專利名稱：水平傳送檢驗(yàn)處理器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于將IC器件傳到和傳離IC檢驗(yàn)器的檢驗(yàn)頭的水平傳送檢驗(yàn)處理器，特別是涉及一種通過視頻數(shù)據(jù)獲得裝置自動判別IC器件的類型和位置、IC器件的存在、器件托盤的類型及類似情況的水平傳送檢驗(yàn)處理器。
檢驗(yàn)處理器常常與IC檢驗(yàn)器結(jié)合，用于檢驗(yàn)IC器件，以自動地將IC器件傳到和傳離IC檢驗(yàn)器的檢驗(yàn)頭。檢驗(yàn)處理器分為兩種類型，利用其自身重力將IC器件從較高位置傳送到較低位置的垂直傳送類型，和沿檢驗(yàn)處理器的水平表面?zhèn)魉虸C器件的水平傳送類型。本發(fā)明是關(guān)于水平傳送類型的檢驗(yàn)處理器。
在水平傳送檢驗(yàn)處理器中，在器件托盤上提供待檢驗(yàn)的多個IC器件，并水平地傳送到IC檢驗(yàn)器的檢驗(yàn)頭上。在檢驗(yàn)頭處給IC器件提供各種檢驗(yàn)信號，并通過IC檢驗(yàn)器對來自IC器件的結(jié)果輸出信號進(jìn)行評價。根據(jù)檢驗(yàn)結(jié)果將所檢驗(yàn)的IC器件分類，并傳送到相應(yīng)的器件托盤上。
圖6-8中示出了傳統(tǒng)技術(shù)中水平傳送檢驗(yàn)處理器的一個例子。水平傳送檢驗(yàn)處理器是一自動機(jī)機(jī)構(gòu)，它在水平方向上傳送IC器件，將IC器件放置到IC檢驗(yàn)器的檢驗(yàn)頭上，接收已檢驗(yàn)的IC器件，并根據(jù)檢驗(yàn)結(jié)果將器件托盤上的IC器件分類。
如圖6中所示，現(xiàn)有技術(shù)中的水平傳送檢驗(yàn)處理器30由下列部分組成拾取、傳送并放置IC器件的器件傳送機(jī)構(gòu)13；允許器件傳送機(jī)構(gòu)13在Y方向上移動的活動臂12；允許活動臂12在X方向上移動的X方向?qū)к?；裝載器區(qū)22，用于裝載具有多個待檢驗(yàn)IC器件的器件托盤43；卸載器區(qū)23，用于接收器件托盤43上已通過檢驗(yàn)的IC器件；分類器區(qū)24和25，用于將各器件托盤43上未能通過檢驗(yàn)的被檢驗(yàn)IC器件分類；加熱器區(qū)27，用于給待檢驗(yàn)IC器件施加熱量以便在高溫環(huán)境下檢驗(yàn)IC器件；空托盤區(qū)26，用于放置在裝載器區(qū)22中騰空的器件托盤43；變換套件41和42，用于提供不同尺寸和類型的器件托盤和IC插座。
如圖7中所示，器件傳送機(jī)構(gòu)13由對存放在器件托盤43上的IC器件10完成吸取(拾取操作)和吸取釋放(放置操作)工序的吸取盤16組成。吸取力例如是由真空壓力產(chǎn)生。吸取臂15允許吸取盤16在Z(上下)方向上移動。
在圖6中，水平傳送檢驗(yàn)處理器30連接到檢驗(yàn)頭50上，該檢驗(yàn)頭50電氣連接到IC檢驗(yàn)器51上。檢驗(yàn)頭50有一在被檢驗(yàn)的IC器件10和檢驗(yàn)頭50之間起連接作用的IC插座40。在IC器件10檢驗(yàn)期間，安裝在檢驗(yàn)頭50上的IC插座40將電信號從其每個接觸端傳輸?shù)较鄳?yīng)的器件管腳上。
