專利名稱：：振子、振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀及振子的調(diào)整方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及為檢測(cè)旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角速度用的角速度傳感器所使用的振子、及使用該振子的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，尤其涉及使用壓電體的振子及使用該振子的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀。歷來(lái)，作為檢測(cè)旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)內(nèi)旋轉(zhuǎn)角速度用的角速度傳感器，使用壓電體的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀一直被使用于飛機(jī)、船舶及宇宙衛(wèi)星等的定位。最近，在民用領(lǐng)域，又被使用于車輛導(dǎo)航、VTR及靜物照相機(jī)的手抖動(dòng)檢測(cè)等。如上所述的壓電振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀利用的是當(dāng)在振動(dòng)物體上施加角速度時(shí)，在與該振動(dòng)垂直的方向會(huì)產(chǎn)生哥氏力這一點(diǎn)。其原理可以用力學(xué)模型進(jìn)行解析(例如《彈性波元件技術(shù)手冊(cè)》歐姆社，第491-497頁(yè))。此外，作為壓電型振動(dòng)回轉(zhuǎn)儀，到目前為止已提出了多種。例如，斯佩里音叉型回轉(zhuǎn)儀、華特生音叉型回轉(zhuǎn)儀、正三棱柱型音片回轉(zhuǎn)儀及圓筒型回轉(zhuǎn)儀等等。本發(fā)明人對(duì)振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的應(yīng)用進(jìn)行了種種研究，例如，研究了在汽車的車體轉(zhuǎn)動(dòng)速度反饋式車輛控制方法中所使用的旋轉(zhuǎn)速度傳感器中使用振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀。在這樣的系統(tǒng)中，操縱輪的方向本身由手柄的轉(zhuǎn)動(dòng)角度來(lái)測(cè)出。與此同時(shí)，車體實(shí)際轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)速度由振動(dòng)回轉(zhuǎn)儀測(cè)出。然后，比較操縱輪的方向與實(shí)際車體的轉(zhuǎn)動(dòng)速度并求出其差，根據(jù)該差修正車輪轉(zhuǎn)矩及操縱角，從而實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的車體控制。但是，上述傳統(tǒng)的壓電振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀中的任一例，都只有將振子相對(duì)轉(zhuǎn)軸平行配置(所謂縱置)，才能檢測(cè)出旋轉(zhuǎn)角速度。然而，要測(cè)定的旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)的轉(zhuǎn)軸相對(duì)安裝部分是垂直的。因此，安裝這樣的壓電振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀時(shí)，不能使壓電振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀降低高度，即，不能減少?gòu)霓D(zhuǎn)軸方向看振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀時(shí)的尺寸。到了近幾年，日本發(fā)明專利公開(kāi)1996年第128833號(hào)公報(bào)提出了一種將振子相對(duì)轉(zhuǎn)軸垂直配置(所謂橫置)也能測(cè)出旋轉(zhuǎn)角速度的壓電振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀。在這些例子中，如圖1所示的其中一個(gè)例子所示，振子沿X、Y方向延伸，而且相對(duì)轉(zhuǎn)軸Z垂直地延伸。在3個(gè)彈性體51a、51b、51c的頂端設(shè)有配重53。利用壓電元件54、55使彈性體51a、51b、51c在X、Y平面內(nèi)以相互相反的相位振動(dòng)。使繞Z軸旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)角速度ω所產(chǎn)生的Y方向的哥氏力作用于配重53的重心位置。因?yàn)閺椥泽w51a、51b、51c的面與配重53重心位置在Z方向稍稍分離，所以，由于作用于配重53重心的哥氏力，彈性體51a、51b、51c的頂端在Z方向相互反方向地彎曲。通過(guò)用壓電元件56、57檢測(cè)該彎曲振動(dòng)，求出繞Z軸的旋轉(zhuǎn)角速度ω。此外，采用這種振子即，采用有多個(gè)臂及連接多個(gè)臂的基部，對(duì)臂的振子施加在規(guī)定面內(nèi)的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)，并根據(jù)與該驅(qū)動(dòng)振動(dòng)垂直的所施加旋轉(zhuǎn)角速度對(duì)應(yīng)的檢測(cè)振動(dòng)來(lái)求出旋轉(zhuǎn)角速度的振子的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀已知有種種結(jié)構(gòu)。例如，在日本發(fā)明專利公開(kāi)1995年第83671號(hào)公報(bào)中，公開(kāi)了一種使用將中央的驅(qū)動(dòng)臂與其左右的檢測(cè)臂共3根臂用基部連接成一體結(jié)構(gòu)的音叉型振子的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀。圖2示出一例這種現(xiàn)有振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的結(jié)構(gòu)。在圖2所示的例子中，構(gòu)成振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的音叉型振子102具有將中央的驅(qū)動(dòng)臂104及在其左右大致平行配置的檢測(cè)臂103、105這樣3條臂，以及采用基部106將這些驅(qū)動(dòng)臂104和檢測(cè)臂103、105連接成一體的結(jié)構(gòu)。上述的音叉型振子102利用設(shè)于驅(qū)動(dòng)臂的未圖示的驅(qū)動(dòng)裝置使驅(qū)動(dòng)臂104在XZ面內(nèi)振動(dòng)，并使左右檢測(cè)臂103、105在相同的XZ面內(nèi)共振。在此狀態(tài)下，一旦以音叉型振子102的對(duì)稱軸Z為中心旋轉(zhuǎn)角速度ω起作用，檢測(cè)臂103、105即受到哥氏力f的作用。因?yàn)闄z測(cè)臂103、105正在XZ面內(nèi)振動(dòng)，故檢測(cè)臂103、105感應(yīng)產(chǎn)生在YZ面內(nèi)的振動(dòng)。用設(shè)于檢測(cè)臂103、105的未圖示的檢測(cè)裝置檢測(cè)該振動(dòng)，測(cè)定旋轉(zhuǎn)角速度。上述日本發(fā)明專利公開(kāi)1996年第12883號(hào)公報(bào)記載的壓電振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀在其原理上確實(shí)是將振子橫置也能檢測(cè)出旋轉(zhuǎn)角速度。但是，因?yàn)楸仨氃O(shè)置配重53，故高度的降低不充分。若為了充分降低高度而減薄配重53的厚度，則存在哥氏力產(chǎn)生的力矩相應(yīng)減小，彎曲振動(dòng)微小，測(cè)定靈敏度低的問(wèn)題。上述結(jié)構(gòu)的壓電振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的振子因?yàn)檎褡咏Y(jié)構(gòu)的關(guān)系，驅(qū)動(dòng)與檢測(cè)的振動(dòng)方向是不同的。即，彈性體51a、51b、51c必須在XY平面內(nèi)振動(dòng)的同時(shí)，在Z方向也振動(dòng)，作2方向的振動(dòng)。一般情況下，對(duì)于壓電振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，為了使測(cè)定靈敏度良好，要求驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)頻率與檢測(cè)用振動(dòng)頻率始終保持一定的關(guān)系。在此，若考慮振子的材料為單晶，則因?yàn)閱尉Ь哂懈飨虍愋?，故溫度造成的振?dòng)頻率變化因振動(dòng)方向而異。因此，若用單晶構(gòu)成上述結(jié)構(gòu)的振子，即存在如下問(wèn)題即使在某一溫度下將驅(qū)動(dòng)與檢測(cè)的振動(dòng)頻率確定為一定關(guān)系，一旦溫度發(fā)生變化，即不能維持該關(guān)系，測(cè)定靈敏度容易因溫度而變化。此外，上述圖2所示結(jié)構(gòu)的現(xiàn)有振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，在支承音叉型振子102組成振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的情況下，或者將音叉型振子102基部106的與驅(qū)動(dòng)臂104和檢測(cè)臂103、105所在端部相反一側(cè)的端部107全部固定支承，或者在該端部107的與對(duì)稱軸Z對(duì)應(yīng)的位置固定支承未圖示的支承臂。因此存在如下問(wèn)題在檢測(cè)臂103、105的檢測(cè)振動(dòng)的動(dòng)作中，不能說(shuō)有效利用了旋轉(zhuǎn)角速度產(chǎn)生的哥氏力，檢測(cè)臂103、105在YZ面內(nèi)的檢測(cè)振動(dòng)的共振尖銳度(Q值)很低，旋轉(zhuǎn)角速度的測(cè)定靈敏度降低。另一方面，關(guān)于旋轉(zhuǎn)角速度的檢測(cè)方法，不論是普通的具有縱置振子的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀還是有上述橫置振子的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，都是將哥氏力產(chǎn)生的與驅(qū)動(dòng)振動(dòng)模式不同的振子的振動(dòng)作為壓電陶瓷的變位用電測(cè)出，根據(jù)該輸出信號(hào)的振幅大小來(lái)測(cè)定旋轉(zhuǎn)角速度。但是，將由壓電性單晶構(gòu)成的振子水平橫置的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其結(jié)構(gòu)使旋轉(zhuǎn)角速度的靈敏度很低，所以存在的問(wèn)題是，若根據(jù)輸出信號(hào)振幅的大小來(lái)測(cè)定旋轉(zhuǎn)角速度，則檢測(cè)精度差。為了解決該電壓變動(dòng)或溫度變動(dòng)等外因引起的噪音問(wèn)題，對(duì)于縱置音片型振子，在日本發(fā)明專利公告1992年第14734號(hào)公報(bào)公開(kāi)了如下技術(shù)著眼于驅(qū)動(dòng)信號(hào)相位與輸出信號(hào)相位的相位差因哥氏力而變化這一點(diǎn)，根據(jù)該相位差的變化來(lái)測(cè)定旋轉(zhuǎn)角速度。但是，對(duì)于將由壓電性單晶構(gòu)成的振子水平橫置的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，即使應(yīng)用上述利用相位差變化檢測(cè)旋轉(zhuǎn)角速度的方法，在測(cè)定靈敏度方面及相位差與旋轉(zhuǎn)角速度的直線性方面，也不能獲得滿意的結(jié)果。