸210上裝有凸輪208和216以提供如上所描述的移動。該軸210沿上板17的一個邊緣232延伸，它由一個第二馬達212來驅動。該邊緣232是在縱方向延伸的邊緣200的對面。沿著該邊緣232，上板凸輪隨動件座234(凸輪208在其中轉動)除了不提供為安裝一個樞軸臂的一個樞軸外，與上板凸輪隨動件座204類似。同樣，下板凸輪隨動件座236(凸輪216在其中轉動)除了也不提供為安裝一個樞軸臂的一個樞軸外，與下板凸輪隨動件座214類似。驅動二個馬達212以使凸輪208和210一起運動，例如，在一個第一位置(在該位置上板17和18把柔性基底10咬合住)和一個第二位置(在該位置上使板17和18間的距離增加以松開柔性基底10)之間移動。
因此，當通過二個軸210的轉動驅使上板17向上移動時，該板17的所有四個角的垂直移動是相等的，這種相等的垂直移動是由四個相同的凸輪208來提供的。當這種垂直移動發(fā)生時，二個樞軸228中的每一個必須圍繞框架樞軸226作一種弧形路線的移動(通過一個樞軸臂224把樞軸228連接到框架樞軸226上)。因此，在板17上的任一點都以一種類似弧形路線移動。雖然可使樞軸臂224隨著由凸輪208提供的運動自由地作樞軸轉動，但這些臂224中的每一個最好有足夠的剛性以防止發(fā)生顯著的撓曲和扭歪。在這些必要條件下，就不需要在沿邊緣232的方向上提供附加的樞軸臂或其它導向手段。通過樞軸臂228的樞軸性移動，類似地控制下板18的向下移動。因此，盡管凸輪208和216提供板17和18的向上和向下的運動，但樞軸臂224和229在每個板向上和向下移動時限定其移動路線。
與根據圖1、9和10描述的控制板17和18的移動的方法相比，圖16和17的方法有一個缺點，即增加了復雜性。但是，圖1、9和10的方法使板17和18以相切的方式與柔性基底10接觸，而圖16和17的方法使板17和18在接近垂直于基底表面的方向上與基底接觸。因此，可把圖16和17的方法用于一些對沿著基底表面或沿這些表面延伸的導電跡線表面的損傷特別敏感的應用方面。
再參照圖1，一個待測試的典型電路區(qū)域150(在圖11中示出)包括一些電路跡線，這些電路跡線的二端很容易在相鄰的上板條20或下板條22之間的一個單個縫隙內暴露出來。其它的電路跡線，采用雙探針測試法時在要被接觸的測試點之間，可能會延伸經過幾個板條20或22。一般說來，必須移動柔性基底10數次以利用所有的需要通過單探針法和雙探針法的二者或其中之一來測試的點。在上板17和下板18間移動每個電路區(qū)域150時，最好通過在箭頭15的方向以幾個增量運動的方式來移動基底10。這些增量運動在長度方面不必是相等的，這是因為每個運動的長度是由電路跡線的幾何形狀和由必須使用以完成所需測試的電路點來決定的。在每個停頓點處，移動探針以使其在基底10的二個側面上與可利用的測試點接觸，采用單探針法和雙探針法可完成任何測試的組合。當二個這種電路區(qū)域在板17和18間被停下來時，可對相鄰的電路區(qū)域150進行測試。
在測試一個新定義的電路150之前，先研究它的幾何形狀以確定讓該電路停下來進行測試操作的最佳位置和使用這些操作的最佳方法。
在完成測試過程后，在典型情況下把該柔性基底切割成許多片段，每段包括一個電路區(qū)域150。舉例來說，每段可增加一些元件，如連接器，從而變成一個柔性電路板?？梢园堰@種類型的一個電路板用作具有附加的邏輯功能的一個柔性電纜。在另一種方式下，可把柔性基底的一些不同的片段疊合起來以形成一個多層剛性電路板。