變換套件為機(jī)械部件組，用于通過替換所有或部分機(jī)械部件，將檢驗(yàn)處理器30調(diào)節(jié)適應(yīng)于各種類型和尺寸的IC器件和器件托盤。變換套件的種類包括支持不同尺寸和類型的器件托盤43的變換套件42。器件托盤43安裝在裝載器區(qū)22上，而其位置通過變換套件42來調(diào)節(jié)。變換套件41完成對檢驗(yàn)頭50上的IC插座的精確的機(jī)械定位。如此，變換套件41根據(jù)待檢驗(yàn)IC器件的尺寸和類型調(diào)節(jié)IC插座40相對于檢驗(yàn)頭50的位置。
圖8是顯示水平傳送檢驗(yàn)處理器控制部分的示意圖。該控制部分由輸入/輸出裝置61，控制器62和受控制器62控制的器件傳送機(jī)構(gòu)驅(qū)動器63構(gòu)成，其中輸入/輸出裝置61用于接收控制程序及輸入數(shù)據(jù)，并產(chǎn)生檢驗(yàn)信息或其它檢驗(yàn)結(jié)果，控制器62解釋并執(zhí)行控制程序和輸入數(shù)據(jù)。根據(jù)來自驅(qū)動器63的驅(qū)動信號，器件傳送機(jī)構(gòu)13在X,Y和Z方向上移動。即，控制脈沖電動機(jī)(未示出)，以在Z方向上驅(qū)動吸取臂15。利用來自驅(qū)動器63的驅(qū)動信號，分別在X方向上驅(qū)動活動臂12，而在Y方向上驅(qū)動器件傳送機(jī)構(gòu)13。
再參看圖6，水平傳送檢驗(yàn)處理器30在水平方向上傳送IC器件10，并將IC器件10的引出管腳壓入安裝在檢驗(yàn)頭50上的IC插座40的接觸端。通過IC插座40將檢驗(yàn)信號從IC檢驗(yàn)器施加到IC器件上。來自IC器件10的結(jié)果信號通過IC插座40被傳輸?shù)絀C檢驗(yàn)器上，并通過將結(jié)果信號與預(yù)期數(shù)據(jù)進(jìn)行比較進(jìn)行評價。IC檢驗(yàn)器確定IC器件10的通過與否。水平傳送檢驗(yàn)處理器30根據(jù)檢驗(yàn)結(jié)果將所檢驗(yàn)的IC器件10進(jìn)行分類。
利用這種檢驗(yàn)處理器和IC檢驗(yàn)器系統(tǒng)來進(jìn)行檢驗(yàn)的IC器件10是IC、LSI電路和VLSI電路。即使功能相同，IC器件也被放入不同類型和尺寸的封裝以滿足市場的需要。例如，封裝的種類包括SOP(小外形封裝)，QFP(四線扁平封裝)，BGA(球柵陣列封裝)等等。連接到外部電極上的IC器件管腳數(shù)也分布在一個寬的范圍上，如從幾個管腳到幾百個管腳。IC器件兩相鄰管腳之間的距離，即管腳間距非常小，如從0.25mm到0.8mm。
在器件托盤43的孔狀支座中存放IC器件10，其中每個IC器件由支座的錐形壁來定位。例如，圖6中所示的器件托盤43可存放24(4×6=24)個器件。器件托盤的尺寸例如在寬度上從100mm到140mm，在長度上從206mm到330mm變化。
下面說明水平傳送檢驗(yàn)處理器30的操作和功能。
在檢驗(yàn)開始之前，待檢驗(yàn)的IC器件10存放在器件托盤43中，該器件托盤43裝載在檢驗(yàn)處理器30的裝載器區(qū)22上。檢驗(yàn)IC器件10所需的檢驗(yàn)程序和數(shù)據(jù)通過輸入/輸出裝置61安裝在檢驗(yàn)處理器30中。檢驗(yàn)所需的數(shù)據(jù)包括關(guān)于待檢驗(yàn)IC器件10種類，IC器件10封裝類型，器件管腳數(shù)和器件托盤43尺寸的信息。
吸取臂15在Z方向上移動，吸取盤16完成對存放于器件托盤43中的IC器件10的吸取工序。當(dāng)在吸取盤16的端部吸取了IC器件10時，活動臂12和器件傳送機(jī)構(gòu)13在X和Y方向上移動到加熱器區(qū)27，以將IC器件10放置在其上，以便給IC器件供熱。然后，吸取盤16再次將在加熱器區(qū)27中被加熱的IC器件10吸起，并移動到檢驗(yàn)頭50上的IC插座40上，以便將IC器件10的引線管腳連接到IC插座40的接觸端上。
