專利名稱：大型工件內(nèi)外徑激光瞄準測量系統(tǒng)及測量方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于激光精密測量技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及大型工件內(nèi)外徑測量的系統(tǒng)設(shè)計。
大型工件內(nèi)外徑激光瞄準測量系統(tǒng)適用于大型軸類孔類零件的內(nèi)外徑測量。測量范圍可達0.5米至10米。測量系統(tǒng)可用于重大機電裝備的制造和質(zhì)量控制，如大型發(fā)電設(shè)備、重型機械、船舶、航空航天設(shè)備和大型工件，如30萬千瓦汽輪機轉(zhuǎn)子，水輪機大軸和大型船用礦用齒輪等。
本課題組研究人員于1992年5月21日向中國專利局提出了一項題為“激光高精度測量大型工件內(nèi)外徑測量及方法”，并于1995年3月31日獲得專利權(quán)，該專利公開的技術(shù)方案主要包括導(dǎo)軌及在其上往返移動的測量車，測量車裝有角隅棱鏡、五角棱鏡和光電接收器，兩個磁性定位塊及與之相連的光電接收器，用于準直、測長的激光準直儀和激光測距儀，以及計算機控制及數(shù)據(jù)處理單元。該裝置比傳統(tǒng)的測量精度大大提高，并實現(xiàn)現(xiàn)場在位測量以及測量數(shù)據(jù)處理自動化。但該裝置還存在以下不足之處第一，為保證測量達到較好的精度，該裝置需采用精密滾珠直線導(dǎo)軌，要求有剛性極好的導(dǎo)軌底座且底座上有驅(qū)動輪通過齒形帶拖動測量車，其結(jié)構(gòu)復(fù)雜造價高；第二，該裝置采用一個激光準直儀和一個激光測距儀，從兩個方向相對照準測量車，測量時必須將兩套激光系統(tǒng)調(diào)成共軸，不僅裝置成本增長而且調(diào)整難度高；第三，該裝置一但固定調(diào)整好，只能作一個方向直徑的測量，使測量范圍受到局限；第四，該裝置的數(shù)據(jù)處理沒有對導(dǎo)軌不直線度誤差、瞄準誤差、測量車定位誤差等進行補償處理，使測量精度受到影響。
本發(fā)明的目的在于為克服上述裝置的不足之處，對其結(jié)構(gòu)及測量方法進行重大改進，不僅保留了上述裝置的優(yōu)點，而且使其結(jié)構(gòu)簡化，系統(tǒng)調(diào)整要求降低，測量精度進一步提高，還可以進行多直徑多方向測量。
本發(fā)明提出一種大型工件內(nèi)外徑激光瞄準測量系統(tǒng)，包括導(dǎo)軌、測量車及驅(qū)動機構(gòu)，放置在被測件直徑兩端的二塊底面為凹性的定位塊，所說的測量車上裝有定位，瞄準用的角隅棱鏡、五角棱鏡和光電接收器，其特征在于還包括固定在所說的導(dǎo)軌一端頭的激光瞄準測距儀；所說的測量車還包括準直接收該激光瞄準測距儀發(fā)出的準直激光束的光電探測器；所說的角隅棱鏡與五角棱鏡均為半透半返的改進角隅棱鏡、改進五角棱鏡；所說的五角棱鏡、光電接收器、光電探測器均安裝在一測量平臺上；所說的定位塊上裝有反射面與定位塊底面垂直的平面反射鏡和接收；所說的角隅棱鏡的入射光并返回所說的光電接收器的角隅棱鏡。
所說的激光瞄準測距儀可以為雙頻激光干涉儀。
所說的測量車的驅(qū)動機構(gòu)可以包括驅(qū)動測量車在導(dǎo)軌上往返移動的粗動電機及對所說測量平臺微調(diào)的微動電機。
所說的探測器距所說的五角棱鏡可為1.5d，d為五角棱鏡入射面孔徑。