雖然本發(fā)明是以它的帶有一定程度的特殊性的較佳形式或實施例來進行描述的，但應了解到這個描述只是以舉例的方式來給出的以及在不偏離本發(fā)明的構思和范圍的前提下可在結構、制造和應用的細節(jié)方面，包括零件的組合和配置，作許多變動。
權利要求
1.一種測試沿一個柔性基底延伸的電路跡線的裝置，其中上述裝置包括一個包括許多在橫方向延伸的上板隙的上板，上板隙被上述上板上橫方向延伸的上板條分隔開；一個包括分別在上述上板隙下面延伸的下板條和在上述下板條間橫向延伸的下板隙的下板；以及以一種分隔開的相互關系固定上述上板和下板的板固定裝置，以形成一個基底容納狹孔的上表面和下表面、同時允許上述柔性基底沿一個縱向的傳送方向通過上述基底容納狹孔。
2.權利要求1所述的裝置，其特征在于上述板固定裝置包括一個使所述下板在下板關閉位置和下板松開位置間移動的下板移動裝置，該裝置在上述下板關閉位置處把下板舉起以夾住在上述基底容納狹孔內延伸的上述基底，在上述下板開放位置處使上述下板下降以松開上述基底使其在上述上下板間移動。
3.權利要求2所述的裝置，其特征在于上述板固定裝置還包括一個在上板關閉位置和上板松開位置間移動上述上板的上板移動裝置，該裝置在上述上板關閉位置處使上板保持向下，以夾住在上述基底容納狹孔內延伸的上述基底，在上述上板開放位置處使上述上板被舉起以放開上述基底使其在上述上下板間移動；當上述下板從上述下板關閉位置向上述下板松開位置移動時，上述上板從上述上板關閉位置向上述上板松開位置移動；以及當上述下板從上述下板松開位置向上述下板關閉位置移動時，上述上板從上述上板松開位置向上述上板關閉位置移動。
4.權利要求2所述的裝置，其特征在于上述下板移動裝置包括一個沿上述下板的各個縱向延伸邊緣延伸的、以可轉動的方式安裝的軸；兩個以一種分隔開的相互關系固定在與其一起轉動的每個所述軸上的下板移動凸輪，每個上述下板移動凸輪有一個與上述軸形成偏心關系的圓柱形外表面，上述上板移動凸輪的外表面是共軸的；四個以一種分隔開的相互關系連接在上述下板上的下板移動座，每個上述下板移動座有一個圓柱形開口，上述下板移動凸輪的外表面在該開口內轉動；使上述軸一起轉過在一個第一軸角位置和一個第二軸角位置之間的半圈的裝置，在該第一軸角位置處使上述下板處于上述關閉位置，在該第二軸角位置處使上述下板處于上述松開位置。
5.權利要求4所述的裝置，其特征在于上述板固定裝置還包括兩個以一種分隔開的相互關系固定在與其一起轉動的每個所述軸上的上板移動凸輪，每個上述上板移動凸輪有一個與上述軸形成偏心關系的圓柱形外表面，上述上板移動凸輪的上述外表面是共軸的，其中上述上板移動凸輪的外表面的一條軸線沿每個與上述下板移動凸輪的外表面的一條軸線完全相反的軸延伸；以及四個以一種分隔開的相互關系連接在上述上板上的上板移動座，每個上述上板移動座有一個圓柱形開口，上述上板移動凸輪的外表面在該開口中轉動。