當(dāng)IC器件連接到IC插座40上時，由IC檢驗(yàn)器進(jìn)行IC器件10的檢驗(yàn)。檢驗(yàn)之后，器件傳送機(jī)構(gòu)13根據(jù)檢驗(yàn)結(jié)果，將已檢驗(yàn)的IC器件傳送到幾個區(qū)域。將好的IC器件傳送到卸載器區(qū)23上的器件托盤43上，而將不合格的IC器件傳送到分類區(qū)24和25上的器件托盤43上，以根據(jù)其缺陷類型進(jìn)行分類。
當(dāng)由于所有IC器件10均被從其上移走以進(jìn)行檢驗(yàn)，使得在裝載器區(qū)22中的器件托盤43被騰空時，將器件托盤43傳送到空托盤區(qū)26。對下一個器件托盤43上的IC器件重復(fù)進(jìn)行上面提到的工序，該器件托盤43安裝在檢驗(yàn)處理器30的裝載器區(qū)23上。
如以上所說明的，有各種封裝的IC器件10有待檢驗(yàn)處理器30進(jìn)行處理。因此，器件托盤43有與封裝類型相對應(yīng)的各種類型。檢驗(yàn)處理器30的操作人員必須通過輸入/輸出裝置61提供表示封裝和托盤類型的數(shù)據(jù)。從而在這種數(shù)據(jù)輸入過程中就可能引入錯誤，因?yàn)榉庋b和托盤的類型相當(dāng)復(fù)雜。
此外，由于IC器件的管腳間距非常小，需要精確的機(jī)械定位以在待檢驗(yàn)IC器件的引線管腳和IC插座40的接觸端之間建立電氣連接。為改善機(jī)械定位，可減小器件托盤43的錐形壁和IC器件10之間的間隙。然而由于減小了器件托盤中的間隙，這種解決方案可能引出進(jìn)一步的問題，如卡住的問題。而且，還要求變換套件41和42有更高的機(jī)械加工水平以便更精確地將IC插座40和器件托盤43定位。
因此，本發(fā)明的目的是提供一種當(dāng)要更換待檢驗(yàn)IC器件的類型時能夠通過自動將變換套件定位來改善可靠性和可操作性的水平傳送檢驗(yàn)處理器。
本發(fā)明的另一目的是提供一種具有視頻數(shù)據(jù)輸入裝置和參考位置標(biāo)志器，以便自動將器件托盤和IC插座定位，從而避免與檢驗(yàn)不同類型IC器件有關(guān)的人為錯誤的水平傳送檢驗(yàn)處理器。
本發(fā)明還有一個目的，是提供一種能夠?qū)C器件的引線管腳精確地連接到相應(yīng)的IC插座接觸端上的水平傳送檢驗(yàn)處理器。
本發(fā)明還有一個目的，是提供一種能夠以高效率和高精度檢驗(yàn)IC器件的水平傳送檢驗(yàn)處理器。
本發(fā)明的水平傳送檢驗(yàn)處理器用于在水平方向上將被檢驗(yàn)的IC器件傳到和傳離檢驗(yàn)頭，它包括器件托盤、IC插座、器件傳送機(jī)構(gòu)、視頻數(shù)據(jù)獲得裝置和參考位置標(biāo)志器，其中在檢驗(yàn)處理器的水平表面上提供的器件托盤用于在該器件托盤水平面上形成的支座中攜帶多個待檢驗(yàn)IC器件，安裝在檢驗(yàn)頭上的IC插座通過在被檢驗(yàn)IC器件和IC檢驗(yàn)器之間建立電氣連接而在兩者之間進(jìn)行連接，器件傳送機(jī)構(gòu)用于通過在檢驗(yàn)處理器的表面上進(jìn)行水平和垂直方向的移動而拾取、傳送并放置檢驗(yàn)中的IC器件。視頻數(shù)據(jù)獲得裝置固定在器件傳送機(jī)構(gòu)上，用于獲得檢驗(yàn)器表面上的圖象數(shù)據(jù)，在檢驗(yàn)處理器表面上提供的參考位置標(biāo)志器用于在通過視頻數(shù)據(jù)獲得裝置獲得的圖象數(shù)據(jù)中提供參考位置數(shù)據(jù)。