本發(fā)明的課題在于，做到即使在將振子設(shè)置成振子的振動(dòng)臂相對(duì)轉(zhuǎn)軸在垂直方向延伸的情況下，不必從振子向轉(zhuǎn)軸方向設(shè)置一定重量的凸出部，也能以充分高的靈敏度檢測(cè)出旋轉(zhuǎn)角速度。此外，本發(fā)明的課題旨在提供可簡(jiǎn)化其結(jié)構(gòu)并在安裝時(shí)能橫置、可降低高度的振子、振子的調(diào)整方法及使用該振子的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀。此外，本發(fā)明的目的在于消除上述存在的問(wèn)題，提供能以高靈敏度測(cè)定旋轉(zhuǎn)角速度的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀。另外，本發(fā)明的課題旨在對(duì)使用水平橫置型的壓電性單晶構(gòu)成的振子的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，提供使旋轉(zhuǎn)角速度的檢測(cè)精度提高的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀。本發(fā)明第1狀況的振子特征在于，包括具有基部和從該基部起向與基部長(zhǎng)度方向交叉的方向延伸的至少一條彎曲振動(dòng)片的主臂，以及固定基部一個(gè)端部的固定部，基部和彎曲振動(dòng)片基本上在一定平面內(nèi)延伸。此外，本發(fā)明涉及一種檢測(cè)旋轉(zhuǎn)角速度用的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，具有所述振子、激勵(lì)振子在平面內(nèi)振動(dòng)用的激振裝置，以及當(dāng)振子在平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)時(shí)，對(duì)施加于振子的哥氏力導(dǎo)致的振子的彎曲振動(dòng)進(jìn)行檢測(cè)，并輸出與測(cè)出的彎曲振動(dòng)相應(yīng)的信號(hào)用的檢測(cè)裝置。若采用本發(fā)明，振子的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)及檢測(cè)用的振動(dòng)在一定平面內(nèi)進(jìn)行，且應(yīng)檢測(cè)的振動(dòng)使用彎曲振動(dòng)，因此，在將振子設(shè)置為振子的振動(dòng)臂相對(duì)轉(zhuǎn)軸在垂直方向延伸的情況下，不必從振子向轉(zhuǎn)軸方向設(shè)置一定重量的凸出部，就能以充分高的靈敏度檢測(cè)出旋轉(zhuǎn)角速度。在第1實(shí)施狀況的較佳狀況中，作為固定部使用兩端固定的固定片部，在該固定片部的一側(cè)設(shè)置主臂，在固定片部的另一側(cè)設(shè)置共振片，并使固定片部、主臂、所述共振片基本上在所述一定平面內(nèi)延伸。即，可以將激振裝置和彎曲振動(dòng)檢測(cè)裝置設(shè)置在中間夾著兩端固定的固定片部的位置。這樣，激振裝置與彎曲振動(dòng)檢測(cè)裝置之間就能防止電、機(jī)混雜之類的壞影響，故檢測(cè)精度進(jìn)一步提高。在上述結(jié)構(gòu)中，因?yàn)檎褡拥淖兾辉谝粋€(gè)平面內(nèi)，所以，主臂、共振臂、共振片及固定片部可以用相同的單晶例如水晶、LiTaO3單晶、LiNbO3單晶構(gòu)成。此時(shí)，可以使測(cè)定靈敏度良好。制作單晶薄板，并對(duì)該單晶薄板進(jìn)行蝕刻、磨削加工，即能制成整個(gè)振子?；颗c彎曲振動(dòng)片可以用不同構(gòu)件構(gòu)成，但一體構(gòu)成尤為適宜。此外，振子的材質(zhì)無(wú)特別的限定，但使用由水晶、LiTaO3、LiNbO3、鈮酸鋰-鉭酸鋰固熔體(Li(Nb，Ta)O3)單晶等構(gòu)成的單晶較宜。使用這樣的單晶，能使檢測(cè)靈敏度良好，并能減小檢測(cè)噪音。又因?yàn)閷?duì)溫度變化特別不敏感，所以，適宜于用作必須有溫度穩(wěn)定性的車輛用裝置。對(duì)于這一點(diǎn)作進(jìn)一步說(shuō)明。作為使用音叉型振子的角速度傳感器，例如有日本發(fā)明專利公開(kāi)1996年第128833號(hào)公報(bào)記載的壓電振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀。但是，在這樣的振子中，振子向兩個(gè)方向振動(dòng)。即，在圖1中，振子在X-Y平面內(nèi)振動(dòng)，與此同時(shí)，在Z方向也振動(dòng)。因此，尤其在振子如前所述用單晶形成時(shí)，必須使單晶的兩個(gè)方向的特性相一致。然而現(xiàn)實(shí)是，壓電單晶是各向異性的。一般在壓電振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀中，為了使測(cè)定靈敏度良好，要求在驅(qū)動(dòng)的振動(dòng)模式固有共振頻率與檢測(cè)的振動(dòng)模式固有共振頻率之間保持一定的振動(dòng)頻率差。但是，單晶具有各向異性，一旦結(jié)晶面變化，振動(dòng)頻率的溫度變化程度也異。例如，當(dāng)沿某一特定結(jié)晶面切斷時(shí)，振動(dòng)頻率隨溫度的變化幾乎不存在，但當(dāng)沿另一結(jié)晶面切斷時(shí)，振動(dòng)頻率就對(duì)溫度變化敏感地反應(yīng)。因此，當(dāng)振子向兩個(gè)方向振動(dòng)時(shí)，兩個(gè)振動(dòng)面中的至少一個(gè)面是振動(dòng)頻率的溫度變化大的結(jié)晶面。與此相比，通過(guò)如本發(fā)明那樣，使整個(gè)振子在一定平面內(nèi)振動(dòng)，且振子用壓電單晶形成，即能不受到如上所述的單晶各向異性的影響，在振子中僅利用單晶的特性最好的結(jié)晶面。具體地說(shuō)，因?yàn)檎褡拥恼駝?dòng)全部在單一平面內(nèi)進(jìn)行，所以，可以僅利用壓電單晶中振動(dòng)頻率幾乎不隨溫度而變化的結(jié)晶面來(lái)制造振子。