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流控傳感器的制作方法

文檔序號:6133827閱讀:139來源:國知局

專利名稱::流控傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
:本發(fā)明涉及在流體中動作的流控傳感器,和尤其涉及在腐蝕性流體如硫酸,特別是在鉛蓄電池或在極性溶劑槽中動作的流控傳感器。具有壓電元件或類似物的傳感器裝置用于流體粘度的測量,流體的固體顆粒的檢測,振動的檢測等。例如,美國專利申請?zhí)柕?8/560,658中所公開的傳感器裝置中,壓電片和振動部分被振動,根據(jù)損耗系數(shù)、電阻、阻抗或壓電片的類似物中的變化來測量流體的粘度。在這個例子中,因為壓電片或振動部分是與流體接觸的,所以當流體粘度大時,壓電片和振動部分的振幅變小。另一方面,當流體的粘度小時,壓電片和振動部分的振幅變大。然后,當電壓提供給壓電片時,相應(yīng)于振幅的電流被檢測。在流體的粘度與流體的濃度或流體中成份的密度相關(guān)的情況下,流體的濃度或密度也能被檢測。例如,硫酸溶液在粘度和濃度之間有一個給定的相應(yīng)關(guān)系,在硫酸的粘度和密度之間也有一個給定的相應(yīng)關(guān)系。并且,流體中固體顆粒的檢測在公開具有壓電片的顆粒傳感器的美國專利申請第08/443,464中提出。隨著流體中顆粒和具有壓電片的檢測部分或和振動部分的碰撞,振動部分和檢測部分振動,壓電片把振動轉(zhuǎn)換成電信號,且其間放入壓電片的一對電極輸出電信號,其中的檢測部分被安裝到振動部分。在測量流體粘度,檢測流體中固體顆粒,及通過使用上述結(jié)構(gòu)傳感器裝置來檢測振動的情況中,需要把傳感器裝置安排在流體中,從而用來從流體中動作的傳感器裝置提取信號到外部的一個電極端子必須對于流體而言是氣密和/或液密的。鑒于以上原因,到此,如圖5中所示,導(dǎo)線11連接到電極端子6,其連接部分再用有機樹脂30或類似物注模,從而被密封,這樣電極端子對于流體而言是氣密和/或液密的。然而,在上述普通的方法中,因為有機樹脂對制成傳感器裝置的基體的陶瓷材料的粘著力弱,所以,出現(xiàn)注模有機樹脂30或類似物從連接部分很容易地分離的問題??紤]到先前技術(shù)的上述問題形成本發(fā)明,因此,本發(fā)明的一個目的是提供一種流控傳感器,其能夠容易地且確實地保持用來從傳感器裝置提取信號到外部的一個電極端子對流體而言是氣密地和/或液密的。為了完成上述目的,根據(jù)本發(fā)明,提供一種流控傳感器,包括具有振動部分的基體;固定在所說振動部分表面上且有一個壓電片和至少一對與所說壓電片接觸地安排的電極的壓電元件;在所說基體表面安排且電連接到所說的一對電極的電極端子;在所說的電極端子邊緣的所說的基體的表面上安排的涂層材料;加壓器平臺;和在所說的基體和所說的加壓器平臺之間安裝及形成以圍繞所說的電極端子的密封部件;其中,通過在所說的涂層材料和所說的加壓器平臺之間安裝所說的密封部件來保持所說的電極端子對待測流體而言是氣密地和/或液密地。最好是根據(jù)本發(fā)明的流控傳感器更進一步包括一根穿入所說的加壓器平臺的導(dǎo)線;和安排在所說的導(dǎo)線頂上的電極連接部件,其中所說的電極連接部件和所說的電極端子是相互接觸的。應(yīng)該注意的是該流體的主要目標是液體,更特別地是高腐蝕性流體如用于鉛蓄電池中的硫酸溶液,極性容劑如使用極性溶劑的水或溶液。