視頻數(shù)據(jù)獲得裝置由CCD攝相機(jī)構(gòu)成，以獲得有關(guān)被檢驗(yàn)IC器件類型，器件托盤上IC器件的存在、器件托盤類型、IC插座類型、IC器件及IC插座的位置和類似情況的信息。
水平傳送檢驗(yàn)處理器還包括控制檢驗(yàn)處理器全部操作的控制部分?？刂撇糠职ㄔ诓僮魅藛T和檢驗(yàn)處理器之間進(jìn)行連接的輸入/輸出裝置、處理從視頻數(shù)據(jù)獲得裝置所獲得的圖象數(shù)據(jù)的視頻數(shù)據(jù)控制器、根據(jù)來自輸入/輸出裝置和來自視頻數(shù)據(jù)控制器的數(shù)據(jù)確定檢驗(yàn)處理器的移動的控制器、根據(jù)來自控制器的數(shù)據(jù)驅(qū)動器件傳送機(jī)構(gòu)的器件傳送機(jī)構(gòu)驅(qū)動器。
根據(jù)本發(fā)明，由于表示IC器件和器件托盤類型及它們的精確位置的輸入數(shù)據(jù)是自動獲得的，因而可有效地消除與變換IC器件和器件托盤有關(guān)的人為錯誤。因此，檢驗(yàn)處理器的可靠性和可操作性增加，且檢驗(yàn)精度和效率也增加。


圖1是表示與IC檢驗(yàn)器和檢驗(yàn)頭結(jié)合的本發(fā)明水平傳送檢驗(yàn)處理器的平面圖。
圖2是表示本發(fā)明器件傳送機(jī)構(gòu)側(cè)面和器件托盤剖面的示意圖。
圖3是表示本發(fā)明水平傳送檢驗(yàn)處理器控制部分的示意圖。
圖4是表示本發(fā)明水平傳送檢驗(yàn)處理器中操作的第一部分的流程圖。
圖5是表示本發(fā)明水平傳送檢驗(yàn)處理器中操作的第二部分的流程圖。
圖6是表示與IC檢驗(yàn)器和檢驗(yàn)頭結(jié)合的傳統(tǒng)技術(shù)的水平傳送檢驗(yàn)處理器的平面圖。
圖7是表示傳統(tǒng)技術(shù)中器件傳送機(jī)構(gòu)側(cè)面和器件托盤剖面的示意圖。
圖8是表示傳統(tǒng)技術(shù)中水平傳送檢驗(yàn)處理器控制部分的示意圖。
對本發(fā)明的實(shí)施例參考圖1-5來加以說明。
如圖1中所示，本發(fā)明的水平傳送檢驗(yàn)處理器33由下列部分組成拾取、傳送并放置IC器件10的器件傳送機(jī)構(gòu)13；允許器件傳送機(jī)構(gòu)13在Y方向上移動的活動臂12；允許活動臂12在X方向上移動的X方向?qū)к?。器件傳送機(jī)構(gòu)13包括對存放在器件托盤43上的IC器件10完成吸取(拾取操作)和吸取釋放(放置操作)操作的吸取盤16。吸取力例如由負(fù)壓(如真空)產(chǎn)生。吸取臂15允許吸取盤16在Z方向(上下方向)上移動。
水平傳送檢驗(yàn)處理器33還包括裝載器區(qū)22，用于裝載具有多個待檢驗(yàn)IC器件10的器件托盤43；卸載器區(qū)23，用于接收器件托盤43上已通過檢驗(yàn)的IC器件10；分類區(qū)24和25，用于接收各器件托盤43上未能通過檢驗(yàn)的被檢驗(yàn)IC器件10；加熱器區(qū)27，用于給IC器件10施加熱量以便在高溫環(huán)境下進(jìn)行檢驗(yàn)；空托盤區(qū)26，用于放置在裝載器區(qū)22中騰空的器件托盤43；變換套件41和42，用于提供不同尺寸和類型的器件托盤和IC插座；CCD攝象機(jī)14，用于獲得視頻數(shù)據(jù)；以及參考位置標(biāo)志器17。因此，與傳統(tǒng)的圖6-8的例子相比，本發(fā)明的檢驗(yàn)處理器還額外地包括CCD攝象機(jī)14和參考標(biāo)志器17。
