專利名稱：異物檢查方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于檢測存在于檢查對象表面的異物的異物檢查方法及裝置，主要是涉及液晶制造工藝和半導(dǎo)體制造工藝中帶有線條的基片的外觀檢查用的方法和裝置。
已有的異物檢查方法在例如“計測自動制御學(xué)會論文集”(Vol.17，No2237/242，1981)有發(fā)表。
圖24是已有的異物檢查方法的基本結(jié)構(gòu)圖。
201是被檢查的基片。這里，將包含被檢查基片201且垂直于的紙面的面定義為被檢查基片201的主面。202是被檢查基片201上的線條，203是被檢查基片201上的異物，205是照射在和被檢查基片201的主面大致平行的方向上的S偏振激光光源(所謂S偏振光表示與紙面垂直方向上的偏振光)，206是以大致垂直于被檢查基片201的主面的軸為光軸的物鏡，207是設(shè)定使P偏振光(與紙面方向平行的偏振光)透過的檢偏振器，208是成像透鏡，209是光電變換元件。
下面對具有以上結(jié)構(gòu)的已有的基片檢查方法的動作加以說明。S偏振激光光源205一旦從大致平行于被檢查基片201的方向照射，線條202的反射光210保持偏振光方向不亂地原封不動地反射。總之，S偏振光的反射光210，在透過物鏡206后受設(shè)計成透過P偏振光、遮住S偏振光的檢偏鏡207遮擋。而如果S偏振的激光光源205的光照射在異物203上，光因異物203而發(fā)生散射，偏振光成分被打亂，成為含有P偏振光成分的散射光211。該散射光211透過物鏡206后被檢偏鏡207遮住S偏振光的成分，只有P偏振光成分透過，由成像透鏡208成像于光電變換元件209。借助于該光電變換元件209的輸出信號，可檢測出異物203的存在位置。
但是，在上述結(jié)構(gòu)中，來自線條202的反射光210的P偏振光成分在物鏡206的光軸上完全為0，而和光軸成交角的反射光有P偏振光成分，并且如果線條的反射率大，就會成為強(qiáng)噪聲源。
另一方面，異物203的尺寸越小，來自異物203的散射光211的強(qiáng)度就越弱。在圖24中，以來自激光光源205的光和物鏡206的光軸所成的角為檢測角。以光電變換元件209檢測出的異物203來的散射光211的P偏振光成分的光強(qiáng)為S(信號)，鋁質(zhì)布線等反射率大的線條202來的反射光210的偏振光成分的光強(qiáng)為N(噪聲)，以檢測角θ為橫軸的S/N值如圖25所示。從該圖可以看出，檢測角為90度，即采用已有結(jié)構(gòu)的情況下，S/N值小于1，無法區(qū)別異物203和線條202。
已有的例子還有美國專利No.5,127,726。該例子采取，激光以比較低的角度照射檢查對象的檢查面，在與檢查面所成的角度為銳角的位置上檢測的方法。從10度左右以上的角度的位置上照射激光時來自反射率大的線條的N(噪聲)分量變大。亦即，在該例子中也是S/N值變小，不能辨別異物和線條。
如上所述，已有的方法中，在線條的反射率高，線條反射來的光強(qiáng)的情況下，或異物尺寸小，異物反射來的光弱的情況下，存在無法辨別異物和線條的問題。
鑒于上述問題，本發(fā)明的目的在于提供使來自帶有線條的基片等檢查對象上的異物檢查光光強(qiáng)明顯比從線條來的檢查光光強(qiáng)大，使異物和線條的鑒別比得以提高，微小的異物都能檢查出來的異物檢查方法和異物檢查裝置。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的檢查方法具有如下特征。以和檢查對象的檢查面大致平行或成小交角的軸為光軸將S偏振光束照射于所述檢查對象的檢查面，在與檢查面所成的角為銳角，與所述光束的光軸的差角在30度以內(nèi)的光軸，檢測由所述光束產(chǎn)生的反射光和散射光中的、對檢查面成P偏振光的成分，作為異物檢測。
所謂對所述檢查對象的檢查面成S偏振光的光束，是指電矢量垂直于照明側(cè)光軸和所述檢查面法線矢量所成的入射面振動的光束，例如圖2中13所示。
將所述光束以和檢查對象的檢查面大致平行或成小交角的軸為光軸照射于所述檢查對象的檢查面意味著，所述光束照射時其光軸與檢查面所成的交角(入射角)大致為0度或小角度。例如，意味著使圖2中α所示的入射角為大約0度或小于5度左右。
所謂與所述檢查面所成的交角為銳角，意味著檢測方的光軸與所述檢查面所成的交角(檢測角)小于90度，例如，意味著使圖2中θ所示的檢測角，如下所述，小于60度，最好是小于40度。
所謂與所述光束的差角在30度以內(nèi)的光軸意味著，檢測方光軸在檢查面的投影矢量與照明側(cè)光軸在檢查面的投影矢量所成的交角(方位角)在30度以內(nèi)，例如，意味著圖2中φ所示方位角(差角)為0至30度。
對所述檢查面成P偏振光的成分，意味著在檢測方的反射光和散射光中，電矢量成分在檢測方光軸與所述檢查面的法線矢量所成的檢測面內(nèi)振動的成分，例如圖2中18所示。
在上述發(fā)明中，檢查對象為帶有線條的基片時，適于用比較反射光和散射光中的P偏振光成分的光量的方法檢測異物。
而且，在上述發(fā)明中，成S偏振的光束的光軸與檢查對象的檢查面所成的交角適于取1至5度。
或者，在上述發(fā)明中，適于在與檢查對象的檢查面成小于60度交角，特別是40度以下交角的光軸上檢測。
或者，在上述發(fā)明中，適于用配置于檢查方光軸上的空間濾光鏡除去檢查對象的循環(huán)線條。
或者，在上述發(fā)明中，適于使用由光軸上的，焦距為f，孔徑為D的物鏡和主平面配置于距離物鏡主平面L的位置上，且孔徑大于D-2A+AL/f(A為由光電變換元件的檢測寬度和物鏡、成像透鏡之間的倍率關(guān)系決定的檢查區(qū)域)的成像透鏡組成的光學(xué)系統(tǒng)，用光電變換元件，將反射光和散射光當(dāng)中對檢查面成P偏振光的成分作為異物測出。