為擴大測量范圍本系統(tǒng)還可在所說的測量平臺裝于一個可使測量平臺作180度旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸架中，所說的磁性定位塊上的角隅棱鏡與平面反射鏡安裝在一可旋轉(zhuǎn)的鏡座上。
所說的導(dǎo)軌為輕型金屬材料制成。
采用本發(fā)明所述系統(tǒng)的測量方法，其特征在于包括系統(tǒng)調(diào)整與工件測量兩部分，所說系統(tǒng)調(diào)整由以下步驟所組成(1)將導(dǎo)軌方向調(diào)整為與所測工件的母線成垂直，并支撐牢固；(2)調(diào)整激光自準直儀發(fā)出的準直光和導(dǎo)軌平行，并使光束在遠近兩測量位置斜瞄準測量車上的靶蓋中心；(3)進一步調(diào)整自準直儀和導(dǎo)軌，使準直光(導(dǎo)軌)與被測工件軸線垂直；(4)用自準直法安裝磁性定位塊于被測工件直徑兩端；所說工件測量由以下步驟組成(5)測量車在粗動電機的驅(qū)動下快速移向一端，當測量車經(jīng)過瞄準位置時，測量車立即反向慢速移動重新逼近測量位置，到達測量瞄準位置時立即停車并鎖定位置；(6)記錄此位置的探測器測量的測量車相對測量基準線的偏移量HA，光電接收器測量的光束對準微偏移量LA，及測距儀對的讀數(shù)XA。
(7)再按第(5)步的方法測量另一點，得到HB、LB和XB。
(8)求得所測直徑D為D=((HB+LB+XB)-(HA+LA+XA)-C)2+S2]]>式中C為定位塊底部槽寬，S為定位塊常數(shù)。
本發(fā)明的測量原理如下測量系統(tǒng)采用″光學(xué)卡尺″內(nèi)外徑直接測量方法，將被測內(nèi)外徑測量通過瞄準光線和五角棱鏡轉(zhuǎn)化為測量車的兩點間的直線位移距離測量。由于五角棱鏡本身的特性以及瞄準光線的方向穩(wěn)定性，轉(zhuǎn)化中的阿貝誤差被限制到很小。
準直激光束射到改進型角隅棱鏡，部分被反射回到激光準直測距儀，作為測距光電信號部分透射光穿過角隅棱鏡進入改進型五角棱鏡，部分光折轉(zhuǎn)90°后，射向磁性定位塊。部分光穿過五角棱鏡到達CCD探測器接收表面，產(chǎn)生測量車相對測量激光束基準偏差的信號。
調(diào)整磁性定位塊時，首先沿被測工件(內(nèi))外圓滑動調(diào)整磁性定位塊位置，若反射光線與人射光線重合，并返回到準直光出發(fā)點，由光電檢測系統(tǒng)探測并發(fā)出對準信號。則說明磁性塊位置正確，保證了兩測量位置處瞄準激光束平行。即位于工件上被測直徑的兩最外端。被測線與測量線相互平行，兩測量臂也保持平行(且與測量線垂直)，因而直徑的測量轉(zhuǎn)化為五角棱鏡沿導(dǎo)軌方向的移動量的測量。
測量時，準直光先后瞄準兩磁性定位塊。磁性定位塊上的角隅棱鏡將光線反射回來，當光束對準四象限光電探測器中心時發(fā)出對準信號，由激光測距儀測量兩位置間距L，角隅棱鏡上的常量(C1＋C2)預(yù)先標定。令C＝C1＋C2這樣，所測直徑為D=(L-C)2+S2]]>計算直徑時，因五角棱鏡與準直激光相互位置發(fā)生變化，需對公式中L進行補償運算。設(shè)ΔX為修正量。用XA、XB表示激光測距儀在A、B兩個瞄準點處的讀數(shù)，LA、LB表示光電探測器上測得光點微量偏移，則有L＝(XB＋LB)－(XA＋LA)＋ΔX設(shè)光電探測器在A、B兩個瞄準點處測得光點高度值為hA、hB，修正量為ΔX=hB2-hA2]]>令HA=hA2;HB=hB2]]>則L＝(HB＋LB＋XB)－(HA＋LA＋XA)代入前式，直徑計算公式為D=((HB+LB+XB)-(HA+LA+XA)-C)2+S2]]>五角棱鏡的移動量，即兩瞄準點間的距離L的測量，可選用光柵、磁柵、固體或氣體激光干涉測長等手段進行(前兩種方法會存在較大阿貝誤差)。也可用半導(dǎo)體激光器連續(xù)調(diào)頻或激光多波長絕對距離測量系統(tǒng)。