本發(fā)明的這些和其它目的、特性和優(yōu)點將從以下結(jié)合附圖的詳細描述中變得更加明顯圖1A和1B表示本發(fā)明流控傳感器的一個例子,其中,圖1A是流控傳感器的示意性透視圖,和圖1B是流控傳感器的示意性部件分解圖;圖2是說明式地表示傳感器裝置的剖面圖;圖3A到3C表示平坦的基體邊緣被密封在其中的流控傳感器的一個例子,其中,圖3A是流控傳感器的示意性透視圖,圖3B是流控傳感器的示意性部件分解圖;和圖3C是流控傳感器的示意性剖面圖;圖4是說明式地表示電極端子邊緣部分的局部剖面圖;圖5是說明式地表示普通流控傳感器中電極端子的邊緣部分的局部剖面圖;圖6A和6B表示本發(fā)明流控傳感器的另一個例子,其中,圖6A是流控傳感器的示意性透視圖,和圖6B是流控傳感器的示意性部件分解圖;圖7A和7B表示本發(fā)明流控傳感器的再一個例子,其中,圖7A是流控傳感器的示意性透視圖,和圖7B是流控傳感器的示意性部件分解圖;圖8A和8B表示本發(fā)明流控傳感器的再一個例子,其中,圖8A是流控傳感器的示意性透視圖,和圖8B是流控傳感器的示意性部件分解圖9A和9B表示本發(fā)明流控傳感器的再一個子,其中,圖9A是流控傳感器的示意性透視圖,和圖9B是流控傳感器的示意性部件分解圖;圖10A和10B表示本發(fā)明流控傳感器的再一個例子,其中,圖10A是流控傳感器的示意性透視圖,和圖10B是流控傳感器的示意性部件分解圖;圖11A和11B表示本發(fā)明流控傳感器的再一個例子,其中,圖11A是流控傳感器的示意性透視圖,和圖11B是流控傳感器的示意性部件分解圖;圖12A和12B表示本發(fā)明流控傳感器的再一個例子,其中,圖12A是流控傳感器的示意性透視圖,和圖12B是流控傳感器的示意性部件分解圖;圖13A和13B表示本發(fā)明流控傳感器的再一個例子,其中,圖13A是流控傳感器的示意性透視圖,和圖13B是流控傳感器的示意性部件分解圖;圖14A和14B表示本發(fā)明流控傳感器的再一個例子,其中,圖14A是流控傳感器的示意性透視圖,和圖14B是流控傳感器的示意性部件分解圖;圖15A和圖15B表示本發(fā)明流控傳感器的再一個例子,其中,圖15A是流控傳感器的示意性透視圖,和圖15B是流控傳感器的示意性部件分解圖;圖16A和16B表示本發(fā)明流控傳感器的再一個例子,其中,圖16是流控傳感器的示意性透視圖,和圖16B是流控傳感器的示意性部件分解圖;圖17A和17B表示本發(fā)明流控傳感器的再一個例子,其中,圖17A是流控傳感器的示意性透視圖,和圖17B是流控傳感器的示意性部件分解圖;圖18A和18B表示本發(fā)明流控傳感器的再一個例子,其中,圖18A是流控傳感器的示意性透視圖,和圖18B是流控傳感器的示意性部件分解圖;圖19A和19B表示本發(fā)明流控傳感器的再一個例子,其中,圖19A是流控傳感器的示意性透視圖,和圖19B是流控傳感器的示意性部件分解圖;圖20A和20B表示本發(fā)明流控傳感器的再一個例子,其中,圖20A是流控傳感器的示意性透視圖,和圖20B是流控傳感器的示意性部件分解圖;圖21A和21B表示本發(fā)明流控傳感器的再一個例子,其中,圖21A是流控傳感器的示意性透視圖,和圖21B是流控傳感器的示意性部件分解圖;圖22A和22B表示本發(fā)明流控傳感器的再一個例子,其中,圖22A是流控傳感器的示意性透視圖,和圖22B是流控傳感器的示意性部件分解圖;圖23A和23B表示本發(fā)明流控傳感器的再一個例子,其中,圖23A是流控傳感器的示意性透視圖,和圖23B是流控傳感器的示意性部件分解圖24A和24B表示本發(fā)明流控傳感器的再一個例子,其中,圖24A是流控傳感器的示意性透視圖,和圖24B是流控傳感器的示意性部件分解圖;圖25A和25B表示本發(fā)明流控傳感器的再一個例子,其中,圖25A是流控傳感器的示意性透視圖,和圖25B是流控傳感器的示意性部件分解圖;圖26A和26B表示本發(fā)明流控傳感器的再一個例子,其中,圖26A是流控傳感器的示意性透視圖,和圖26B是流控傳感器的示意性部件分解圖;圖27A和27B表示本發(fā)明流控傳感器的再一個例子,其中,圖27A是流控傳感器的示意性透視圖,和圖27B是流控傳感器的示意性部件分解圖?,F(xiàn)在,參考附圖將更詳細地描述本發(fā)明優(yōu)選實施例。