如圖1和2中所示，將CCD攝象機(jī)14固定到在X和Y方向上受驅(qū)動的器件傳送機(jī)構(gòu)13上。最好將CCD攝象機(jī)14恰好定位在吸取臂15的上方，以便獲得靠近吸取盤16的精確的圖象數(shù)據(jù)。在檢驗(yàn)處理器33的水平表面上一任意位置提供參考位置標(biāo)志器17。
圖3是表示水平傳送檢驗(yàn)處理器33的控制部分的示意圖。該控制部分由輸入/輸出裝置61、控制器62、受控制器62控制的器件傳送機(jī)構(gòu)驅(qū)動器63、和視頻數(shù)據(jù)控制器64組成，其中輸入/輸出裝置61用于接收控制程序及輸入數(shù)據(jù)，并產(chǎn)生檢驗(yàn)信息或其它檢驗(yàn)結(jié)果，控制器62解釋并執(zhí)行控制程序和輸入數(shù)據(jù)，視頻數(shù)據(jù)控制器64用于接收來自CCD攝象機(jī)14的視頻數(shù)據(jù)，并處理將要送到控制器62的該視頻數(shù)據(jù)。
根據(jù)來自驅(qū)動器63的驅(qū)動信號，器件傳送機(jī)構(gòu)13在X,Y和Z方向上移動。即，控制脈沖電動機(jī)以在Z方向上驅(qū)動吸取臂15。利用來自驅(qū)動器63的驅(qū)動信號，分別在X方向上驅(qū)動活動臂12，并在Y方向上驅(qū)動器件傳送機(jī)構(gòu)13。
本發(fā)明水平傳送檢驗(yàn)處理器的操作參考流程圖4和5加以說明。圖4示出水平傳送檢驗(yàn)處理器中33中操作的第一部分，而圖5示出操作的第二部分。這里未給出傳統(tǒng)水平傳送檢驗(yàn)處理器所共有的基本操作。
在圖4的操作過程中，在開始步驟之后，在步驟100中將器件傳送機(jī)構(gòu)13在X和Y方向上移動。在移動期間，通過CCD攝象機(jī)14獲得視頻數(shù)據(jù)。在步驟110中，完成確定IC插座40相對于參考位置標(biāo)志器17的位置的校準(zhǔn)工序。這一校準(zhǔn)例如是通過根據(jù)插座40的四角相對于位置標(biāo)志器17的位置，確定IC插座40中心點(diǎn)的位置作出的。
流程進(jìn)行到步驟120，在其中確定在視頻數(shù)據(jù)中表示的器件托盤43的尺寸是否與檢驗(yàn)程序中定義的托盤尺寸相匹配。如果檢驗(yàn)處理器上器件托盤43的尺寸與檢驗(yàn)程序中的尺寸不同，則在步驟130中在輸入/輸出裝置61上顯示錯誤信息。在這種情況下，操作人員在步驟140中將檢驗(yàn)處理器33上的器件托盤43改為具有正確尺寸的托盤。
當(dāng)器件托盤43的尺寸與檢驗(yàn)程序中的數(shù)據(jù)相匹配時，流程前進(jìn)到步驟150，在該步驟150中確定裝載器區(qū)22上器件托盤43的支座中是否存在IC器件10。當(dāng)上述支座上沒有IC器件10時，在步驟160中，器件傳送機(jī)構(gòu)13在X和Y方向上移動到具有下一個IC器件的器件托盤43的另一個支座處。
當(dāng)發(fā)現(xiàn)了IC器件10時，在步驟170中確定視頻數(shù)據(jù)中的器件類型數(shù)據(jù)是否與檢驗(yàn)頭50上的IC插座40相匹配。如果IC器件的類型和IC插座的類型互相不匹配，則在步驟180中在輸入/輸出裝置61上顯示錯誤信息。在這種情況下，在步驟190中，操作人員或者改變待檢驗(yàn)的IC器件的類型，或者改變IC插座。