因此，可以提供溫度穩(wěn)定性極高的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀。在上述單晶中，LiNbO3單晶、LiTaO3單晶、鈮酸鋰-鉭酸鋰固熔體單晶的電、機(jī)耦合系數(shù)特別大。此外，將LiNbO3單晶與LiTaO3單晶相比較，LiTaO3單晶比LiNbO3單晶的電、機(jī)耦合系數(shù)更大，且溫度穩(wěn)定性也更好。本發(fā)明第2狀況涉及的振子特征是，在上述振子中，主臂具有向與基部的長(zhǎng)度方向交錯(cuò)的方向延伸的一對(duì)所述彎曲振動(dòng)片及從各彎曲振動(dòng)片分別延伸出的音叉型振動(dòng)片，基部、彎曲振動(dòng)片及音叉型振動(dòng)片形成為基本上在一定平面內(nèi)延伸。在上述結(jié)構(gòu)中，因?yàn)檎褡拥淖兾辉谝粋€(gè)平面內(nèi)，所以，可以將音叉型振子和支承體用相同的單晶例如水晶、LiTaO3單晶、LiNbO3單晶、Li(Nb、Ta)O3單晶構(gòu)成。此時(shí)，因?yàn)槟苁箿y(cè)定靈敏度良好，且能用從單晶薄板進(jìn)行蝕刻等的晶片工藝(水晶時(shí))或用切削等的切出單晶方法(LiTaO3單晶、LiNbO3單晶等時(shí))來(lái)制造振子，故較佳。此外，本發(fā)明的振子的調(diào)整方法是上述結(jié)構(gòu)的振子的調(diào)整方法，其特征在于，使主臂彎曲振動(dòng)片的兩端在一定平面內(nèi)比音叉型振動(dòng)片的位置更向外伸出，并通過(guò)減少該伸出部分中的至少一方的伸出量，將所述音叉型振子的在一定平面內(nèi)的振動(dòng)的共振頻率與基部在一定平面內(nèi)的彎曲振動(dòng)的共振頻率調(diào)整為一定的關(guān)系。還有，本發(fā)明振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀是使用上述第2狀況振子來(lái)檢測(cè)旋轉(zhuǎn)角速度的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，具有激勵(lì)彎曲振動(dòng)片及音叉型振子使其在一定平面內(nèi)作振動(dòng)用的、設(shè)于音叉型振子的激振裝置，以及對(duì)基部出現(xiàn)的在一定平面內(nèi)的彎曲振動(dòng)進(jìn)行檢測(cè)并將測(cè)出的與彎曲振動(dòng)相應(yīng)的信號(hào)輸出用的、設(shè)于基部的彎曲振動(dòng)檢測(cè)裝置。另外，本發(fā)明的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀是使用上述第2狀況振子來(lái)檢測(cè)旋轉(zhuǎn)角速度的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，具有激勵(lì)基部使其在一定平面內(nèi)作彎曲運(yùn)動(dòng)用的、設(shè)于基部的激振裝置，以及對(duì)音叉型振動(dòng)片出現(xiàn)的在一定平面內(nèi)的振動(dòng)進(jìn)行檢測(cè)并將測(cè)出的與振動(dòng)相應(yīng)的振動(dòng)輸出用的、設(shè)于音叉型振動(dòng)片的振動(dòng)檢測(cè)裝置。本發(fā)明第3狀況涉及的振子特征是，在上述振子中，主臂具有向與基部的長(zhǎng)度方向交錯(cuò)的方向延伸的一對(duì)所述彎曲振動(dòng)片及從各彎曲振動(dòng)片分別延伸出的音叉型振動(dòng)片，在該主臂之外，還設(shè)有兩端被固定且固定著主臂基部的固定片部，以及在固定片部的與所述基部對(duì)應(yīng)位置的基部相反側(cè)所設(shè)的共振片，所述主臂、所述固定片部及所述共振片在一定平面內(nèi)延伸。當(dāng)力矩作用于彎曲振動(dòng)片的兩端時(shí)，即能使基部和共振部在一定平面內(nèi)產(chǎn)生以基部和共振部的與固定片部連接的連接部分為支點(diǎn)的彎曲運(yùn)動(dòng)。此外，本發(fā)明的振子調(diào)整方法是第3狀況振子的調(diào)整方法，其特征在于，通過(guò)減少設(shè)于彎曲振動(dòng)片兩端的伸出部分中的至少一方的伸出量，將彎曲振動(dòng)片及音叉型振動(dòng)片的在一定平面內(nèi)的共振頻率與基部和共振部的在一定平面內(nèi)的彎曲振動(dòng)的共振頻率調(diào)整為一定的關(guān)系。另外，本發(fā)明的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀是使用上述第3狀況振子來(lái)檢測(cè)旋轉(zhuǎn)角速度的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，具有激勵(lì)所述音叉型振動(dòng)片使其在所述一平面內(nèi)作振動(dòng)用的、設(shè)于音叉型振動(dòng)片的激振裝置，以及對(duì)所述共振片發(fā)生的在所述一平面內(nèi)的彎曲振動(dòng)進(jìn)行檢測(cè)，并將測(cè)出的與彎曲振動(dòng)相應(yīng)的振動(dòng)輸出用的、設(shè)于共振片的彎曲檢測(cè)裝置。還有，一種使用第3狀況振子來(lái)檢測(cè)旋轉(zhuǎn)角速度的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，具有激勵(lì)共振片使其在一定平面內(nèi)作彎曲運(yùn)動(dòng)用的、設(shè)于共振片的激振裝置，以及對(duì)音叉型振動(dòng)片發(fā)生的在一定平面內(nèi)的振動(dòng)進(jìn)行檢測(cè)并將測(cè)出的與振動(dòng)相應(yīng)的振動(dòng)輸出用的、設(shè)于音叉型振動(dòng)片的振動(dòng)檢測(cè)裝置。上述振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀不論哪一種，與現(xiàn)有的無(wú)共振片的振子相比較，都能將激振裝置與彎曲檢測(cè)裝置或振動(dòng)檢測(cè)裝置設(shè)置在振子上分離的位置。