專利名稱：陶瓷厚膜應(yīng)變式壓力傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種壓力傳感器，特別是一種陶瓷厚膜應(yīng)變式壓力傳感器。
現(xiàn)有的壓力傳感器主要有金屬箔式壓力傳感器及硅壓阻式壓力傳感器，前者雖具有耐高溫、耐腐蝕性、高精確的特點，但產(chǎn)品質(zhì)量受人為因素影響大，成本高，不適合大批量生產(chǎn)；后者雖具有成本低、適合大批量生產(chǎn)的特點，但耐高溫、耐腐蝕性較差，精度較低，不適合制造大量程的壓力傳感器。
本實用新型的目的就是針對上述不足之處而提供一種耐高溫、耐腐蝕、精度高、成本低、適合大批量生產(chǎn)的陶瓷厚膜應(yīng)變式壓力傳感器。
本實用新型的技術(shù)解決方案是一種陶瓷厚膜應(yīng)變式壓力傳感器，包括陶瓷彈生體及其上印制的厚膜應(yīng)變計測量電阻、調(diào)零電阻、和連接導(dǎo)帶，其特征是所述的陶瓷彈性體包括一個彈性平膜片，該平膜片設(shè)有圓環(huán)形周邊固支體，該固支體上開有一環(huán)形槽。調(diào)零電阻印制在與周邊固支體正對的彈性平膜片上。
本實用新型技術(shù)解決方案中所述的周邊固支體上可設(shè)有螺紋，以便于與外殼連接。
本實用新型技術(shù)解決方案中所述的周邊固支體上還可設(shè)有便于安裝的凸沿。
本實用新型由于采用陶瓷彈性體及厚膜電阻應(yīng)變計，因而具有耐高溫、耐腐蝕、成體低、適合大批量生產(chǎn)的特點。由于在周邊固支體上設(shè)有環(huán)形槽，可消除外殼、接頭與陶瓷彈性體之間由于安裝及受熱而產(chǎn)生應(yīng)力對傳感器精度的影響。由于調(diào)零電阻印制在與周邊固支體正對的彈性平膜片上，可減少由于激光調(diào)阻使彈性平膜片、特別是在測量電阻所處的彈性平膜片產(chǎn)生的機械損傷，以致彈性平膜片在工作時即使受較大應(yīng)力也不會失效。由于測量電阻、調(diào)零電阻印制在同一塊彈性平膜片上，且一次印制完成，其各項性能較一致，具有較高的精度和可靠性。由于周邊固支體上設(shè)有螺紋或凸邊，便于與外殼或接頭固定連接。
附圖的圖面說明如下

圖1為本實用新型厚膜電阻及導(dǎo)帶圖案示意圖，并作為摘要附圖；圖2為實施例1陶瓷彈性體的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為實施例2陶瓷彈性體的結(jié)構(gòu)示意圖。
以下結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步詳述實施例1如圖1、圖2所示，彈性平膜片1為圓形，其下周邊設(shè)有環(huán)形周邊固支體2，周邊固支體2中部設(shè)有環(huán)形槽3，下部設(shè)有連接螺紋4，以便與外殼、接頭連接。周邊固支體2與彈性平膜片1可設(shè)計成一個整體，例如用96％Al2O3通過對陶瓷材料的熱壓鑄等工藝一次加工成型。四個厚膜應(yīng)變計測量電阻6設(shè)計在彈性平膜片1未與周邊固支體2連接部分的表面上，兩個調(diào)零電阻7為環(huán)形，設(shè)計在與周邊因磕體2連接的彈性平膜片1表面上，測量電阻6與調(diào)零電阻7均為一次印刷并燒結(jié)而成，具有相同的電性能，電阻間采用導(dǎo)帶5連接。由于調(diào)零電阻7設(shè)在與周邊固支體2對應(yīng)的彈性平膜片1上，激光調(diào)阻對彈性平膜片1機械損傷較小，因而在工作時即使受較大應(yīng)力也不會失效，可靠性高。
實施例2如圖3所示，與實施例1不同的是周邊固支體9的下部設(shè)有凸沿11，便于與外殼、接頭固定連接。彈性平膜片8和環(huán)形槽10與實施例1中的相同。
權(quán)利要求1.一種陶瓷厚膜應(yīng)變式壓力傳感器，包括陶瓷彈性體及其上印制的厚膜應(yīng)變計測量電阻(6)、調(diào)零電阻(7)、和連接導(dǎo)帶(5)，其特征是所述的陶瓷彈性體包括一個彈性平膜片(1、8)，該平膜片(1、8)設(shè)有圓環(huán)形周邊固支體(2、9)，該固支體(2、9)上開有一環(huán)形槽(3、10)；調(diào)零電阻(7)印制在與周邊固支體(2、9)正對的彈性平膜片(1、8)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陶瓷厚膜應(yīng)變式壓力傳感器，其特征是所述的周邊固支體(2)上設(shè)有螺紋(4)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陶瓷厚膜應(yīng)變式壓力傳感器，其特征是所述的周邊固支體(9)上設(shè)有便于安裝的凸沿(11)。
專利摘要本實用新型屬于一種厚膜電阻壓力傳感器。主要是針對金屬箔式壓力傳感器成本高、不適合大批量生產(chǎn)，硅壓阻式壓力傳感器耐高溫、耐腐蝕性較差而提供一種壓力傳感器。它的主要特征是包括一個彈性平膜片，及連為一體的圓環(huán)形周邊固支體，周邊固支體上設(shè)有環(huán)形槽，調(diào)零電阻印制在與周邊固支體正對的彈性平膜片上。具有耐高溫、耐腐蝕、成本低、適合大批量生產(chǎn)、精度高、可靠性高的特點。
文檔編號G01L9/06GK2231415SQ95202728
公開日1996年7月17日 申請日期1995年2月24日 優(yōu)先權(quán)日1995年2月24日
發(fā)明者徐忠民, 黃國偉 申請人:黃國偉, 徐忠民