或者，在上述發(fā)明中，適于使用遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)，將反射光和散射光中對檢查面成P偏振光的成分作為異物測出。
或者，在上述發(fā)明中，適于在檢測方光軸根據(jù)檢查對象附加使偏振光旋轉(zhuǎn)的1/2波長片，以此將反射光和散射光中對檢查面成S偏振光的成分變換成P偏振光成分，作為異物測出。
或者，在上述發(fā)明中，適于用按照改變與點(diǎn)陣平行的方向上像的倍率的要求配置的柱狀透鏡，將多個點(diǎn)光源來的光束設(shè)定為線狀光束。
本發(fā)明的異物檢查裝置的特征在于，配置成與檢查對象的檢查面大致平行的軸為光軸；具備照射對所述檢查對象的檢查面成S偏振光的光束的照明部、在與檢查面成銳角，且與所述照明部的光軸的差角在30度以內(nèi)的光軸上檢測所述照明部發(fā)生的反射光和散射光中對檢查面成P偏振光的成分并進(jìn)行光電變換的檢測部、以及用所述檢測部得到的信號作為異物判斷的信號處理部。
本發(fā)明采用所述結(jié)構(gòu)，以對所述檢查對象的檢查面大致成平行或成小交角的軸為光軸，對所述檢查對象的檢查面照射對該檢查面成S偏振光的光束，在與檢查面成銳角，且與所述光束的光軸的差角在30度以內(nèi)的光軸上，將由所述光束產(chǎn)生的反射光和散射光中對檢查面成P偏振光的成分作為異物檢測，以此使來自異物的檢測光的光強(qiáng)明顯高于來自線條等的檢測光的光強(qiáng)，提高異物與線條等噪聲成分的分辨率，并使檢測微小的異物成為可能。
而且，將所述光束的光軸和檢查對象的檢查面所成的角度定為1至5度，以使異物與線條有良好的分辨率，因而，有可能提高檢查異物的精度。
又是在與檢查面成小于60度交角的光軸上檢測，因而，異物和線條的分辨率較好，所以有可能高精度地檢測異物。
由于在與檢查面成小于40度的交角的光軸上檢測，即使在光軸外，異物和線條也有良好的分辨率，因而有可能高精度地檢測異物。
再者，由于在檢測部設(shè)置去除循環(huán)線條的空間濾光鏡，從而能夠除去來自檢測對象的線條的光線，因此更加能夠以高精度檢測出異物。
而且，在檢測部設(shè)置光學(xué)系統(tǒng)，并使其在光軸外有共焦點(diǎn)光學(xué)系統(tǒng)以上的開口，即使在光軸外也能夠大量地接收來自異物的光線，因而光軸外也能夠高精度地檢測異物。
還由于在檢測部設(shè)置遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)，即使檢測對象彎曲也不會損害倍率關(guān)系，所以能夠高精度地進(jìn)行異物檢測。
又由于在檢測部設(shè)置1/2波長片和根據(jù)檢測對象的種類拔出和插入1/2波長片的波長片移動控制部，借助于此，可以選擇光強(qiáng)大的偏振光方向，所以能夠?qū)Ξ愇镞M(jìn)行高靈敏度的檢測。
還由于在照明部設(shè)置多個點(diǎn)光源、和配置得使與該點(diǎn)光源陣平行的方向上的像倍率發(fā)生變化的柱狀透鏡，以此可照射出照度很均勻的線狀光束，所以能夠高精度地檢測異物。
又配置成以大致平行于檢查對象的檢查面的軸為光軸，設(shè)置照射出對所述檢查對象的檢查面成S偏振光的光束的照明部、在與檢查面成銳角且與所述照明部的光軸的差角小于30度的光軸上檢測所述照明部產(chǎn)生的反射光和散射光中對檢查面成P偏振光的成分并進(jìn)行光電變換的檢測部、以及用所述檢測部得到的信號判斷異物的信號處理部，以此可構(gòu)成幾乎完全不接收檢測對象的線條等噪聲成分的光線的異物檢測裝置，從而能夠?qū)Ξ愇镞M(jìn)行高精度的檢查。


圖1表示本發(fā)明第1實施例的結(jié)構(gòu)圖。
圖2為同上實施例的說明圖。
圖3為同上實施例的矢量說明圖。
圖4為同上實施例的線條反射光的說明圖。
圖5為同上實施例的線條反射光的強(qiáng)度分布圖。
圖6為同上實施例的異物散射光的強(qiáng)度分布圖。
圖7為同上實施例中檢測角為0度時的結(jié)構(gòu)圖。
圖8為同上實施例的檢測角與信號噪聲比(S/N)的關(guān)系圖。
圖9為同上實施例的入射角與信號噪聲比的關(guān)系圖。
圖10為本發(fā)明第2實施例的結(jié)構(gòu)圖。
圖11為同上實施例中離光軸的距離與信號噪聲比的關(guān)系圖。
圖12為本發(fā)明第3實施例的結(jié)構(gòu)圖。
圖13為本發(fā)明第4實施例的結(jié)構(gòu)圖。
圖14為同上實施例的光學(xué)系統(tǒng)說明圖。
圖15為同上實施例中對光軸的距離與信號噪聲比的關(guān)系圖。
圖16為本發(fā)明第5實施例的結(jié)構(gòu)圖。
圖17為本發(fā)明第6實施例的結(jié)構(gòu)圖。
圖18為同上實施例中1/2濾長片的配置的說明圖。
圖19為本發(fā)明第7實施例的結(jié)構(gòu)圖。
圖20為同上實施例中只使用陣列狀激光光源的照明部的結(jié)構(gòu)圖。
圖21為同上實施例中使用陣列狀激光光源和柱狀透鏡的照明部的結(jié)構(gòu)圖。
圖22為同上實施例中照明光成像面上的強(qiáng)度分布圖。
圖23為本發(fā)明第8實施例的結(jié)構(gòu)圖。
圖24為已有的異物檢查方法的結(jié)構(gòu)圖。
圖25為檢測角與信號噪聲比的關(guān)系圖。
圖1是本發(fā)明第1實施例的異物檢查方法的基本結(jié)構(gòu)圖。圖2是用于說明圖1的，而圖3是圖2中的矢量的說明圖。