測量車沿導(dǎo)軌運動時，其相對激光基準的偏差光電探測器進行實時測量。并送入計算機。
6.改進型五角棱鏡、光電探測器和光電接收器裝于一個可旋轉(zhuǎn)軸架中。軸架可圍繞激光基準軸線作180度旋轉(zhuǎn)，即測量平面可作180度旋轉(zhuǎn)。準直光束在空間掃出與入射光垂直的平面，測量系統(tǒng)安裝好后，可測量臥式或立式放置的工件。
本發(fā)明具有如下特點第一、采用單一激光瞄準測距儀建立的大外徑測量系統(tǒng)。激光瞄準測距儀具有兩種功能實時測量測量車的位置；為瞄準系統(tǒng)提供準直激光束，并檢測磁性定位塊自準直對準的情況。結(jié)構(gòu)緊湊，調(diào)整方便。
第二、測量系統(tǒng)采用輕型材料(如鋁合金)導(dǎo)軌，導(dǎo)軌上無任何驅(qū)動裝置。適當選取支點位置機支撐方式，測量車在導(dǎo)軌上運動時導(dǎo)軌產(chǎn)生最小變形。如最大撓度小于2-3毫米。重量輕，便于搬運，適于加工現(xiàn)場使用，能夠?qū)崿F(xiàn)在位測量。
第三、測量車上的主動輪與導(dǎo)軌摩擦推動測量車運動。首先測量車快速移動，當通過測量位置時，測量車立即反向慢速移動重新逼近測量位置。到達測量瞄準位置時立即停車并鎖定位置。可以在現(xiàn)場操作人員視場之外通過遙控方式實現(xiàn)自動瞄準測量。
第四、安裝于測量車上的光電探測器實時測量測量車相對測量基準線的偏離量。可在較范圍內(nèi)測量偏離量，如2-3毫米。
第五、磁性定位塊上裝有一個平面反射鏡用于自準直調(diào)整和一個角隅棱鏡用于測量。能夠圍繞機械軸作360度旋轉(zhuǎn)。平面反射鏡的反射面垂直于定位塊底面，沿被測工件(內(nèi))外圓調(diào)整定位塊位置，若反射光線與入射光線重合，并返回到準直光出發(fā)點，由光電檢測系統(tǒng)探測并發(fā)出燈光和音響對準信號。兩測量位置處瞄準激光束平行。即位于工件上被測直徑的兩最外端。被測線與測量線相互平行，兩測量臂也保持平行且與測量線垂直。平面反射鏡用于自準直調(diào)整提高了調(diào)整靈敏度和精度，操作人員易于判斷光束方向。由于棱鏡能夠旋轉(zhuǎn)，能夠進行多直徑多方向測量。
第六、改進型五角棱鏡，光電探測器和光電接收器裝于一個可旋轉(zhuǎn)軸架中。軸架可圍繞激光基準軸線作180度旋轉(zhuǎn)，即測量平面可作180度旋轉(zhuǎn)。準直光束在空間掃出與入射光垂直的平面，測量系統(tǒng)可測量臥式或立式放置的工件。此項設(shè)計是與可旋轉(zhuǎn)定位塊相配和使用的。能夠進行多直徑多方向測量。
第七、計算內(nèi)外徑時，將測距儀測量的兩位置間距，光電探測器測量的測量車相對測量基準線的偏離量，光電接收器測量的光束對準微偏離量和磁性定位塊常數(shù)綜合計算處理得到所測量的內(nèi)外徑數(shù)值。數(shù)據(jù)的綜合處理補償了導(dǎo)軌不直線度誤差，瞄準誤差，測量車定位誤差，等多項誤差。
附圖簡要說明

圖1為本發(fā)明一種實施例系統(tǒng)構(gòu)成2為本實施例磁性定位塊結(jié)構(gòu)示意3為本實施例五角棱鏡位移示意4為本實施例測量車移動與瞄準光線示意5為本實施例遙控瞄準方法流程本發(fā)明提出一種大型工件內(nèi)外徑激光瞄準測量系統(tǒng)實施例，結(jié)合圖1～5對系統(tǒng)的構(gòu)成及測量方法詳細描述如下圖1為本實施例系統(tǒng)構(gòu)成示意圖測量系統(tǒng)由下述幾部分組成1、激光瞄準測距儀2采用雙頻激光干涉儀，射出一條垂直于被測量工件軸線的準直激光束作為測量基線。該激光基線的作用，一是用來確定前后兩個被測量瞄準點的位置，二是用以測量導(dǎo)軌彎曲帶來的測量誤差。