圖1A和1B表示本發(fā)明流控傳感器的一個例子,其中,圖1A是流控傳感器的示意性透視圖,和圖1B是流控傳感器的示意性部件分解圖,圖2是說明式地表示傳感器裝置的剖面圖。圖中,傳感器裝置1包括一個具有振動部分7的平坦基體2,和一個固定在振動部分7表面7S上的壓電元件3。在平坦基體2中確定內(nèi)部空間5,從而使得振動部分7很薄。雖然未示出,內(nèi)部空間5的結(jié)構(gòu)使得被測量的流體通過在部分基體2上形成的洞或類似物引到內(nèi)部空間5。壓電元件3包括壓電片4和其間放入壓電片4的一對電極5a和5b。同時,電連接到這對電極5a和5b的電極端子6在平坦基體2的表面形成。形成玻璃印刷層的涂層材料8設(shè)在平坦基體2的表面上,平坦基體2上,沒有電極端子6,以便蓋住圍繞電極端子6的邊緣部分。相應(yīng)于電極端子6的部分被挖空,此處的空心部分9在涂層材料8上形成。應(yīng)該注意的是相應(yīng)于平坦基體2的壓電元件3的部分被挖空,此處的空心部分17也在涂層材料8上形成,且空心部分17的上部用由陶瓷材料如ZrO2制成的外蓋16覆蓋和固定。為了圍繞電極端子6而形成的密封部件0-環(huán)12在平坦基體2和加壓器平臺14a之間安裝,從而與涂層材料8的空心部分9相一致。頂部具有板簧型端子10的導(dǎo)線11被安裝以按照與電極端子6接觸這樣的方式引入加壓器平臺14a。同時,為了接納沒有電極端子形成之處的平坦基體2的一側(cè),確定加壓器平臺14b中的凹陷處15。如上所述,0-環(huán)12安裝在介于電極端子6邊緣或涂層材料8表面中的平坦基體2的表面和加壓器平臺14a,14b的表面之間,從而保持平坦基體2的電極端子6對被測量的流體而言是氣密地和/或液密地。介于加壓器平臺14a和導(dǎo)線11之間的氣隙以用易于和加壓器平臺14a和導(dǎo)線11兩者都粘著的密封材料填充氣隙這樣的方式保持在液體密封狀態(tài),互相配合這些部件以至于氣隙實際為零,或這些部件被整體注模。圖3A到3C表示平坦基體邊緣被密封情況中的流控傳感器的一個例子,其中,圖3A是流控傳感器的示意性透視圖,圖3B是它的示意性部件分解圖,和圖3C是它的示意性剖面圖。圖4是說明式地表示電極端子的邊緣部分的局部剖面圖。在圖3A至3C中的例子中,為了存在于平坦基體2的表面的端部上的電極端子6保持對流體而言是氣密的和/或液密的,平坦基體2的邊緣用密封部件13涂覆,及密封部件13的兩個表面都被固定地安裝在一對加壓器平臺18a和18b之間,從而保持電極端子6對被測量流體而言是氣密的和/或液密的。甚至在這個例子中,加壓器平臺18a、18b和導(dǎo)線11象圖2的上述例子中一樣在液體密封狀態(tài)中構(gòu)成,另外,加壓器平臺18a和18b的邊緣用粘合劑粘著,或密封部件13被延伸,從而電極端子6對被測量的流體而言保持氣密和/或液密。在這個例子中值得注意的是,因為通過密封部件13在傳感器裝置1厚的(臺階)部分上密封的可靠性不好的可能性是存在的,所以,選擇一種韌性好的材料作為密封部件3的材料是重要的。關(guān)于這種材料,圖1A和1B所示的例子并沒有遇到由于傳感器裝置1的厚度而引起的密封可靠性不好的問題,從而能確定地保持密封電極端子6對流體而言是氣密的和/或液密的。根據(jù)本發(fā)明的流體傳感器中,以基體2為平坦型為佳,但可以是棒型或管型。