在圖中，1為被檢查基片(檢查對象)，2為激光光源，3為將來自激光光源的光線變成平行光的準(zhǔn)直透鏡，4為起偏鏡，5是使平行光成線狀像，并以被檢查基片1為后側(cè)的焦點(diǎn)面的柱狀透鏡。而6是以柱狀透鏡5的后側(cè)焦點(diǎn)面為前側(cè)的焦點(diǎn)面的物鏡，7為檢偏鏡、8為成像透鏡，9為配置在成像透鏡8的成像面上的線性傳感器(光電變換元件)。
又，10為被檢查基片1的表面(檢查面)1a的法線矢量，11是表示由激光光源2、準(zhǔn)直透鏡3、柱狀透鏡4組成的光軸的入射方向矢量，該入射方向矢量11與被檢查基片1所成的角作為入射角α，入射角α大致設(shè)定為0度。而12是由法線矢量10與入射方向矢量11構(gòu)成的入射面。13為如圖3所示，電矢量成分垂直于入射面12振動的S偏振激光，14為電矢量成分在入射面12內(nèi)振動的P偏振激光，起偏鏡4被設(shè)定得只使S偏振激光13透過。15是表示由物鏡6和成像透鏡8構(gòu)成的光軸的檢測方向矢量，以該檢測方向矢量15與被檢查基片1所成的角度作為檢測角θ，而以入射方向矢量11與檢測方向矢量15各自在被檢查板1上的投影矢量所成的角作為方位角(差角)φ，設(shè)定檢測角θ為銳角，而設(shè)定方位角φ為0至30度。16為法線矢量10與檢測方向矢量15所成的檢測面，17為，如圖3所示，電矢量成分垂直于檢測面16振動的S偏振激光，18為電矢量成分在檢測面16內(nèi)振動的P偏振激光，檢偏鏡7被設(shè)定為只讓P偏振激光17透過。
下面對具有如上結(jié)構(gòu)的本實施例的異物檢查方法的動作進(jìn)行說明。用準(zhǔn)直透鏡3將來自激光光源2的激光變成平行光，借助于按照使入射面12的S偏振激光13透過的要求設(shè)定方位的起偏鏡4，使入射面的S偏振激光13透過，用柱狀透鏡5以對被檢查基片大致平行的入射角α照射被檢查基片1表面的線狀區(qū)域。入射面12的S偏振激光13由被檢查基片1表面的線條23反射或被異物24散射。
被檢查基片1上的線條23反射的反射光矢量102示于圖4。將線條23當(dāng)作許多微小平面的集合，則在各平面有反射光矢量102。這由入射方向矢量11和某微小平面的法線矢量101決定。而某平面的法線矢量101由該平面的傾角δ和與入射面12所成的交角η決定，因此，反射光矢量102的方向受反射平面的傾角δ和與入射面12所成的交角η左右。在某一檢測角θ，射入S偏振激光時，圖5表示線條23所反射的光的P偏振光成分以怎樣的強(qiáng)度、入射于檢測系統(tǒng)的物鏡6的什么位置上。
圖5示出與某入射面12所成的交角為η時，使構(gòu)成線條23的微小平面的傾角δ從0度到90度連續(xù)變化的入射光的位置，那時的強(qiáng)度按比例以線條的粗細(xì)表示。由此可以看出，檢測角θ＝90度時入射的η的范圍大，而檢測角θ＝40度時范圍小。而且，在η＝0度附近幾乎不發(fā)生P偏振光，因此，強(qiáng)度也弱。由于以上的原因，將檢測角θ放低，從被檢查基片1上的線條23來的反射光的P偏振光成分就變得微弱。
另一方面，由異物24散射的激光具有如圖6所示的強(qiáng)度分布。其中向后散射的光線一部分射入檢測部的物鏡6的開口。該散射光，如圖所示，在前方和后方絕對強(qiáng)度大，因而，在側(cè)方等方向上設(shè)定檢測方向矢量15的情況下可得到較高的信號強(qiáng)度。
這樣，射入物鏡6的光線，由于檢偏鏡7的作用，只使檢測面16的P偏振激光18透過，由成像透鏡8在線性傳感器9上成像。檢測面16的P偏振激光18可以由線性傳感器9進(jìn)行光電變換，用檢測信號高精度地進(jìn)行異物24的判斷。
下面說明使用S偏振激光13作為入射偏振光的理由。
表1取入射角α為2度，檢測角θ為30度，方位角為0度，將使用入射面12的S偏振激光13以檢測面的P偏振激光18檢測異物24的情況、與使用入射面的P偏振激光14以檢測面16的S偏振激光17檢測異物24的情況通過實驗加以比較。并且，各照明光的強(qiáng)度是相同的。
表1
由表1可知，使用入射面12的S偏振激光13，以檢測面16的P偏振激光18檢查，能夠以高信號噪聲比檢查異物24。
而且由于異物24的信號量大，光源的功率可以用得小，所以可用價格便宜的小輸出功率激光器。
還由于異物24的信號量大，物鏡6的NA(數(shù)值孔徑)小也能夠確保異物檢測的信號噪聲比，因此可以將檢測部的焦點(diǎn)深度加深，消除被檢測基片表面的凹凸引起的散焦的影響。
還由于異物檢測信號噪聲比好，和已有的其他方式相比，可以采取簡單的結(jié)構(gòu)，可實現(xiàn)檢查機(jī)器小型化和降低價格，同時也可以提高可靠性。在“計測自動制御學(xué)會論文集”(Vol.25.No.9,954/961,1989)有已有方法的例子。這種方法用以入射角不同的兩種照明得到的反射光量判斷異物。已有方法的其他例子還示于“計測自動制御學(xué)會論文集”(Vol.17.No.2,237/242，1981)。這使用入射角相同但方向不同的2至4個照明得到的反射光量進(jìn)行異物判斷。
還有，本實施例中檢測部使用線性傳感器9，但是不用說檢測部也可以用光電二極管和光電倍增管等光電變換元件。
又，本實施例中照明部使用柱狀透鏡5，但是不用說也可以使用狹縫等形成線狀照明光。
而且，在本實施例中將入射方向矢量11和檢測方向矢量15各自在被檢查基片1上的投影矢量所成的角設(shè)定為使方位角為0度，但是30度以內(nèi)即可。
還有，在本實施例中，檢測部的光學(xué)系統(tǒng)由物鏡6、檢偏鏡7、成像透鏡8構(gòu)成，但是，當(dāng)然也可以用物鏡和檢偏鏡構(gòu)成。