2、沿準直光激方向放置輕型導(dǎo)軌3(鋁合金形材)，重量輕，便于搬運，適于加工現(xiàn)場使用，能夠?qū)崿F(xiàn)在位測量。導(dǎo)軌長度需長于被測內(nèi)外徑長度。
3、裝有改進角隅棱鏡4，改進五角棱鏡5，CCD探測器7和四象限光電接收器8的測量車6由電機驅(qū)動沿導(dǎo)軌移動。測量車上的主動輪與導(dǎo)軌摩擦推動測量車運動。首先測量車快速移動，當通過測量位置時，測量車立即反向慢速移動重新逼近測量位置。到達測量瞄準位置時立即停車并鎖定位置?？梢酝ㄟ^遙控方式實現(xiàn)自動瞄準測量。
4、磁性定位塊9上的平面鏡10和角隅棱鏡11的表面垂直于定位塊的底面。定位塊吸附于工件12上。為保證磁性塊吸附牢固，將其底面加工成凹形。吸到工件上時，靠兩條平行的棱線與工件接觸。棱線間距為S。當兩磁性塊的底面相互平行時，兩磁性塊上四條與工件接觸的棱線在測量截面內(nèi)構(gòu)成一個矩形，其對角線就是被測直徑。
5、測量控制，光電信號與數(shù)據(jù)處理計算機單元1。計算機控制測量車移動、變速、反向、微動、對準判別等測量全過程，采集測量數(shù)據(jù)，進行誤差補償計算，打印測量結(jié)果。
圖2為本實施例的磁性定位塊結(jié)構(gòu)示意圖，圖中，將磁性表座9的底面加工成凹型，凹形槽的兩條棱線需互相平行，棱線間隔為S。上部安裝有旋轉(zhuǎn)鏡座和鎖緊機構(gòu)13，鏡座可帶動平面鏡、角隅棱鏡作360度回轉(zhuǎn)。平面鏡的反射面與磁力表座底面垂直。
本實施例安裝于測量車上的CCD探測器的測量數(shù)據(jù)可對五角棱鏡位移引入的瞄準誤差進行補償，其原理如圖3、4所示。
本實施例CCD探測器7與五角棱鏡5距離為1.5d(d為五角棱鏡入射窗孔徑)，測量車6和五角棱鏡在垂直測量基線方向平移和旋轉(zhuǎn)使CCD探測到的光點位置變化量，與出射光的位移量有換算關(guān)系δl1＝δh1設(shè)在起始測量位置，準直光經(jīng)工件上角隅棱鏡11反射回來后，入射到測量車6上四象限光電探測器8中心。此時角隅棱鏡入射光和出射光的距離為b0。
五角棱鏡5向下移動δh時，從五角棱鏡出射的光線將向左偏移δl，角隅棱鏡入射光和出射光的距離為b1(虛線表示)則有δl＝δh光線經(jīng)工件上角隅棱鏡反射后，根據(jù)角隅棱鏡入射光和出射光的點對稱性質(zhì)，又向右偏移δl。
b1-b0＝2δl即五角棱鏡橫移δl，造成角隅棱鏡入射光和出射光的距離變化2δl。所以，如果測量車帶動五角棱鏡橫移δb，相應(yīng)會引起角隅棱鏡入射光和出射光的距離變化2δb。欲使光線還瞄準四象限光電探測器，需移動測量車(光電探測器隨著同時移動)，使角隅棱鏡入射光和出射光距離為b2，變化量為δl，即2δb＝δlδb=δl2]]>則有δb=δh2]]>可見，測量車移動量是CCD所探測到瞄準光線變化量的二分之一。
本實施例所述系統(tǒng)安裝調(diào)整步驟如下1、將導(dǎo)軌方向調(diào)整為與所測工件的母線(或軸線)成垂直，并支撐牢固。
2、將激光自準直儀固定在導(dǎo)軌一端。先打開機箱前面板上的總電源開關(guān)，然后再打開瞄準測距儀上激光器開關(guān)，調(diào)整瞄準測距儀。打開其蓋板，調(diào)整五維調(diào)節(jié)架使輸出光強最大，即光纖耦合效率最高。并使光斑圓整。