因此，可以防止激振裝置與彎曲檢測(cè)裝置或振動(dòng)檢測(cè)裝置之間的電、機(jī)耦合之類的壞影響，故檢測(cè)精度進(jìn)一步提高。本發(fā)明第4狀況涉及的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀是使用上述振子中的任一種來(lái)檢測(cè)旋轉(zhuǎn)角速度的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，具有驅(qū)使作驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置，以及對(duì)伴隨驅(qū)動(dòng)裝置產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)而發(fā)生的、驅(qū)動(dòng)模式與驅(qū)動(dòng)振動(dòng)不同的振動(dòng)狀態(tài)進(jìn)行檢測(cè)的檢測(cè)裝置，還具有相位差檢測(cè)裝置，當(dāng)將發(fā)生驅(qū)動(dòng)振動(dòng)用的電信號(hào)作為參照信號(hào)，用檢測(cè)裝置將伴隨驅(qū)動(dòng)振動(dòng)發(fā)生的、振動(dòng)模式與驅(qū)動(dòng)振動(dòng)不同的振動(dòng)作為電信號(hào)取出，并將該電信號(hào)作為輸出信號(hào)時(shí)，該相位檢測(cè)裝置對(duì)參照信號(hào)與輸出信號(hào)的相位差進(jìn)行檢測(cè)，并根據(jù)由相位差檢測(cè)裝置測(cè)出的相位差的變化來(lái)測(cè)出角速度。本發(fā)明涉及一種振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，該振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀是由將水平面內(nèi)振動(dòng)作為驅(qū)動(dòng)振動(dòng)使用的、使用壓電性單晶構(gòu)成的振子構(gòu)成的，本發(fā)明的依據(jù)在于發(fā)現(xiàn)通過(guò)求出基于驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的參照信號(hào)與基于檢測(cè)振動(dòng)的輸出信號(hào)之間的相位差，再根據(jù)求出的相位差的變化來(lái)測(cè)出旋轉(zhuǎn)角速度，能提高旋轉(zhuǎn)角速度的檢測(cè)精度。即，如使用水平橫置振子的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀那樣，即使是哥氏力引起的振子的振動(dòng)小、靈敏度低的回轉(zhuǎn)儀，通過(guò)使用振子材質(zhì)本身的Q高的壓電性單晶，例如水晶、LiNbO3單晶或LiTaO3單晶，即能提高應(yīng)檢測(cè)回轉(zhuǎn)信號(hào)對(duì)因電壓變動(dòng)及溫度變動(dòng)等外因引起的噪音的S/N比。其結(jié)果，對(duì)于加工精度等引起的稱為漏信號(hào)的雜散振動(dòng)導(dǎo)致的信號(hào)振幅比原來(lái)的回轉(zhuǎn)信號(hào)振幅大6倍以上的區(qū)域，可在檢測(cè)靈敏度低但相位差的變化與旋轉(zhuǎn)角速度的直線性良好的區(qū)域檢測(cè)旋轉(zhuǎn)角速度。因此，能提高檢測(cè)精度。本發(fā)明第5實(shí)施狀況是一種所述振子，其特征在于，振子是壓電單晶構(gòu)成的板狀振子，在振子的一側(cè)主面與另一側(cè)主面之間，設(shè)有由壓電單晶構(gòu)成的多層層狀部分，且各層狀部分中的極化軸方向互不相同。此外，本發(fā)明涉及一種振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，具有所述振子、設(shè)于一主面上的一側(cè)電極、設(shè)于另一主面上且與上述一側(cè)電極相對(duì)的另一側(cè)電極。此外，本發(fā)明涉及一種使所述振子向與振子的中心面交錯(cuò)的方向振動(dòng)的方法，其特征在于，在一主面上設(shè)置一側(cè)電極，在另一主面上設(shè)置與上述一側(cè)電極相對(duì)的另一側(cè)電極，并對(duì)所述一側(cè)電極和另一側(cè)電極施加極性互不相同的交流電壓。此外，本發(fā)明涉及一種對(duì)上述振子振動(dòng)的檢測(cè)方法，其特征在于，在一主面上設(shè)置一側(cè)電極，在另一主面上設(shè)置與上述電極相對(duì)的另一側(cè)電極，用電壓檢測(cè)機(jī)構(gòu)連接上述一側(cè)電極和另一側(cè)電極，并使振子向著與一主面及另一主面交叉的方向振動(dòng)，從而對(duì)在所述一側(cè)電極與另一側(cè)電極之間發(fā)生的交流電壓進(jìn)行檢測(cè)。若采用本發(fā)明第5狀況的振子及振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，通過(guò)在振子的一對(duì)相互對(duì)置的主面上形成電極并對(duì)該電極施加交流電壓，即能使振子向與主面交錯(cuò)的方向、最好是正交的方向作彎曲振動(dòng)。而且，在激勵(lì)作彎曲振動(dòng)的過(guò)程，振子內(nèi)部被施加均勻的電場(chǎng)。因此，在振子內(nèi)部不會(huì)發(fā)生局部電場(chǎng)不均勻及因電場(chǎng)不均勻引起的內(nèi)部應(yīng)力。在本發(fā)明的較佳狀況下，各層狀部分由壓電單晶構(gòu)成且極化軸方向互不相同的板狀體構(gòu)成，且這些板狀體接合而構(gòu)成各層狀部分。尤其在本發(fā)明較佳狀況下，至少一主面?zhèn)鹊囊粋€(gè)層狀部分中的極化軸的方向與另一主面?zhèn)鹊牧硪粚訝畈糠种械臉O化軸的方向是相反方向。振子的材質(zhì)無(wú)特別限定，但以水晶、鈮酸鋰、鉭酸鋰、鈮酸鋰-鉭酸鋰固熔體、LGS(langasiteLa3Ga5SiO14)、焦硼酸鋰尤為理想，而鈮酸鋰、鉭酸鋰、鈮酸鋰-鉭酸鋰固熔體或LGS更為理想。水晶、LiNbO3單晶、LiTaO3單晶、Li(Nb、Ta)O3單晶的電、機(jī)耦合系數(shù)特別大。