這里，圖7表示照明系統(tǒng)與檢測系統(tǒng)實現(xiàn)空間干涉的檢測角θ＝0度的情況的結(jié)構(gòu)。從激光光源2射出的激光，通過準(zhǔn)直透鏡3、偏振光束分離器111和物鏡110，以線狀照明照射于被檢查基片1上。這時，設(shè)定偏振光束分離器111的方位，使得只有激光的電矢量垂直于入射面的S偏振成分光路彎曲，照射于被檢查基片1上。被檢查基片1上的異物散射的光，或線條反射的光由物鏡110聚焦，由于如上所述設(shè)定的偏振光束分離器111的作用只使P偏振光成分通過，由成像透鏡8成像于線性傳感器9。
如上所述，借助于偏振光束分離器111，可使照明系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)的光軸接近，而且，偏振光束分離器111兼有照明系統(tǒng)的起偏鏡4和檢測系統(tǒng)的檢偏鏡7的作用，可得到和圖2所示的實施例相同的性能。因而，能夠?qū)z測角設(shè)定于0度，當(dāng)然，也可以將檢測角設(shè)定于0度以上。
下面揭示希望將檢測角設(shè)定于60度以下的理由。以線性傳感器9檢測出的異物24散射的偏振光中的P偏振光成分的光強(qiáng)為S(信號)，以鋁布線等反射率大的線條23的反射光的P偏振光成分的光強(qiáng)為N(噪聲)，以檢測角θ為橫軸的S/N測定值示于圖8。
根據(jù)這一結(jié)果，要測出異物，S/N就必須在1以上，也就是檢測角θ必須在60度以下。
而希望將入射角α設(shè)定于1至5度的理由如下。
在檢測角θ設(shè)定于40度以下的條件下測定的入射角α與S/N值的關(guān)系曲線示于圖9。在入射角α小于1度的情況下，實現(xiàn)困難，而且從試樣端面射來激光光束，里側(cè)來的反射光等噪聲成分大為增加，所以不可取。而在入射角α大于5度的情況下，如圖所示，S/N小于1，即噪聲成分大，無法檢測。因而，入射角α最好設(shè)定于1至5度。
圖10為本發(fā)明第2實施例的異物檢查方法的基本結(jié)構(gòu)圖。在圖10中，和圖2相同的編號表示相同的東西。
本實施例與第1實施例的不同點(diǎn)在于，入射角α的范圍設(shè)定于1至5度，檢測角θ的范圍設(shè)定于0至40度。
具有如上結(jié)構(gòu)的本實施例的異物檢查方法的動作與第1實施例的動作相同。
這里揭示將檢測角θ設(shè)定于40度以下的理由。
首先考慮在整個視野的S/N值。圖11表示物鏡的數(shù)值孔徑0.3，選定遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)的情況下，光軸外的S/N值?？v軸上是與光軸上的S/N值的相對比值，橫軸是像高。根據(jù)圖11，在視野的端部，即像高h(yuǎn)的地方S/N值減半。
這是由于如下原因造成的。隨著偏離光軸，即，越是在光軸外，線性傳感器9能夠接收光線的角度減小，所以來自異物24的光量減小。另一方面，來自線條23的反射光由于是鏡面反射，不是分布于整個物鏡6，而是集中于某一部分，所以，即使能夠接收光線的角度減小，來自線條23的反射光也不減弱。因此，就有越偏到光軸外，S/N越低的問題。
將這一結(jié)果和圖8所示的結(jié)果一起考慮，要使整個視野S/N值在1以上，必須使光軸上S/N值在2以上，檢測角θ在40度以下。而入射角α設(shè)定為1至5度的理由在第1實施例已有說明。
如上所述采用本實施例可得到和第1實施例相同的效果。并且，采用本實施例，由于在整個視野都有良好的檢測異物的S/N值。所以能夠高精度地檢測異物。
在本實施例中，檢測部使用線性傳感器9，但是，當(dāng)然檢測部也可以使用光電二極管和光電倍增管等光電變換元件。
而且，在本實施例中，照明部使用柱狀透鏡5，但是當(dāng)然也可以使用狹縫等形成線性照明光。
在本實施例中，還將入射方向矢量11和檢測方向矢量15各自在被檢查基片1的投影矢量所成的方位角φ設(shè)定為0度，但是，在30度以內(nèi)當(dāng)然也可以。
又，在本實施例中，檢測部的光學(xué)系統(tǒng)由物鏡6、檢偏鏡7、成像透鏡8構(gòu)成，但是，當(dāng)然也可以用物鏡和檢偏鏡構(gòu)成。
圖12是本發(fā)明的第3實施例的異物檢查方法的基本結(jié)構(gòu)圖。在圖12，與圖2相同的編號表示相同的東西。本實施例與第1實施例不同的地方在于，為了切斷循環(huán)線條的噪聲，在物鏡和成像透鏡之間設(shè)置空間濾光鏡25。該空間濾光鏡25可按如下方法制成。利用被檢查基片1的循環(huán)線條的CAD數(shù)據(jù)作成該線條的傅利葉變換像，記錄于照相干板上作成能夠遮住循環(huán)線條的光線的空間濾光鏡?；蚴前压饩€照射在被檢查基片1的循環(huán)線條上，在物鏡后的空間濾光鏡設(shè)置位置上設(shè)置照相千板記錄該線條的反射光，作成能夠遮住循環(huán)線條的空間濾光鏡。
下面對具有上述結(jié)果的本實施例的異物檢查方法的動作加以說明。用準(zhǔn)直透鏡3將來自激光光源2的激光變成平行光，借助于按照使入射面12的S偏振激光13通過的要求設(shè)定方位的起偏鏡4使入射面12的S偏振激光13通過，使用柱狀透鏡5以大致平行于被檢查基片1的入射角α照射被檢查基片1的表面的線狀區(qū)域。
這樣照射的光線由被檢查基片1表面上的線條23反射后，入射于物鏡6的光線，如第1實施例所述，由于在某特定方向的平面產(chǎn)生偏振變化，所以極其微弱，但卻是存在的。這種來自線條23的反射光因線條23的循環(huán)變化而周期性發(fā)生。這樣的光線的存在使異物檢測的S/N下降。
另一方面，異物24散射的光線比線條23來的光線強(qiáng)。在這種線條23來的反射光和異物24來的散射光中，入射于物鏡6的光線只有檢測面16的P偏振激光18能透過檢偏器7。