3、將測量車安裝在導(dǎo)軌上，將帶孔瞄準靶蓋裝到測量車入射窗上，打開機箱后面板上的電機電源開關(guān)，按機箱(或遙控器)上的粗箭頭鍵，前后移動測量車，調(diào)整準直光和導(dǎo)軌平行，并且使光束在遠近兩測量位置能瞄準靶蓋中心。調(diào)整方法是①準直光和導(dǎo)軌水平方向的夾角及位移，通過準直儀兩側(cè)三個止推螺桿進行調(diào)節(jié)；②準直光和導(dǎo)軌在鉛垂面內(nèi)的夾角，通過導(dǎo)軌另一端三角架的升降機構(gòu)來調(diào)節(jié)；③鉛垂面內(nèi)的平移，由制造保證，必要時加墊片微調(diào)。
4、取下測量車上的瞄準靶蓋，進一步調(diào)整準直光(和導(dǎo)軌)使其與被測工件軸線垂直。調(diào)整方法是①鎖緊方箱側(cè)面的三個螺釘，使準直儀能隨同導(dǎo)軌在水平面內(nèi)轉(zhuǎn)動。
②關(guān)閉測量車電機電源(在機箱后)，推動測量車使激光束與工件一側(cè)相切。通過轉(zhuǎn)動測量車上的五角棱鏡部件，使激光束瞄準工件上的一條回轉(zhuǎn)輪廓線。將五角棱鏡部件鎖緊。
③推動測量車使激光束與工件另一側(cè)相切。調(diào)整三角架上的橫向微調(diào)機構(gòu)，使準直儀與導(dǎo)軌在水平面內(nèi)同步轉(zhuǎn)動，觀察激光束在工件上的瞄準位置。
重復(fù)此項操作，直到激光束在工件兩側(cè)能瞄準同一條回轉(zhuǎn)輪廓線。
④擰緊方箱2與底座間的以及三角架上的緊固螺釘，松開方箱2側(cè)面的三個螺釘(中間的螺釘起限位作用)。
5、用自準直法安裝磁性定位塊。
①把瞄準測距儀中析光鏡移入光路，將磁性定位塊吸于工件兩側(cè)，其底面兩條棱線與工件軸線平行。
②推動測量車，使激光束瞄準磁性塊上的平面鏡。調(diào)整磁性塊和平面鏡，使激光束沿原光路返回，瞄準測距儀和遙控器中發(fā)出蜂鳴聲。
③移動測量車，激光束瞄準磁性塊上的角隅棱鏡，沿工件軸線方向平移磁性塊，使反射光瞄準測量車上的四象限光電池。
6、打開測量車電機電源，用電箱面板鍵盤或遙控器控制測量車在全量程內(nèi)前后移動，調(diào)整雙頻激光干涉儀出射光方向(遠點調(diào)角度，近點調(diào)位移)，使光強指示處于綠區(qū)。
系統(tǒng)安裝完畢可通過測量控制、光電信號與數(shù)據(jù)處理計算機單元對系統(tǒng)進行遙控測量控制，其步驟如圖5所示。按下測量車啟動鍵測量開始。粗動電機驅(qū)動測量車開始向測量點運動。測量車到達測量點時，光電信號超過閾值。測量車慢速反向到達測量點，粗動停車。判斷是否瞄準，如果瞄準了，計算機開始測量計算L值和H值，并打印測量結(jié)果。如果沒瞄準且未繼續(xù)按鍵，則開始CCD測量程序，光電探測能量到達閾值，微動開始。如果沒有限位，微動調(diào)整直到瞄準，并開始測量計算L值和H值。如果有限位則粗動退回一段，檢查是否瞄準，繼續(xù)微動調(diào)整程序直到瞄準為止。
權(quán)利要求
1.一種大型工件內(nèi)外徑激光瞄準測量系統(tǒng)，包括導(dǎo)軌、測量車及驅(qū)動機構(gòu)，放置在被測件直徑兩端的二塊底面為凹性的定位塊。所說的測量車上裝有定位，瞄準用的角隅棱鏡、五角棱鏡和光電接收器，其特征在于還包括固定在所說的導(dǎo)軌一端頭的激光瞄準測距儀；所說的測量車還包括準直接收該激光瞄準測距儀發(fā)出的準直激光束的光電探測器；所說的角隅棱鏡與五角棱鏡均為半透半返的改進角隅棱鏡、改進五角棱鏡；所說的五角棱鏡、光電接收器、光電探測器均安裝在一測量平臺上；所說的定位塊上裝有反射面與定位塊底面垂直的平面反射鏡和接收；所說的角隅棱鏡的入射光并返回所說的光電接收器的第二塊角隅棱鏡；還包括對測量車電機進行控制，對光電接收器及光電探測器接收的數(shù)據(jù)進行處理的計算機自動控制及數(shù)據(jù)處理單元。