此外，若將LiNbO3單晶與LiTaO3單晶相比較，則LiTaO3單晶比LiNbO3單晶的電、機(jī)耦合系數(shù)更大，且溫度穩(wěn)定性也更好。此外，其例還可列出鈦酸鋯酸鉛(PZT)、松弛劑化合物(relaxercompounds，其一般式為Pb(A1/3B2/3)O3，在此，A為Cd、Zn、Mg等，B為Nb、Ta、W等)、鈦酸鋯酸鉛與松弛劑化合物的混晶系壓電單晶、LGS及焦硼酸鋰。本發(fā)明第6狀況的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其所使用的振子由多個(gè)臂及連接多個(gè)臂的基部組成，對(duì)臂施加在一定面內(nèi)的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)，根據(jù)與施加的旋轉(zhuǎn)角速度對(duì)應(yīng)的檢測(cè)振動(dòng)來(lái)求出旋轉(zhuǎn)角速度，其特征在于，在檢測(cè)振動(dòng)最小區(qū)域所在的小區(qū)域內(nèi)支承振子。在本發(fā)明中，支承振子時(shí)，通過(guò)在檢測(cè)振動(dòng)最小區(qū)域所在的小區(qū)域支承振子，能將振子的動(dòng)作最小區(qū)域固定。因此，利用哥氏力能有效產(chǎn)生檢測(cè)振動(dòng)，檢測(cè)振動(dòng)的Q值高，可提高靈敏度。因?yàn)楦缡狭Ξa(chǎn)生的檢測(cè)振動(dòng)的振幅小，故本發(fā)明對(duì)提高靈敏度特別有效。此外，作為理想狀況，若在檢測(cè)振動(dòng)最小區(qū)域所在的小區(qū)域與驅(qū)動(dòng)振動(dòng)最小區(qū)域所在的小區(qū)域重疊的區(qū)域進(jìn)行振子的支承，則不僅檢測(cè)振動(dòng)而且驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的Q值也高，可以進(jìn)一步提高靈敏度，故十分理想。還有，作為振子的材質(zhì)，采用壓電陶瓷、水晶、LiTaO3單晶、LiNbO3單晶等的壓電材料為宜，其中，采用水晶、LiTaO3單晶、LiNbO3單晶等的單晶更為理想。這是因?yàn)椋瑔尉П旧淼母逹值能有效利用的緣故。又，在本發(fā)明中，所謂檢測(cè)振動(dòng)或驅(qū)動(dòng)振動(dòng)最小區(qū)域所在的小區(qū)域，是指檢測(cè)振動(dòng)時(shí)或驅(qū)動(dòng)振動(dòng)時(shí)振動(dòng)振幅為振子的最大振動(dòng)振幅點(diǎn)的千分之一以下范圍內(nèi)的區(qū)域。本發(fā)明第7狀況的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀是具有壓電體構(gòu)成的臂的振子的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，在所述臂上設(shè)置中空部，在該臂的夾著中空部的部分分別設(shè)置一對(duì)電極。在本發(fā)明中，因?yàn)樵诒凵显O(shè)置中空部，并在該臂的夾著中空部的部分分別設(shè)置一對(duì)電極，所以，即使存在從其中一對(duì)電極流向另一對(duì)電極的電場(chǎng)，也因?yàn)樵谠摬糠植淮嬖趬弘婓w，故不會(huì)產(chǎn)生不必要的變位。因此，能消除噪音，進(jìn)行高精度的角速度檢測(cè)。中空部的大小無(wú)特別限定，但若中空部具有超過(guò)電極長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)度的大小，則即使存在電場(chǎng)泄漏，也因?yàn)楦静淮嬖诋a(chǎn)生變位的壓電體，故完全不會(huì)發(fā)生臂的不必要變位，十分理想。另外，因?yàn)楸仨毰c電極對(duì)應(yīng)地設(shè)置中空部，越接近各臂的基部臂的彎曲越大，對(duì)于必須將電極設(shè)置在臂的基部起1/3-2/3位置的本發(fā)明臂，將中空部設(shè)置在臂的基部起1/3-2/3的位置較理想。再有，若壓電體是鉭酸鋰(LiTaO3)的130°Y板，則因?yàn)樵诒景l(fā)明中成問(wèn)題的漏電場(chǎng)的影響很大，故設(shè)置本發(fā)明中空部的效果很大，十分理想。上述各狀況的振子其主面的平面度最好為100μm以下。此外，基部與彎曲振動(dòng)邊所成的角度最好為45°以上。附圖的簡(jiǎn)單說(shuō)明。圖1是示出傳統(tǒng)振子形態(tài)的立體圖。圖2是示出傳統(tǒng)振子形態(tài)的立體圖。圖3-圖23是本發(fā)明第1狀況涉及的圖。圖3是本發(fā)明一實(shí)施例形態(tài)涉及的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的主視圖。圖4(a)是說(shuō)明直線狀振子的振動(dòng)方向用的主視圖。圖4(b)是說(shuō)明圖3中的振子的驅(qū)動(dòng)方向用的主視圖。圖5(a)、(b)、(c)是說(shuō)明圖3中的振子各部分振動(dòng)方向和振動(dòng)原理用的模式圖。圖6是使用固定片部的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的主視圖。圖7是使用固定片部的其他振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的主視圖。圖8是使用固定片部的另一振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的主視圖。圖9是示出各彎曲振動(dòng)片與基部不垂直的振子的主視圖。圖10是示出各彎曲振動(dòng)片呈彎曲形狀的振子的主視圖。圖11是具有從彎曲振動(dòng)片向外凸出的凸出部分35的振子的主視圖。圖12是概略示出使用具有主臂101F和一對(duì)共振臂的振子的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的立體圖。圖13(a)是示出圖11中的振子的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)形態(tài)的線圖。