6.權利要求3所述的裝置，其特征在于上述下板移動裝置包括一個沿上述下板的每個縱向延伸的邊緣延伸的、以可轉動的方式安裝的軸；兩個以一種分隔開的相互關系固定在與其一起轉動的每個所述軸上的下板移動凸輪，其中每個上述下板移動凸輪的一個表面有一個低點和一個高點，上述表面在上述低點處最接近上述軸，而在上述高點處離上述軸最遠，上述高點處于上述低點沿直徑方向的對面，對上述下板移動凸輪的上述低點沿每個上述軸進行角向對準；四個以一種分隔開的相互關系固定在上述下板上的下板凸輪隨動件；每個上述下板凸輪隨動件嵌入上述下板移動凸輪以使該隨動件隨凸輪而移動；使上述軸一起在一個第一軸角位置和一個第二軸角位置之間轉過半圈的裝置，上述下板在該第一軸角位置處處于上述關閉位置，而在該第二軸角位置處處于上述松開位置；以及限制上述下板使其沿一條限定的路線與在上述上板和下板間延伸的上述基底接觸和脫離接觸的下板導向裝置。
7.權利要求6所述的裝置，其特征在于上述板固定裝置還包括兩個以一種分隔開的相互關系固定在與其一起轉動的每個上述軸上的上板移動凸輪，其中每個上板移動凸輪的一個表面有一個低點和一個高點，上述表面在上述低點處最接近上述軸，而在上述高點處離上述軸最遠，上述高點處于上述低點沿直徑方向的對面，上述上板移動凸輪的上述低點沿每個上述軸角向對準，上述上板移動凸輪的上述低點在每個上述軸上處于上述下板移動凸輪的上述低點沿直徑方向的對面；四個以一種分隔開的相互關系固定在上述上板上的上板凸輪隨動件，每個上述上板凸輪隨動件嵌入上述上板移動凸輪以使該隨動件隨凸輪而移動；限制上述上板使其沿一條路線與在上述上板和下板間延伸的上述基底接觸和脫離接觸的上板導向裝置。
8.權利要求1所述的裝置，其特征在于第一組多個上述上板條在橫方向延伸跨過上述基底容納狹孔，該多個上板條在縱方向上的寬度等于第一共同寬度；某個上述上板條在橫方向延伸跨過上述基底接納狹孔，該上板條在上述縱方向上的寬度與上述第一共同寬度基本不同；第二組多個上述下板條在橫方向延伸跨過上述基底容納狹孔，該多個下板條在上述縱方向上的寬度等于上述第一共同寬度；某個下板條在橫方向延伸跨過上述基底容納狹孔，該下板條在上述縱方向上的寬度與上述第一共同寬度基本不同。
9.權利要求1所述的裝置，其特征在于第二組多個上述上板條的邊緣和第三組多個上述下板條的邊緣以一個第一共同斜角延伸跨過上述基底容納狹孔。
10.權利要求9所述的裝置，其特征在于某個上述上板條的一個邊緣和某個上述下板條的一個相鄰邊緣按與上述第一共同斜角基本不同的第二共同斜角延伸跨過上述基底容納狹孔。
11.權利要求1所述的裝置，其特征在于所述上板包括一個導電上層和一個絕緣下層；以及所述下板包括一個導電下層和一個絕緣上層。
12.權利要求11所述的裝置，其特征在于上述導電上層和下層由一種厚度為0.013英寸的金屬組成；以及上述絕緣上層和下層由一種厚度為0.002英寸的熱塑性材料組成。
13.權利要求11所述的裝置，其特征在于還包括一個可在縱方向和橫方向上、在上述上板隙當中和在上述上板隙內移動的第一上探針，上述第一上探針還可向下移動以與在上述上板和下板間延伸的上述柔性基底相接觸，以及可向上移動以使上述第一上探針移動通過上述上板條；以及一個可在上述橫方向和縱方向上、在上述下板隙當中和在上述下板隙內移動的第一下探針，上述第一下探針還可向上移動以與在上述上板和下板間延伸的上述柔性基底相接觸，以及向下可使上述第一下探針移動通過上述下板條。
