專利名稱：一種測量微小線位移的傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種采用光電方法測量微小線位移的傳感器，它是對光電測長儀的改進。
已知的光電測長儀是采用傳統(tǒng)機械儀表結(jié)構(gòu)，加上檢測元件及光電轉(zhuǎn)換器件構(gòu)成。其特點是采用滑動摩擦導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)其要求配合精度高、加工難度大、摩擦力大、測軸靈敏度差，長時間使用測軸易卡死，由于用測軸兩端作導(dǎo)向，使得結(jié)構(gòu)復(fù)雜、體積增大。檢測元件刻劃面偏離測軸中心放置帶來阿貝誤差影響其測量精度。
本實用新型的目的是采用滾動摩擦導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，并且把檢測元件固定在測軸一端，使其克服已知技術(shù)中存在的問題。
本實用新型軸承2固定在基座1上，測軸3裝入軸承2的內(nèi)孔組成滾動摩擦導(dǎo)軌，檢測元件4固定在測軸3的一端上，并且檢測元件4的刻劃面位于測軸3的中心線上，測頭7固定在測軸3的另一端上，讀數(shù)頭5固定在限位軸6上。當(dāng)測頭7與被測物體接觸使被測物體移動時，推動測軸3做直線移動，同時帶動檢測元件4隨測軸3相應(yīng)運動，通過讀數(shù)頭5把檢測元件4的位移信號轉(zhuǎn)變成電信號，電信號即代表被測物體的位移量。
本實用新型測軸采用精密直線運動導(dǎo)軌，把滑動摩擦變成滾動摩擦使測軸運動靈敏、穩(wěn)定可靠、經(jīng)久耐用，克服了滑動摩擦導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)要求其配合精度高、加工難度大、摩擦力大、靈敏度差等問題。檢測元件的刻劃面放置在測軸中心線上使阿貝誤差等于零則提高了測量精度。采用測軸和限位軸的雙軸結(jié)構(gòu)，讀數(shù)頭固定在限位軸上使其結(jié)構(gòu)簡單、體積小、加工成本低、裝調(diào)方便、經(jīng)濟效益高。


圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)的主視圖。
圖2是本實用新型結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。
本實用新型的最佳實施例如圖1和圖2所示，軸承2采用直線運動軸承或滾珠，檢測元件4采用光柵、磁柵、容柵等。讀數(shù)頭5中的光源可以選用紅外發(fā)光二極管或激光光源，光電轉(zhuǎn)換器可選用組合的平面光電二極管或分離式光電接收器，其頻響高可提高測量速度，滿足自動化生產(chǎn)中在線檢測的使用要求。
權(quán)利要求1.一種測量微小線位移的傳感器，采用基座1、測頭7、讀數(shù)頭5固定在限位軸6上，其特征在于測軸3裝入軸承2的內(nèi)孔里，使測軸3與軸承2組成滾動摩擦導(dǎo)軌，檢測元件4固定在測軌2的一端上，并且檢測元件4的刻劃面位于測軸3的中心線上。
專利摘要本實用新型涉及一種采用光電方法來測量微小直線位移長度的傳感器，它由基座1、軸承2、測軸3、檢測元件4、讀數(shù)頭5、限位軸6、測頭7組成。測軸采用精密直線運動導(dǎo)軌使測軸運動靈敏度提高，檢測元件刻劃面在測軸中心線上使阿貝誤差等于零提高了測量精度。采用測軸和限位軸的雙軸結(jié)構(gòu)，讀數(shù)頭固定在限位軸上使其結(jié)構(gòu)簡單、體積小、加工成本低、裝調(diào)方便。
文檔編號G01B21/02GK2238417SQ9520779
公開日1996年10月23日 申請日期1995年4月11日 優(yōu)先權(quán)日1995年4月11日
發(fā)明者倪學(xué), 韓雪冰 申請人:中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械研究所