圖13(b)、圖13(c)是示出圖11中的振子的檢測(cè)振動(dòng)形態(tài)的線圖。圖14是概略示出使用主臂101G和一對(duì)共振臂的振子的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的立體圖。圖15是概略示出具有主臂101H和一對(duì)共振臂且各共振臂兩側(cè)的尺寸不同的回轉(zhuǎn)儀的立體圖。圖16是圖15中的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的立體圖。圖17是示出圖15、圖16中的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的尺寸a和驅(qū)動(dòng)振動(dòng)及寄生振動(dòng)的固有頻率的變化的圖表。圖18是概略示出具有主臂101I和一對(duì)共振臂且主臂上的電壓施加方向與各共振臂上的電壓施加方向成120°的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的立體圖。圖19是概略示出具有主臂101J和一對(duì)共振臂且主臂上的電壓施加方向與各共振臂上的電壓施加方向成120°的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的立體圖。圖20是概略示出具有主臂101N和一對(duì)共振臂且主臂上的電壓施加方向及各共振臂上的電壓施加方向與a軸成15°的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的立體圖。圖21是將采用具有主臂101K和一對(duì)共振臂且彎曲振動(dòng)片和共振臂上設(shè)有通孔的振子的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀概略示出的立體圖。圖22是將采用具有主臂101L和一對(duì)共振臂且彎曲振動(dòng)片和共振臂上設(shè)有通孔的振子的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀概略示出的立體圖。圖23是將采用具有固定片部12、主臂101L、一對(duì)共振臂92A、92B、共振片103及一對(duì)第2共振臂97A、97B的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀概略示出的立體圖。圖24-圖27是本發(fā)明第2狀況涉及的圖。圖24是示出本發(fā)明振子之一例結(jié)構(gòu)的圖。圖25是示出本發(fā)明振子其他例結(jié)構(gòu)的圖。圖26是示出本發(fā)明振子的另一例結(jié)構(gòu)的圖。圖27是示出本發(fā)明振子的又一例結(jié)構(gòu)的圖。圖28-圖34是本發(fā)明第3狀況涉及的圖。圖28是示出本發(fā)明振子之一例結(jié)構(gòu)的圖。圖29是說(shuō)明本發(fā)明振子的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)及檢測(cè)振動(dòng)用的圖。圖30是示出本發(fā)明振子其他例結(jié)構(gòu)的圖。圖31是示出本發(fā)明振子另一例結(jié)構(gòu)的圖。圖32是示出本發(fā)明振子又一例結(jié)構(gòu)的圖。圖33是示出本發(fā)明振子再一例結(jié)構(gòu)的圖。圖34是示出本發(fā)明振子還一例結(jié)構(gòu)的圖。圖35-圖43是本發(fā)明第4狀況涉及的圖。圖35是示出本發(fā)明所使用振子之一例結(jié)構(gòu)的圖。圖36是示出本發(fā)明所使用振子另一例結(jié)構(gòu)的圖。圖37是示出本發(fā)明所使用振子又一例結(jié)構(gòu)的圖。圖38是示出本發(fā)明所使用振子再一例結(jié)構(gòu)的圖。圖39是示出本發(fā)明振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀中的相位差檢測(cè)裝置之一例的方框圖。圖40是示出在本發(fā)明中當(dāng)漏信號(hào)與回轉(zhuǎn)信號(hào)為一定關(guān)系時(shí)相位差與旋轉(zhuǎn)角速度間關(guān)系之一例的圖表。圖41是示出在本發(fā)明中當(dāng)漏信號(hào)與回轉(zhuǎn)信號(hào)為一定關(guān)系時(shí)相位差與旋轉(zhuǎn)角速度間關(guān)系之另一例的圖表。圖42是示出在本發(fā)明中當(dāng)漏信號(hào)與回轉(zhuǎn)信號(hào)為一定關(guān)系時(shí)相位差與旋轉(zhuǎn)角速度間關(guān)系之又一例的圖表。圖43是示出本發(fā)明中的直線性與漏信號(hào)和回轉(zhuǎn)信號(hào)之比的關(guān)系的圖表。圖44-圖59是涉及本發(fā)明第5狀況的圖。圖44是本發(fā)明人研究的音叉型振子的立體圖。圖45(a)是說(shuō)明對(duì)各振動(dòng)臂激勵(lì)振動(dòng)的方法用的俯視圖。圖45(b)是從X軸的方向看到的各振動(dòng)臂的主視圖。圖46是示出本發(fā)明一實(shí)施形態(tài)涉及的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的振子156的立體圖。圖47(a)是說(shuō)明對(duì)本發(fā)明一實(shí)施形態(tài)中的振子的面垂直振動(dòng)臂激勵(lì)振動(dòng)的方法用的俯視圖。圖47(b)是從X軸的方向看到的振動(dòng)臂的主視圖。圖48是示出被面內(nèi)振動(dòng)臂激勵(lì)的面內(nèi)振動(dòng)用的模式性平面圖。圖49(a)是說(shuō)明對(duì)本發(fā)明另一實(shí)施形態(tài)中的振子的面垂直振動(dòng)臂激勵(lì)振動(dòng)的方法用的俯視圖。圖49(b)是從X軸的方向看到的面垂直振動(dòng)臂的主視圖。圖50(a)是說(shuō)明對(duì)本發(fā)明又一實(shí)施形態(tài)中的振子的面垂直振動(dòng)臂激勵(lì)振動(dòng)的方法用的俯視圖。圖50(b)是從X軸的方向看到的面垂直振動(dòng)臂的主視圖。