14.權利要求13所述的裝置，其特征在于還包括一個可在上述橫方向和縱方向上、在上述上板隙當中和在上述上板隙內移動的第二上探針，上述第二上探針還可向下移動以與在上述上板和下板間延伸的上述柔性基底相接觸，以及可向上移動以使上述第二上探針移動通過上述上板條；以及一個可在上述橫方向和縱方向上、在上述下板隙當中和在上述下板隙內移動的第二下探針，上述第二下探針還可向上移動以與在上述上板和下板間延伸的上述柔性基底相接觸，以及向下可移動以使上述第二下探針移動通過上述下板條。
15.權利要求14所述的裝置，其特征在于還包括電路測試裝置，用于確定與上述探針接觸的各個上述電路跡線的電特性，上述電路測試裝置可用不同方式連接在上述上探針和下探針之中。
16.權利要求15所述的裝置，其特征在于還包括可以用不同方式連接在兩個上述探針之間以及連接在一個上述探針和上述板間的電容測試裝置。
17.權利要求13所述的裝置，其特征在于還包括探針位置測量裝置，用于確定上述第一上探針和上述第一下探針在上述裝置內的位置；以及電路位置測量裝置，用于確定上述電路跡線在上述裝置內的位置。
18.權利要求17所述的裝置，其特征在于上述電路位置測量裝置包括第一裝置，用于測量放置在上述柔性基底上與一組上述電路跡線對準的第一種標記的位置；以及第二裝置，用于檢測上述柔性基底上一系列有規(guī)則間隔開的刻度標記沿上述縱方向的通過。
19.權利要求18所述的裝置，其特征在于還包括基底驅動裝置，用于在上述縱方向上移動上述柔性基底使之通過上述基底容納狹孔。
20.權利要求19所述的裝置，其特征在于；上述基底驅動裝置以一系列的運動方式移動上述柔性基底，從而通過上述上板隙和下板隙暴露上述柔性基底的連貫的部分。
21.一種測試沿一個柔性基底延伸的電路跡線的裝置，其中，該裝置包括一個基底容納狹孔，上述柔性基底被按縱向的傳送方向傳送通過上述狹孔，上述基底容納狹孔由一個上板和一個下板形成，上述上板有許多被上述上板上橫向延伸的上板條分隔開的橫向延伸的上板隙，上述下板包括分別在上述上板隙之下延伸的下板條，上述下板條被在上述下板條間橫向延伸的下板隙分隔開；兩個可在橫方向和縱方向上、在上述上板隙之中和之內移動的上探針，上述上探針還可向下移動以與在上述上板和下板間延伸的上述柔性基底接觸，以及可向上移動以使上述上探針在上述上板條之上移動；兩個可在上述橫方向和縱方向上、在上述下板隙之中和之內移動的下探針，上述下探針還可向上移動以與在上述上板和下板間延伸的上述柔性基底接觸，以及可向下移動以使上述下探針在上述下板條之下移動；以及基底驅動裝置，用于朝上述縱向傳送方向移動上述柔性基底使之通過上述基底容納狹孔。
22.權利要求21所述的裝置，其特征在于每個所述上板和下板由一個導電層組成，上述導電層通過一個絕緣層與上述基底容納狹孔內的上述柔性基底分隔開。
23.權利要求22所述的裝置，其特征在于還包括電路測試裝置，用于確定與上述探針接觸的各種上述電路跡線的電特性，上述電路測試裝置可用不同方式與上述上探針和下探針之中的探針連接；以及在兩個上述探針間和在一個上述探針和上述基底間用不同方式連接的電容測試裝置。
24.權利要求23所述的裝置，其特征在于上述基底驅動裝置以一種停止和前進的方式移動上述柔性基底使之通過上述基底容納狹孔，從而在上述基底的移動位置之間通過上板隙和下板隙暴露出上述電路跡線的不同部分；以及上述裝置還包括一個板驅動裝置和探針驅動裝置，上述板驅動裝置移動上板和下板使其分開從而便于通過上述基底驅動裝置來移動上述柔性基底并在停止上述柔性基底的運動時關閉上述上板和下板以夾住上述柔性基底，上述探針驅動裝置在上述基底的移動位置間于通過上述上板隙和下板隙暴露出來的上述電路跡線的測試點之中移動上述上探針和下探針。