這樣，透過檢偏器7的，來自線條23的反射光和來自異物24的散射光借助于空間濾光鏡25只將線條23的特定方向的循環(huán)線條除去，因此透過該空間濾光鏡25的光線被成像透鏡8成像于線性傳感器9上。檢測面16的P偏振激光18由線性傳感器進(jìn)行光電變換，可用檢測信號進(jìn)行高精度的異物判斷。
如上所述，采用本實施例可得到與第1實施例相同的效果。而且，采用本實施例，由線條23的特定方向的平面周期性產(chǎn)生的反射光被預(yù)先為遮住這樣的光線而作成的空間濾光鏡25所遮擋，因此，可以使噪聲變得極小，高精度地檢查異物24。
在本實施例中，檢測部使用線性傳感器9，但是，當(dāng)然也可以使用光電二極管和光電倍增管等光電變換元件。
還有，在本實施例中，照明部使用柱狀透鏡5，但是，當(dāng)然也可以使用狹縫等，形成線狀的照明光。
還可以與第2實施例組合，以使檢查異物的精度更高。
圖13是本發(fā)明第4實施例的異物檢查方法的基本結(jié)構(gòu)圖。在圖13，與圖2相同的符號表示相同的東西。本實施例與第1實施例的不同在于，設(shè)置以柱狀透鏡5的后側(cè)焦點(diǎn)面為前側(cè)焦點(diǎn)面，且具有焦距f1和直徑D1的物鏡27和具有焦距f2和直徑D2的成像透鏡28。其中，成像透鏡28滿足式(1)。
D2≥D1-2A+AL/f1……(1)式中A為由線性傳感器9的檢測寬度和物鏡27、成像透鏡28的倍率關(guān)系決定的檢查區(qū)域，L表示物鏡27和成像透鏡28的主平面之間的距離。
下面對具有以上結(jié)構(gòu)的本實施例的異物檢查方法的動作加以說明。由準(zhǔn)直透鏡3將激光光源2來的激光變成平行光，借助于按照使入射面12的S偏振激光13透過的要求設(shè)定方位的起偏鏡4使入射面的S偏振激光13透過，用柱狀透鏡5，以大致平行于被檢查基片1的入射角α照射被檢查基片1表面的線狀區(qū)域。
這樣照射的光線由被檢查基片1表面的線條23反射后，射入物鏡27的光線，如第1實施例所述，由于特定方向的平面等的作用，極其微弱。
另一方面，異物24引起的散射光比來自線條23的光強(qiáng)。在這樣的線條23來的反射光和異物24來的散射光中，射入物鏡27的光線只有檢測面16的P偏振激光18能透過檢偏器，由成像透鏡28成像于線性傳感器9。
檢測面16的P偏振激光18由線性傳感器9進(jìn)行光電變換，用該檢測信號可以高精度地判斷異物24，這和第1實施例相同。本實施例和第1實施例不同的地方在于，在光軸外的S/N變好。下面對此加以說明。
圖14是檢測部的鳥瞰圖。在圖14中，從對光軸的偏離為h的位置上的線條23或異物24來的光線，對于紙面上方，在式(2)所示的ξ1的角度內(nèi)時，能夠在線性傳感器9上成像。
ξ1＝tan-1{(D1/2-h)/f1}……(2)而對于紙面下方，只要在式(3)所示的ξ2的角度內(nèi)就能夠在線性傳感器9上成像。
ξ2＝tan-1{(D2/2+h-hL/f1)/f1}……(3)從式(2)式(3)可知，ξ1只由物鏡27決定，而ξ2由成像透鏡28的直徑D2和主平面間距L決定。
這樣，隨著與光軸的距離的增大，即越是偏向軸外，線性傳感器9能夠接收光線的角度越小，因此來自異物24的光量越小。
另一方面，從線條24來的反射是鏡面反射，因此，光不是分布于整個物鏡27，而是只集中于某一部分，所以，即使能夠接收光的角度減小，來自線條23的反射光的強(qiáng)度也不減弱。因此，就有越是偏離光軸S/N值越是低的問題。
對于這樣的課題，為了盡可能接收來自異物24的散射光，至少要設(shè)定條件，使成像透鏡28遮住的光量不比物鏡27遮住的光量小。即，對于最大像高h(yuǎn)＝A/2(A檢查區(qū)域)，設(shè)定得使ξ2≥ξ1。在這一關(guān)系式中代入式(2)、式(3)，整理后即成式(4)，亦即式(1)。
D2≥D1-2A+AL/f1……(4)而物鏡27和成像透鏡28的直徑取相同的情況很多，為了使說明簡單化，下面以D1＝D2加以說明。在這種情況下，式(4)可寫成式(5)。
2f1≥L……(5)即，使主平面之間的距離L為物鏡27的焦距f1的2倍以下。
圖15表示D1＝D2，主平面之間的距離L和與光軸的距離h改變的情況下S/N的計算機(jī)模擬結(jié)果。由圖15可知，在L≤2f1的情況下，S/N低的比例小，S/N比在L大于2f1的情況下好。
這樣，將成像透鏡28按式(4)所示設(shè)定即可減小在光軸外S/N低的比例。
如上所述，采用本實施例，可得到與第1實施例相同的效果。而且，采用本實施例，將成像透鏡28按式(4)設(shè)定，即使在光軸外也可以高精度地檢測異物24。
在本實施例中，檢測部使用線性傳感器9，但是檢測部當(dāng)然也可以使用發(fā)光二極管和光電倍增管等光電變換元件。
又，在本實施例中，照明部使用柱狀透鏡5，但是當(dāng)然也可以使用狹縫等形成線狀照明光。
而且，當(dāng)然也可以將第2實施例和第3實施例組合，從而能夠以更高的精度檢查異物。
圖16是本發(fā)明第5實施例的異物檢查方法的基本構(gòu)成圖。在圖16中，與圖2相同的編號表示相同的東西。本實施例與第1實施例的不同之處在于，物鏡29和成像透鏡30是由兩個遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)構(gòu)成的。例如，可以采用將成像透鏡30的前側(cè)焦點(diǎn)面作為物鏡29的后側(cè)焦點(diǎn)面的結(jié)構(gòu)。
下面就具有上述結(jié)構(gòu)的本實施例的異物檢查方法的動作加以說明。用準(zhǔn)直透鏡3將來自激光光源2的激光變成平行光，借助于按照使入射面12的S偏振光13透過的要求設(shè)定方位的起偏鏡4使入射面的S偏振光13透過，借助于柱狀透鏡5以大致平行于被檢查基片1的入射角α照射被檢查基片1表面的線狀區(qū)域。
這樣照射的入射光由被檢查基片1表面上的線條23反射后，射入物鏡的光線，如第1實施例所述，由于特定方向平面等的作用，只是極少量的。