當(dāng)IC器件10的類型和IC插座40互相一致時，在步驟200中，根據(jù)顯示IC器件10的四角的位置數(shù)據(jù)來確定IC器件10的中心位置，并在步驟210中相應(yīng)地對器件傳送機(jī)構(gòu)13的位置進(jìn)行修正。然后，在步驟230中，器件傳送機(jī)構(gòu)13向下移動，并通過吸取盤16借助于吸取力拾取IC器件10，并將IC器件10提起。
如圖5的流程圖中所示，在步驟240中，帶有IC器件10的器件傳送機(jī)構(gòu)13在X和Y方向上經(jīng)加熱器區(qū)27向IC插座40移動。在步驟250中，吸取臂15在Z方向上向下移動到IC插座40上。在步驟260中，吸取臂15進(jìn)一步向下移動，將IC器件10的引線管腳按壓到IC插座40的接觸端上，從而在它們之間建立電氣連接。
在步驟270中，IC檢驗(yàn)器通過IC插座給IC器件10提供檢驗(yàn)信號，并對來自IC器件10的結(jié)果信號進(jìn)行評價。在步驟280中，檢驗(yàn)器確定IC器件的通過/失敗。如果IC器件10被認(rèn)為是不合格的，則在步驟290中，根據(jù)不合格的原因?qū)C器件10分類到在分類區(qū)24或25上的器件托盤43上，在那里將IC器件從吸取盤16上釋放。之后，流程進(jìn)行到步驟310，在其中確定檢驗(yàn)是否應(yīng)結(jié)束。
如果IC器件10被認(rèn)為是好的，則在步驟300中將其傳送到卸載器區(qū)23的器件托盤上，并從吸取盤16上釋放。之后，在步驟310中確定是否應(yīng)繼續(xù)檢驗(yàn)。當(dāng)應(yīng)繼續(xù)檢驗(yàn)時，流程回到步驟150以進(jìn)行上述所有流程步驟。如果確定應(yīng)結(jié)束檢驗(yàn)，則流程終止。
盡管未在流程圖中示出，因所有IC器件10被從其上拾取而騰空的器件托盤43被傳送到水平傳送檢驗(yàn)處理器33上的空托盤區(qū)26。
如以上所指出的，IC器件的類型、存在、位置及托盤形狀的判別是通過上面的視頻數(shù)據(jù)獲得工序來完成的。因而減少了利用人工方法的數(shù)據(jù)輸入。結(jié)果由于自動數(shù)據(jù)設(shè)置和替換變換套件中的自動定位以及自動的視頻數(shù)據(jù)獲得，增加了檢驗(yàn)處理器的可靠性和可操作性。
雖然在上述例子中是用CCD攝象機(jī)14作為視頻數(shù)據(jù)獲得裝置的，也可使用其它裝置，如數(shù)字?jǐn)z象機(jī)，或其它視頻輸入裝置，只要能從其獲得代表視頻圖象的電數(shù)據(jù)即可。如果視頻輸入數(shù)據(jù)的亮度和對比度不夠，可將照明裝置安裝到視頻數(shù)據(jù)獲得裝置上，以使獲得視頻數(shù)據(jù)的過程易于進(jìn)行。
如前面所述，根據(jù)本發(fā)明的水平傳送檢驗(yàn)處理器，由于表示IC器件和器件托盤的類型及它們的精確位置的輸入數(shù)據(jù)是自動獲得的，與變換IC器件或器件托盤有關(guān)的人為錯誤可被有效地消除。從而增加了檢驗(yàn)處理器的可靠性和可操作性，同時檢驗(yàn)精度和效率也得以增加。
權(quán)利要求