同時,最好是,基體2的材料為陶瓷,并以主要包括二氧化鋯和氧化鋁的材料為最佳。振動部分7最好是適于振動的板狀,且壓電裝置3設(shè)在振動部分7的一個表面上。壓電裝置3包括壓電片4和壓電片4放入其間的一對電極5a和5b。當通過這對電極5a和5b提供電壓給壓電片4時,介質(zhì)極化發(fā)展,引起壓電片3在壓電片4和振動部分7的厚度方向上和振動部分7一起柔性振動。電極連接部件10如板簧型端子被安排在引入加壓器平臺14a的導(dǎo)線11的頂部,且電極連接部件10和電極端子6互相接觸。接觸電極連接部件10和電極端子6的方法是這樣一種方法,其中,電極連接部件10由易于因機械壓力而變形的材料而制成的電極或類似物形成,因此電極變形以保證通過機械接觸而傳導(dǎo),或在這種方法中,電極連接部件10由流動性的傳導(dǎo)部件如焊料或?qū)щ姼嘈纬桑覀鲗?dǎo)部件是固化的以確保傳導(dǎo),而不是通過應(yīng)用板簧端子或類似物作電連接部件10。涂層材料8的安排使得相對于電極端子6安排在其上的平坦基體2的表面上的電極端子6,覆蓋壓電元件3的至少一側(cè)。在電極端子6被安排在平坦基體2的表面上的這種情況下,如果涂層材料8能覆蓋電極端子6,那么涂層材料8并不必常有和平坦基體2的表面相等的面積,且電極端子的空心部分9和外蓋的框型空心部分17最好在涂層材料8的兩端上形成,值得注意的是外蓋的框型空心部分17并不始終需要,如果它的布置能阻擋涂層材料8直接與壓電元件3接觸的話。雖然涂層材料8的材料類型沒有特別限制,但其以由玻璃、有機樹脂、陶瓷等制成的最佳。應(yīng)該注意的是由于基體2最好由陶瓷制成,所以,從粘合的觀點看涂層材料8最好由玻璃制成。在這種情形中,優(yōu)選地,由玻璃制成的涂層材料8被安排在基體2上,然后放置外蓋16以覆蓋空心部分17,其后通過加熱使它們?nèi)刍灾劣谕繉硬牧?粘著到基體2和外蓋16上。同時,在外蓋16沒被安排的情形中,最好略去涂層材料8的空心部分17,且在通過加熱而消失的材料被安排在相應(yīng)于空心部分17部分的涂層材料8和壓電元件3之間后,加熱它們使得在壓電元件3和涂層材料8之間提供一個空間,同時使得涂層材料8粘著到基體2上。密封部件12最好由如圖1B中所示的0-環(huán)構(gòu)成,但其并不局限于此,且構(gòu)造成圍繞電極端子6的任何部件能毫無問題地用作密封部件12。形成密封部件的0-環(huán)12在加壓器平臺14a和涂層材料8之間固定,且更進一步固定在平坦基體2和加壓器平臺14b之間,其結(jié)果是通過涂層材料8的表面和加壓器平臺14a,4b的表面使得0-環(huán)12彈性變形,以至于氣隙是緊密的,從而能確實地保持導(dǎo)線11,電極連接部件10和電極端子6對被測量的流體而言是氣密的和/或液密的。密封部件12和13的材料最好是具有優(yōu)良的彈性變形的材料。然而,甚至是塑性變形如果材料能保持電極連接部件10和電極端子6對被測量流體而言是氣密的和/或液密的,那么就沒問題出現(xiàn)。滿足上述情況的密封部件12和13的材料是,如橡膠材料象氟橡膠、丙烯酸酯橡膠、硅橡膠、丁基橡膠、丁腈橡膠、或聚氨酯橡膠,有機樹脂象軟氯乙烯,聚酯或聚氨酯。在僅僅一個加壓器平臺14a或14b的情況下,加壓器平臺可以固定在基體2和單個加壓器平臺之間。然而,最好是,如圖1B中所示,加壓器平臺14a和14b安排在平坦基體2的兩側(cè)以把平坦基體2固定在其之間,這是因為密封能更確實地完成。如圖1B中所示,在加壓器平臺14a和14b被用在平坦基體2兩側(cè)上的情形中,使得螺釘20分別引入在加壓器平臺14a和14b中所確定的孔21,然后用螺母22擰緊,從而能固定加壓器平臺14a和14b。