另一方面，被異物24散射的光比來自線條23的光強(qiáng)。這樣的來自線條23的反射光和來自異物24的散射光中，射入物鏡29的光線只有檢測面16的P偏振激光能透過檢偏鏡7，由成像透鏡30在線性傳感器9上成像。檢測面16的P偏振激光18由線性傳感器9進(jìn)行光電變換，用該檢測信號，可以高精度地判斷異物24。這和第1實施例相同。
如上所述，采用本實施例，可得到和第1實施例相同的效果。而且，采用本實施例，由于物鏡29和成像透鏡30為兩個遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)，即使在被檢查基片1起伏不平，由于倍率關(guān)系不變，也能夠正確測定異物的大小。
本實施例中，檢測部使用線性傳感器9，但是當(dāng)然也可以在檢測部使用光電二極管和光電倍增管等光電變換元件。
而且，在本實施例中，照明部使用柱狀透鏡5，但是當(dāng)然也可以使用狹縫等，形成線狀照明光。
當(dāng)然還可以將本實施例和第2實施例以及第3實施例加以組合，從而能夠以更高的精度檢查異物。
圖17是本發(fā)明的第6實施例的異物檢查方法的基本結(jié)構(gòu)圖。在圖17，與圖2相同的編號表示相同的東西。本實施例與第1實施例的不同之處在于，在物鏡6和檢偏器7之間設(shè)置1/2波長片31，和用于插入、拔出該1/2波長片31的波長片移動控制部32。但是，如圖18所示，1/2波長片31被設(shè)定為，晶體光軸和檢測面16的S偏振激光17的偏振面所成的角度為45度，將S偏振激光17變換為P偏振光，使得能夠透過按照只使P偏振激光18透過的要求設(shè)定方位的檢偏鏡7。
下面對具有上述結(jié)構(gòu)的本實施例的異物檢查方法的動作加以說明。這里說明在檢查未形成線條的被檢查基片，或早期工序中線條較平的被檢查基片的情況下，在檢測系統(tǒng)插入1/2波長片31時的動作。用準(zhǔn)直透鏡3將來自激光光源2的激光變成平行光，借助于按照使入射面12的S偏振激光13透過的要求設(shè)定方位的起偏鏡4，使入射面12的S偏振激光13透過，借助于柱狀透鏡5以大致平行于被檢查基片1的入射角α照射被檢查基片1表面的線狀區(qū)域。
這樣照射的光線由被檢查基片1表面的線條23反射，但是這里設(shè)定的被檢查基片1的線條中的臺階狀變形小，因而，線條的具有向物鏡6反射的反射面的線條邊緣部微小，幾乎沒有來自線條23的反射光射入物鏡6，線條23的噪聲幾乎沒有。
另一方面，異物24引起的散射光，由于偏振成分混亂，成了包含檢測面16的S偏振激光17和P偏振激光18的反射光。
該檢測面16的S偏振激光17的強(qiáng)度為P偏振激光18的強(qiáng)度的大約5倍以上。該反射光在射入物鏡6后透過1/2波長片31，該1/2波長片31設(shè)定為晶體光軸與檢測面16的S偏振激光17的偏振面所成的角度為45度。這時，射入1/2波長片31的高強(qiáng)度S偏振激光17作為高強(qiáng)度P偏振激光18射出，而射入波長片31的低強(qiáng)度P偏振激光18作為低強(qiáng)度S偏振激光17射出。
只有高強(qiáng)度的P偏振激光18能透過檢偏鏡7，由成像透鏡8成像于線性傳感器9。檢測面16的P偏振激光18由線性傳感器9進(jìn)行光電變換，使用該檢測信號，可以高精度地判定異物，這和第1實施例相同。和第1實施例不同的是，在檢查未形成線條的被檢查基片1，或早期工序中線條的臺階狀變形小的被檢查基片1的情況下，可以以更高的靈敏度檢測異物24。下面對此加以說明。
相對于入射面12的S偏振激光13的照明強(qiáng)度，異物24產(chǎn)生的后方散射光中，落在檢測面16的P偏振激光18的強(qiáng)度非常弱。因此，在檢查未形成線條的被檢查基片1，或早期工序中的，線條的臺階狀變形小的被檢查基片1的情況下，由于照明系統(tǒng)的強(qiáng)度有限，異物檢測的S/N不取決于線條23的噪聲，而是取決于線性傳感器9等檢測系統(tǒng)本身決定的噪聲。
如上所述，采用本實施例可以得到和實施例1同樣的效果。而且，在檢查未形成線條的被檢查基片1，或早期工序中的，線條的臺階狀變形小的被檢查基片1等的情況下，在檢測系統(tǒng)插入1/2波長片31，檢測異物24產(chǎn)生的、具有較高后方散射強(qiáng)度的、檢測面16的S偏振激光17，由于異物檢測S/N高，可以提高異物檢測靈敏度。
在上述實施例的檢測系統(tǒng)中，用插入1/2波長片31的方法，將后方散射強(qiáng)度大的S偏振激光17變換為P偏振激光18，由方位設(shè)定為只讓P偏振激光18透過的檢偏鏡7進(jìn)行檢測，但是也可以改變，按照只讓S偏振激光透過的要求將檢測系統(tǒng)的檢偏鏡加以旋轉(zhuǎn)，檢測S偏振激光。這旋轉(zhuǎn)最好是90度左右。
在本實施例中，檢測系統(tǒng)使用線性傳感器9，但是當(dāng)然也可以在檢測系統(tǒng)中同時使用發(fā)光二極管和光電倍增管等光電變換元件。
還有，在本實施例中，各照明系統(tǒng)使用柱狀透鏡5，但是當(dāng)然也可以使用狹縫等形成線狀照明光。
而且，當(dāng)然也可以將本實施例和第2實施例、第3實施例、第4實施例以及第5實施例加以組合，因此能以更高的精度檢查異物。
圖19是本發(fā)明第7實施例的異物檢查方法的基本結(jié)構(gòu)圖。在圖19中，與圖2相同的符號表示相同的東西。本實施例和第1實施例的不同之處在于，具備照明部由多個點(diǎn)光源構(gòu)成的陣列狀激光光源34，和在使陣列方向像倍率變化的方向上配置的柱狀透鏡35。