1．一種水平傳送檢驗(yàn)處理器，用于在水平方向上將被檢驗(yàn)的IC器件傳到和傳離檢驗(yàn)頭，它包括在檢驗(yàn)處理器的水平表面上提供的器件托盤，用于在該器件托盤水平面上形成的支座中攜帶多個待檢驗(yàn)的IC器件；安裝在檢驗(yàn)頭上的IC插座，通過在被檢驗(yàn)的IC器件和IC檢驗(yàn)器之間建立電氣連接而在兩者之間進(jìn)行連接；器件傳送機(jī)構(gòu)，用于通過在檢驗(yàn)處理器的表面上進(jìn)行水平和垂直方向的移動而拾取、傳送并放置檢驗(yàn)中的IC器件；固定在器件傳送機(jī)構(gòu)上的視頻數(shù)據(jù)獲得裝置，用于獲得檢驗(yàn)器表面上的圖象數(shù)據(jù)；以及在檢驗(yàn)處理器表面上提供的參考位置標(biāo)志器，用于在通過視頻數(shù)據(jù)獲得裝置獲得的圖象數(shù)據(jù)中提供參考位置數(shù)據(jù)。
2．如權(quán)利要求1中所限定的水平傳送檢驗(yàn)處理器，其中視頻數(shù)據(jù)獲得裝置由CCD攝相機(jī)構(gòu)成，以獲得包括被檢驗(yàn)IC器件的類型、器件托盤上IC器件的存在、器件托盤類型、IC器件及IC插座的位置的信息。
3．如權(quán)利要求1中所限定的水平傳送檢驗(yàn)處理器，還包括控制檢驗(yàn)處理器全部操作的控制部分，其中控制部分包括在操作人員和檢驗(yàn)處理器之間進(jìn)行連接的輸入/輸出裝置；處理從視頻數(shù)據(jù)獲得裝置所獲得的圖象數(shù)據(jù)的視頻數(shù)據(jù)控制器；根據(jù)來自輸入/輸出裝置和來自視頻數(shù)據(jù)控制器的數(shù)據(jù)，確定檢驗(yàn)處理器的移動的控制器，以及根據(jù)來自控制器的數(shù)據(jù)驅(qū)動器件傳送機(jī)構(gòu)的器件傳送機(jī)構(gòu)驅(qū)動器。
4．如權(quán)利要求1中所限定的水平傳送檢驗(yàn)處理器，其中器件傳送機(jī)構(gòu)安裝在活動臂上，該活動臂允許器件傳送機(jī)構(gòu)在檢驗(yàn)處理器上進(jìn)行Y方向上的移動，并且導(dǎo)軌允許活動臂在檢驗(yàn)處理器上進(jìn)行X方向上的移動。
5．如權(quán)利要求1中所限定的水平傳送檢驗(yàn)處理器，其中器件傳送機(jī)構(gòu)由對器件托盤上的IC器件完成吸取和吸取釋放操作的吸取臂構(gòu)成，其中吸取力由真空產(chǎn)生。
6．如權(quán)利要求1中所限定的水平傳送檢驗(yàn)處理器，還包括裝載器，用于裝載具有多個待檢驗(yàn)的IC器件的器件托盤；卸載器，用于接收已成功地通過檢驗(yàn)的IC器件；分類器，用于根據(jù)故障類型，接收未能通過檢驗(yàn)的所檢驗(yàn)的IC器件；及加熱器，用于給IC器件施加熱量，以便在高溫環(huán)境下進(jìn)行IC器件的檢驗(yàn)。
全文摘要
水平傳送檢驗(yàn)處理器,在水平方向?qū)⒈粰z驗(yàn)的IC器件傳到和傳離檢驗(yàn)頭。它包括器件托盤、IC插座、器件傳送機(jī)構(gòu)、視頻數(shù)據(jù)獲得裝置和參考位置標(biāo)志器,器件托盤用于在支座中攜帶多個待檢驗(yàn)IC器件,IC通過在被檢驗(yàn)IC器件和IC檢驗(yàn)器間建立電氣連接在兩者間進(jìn)行連接,器件傳送機(jī)構(gòu)水平和垂直移動而拾取、傳送并放置IC器件,視頻數(shù)據(jù)獲得裝置用于獲得檢驗(yàn)器表面的圖象數(shù)據(jù),參考位置標(biāo)志器用于在圖象數(shù)據(jù)中提供參考位置數(shù)據(jù)。
文檔編號G01R31/26GK1208258SQ9712018
公開日1999年2月17日 申請日期1997年11月18日 優(yōu)先權(quán)日1996年11月18日
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