作為另一種方法,可使用這樣一種方法,其中由有機樹脂制成的棒狀體布置成分別引入在加壓器平臺14a和14b中所確定的孔21后,從加壓器平臺14a和14b凸出的部件由于加熱而變形,同時提供壓力給加壓器平臺14a和14b,從而固定加壓器平臺14a和14b,或在這種方法中,由在加壓器平臺14a和14b上提供的凸起部壓加壓器平臺14a和14b以至于那些凸起部相互糾纏,從而固定加壓器平臺14a和14b。但是,如果使用能緊緊固定平坦基件2和其它部件的一種部件,那么其沒有特殊限制。如圖3C中所示,加壓器平臺18a和18b最好安排在平坦基體2的兩側(cè)上,且由涂在平坦基體2邊緣上的密封部件13固定。在這種情形中,優(yōu)選地,加壓器平臺18a和18b是容易與用密封部件13涂覆的平坦基體2結(jié)合起來且能克服密封部件13的彈性變化的形狀。加壓器平臺14的材料并沒有特別限制,但最好是由陶瓷,玻璃,有機樹脂或類似物制成。加壓器平臺14的材料以由氯乙烯,聚脂,ABS,丙烯基或聚丙烯制成為佳,且從經(jīng)濟的觀點看,最好是由與涂在導(dǎo)線上的涂層材料相同的材料制成。固定平坦基體的裝置并不局限于象上述加壓器平臺一樣的板體,例如,平坦基體可以固定在兩種支持部件23和24之間,如圖6A和6B所示(在這個詳細說明中,同后面描述的“盒型”比較起來,這些支持部分就叫做“標準型”),所示支持部分23和24之一固定到另一個中。平坦基體2裝入一個支持部件23的凹槽25中且通過另一個支撐部件24固定,然后使軸體28能按照這兩種不同支持部件23和24在平坦基體2被固定在那些支持部件23和24之間的狀態(tài)中互相固定的方式引入在這兩種不同支持部件23和24中確定的孔26和27。利用上述結(jié)構(gòu),簡化部件的形狀,從而減少部件的數(shù)量,簡化工藝和增強耐腐蝕力。如圖7A和7B中所示的盒型部件29和30的支持部件的形狀被應(yīng)用,平坦基體2被插入的開口部分31在部件29中,同時,如圖8A,8B和9A,9B中所示,支持部件23和24,24和29可分別顛倒。軸體28的截面形狀是圓形,橢圓形或多邊形,然而,因為沒有繞軸的轉(zhuǎn)動而能增加安裝準確性,所以多邊形(例如三角形32)如圖10A和10B中所示為優(yōu)選。更進一步,如圖11A和11B中所示的能容易地增加截面面積的四邊形板體33為最佳。同時,在使用四邊形板體33的情形中,孔部分34和35可是槽形,以便其能延伸整個支持部件29和30的長度。利用這種結(jié)構(gòu),板體33更容易裝入支持部件29和30中。應(yīng)該注意的是就整體來說板體33的截面形狀不必沿軸向方向是相同的,且可以是楔形的或是間斷形的。同時,本結(jié)構(gòu)的變形是允許的,例如,在軸體28上形成螺紋或使有機樹脂流入孔26和27代替軸28,然后固化。由軸體28穿入的孔26和27限為單數(shù)且可以是如圖13A和13B中所示的多個的。具有這種結(jié)構(gòu),平坦基體2的連接部分的強度和耐久性增強。同時,并非始終需要軸體28引入兩支持部件23和24中,如圖14A和14B所示,引入支持部件23的軸體28允許穿過支持部件24的兩端;從而各部件被固定。此外,按照與平坦基體2突出的方向橫切的方向來確定孔26和27。然而,在應(yīng)用盒型支持部件29和30的情形中,如圖15A和15B所示,按照與平坦基體突出的方向相同的方向來確定孔26和27。同時,如圖16C中所示,在相對于0-環(huán)排斥的方向角θ滿足0°<θ<90°的情況下,軸體28嵌入支持部件中,從而支持部件的相互耦合變得緊密。應(yīng)該注意的是為了增強0-環(huán)密封部分的氣密和/或液密性,彈性部件36如板簧,椽膠海綿或彈簧墊圈在平坦基體2和支持部件24之間嵌入。