下面對具有上述結(jié)構(gòu)的本實施例的異物檢查方法的動作加以說明。用準(zhǔn)直透鏡3將陣列狀激光光源34來的一些激光變成平行光，用柱狀透鏡35將這些激光的平行光變成線狀的平行光，再借助于按照使入射面12的S偏振激光13透過的要求設(shè)定方位的起偏鏡4，使入射面的S偏振激光13透過，借助于柱狀透鏡5，以大致平行于被檢查基片1的入射角α照射被檢查基片1表面的線狀區(qū)域。
這樣照射的光，由被檢查基片1上的線條23反射而射入物鏡6的光，如第1實施例所述，由于特定方向平面等的作用，是極其微弱的。
另一方面，由異物24散射的光比由線條23散射的光強(qiáng)。在這樣的來自線條23的反射光和來自異物24的散射光當(dāng)中，射入物鏡6的光只有檢測面16的P偏振激光18能透過檢偏器7，由成像透鏡8成像于線性傳感器9。檢測面16的P偏振激光18由線性傳感器9進(jìn)行光電變換，用該檢測輸出信號，可以高精度地判定異物24，這和第1實施例相同。
這里就使用多個點(diǎn)光源的事加以說明。相對于入射面12的S偏振激光13的照明強(qiáng)度，異物24產(chǎn)生的檢測面16的P偏振激光是非常弱的，而且，如果異物24的尺寸小，那就更弱。這樣一來，就受到線性傳感器9等的檢測系統(tǒng)的性能的限制。因此有必要使用多個光源，增加照明光量。
還要對使用柱狀透鏡35的理由加以說明。圖20表示不使用柱狀透鏡35的情況下的照明。該情況下在成像面36的線狀照明的強(qiáng)度分布如圖22的實線所示。以某一間隔并排的陣列狀激光光源34在成像面36的照明具有以某一間隔相間的峰，可以看出缺點(diǎn)是，對象物的發(fā)光方式因視野位置的不同而不同。因此，如圖21所示，光源和成像面之間，在陣列狀激光光源34的陣列方向像倍率改變的方向上配置柱狀透鏡35，于是，離散的激光光束陣融合了。結(jié)果，如圖所示，成像面36上的強(qiáng)度分布可形成均勻的線狀。
如上所述地采用本發(fā)明，可以得到和第1實施例相同的效果。而且采用本實施例，借助于多個點(diǎn)光源構(gòu)成的陣列狀激光光源34和柱狀透鏡35，可以實現(xiàn)均勻的、光量大的線狀照明，因此，能夠高靈敏度地檢測出異物24。
在本實施例中，檢測部使用線性傳感器9，但是，當(dāng)然也可以在檢測部使用發(fā)光二極管和光電倍增管等光電變換元件。
在本實施例中，照明部使用柱狀透鏡35，但是當(dāng)然也可以使用狹縫等形成線狀的照明光。
圖23是本發(fā)明第8實施例的異物檢查裝置的基本結(jié)構(gòu)圖。在圖23中，與圖2相同的符號表示相同的東西。該裝置是實現(xiàn)第1實施例的裝置，設(shè)置有，由激光光源2、準(zhǔn)直透鏡3、起偏鏡4和柱狀透鏡5構(gòu)成的照明部，由物鏡6、檢偏鏡7、成像透鏡8和線性傳感器9構(gòu)成的檢測部，處理線性傳感器9得到的信號的信號處理部，以及裝載被檢查基片1使其能夠進(jìn)行二維移動的XY移動臺。信號處理部由對線性傳感器9的輸出信號進(jìn)行A/D變換的A/D變換電路19，存儲為檢測異物而預(yù)先設(shè)定的閾值的存儲電路20，以及將A/D變換電路19的輸出與存儲電路20存儲的閾值加以比較，檢查異物24的信號比較電路21構(gòu)成。
下面對具有如上所述構(gòu)成的本實施例的異物檢查裝置的動作加以說明。用準(zhǔn)直透鏡3將來自激光光源2的激光變成平行光，借助于按照使入射面12的S偏振激光13透過的要求設(shè)定方位的起偏鏡4，使入射面12的S偏振激光13透過，再借助于柱狀透鏡5以大致平行于被檢查基片1的入射角α照射被檢查基片1表面的線狀區(qū)域。
這樣照明的光，由被檢查基片1表面上的線條23反射后射入物鏡6的光，如第1實施例所述，由于特定方向平面等的作用，是極其微弱的。
另一方面，由異物24散射的光比線條23來的光強(qiáng)。在這樣的線條23來的反射光和異物24來的散射光中，射入物鏡的光只有檢測面16的P偏振激光18能透過檢偏鏡7，由成像透鏡8成像于線狀傳感器9上。檢測面16的P偏振激光18由線性傳感器9進(jìn)行光電變換，得到檢測信號的情況和第1實施例相同。
在本實施例中，檢測信號由A/D變換電路19進(jìn)行A/D變換。然后，該輸出信號由信號比較電路21根據(jù)對預(yù)先設(shè)定于存儲電路20的閾值和檢測信號加以比較的情況進(jìn)行異物判定。接著，可以使試樣的XY移動臺移動，依次對被檢查基片1的整個表面進(jìn)行異物檢查。
在本實施例中，檢測部使用線性傳感器9，并使用XY移動臺22作為試樣移動裝置，但是，檢測部當(dāng)然也可以同時使用發(fā)光二極管和光電倍增管等光電變換元件，同時使用試樣移動裝置進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
而且，在本實施例中，照明部使用柱狀透鏡5，但是，當(dāng)然也可以使用狹縫等，形成線狀照明光。當(dāng)然，還可借助于本實施例和第2至第7實施例的組合，以更高的精度檢查異物24。
此外，本發(fā)明還可以在不離開其要旨的范圍內(nèi)適當(dāng)變更實施。
本發(fā)明的異物檢查方法，利用上述結(jié)構(gòu)，使來自異物的檢測光的光強(qiáng)明顯高于線條等來的檢測光的光強(qiáng)，以此提高異物和線條等噪聲成分的分辨比，使檢測微小的異物也有可能。
又將光束的光軸和檢查對象的檢查面所成的角度定為1至5度，以使異物與線條的分辨比更好，從而能夠以高精度檢測異物。
又在與檢查面成60度以下交角的光軸上檢測，使異物與線條的分辨比更好，從而能夠高精度地檢測異物。
又在與檢查面成40度以下交角的位置上的光軸上檢測，從而即使在光軸外，異物和線條也有良好的分辨比，因此能夠高精度地檢測異物。
還在檢測部設(shè)置濾除循環(huán)線條的空間濾光鏡，從而能夠除去來自檢查對象的線條的光線，以更高的精度檢測異物。