25.權利要求24所述的裝置，其特征在于上述裝置還包括電路位置測量裝置，用于測量上述柔性基底上的電路圖形在上述裝置內的位置；以及上述探針驅動裝置移動上述上探針和下探針以補償電路圖形在上述柔性基底上的上述位置的變動。
26.一種測試沿一個柔性基底延伸的電路跡線的方法，上述方法包括以下步驟在一個上板和一個下板間沿縱向傳送上述柔性基底，其中，上述上板包括多個被上述上板橫向延伸的板條分隔開的橫向延伸的上板隙，上述下板包括各自在上述上板隙之下延伸的下板條和在上述下板條之間橫向延伸的下板隙，其中每個上述上板和下板由一個導電層組成，上述導電層由一個絕緣層與上述柔性基底分隔開；使上述柔性基底在一個位置上停止移動，從而通過上述板隙讓上述電路跡線的不同部分暴露出來；移動探針使之從上述柔性基底之上和之下通過不同的上述板隙與上述不同的電路跡線上的不同點接觸；通過與上述不同點接觸的上述探針測量上述不同的電路跡線的電特性；移動上述探針使之與上述電路跡線脫離接觸；移動上述探針使之從上述柔性基底之上和之下與通過不同的上述板隙暴露出來的上述不同的電路跡線的不同的點接觸；通過與上述各個不同的點接觸的上述探針測量上述不同的電路跡線的電特性，以及移動上述探針使之與上述電路跡線脫離接觸。
27.權利要求26所述的方法，其特征在于多次重復上述步驟，藉助于上述柔性基底的反復移動通過上述上板隙和下板隙板把上述電路跡線的不同部分暴露出來。
28.權利要求26所述的方法，其特征在于移動上述探針中的兩個使其從上述柔性基底的一個共同側面與一個電路跡線上的不同點接觸。
29.權利要求26所述的方法，其特征在于移動上述探針中的兩個使其從上述柔性基底的相對側面與在一個電路跡線上的不同點接觸。
30.權利要求26所述的方法，其特征在于移動一個上述探針使其與某個上述電路跡線接觸，以測量在上述某個電路跡線和上述上板以及下板間的電容。
31.權利要求26所述的方法，其特征在于移動上述第一探針使之從上述柔性基底的第一側面與某個上述電路跡線接觸，以及移動上述第二探針使之在與上述柔性基底的上述第一側面相對的側面上形成的一個電壓面接觸，以測量在上述某個電路跡線和上述電壓面間的電容。
32.權利要求26所述的方法，其特征在于還包括以下步驟在沿上述縱方向移動上述柔性基底之前，使上述上板和下板分離，以松開上述柔性基底；以及在停止上述柔性基底的運動之后，在上述柔性基底上合攏上述上板和下板。
全文摘要
一種測試沿一在一上板和一下板間沿縱向傳送的柔性基底延伸的電路跡線的裝置。上板包括許多上板隙和上板條。下板包括許多下板條和下板隙。在基底上、下分別移動上、下測試探針。當探針通過板隙與測試點接觸時，沿基底兩側板隙延伸的板條提供了探針接觸的支承表面?？捎秒p探針法確定測試點間的電路跡線的電特性，或用單探針法確定電路跡線和板間的電容。逐步移動該基底在電路區(qū)域上按需要暴露出板隙中不同的點而完成測試。
文檔編號G01R31/02GK1117138SQ9510240
公開日1996年2月21日 申請日期1995年3月10日 優(yōu)先權日1994年3月29日
發(fā)明者小詹姆斯·愛德華·博耶特, 詹姆斯·克里斯托弗·馬爾巴徹 申請人:國際商業(yè)機器公司