支持部件的形狀,軸體的形狀、軸體的嵌入方向和彈性部件的使用能適當?shù)嘏浜线x擇。表1表示其配合例子及相應(yīng)圖號。表1號支持部件軸體輔助裝置對應(yīng)圖形狀顛倒安裝形狀軸體數(shù)目引入,非引入軸體插入方向123456789101112131415161718標準型標準型標準型標準型標準型標準型標準型標準型盒型盒型盒型盒型盒型盒型標準型標準型盒型盒型顛倒顛倒顛倒顛倒顛到顛倒顛倒顛倒圓形圓形四邊形三角形圓形圓形圓形圓形圓形圓形四邊形四邊形四邊形四邊形圓形圓形四邊形四邊形12111+1211+111+11+11+11+11+11+11+11+11+1引入引入引入引入非引入引入引入非引入引入非引入非引入非引入非引入非引入非引入非引入非引入非引入橫切方向橫切方向橫切方向橫切方向橫切方向橫切方向橫切方向橫切方向相同方向相同方向相同方向橫切方向相同方向橫切方向橫切方向+傾斜方向橫切方向+傾斜方向相同方向+傾斜方向相同方向+傾斜方向使用使用圖6圖13圖11圖10圖14圖16圖17圖19圖20圖15圖21圖22圖23圖24圖16圖25圖26圖27</table></tables>*顛倒安裝指標準型的上部和下部支持部件與盒型的顛倒。**軸體數(shù)目中的1+1指因軸體是非引入型所以同軸提供兩個軸體的結(jié)構(gòu)。***橫切方向和相同方向作為軸體的插入方向是指相對于平坦基體的突出方向的插入方向。傾斜方向是指相對于0-環(huán)的排斥方向的角度插入軸體的方向。外蓋16用于保護壓電元件3,且不是主要的并可以任意地選擇。外蓋16的材料從任何一種金屬,合成樹脂,陶瓷或類似物中選擇。但是,從耐腐蝕的觀點看,最好是陶瓷如ZrO2。應(yīng)該注意的是由有機樹脂或玻璃制成的涂層材料8在外蓋16和作為粘合層的平坦基體2之間連接,且在除涂層材料8外還有外蓋16和平坦基體2是由陶瓷制成的情形中,這些元件通過燒結(jié)成一體。具有上述結(jié)構(gòu),在用強酸如硫酸或強堿如氫氧化鈉溶液的流體的情形中,外蓋16允許壓電元件3和那些液體相互分離。作為本發(fā)明的優(yōu)選實施例,陶瓷如二氧化鋯或玻璃單獨或共同加熱以在傳感器端部上的壓電元件的上部中形成一個空隙,從而保持壓電元件部分對被則的流體而言是氣密和/或液密的。同時,加熱涂層如玻璃或陶瓷且當電極端子的一部分露出時,將被涂覆的壓電元件側(cè)面上的電極端子的一部分同時用熱涂層材料涂覆。然后,密封部件在上述露出的電極端子的邊緣的涂層材料如玻璃或陶瓷的表面和加壓器平臺的表面之間固定,從而保持電極端子對被測的流體而言是氣密的或/和液密的。在下文,將更詳細地描述本發(fā)明的例子,但本發(fā)明并不局限于那些例子。(例1)具有如圖2中所示的尖端結(jié)構(gòu)和從其表面露出的電極端子6,及是由二氧化鋯制成的傳感器裝置通過重復(fù)印制燒結(jié)制造。如圖1A和1B中所示形狀的涂層材料8是通過玻璃粘在傳感器裝置1的上部印制,且由二氧化鋯制成的板16安裝在空心部分17的上部,且其后它們在700℃時整體燒結(jié),從而形成一個裝置,其中除了電極端子6的后端部(空心部分9)外整個電極端子用玻璃和二氧化鋯涂覆。然后,如圖1A和1B中所示,在由氯乙烯制成的加壓器平臺14a,由丁基橡膠制成的密封部件12和傳感器裝置1被定位后,由氯乙烯制成的鏍釘20和鏍母22按照通過密封部件12,加壓器平臺14a和在傳感器裝置1表面上的玻璃表面氣密和/或液密地保持電極端子的方式擰緊。而且,由氯乙烯制成的粘合物設(shè)在加壓器平臺14a與涂覆氯乙烯的導(dǎo)線11之間,所產(chǎn)生的結(jié)構(gòu)中,電極端子部分中的空間相對待測量的流體而言是完全氣密和/或液密的。