又在檢測部設(shè)置光學(xué)系統(tǒng)，在該光學(xué)系統(tǒng)的光軸外設(shè)有共焦點(diǎn)光學(xué)系統(tǒng)以上的開口，從而在光軸外也能夠多接收來自異物的光，因此，在光軸外也能夠高精度地檢測異物。
還在檢測部設(shè)置遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)，從而，即使在檢查對象起伏不平的情況下也不影響倍率關(guān)系，因此能夠高精度地檢測異物。
又在檢測部設(shè)置1/2波長片和根據(jù)檢查對象的種類拔出或插入1/2波長片的波長片移動控制部，從而能夠選擇光強(qiáng)大的偏振方向，因而能夠以高精度檢查異物。
又在照明部設(shè)置多個點(diǎn)光源和柱狀透鏡，該柱狀透鏡配置得使與該點(diǎn)光源陣列平行的方向的像倍率變化，從而可以得到照度很均勻的線狀光束，能夠以高精度檢測異物。
而且，本發(fā)明的異物檢測裝置由于使用上述結(jié)構(gòu)，幾乎不接收檢查對象的線條等噪聲成分來的光，因此能夠高精度地檢查異物。
權(quán)利要求
1.一種異物檢查方法，其特征在于，相對于檢查對象的檢查面成S偏振光的光束，以大致平行于所述檢查對象的檢查面或以小角度與該檢查面相交的軸為光軸照射檢查對象的檢查面，在與檢查面成銳角，且與所述光束的光軸間的方位角在30度以內(nèi)的光軸上，將所述光束引起的反射光和散射光中的對檢查面成P偏振光的成分作為異物檢測。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的異物檢查方法，其特征在于，檢查對象為帶有線條的基片，借助于對反射光和散射光中的P偏振光成分光量的比較檢測異物。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的異物檢查方法，其特征在于，S偏振的光束的光軸和檢查對象的檢測面所成角定為1至5度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的異物檢查方法，其特征在于，在與檢查對象的檢查面所成的角小于60度的光軸上檢測。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的異物檢查方法，其特征在于，在與檢查對象的檢查面所成的角小于40度的光軸上檢測。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或4或5所述的異物檢查方法，其特征在于，借助于配設(shè)在檢測方光軸上的空間濾光鏡，除去檢查對象的循環(huán)線條。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或4或5或6所述的異物檢查方法，其特征在于，在檢測方光軸上，使用由焦距為f且孔徑為D的物鏡，和在對該物鏡主平面的距離為L的位置上配置主平面的、孔徑被設(shè)定為大于D-2A+AL/f(A為由光電變換元件的檢測寬度和物鏡、成像透鏡的倍率關(guān)系決定的檢查區(qū)域)的成像透鏡構(gòu)成的光學(xué)系統(tǒng)，將反射光和散射光中的對檢查面成P偏振的成分作為異物用光電變換元件檢測。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或4或5或6所述的異物檢查方法，其特征在于，使用遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)，將反射光和散射光中的對檢查面成P偏振光的成分作為異物檢測。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或4或5或6或7或8所述的異物檢查方法，其特征在于，在檢測方光軸上，根據(jù)檢查對象附加使偏振光旋轉(zhuǎn)的1/2波長片，以此將反射光和散射光中的對檢查面成S偏振的成分變換成P偏振成分作為異物檢測。
10.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或4或5或6或7或8或9所述的異物檢查方法，其特征在于，用柱狀透鏡將來自多個點(diǎn)光源的光束設(shè)定為線狀光束，該柱狀透鏡配置得使與該點(diǎn)光源陣列平行的方向上的像的倍率發(fā)生變化。
11.一種異物檢查裝置，其特征在于，具備配置成以大致平行于檢查對象的檢查面的軸為光軸，且照射的光束對所述檢查對象的檢查面成S偏振光的照明部，在與檢查面所成的角度為銳角，且與所述照明部的光軸所成的方位角小于30度的光軸上，檢測由所述照明部產(chǎn)生的反射光和散射光中的對檢查面成P偏振光的成分，并進(jìn)行光電變換的檢測部，以及用所述檢測部得到的信號判定異物的信號處理部。
全文摘要
本發(fā)明的異物檢查方法和裝置的目的在于，提高異物所發(fā)檢測光的光強(qiáng)，加大異物和噪聲的分辨比，高精度地檢測異物。其特征在于，對于檢查對象1的檢查面1a成S偏振的光束13，以大致平行于所述檢查對象1的檢查面1a的軸為光軸照射檢查面，在與檢查面1a所成的交角α為銳角，并且與上述光束的光軸的間的方位角ф在30度以內(nèi)的光軸上，將上述光束引起的反射光和散射光中的對檢查面1a成P偏振的成分18作為異物檢測。
文檔編號G01B11/30GK1150648SQ96107118
公開日1997年5月28日 申請日期1996年6月27日 優(yōu)先權(quán)日1995年6月30日
發(fā)明者下野健, 長崎達(dá)夫, 高本健治, 伊藤正彌, 西井完治 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社