2.如權(quán)利要求1所述的測量系統(tǒng)，其特征在于所說的測量車驅(qū)動機構(gòu)包括驅(qū)動測量車在導(dǎo)軌上往返移動的粗動電機及對所說測量平臺微調(diào)的微動電機。
3.如權(quán)利要求1所述的測量系統(tǒng)，所說的探測器距所說的五角棱鏡為1.5d，d為五角棱鏡入射面孔徑。
4.如權(quán)利要求1所述的測量系統(tǒng)，所說的測量平臺裝于一個可使測量平臺作180度旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸架中，所說的磁性定位塊上的角隅棱鏡與平面反射鏡安裝在一可旋轉(zhuǎn)的鏡座上。
5.如權(quán)利要求1所述的測量系統(tǒng)，所說的導(dǎo)軌為輕型金屬材料制成。
6.如權(quán)利要求1所述的測量系統(tǒng)，所說的激光瞄準測距儀可以為雙頻激光干涉儀。
7.一種用于權(quán)利要求1所述系統(tǒng)的測量方法，其特征在于包括系統(tǒng)調(diào)整與工件測量兩部分，所說系統(tǒng)調(diào)整由以下步驟所組成(1)將導(dǎo)軌方向調(diào)整為與所測工件的母線成垂直，并支撐牢固；(2)調(diào)整激光瞄準測距儀發(fā)出的準直光和導(dǎo)軌平行，并使光束在遠近兩測量位置均能瞄準測量車上的靶蓋中心；(3)進一步調(diào)整瞄準測距儀和導(dǎo)軌，使準直光(導(dǎo)軌)與被測工件軸線垂直；(4)用自準直法安裝磁性定位塊于被測工件直徑兩端；所說工件測量由以下步驟組成(5)測量車在粗動電機的驅(qū)動下快速移向一端，當測量車經(jīng)過瞄準位置時，測量車立即反向慢速移動重新逼近測量位置，到達測量瞄準位置時立即停車并鎖定位置；(6)記錄此位置的探測器測量的測量車相對測量基準線的偏移量HA，光電接收器測量的光束對準微偏移量LA，及測距儀對此點的讀數(shù)XA。(7)再按第(5)步的方法測量另一點，得到HB、LB和XB。(8)求得所測直徑D為D=((HB+LB+XB)-(HA+LA+XA)-C)2+S2]]>式中c為定位塊底部槽寬，S為定位塊常數(shù)。
全文摘要
本發(fā)明屬于激光精密測量技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及大型工件內(nèi)外徑測量。內(nèi)外徑激光瞄準測量系統(tǒng)，包括導(dǎo)軌、定位塊、測量車及驅(qū)動機構(gòu)，測量車上裝有定位，瞄準用的角隅棱鏡、五角棱鏡和光電接收器，固定在導(dǎo)軌一端的激光瞄準測距儀。測量車還包括準直接收該激光瞄準測距儀發(fā)出的準直激光束的光電探測器，角隅棱鏡與五角棱鏡均為半透半返的改進角隅棱鏡。改進五角棱鏡，五角棱鏡、光電接收器、光電探測器均安裝在一測量平臺上。定位塊上裝有反射面與定位塊底面垂直的平面反射鏡。入射角隅棱鏡的光束返回光電接收器。儀器結(jié)構(gòu)簡單，重量輕，測量精度高，適于加工現(xiàn)場使用，并能進行多直徑多方向測量。
文檔編號G01B11/08GK1143744SQ96107099
公開日1997年2月26日 申請日期1996年7月19日 優(yōu)先權(quán)日1996年7月19日
發(fā)明者王佳, 張劍敏, 李達成, 趙洋, 曹芒 申請人:清華大學(xué)