專利名稱：多邊形三杯雙島復(fù)合壓力傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種制造智能壓力變送器用的多邊形三杯雙島復(fù)合壓力傳感器。
智能壓力變送器具有很高的測(cè)量精度，這種高精度是通過用靜壓，溫度對(duì)壓力示值的影響來修正差壓的誤差得到的，這種復(fù)合傳感器除能對(duì)差壓進(jìn)行測(cè)量外，同時(shí)還具備對(duì)靜壓，溫度進(jìn)行測(cè)量的功能。目前所使用的復(fù)合壓力傳感器主要有圓杯單島和多邊形單島三杯結(jié)構(gòu)，其中圓杯單島結(jié)構(gòu)的復(fù)合壓力傳感器雖然具有一定的靈敏度和過載特性，并能減少非線誤差，但是它的靜壓測(cè)量輸出無法得到大幅度的提高，而且這種杯結(jié)構(gòu)是依靠機(jī)械加工方法得到的，具有加工復(fù)雜，合格率低的缺點(diǎn)，另外一種多邊形單島三杯復(fù)合壓力傳感器是根椐絕壓元件對(duì)靜壓進(jìn)行測(cè)量的，由于組成惠斯登電橋電橋的電阻是沿杯邊布置的，所以各應(yīng)力點(diǎn)的測(cè)量值變化很大，不能進(jìn)行非線性補(bǔ)償，具有圖形全是多邊形，制造困難，過載特性低的缺點(diǎn)。
本實(shí)用新型的目的是提供一種靈敏度高，非線性可補(bǔ)償和過載特性優(yōu)良的多邊形三杯雙島復(fù)合壓力傳感器。
本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的，它包括基體，用于測(cè)量差壓的敏感電阻Rg1，Rg2，Rg3，Rg4，用于測(cè)量靜壓的敏感電阻Rs1，Rs2Rs3，Rs4，溫度敏感電阻Rt和膜片，其特征是在基體上設(shè)置一個(gè)多邊雙島形的凹槽和兩個(gè)方形的凹槽，其中用于測(cè)量靜壓的敏感電阻Rs3布置在方形凹槽的中線，Rs1布置在在另外方形凹槽的邊緣，用于測(cè)量差壓的敏感電阻Rg1，Rg2，Rg3，Rg4布置在多邊雙島形凹槽的凸臺(tái)上。
本實(shí)用新型由于采用了雙島三杯結(jié)構(gòu)，所以當(dāng)雙面受力時(shí)雙島膜片受到的合力為零，當(dāng)單面受力時(shí)，壓力全部作用于Rs1和Rs3這兩個(gè)絕壓元件上，整個(gè)器件具有對(duì)差壓和壓力進(jìn)行測(cè)量的作用，可以實(shí)現(xiàn)微差壓，高靜壓的精確測(cè)量，具有非線性補(bǔ)償好和小電流，高靈敏度的優(yōu)點(diǎn)。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的描述。


圖1是多邊形三杯雙島復(fù)合壓力傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖，圖2是圖2的A--A的剖示圖，圖3是圖1的等效電路圖。
如圖1--3所示，該多邊形三杯雙島復(fù)合壓力傳感器，包括基體1，用于測(cè)量差壓的敏感電阻Rg1，Rg2，Rg3，Rg4，用于測(cè)量靜壓的敏感電阻Rs1，Rs2Rs3，Rs4，溫度敏感電阻Rt和膜片2，其中Rs1、Rs2、Rs3和Rs4構(gòu)成測(cè)量靜壓的惠斯登電橋；Rg1、Rg2、Rg3和Rg4構(gòu)成測(cè)量差壓的惠斯登電橋；Rt布置在平行<110>45度角的方向，在基體1上設(shè)置一個(gè)多邊雙島形的凹槽3和兩個(gè)力形的凹槽4和5，其中用于測(cè)量靜壓的敏感電阻Rs3布置在方形凹槽4的中線，Rs1布置在在另外方形凹槽5的邊緣，用于測(cè)量差壓的敏感電阻Rg1，Rg2，Rg3，Rg4布置在多邊雙島形凹槽的凸臺(tái)上，雙島的凹槽深度為150--250微米，當(dāng)傳感器雙面受力時(shí)，膜片2所受合力為零，通過Rs1，Rs2，Rs3和Rs4構(gòu)成的靜壓惠斯登電橋測(cè)出靜壓；當(dāng)單面受力時(shí)，壓力全部加在Rs1和Rs3這兩個(gè)元件上，通過靜壓惠斯登電橋可以測(cè)出單面受力時(shí)的靜壓值；還可以通過由Rg1Rg2，Rg3Rg4構(gòu)成的差壓惠斯登電橋測(cè)出傳感器單面或雙面受力時(shí)的差壓值。
權(quán)利要求1，一種多邊形三杯雙島復(fù)合壓力傳感器，它包括基體，用于測(cè)量差壓的敏感電阻Rg1，Rg2，Rg3，Rg4，用于測(cè)量靜壓的敏感電阻Rs1，Rs2Rs3，Rs4，溫度敏感電阻Rt和膜片，其特征是在基體上設(shè)置一個(gè)多邊雙島形的凹槽和兩個(gè)方形的凹槽，其中用于測(cè)量靜壓的敏感電阻Rs3布置在方形凹槽的中線，Rs1布置在在另外方形凹槽的邊緣，用于測(cè)量差壓的敏感電阻Rg1，Rg2，Rg3，Rg4布置在多邊雙島形凹槽的凸臺(tái)上。
2，根椐權(quán)利要求1所述的多邊形三杯雙島復(fù)合壓力傳感器，其特征是雙島凹槽的深度為150--250微米。
專利摘要一種多邊形三杯雙島復(fù)合壓力傳感器，它包括基體，用于測(cè)量差壓的敏感電阻，用于測(cè)量靜壓的敏感電阻，溫度敏感電阻和膜片，在基體上設(shè)置一個(gè)多邊雙島形的凹槽和兩個(gè)方形的凹槽，用于測(cè)量靜壓的敏感電阻布置在方形凹槽的中線和另外一方形凹槽的邊緣，用于測(cè)量差壓的敏感電阻布置在多邊雙島形凹槽的凸臺(tái)上。它可以實(shí)現(xiàn)微差壓、高靜壓的精確測(cè)量，具有非線性補(bǔ)償好和小電流，高靈敏度的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)G01L1/18GK2240145SQ95232708
公開日1996年11月13日 申請(qǐng)日期1995年11月14日 優(yōu)先權(quán)日1995年11月14日
發(fā)明者龐世信, 唐慧, 徐淑霞, 劉沁, 呂忠剛 申請(qǐng)人:機(jī)械工業(yè)部沈陽(yáng)儀器儀表工藝研究所