結(jié)果是如此構(gòu)造的整個傳感器浸沒在50%的硫酸溶液中在60℃三個月,且其氣密性和液密性得到測量,完全沒有發(fā)現(xiàn)硫酸浸入傳感器中。(例2)通過如例1中的方法,形成整個電極端子在其中用玻璃和二氧化鋯涂覆的裝置。然后,如圖11A和11B中所示,在支持部件23和24,由丁基椽膠制成的密封部件12和傳感器裝置1被定位后,四邊形板軸體33按照通過密封部件12,支持平臺23,24和傳感裝置1的表面上的玻璃表面,電極端子保持氣密和/或液密的方式插入支持部件23和24中。同時,由氯乙烯制成的粘合物在支持平臺23,24和用氯乙烯涂覆的導(dǎo)線11之間提供,形成電極端子部分中的空間對被測的流體而言是完全氣密和/或液密的結(jié)構(gòu)。結(jié)果是如此構(gòu)造的整個傳感器在60℃時在50%的硫酸溶液中浸沒三個月,且測量其氣密性和/或液密性,完全沒有發(fā)現(xiàn)硫酸浸入傳感器中。如上所述,根據(jù)本發(fā)明的流控傳感器,用來從傳感器裝置提取一個信號到外部的電極端子部分能容易地且有力地保持對流體氣密的和/或液密的。因此,本發(fā)明最好應(yīng)用在流控傳感器中,該流控傳感器在腐蝕性流體如鉛蓄電池中的硫酸在極性溶劑中或在使用極性溶劑的溶液中動作。為了說明和描述,提出本發(fā)明優(yōu)選實施例的上述描述。它并不徹底或并不局限于所揭示的準確形式,且根據(jù)上述教導(dǎo),得到本發(fā)明的變形和改進是可能的。為了解釋本發(fā)明的原理及其實際應(yīng)用,使本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠在各種實施例和各種變形情況下利用本發(fā)明,選擇并描述了實施例。本發(fā)明的范圍由所附的權(quán)利要求及等同物定。權(quán)利要求1.流控傳感器,包括具有振動部分的基體;固定在所說的振動部分的一個表面上且具有一個壓電片和至少一對與所說的壓電片接觸設(shè)置的電極的壓電元件;設(shè)在所說的基體表面上且與所說的這對電極電連接的電極端子;設(shè)在所說的電極端子的邊緣中的所說的基體的表面上的涂層材料;加壓器平臺;和在所說的基體和所說的加壓器平臺之間保持并形成以圍繞所說的電極端子的密封部件;其中,通過在所說的涂層材料和所說的加壓器平臺之間固定所說的密封部件,所說的電極端子保持對被測流體而言是氣密的和/或液密的。2.如權(quán)利要求1中的流控傳感器,更進一步包括引入所說加壓器平臺的導(dǎo)線;和設(shè)在所說的導(dǎo)線頂端的電極連接部件;其中所說的電極連接部件和所說的電極端子是互相接觸的。3.如權(quán)利要求1的流控傳感器,其中,所說的基體是平坦板的形狀且是由陶瓷制成。4.如權(quán)利要求1的流控傳感器,其中,所說的密封部件是0-環(huán)的形狀。全文摘要流控傳感器包括帶振動部分7的基體2,固定在振動部分表面且有一個壓電片4和至少一對與壓電片接觸的電極5a,5b的壓電元件3,設(shè)在基體表面且與電極對電連接的電極端子6,設(shè)在電極端子邊緣中基體表面上的涂層材料8,加壓器平臺14a,14b,和保持在基體和加壓器平臺間并圍繞電極端子的密封部件12,其中,電極端子通過在涂層材料和加壓器平臺間固定密封部件而保持對待測流體而言是氣密的和/或液密的。文檔編號G01N29/02GK1174988SQ97113558公開日1998年3月4日申請日期1997年5月22日優(yōu)先權(quán)日1996年5月22日發(fā)明者滑川政彥,柴田和義,武內(nèi)幸久,中尾成希申請人:日本礙子株式會社
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