圖51是示出本發(fā)明涉及的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的3根音叉型振子的立體圖。圖52是示出本發(fā)明其他實(shí)施形態(tài)涉及的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的3根音叉型振子的立體圖。圖53是示出本發(fā)明另一實(shí)施形態(tài)涉及的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的3根音叉型振子的立體圖。圖54(a)、圖54(b)及圖54(c)分別是示出基材185A、185B、185C的立體圖。圖55是示出本發(fā)明又一實(shí)施形態(tài)涉及的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的3根音叉型振子的立體圖。圖56是模式性示出面垂直振動(dòng)臂188A、188B形態(tài)的俯視圖。圖57是模式性示出面內(nèi)振動(dòng)臂形態(tài)的俯視圖。圖58是模式性示出其他實(shí)施形態(tài)中的面垂直振動(dòng)臂形態(tài)的俯視圖。圖59是模式性示出其他實(shí)施形態(tài)中的面內(nèi)振動(dòng)臂形態(tài)的俯視圖。圖60-圖67是涉及本發(fā)明第6狀況的圖。圖60(a)、圖60(b)、圖60(c)分別是示出本發(fā)明振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的振子之一例結(jié)構(gòu)的圖。圖61(a)、圖61(b)分別是說(shuō)明本發(fā)明振子支承方法之一例用的圖。圖62是示出對(duì)音叉型振子用有限元法進(jìn)行固有振動(dòng)模式解析的結(jié)果之一例的圖。圖63是示出對(duì)音叉型振子用有限元法進(jìn)行固有振動(dòng)模式解析的結(jié)果之另一例的圖。圖64是示出對(duì)具有T型臂的振子用有限元法進(jìn)行固有振動(dòng)模式解析的結(jié)果之一例的圖。圖65是示出對(duì)具有Y型臂的振子用有限元法進(jìn)行固有振動(dòng)模式解析的結(jié)果之一例的圖。圖66是示出對(duì)具有Y型相對(duì)臂的振子用有限元法進(jìn)行固有振動(dòng)模式解析的結(jié)果之一例的圖。圖67是示出對(duì)具有Y型相對(duì)臂的振子用有限元法進(jìn)行固有振動(dòng)模式解析的結(jié)果之另一例的圖。圖68-圖74是本發(fā)明第7狀況涉及的圖。圖68是示出傳統(tǒng)振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀之一例結(jié)構(gòu)的圖。圖69是圖68所示傳統(tǒng)例中的振動(dòng)臂之一例結(jié)構(gòu)的圖。圖70是說(shuō)明圖68所示傳統(tǒng)例中的振動(dòng)臂存在問(wèn)題用的圖。圖71是示出本發(fā)明振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀之一例結(jié)構(gòu)的圖。圖72是示出圖71所示例中的振動(dòng)臂之一例結(jié)構(gòu)的圖。圖73是示出本發(fā)明振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀其他例結(jié)構(gòu)的圖。圖74是示出圖73所示例中的振動(dòng)臂之一例結(jié)構(gòu)的圖。圖75是本發(fā)明一實(shí)施形態(tài)涉及的振子的主視圖。以下參照附圖進(jìn)一步說(shuō)明本發(fā)明第1狀況的較佳實(shí)施形態(tài)。圖3是示出本發(fā)明一實(shí)施形態(tài)涉及的振子的主視圖，圖4(a)是說(shuō)明直線狀振子的振動(dòng)方向用的主視圖，圖4(b)是說(shuō)明圖3中的振子的驅(qū)動(dòng)方向用的主視圖，圖5(a)、(b)、(c)是說(shuō)明圖3中的振子各部分振動(dòng)方向和振動(dòng)原理用的模式圖。圖3中的振子2的主臂101A的基部3從固定部1向外垂直延伸，基部3的一個(gè)端部3a固定在固定部1上。在基部3內(nèi)設(shè)有規(guī)定的激振裝置5A、5B。基部3的另一端部3b側(cè)設(shè)有向與基部3垂直方向延伸的兩條彎曲振動(dòng)片4A、4B。現(xiàn)對(duì)該振子2的振動(dòng)模式進(jìn)行說(shuō)明。如圖5(a)模式性所示，對(duì)激振裝置5A、5B施加驅(qū)動(dòng)電壓，使基部3以與固定件1的連接部分26為中心向箭頭H所示方向彎曲。隨著該彎曲，不僅振子2的基部3，而且各彎曲振動(dòng)片4A、4B的各個(gè)點(diǎn)也如箭頭I所示那樣移動(dòng)。設(shè)該移動(dòng)的速度矢量為V。在本實(shí)施形態(tài)中，將Z軸作為轉(zhuǎn)軸，使振子2以Z軸為中心作旋轉(zhuǎn)。例如，當(dāng)振子2向箭頭H方向變位時(shí)，若如w所示整個(gè)振子2以Z軸為中心作旋轉(zhuǎn)，則如箭頭J所示哥氏力起作用。其結(jié)果，如圖5(b)所示，各彎曲振動(dòng)片4A、4B分別以與基部3的另一端部3b的連接部分25為中心向箭頭J方向彎曲。與此相反，當(dāng)如圖5(c)所示將基部3向箭頭K所示方向驅(qū)動(dòng)時(shí)，若如w所示整個(gè)振子2以Z軸為中心作旋轉(zhuǎn)，則如箭頭L所示哥氏力起作用。其結(jié)果，各彎曲振動(dòng)片4A、4B分別以與基部3的另一端部3b的連接部分25為中心向箭頭L方向彎曲。因此，能使各彎曲振動(dòng)片4A、4B如箭頭A、B所示作振動(dòng)。這樣，通過(guò)基部3的彎曲振動(dòng)，各彎曲振動(dòng)片4A、4B將在X-Y平面內(nèi)產(chǎn)生的哥氏力變換成以與各彎曲振動(dòng)片4A、4B的連接部分25為中心的彎曲振動(dòng)，即能根據(jù)該彎曲振動(dòng)求出旋轉(zhuǎn)角速度。因此，即使將振子相對(duì)轉(zhuǎn)軸Z垂直配置(橫置)，也能高靈敏度地測(cè)出旋轉(zhuǎn)角速度。又，對(duì)圖3和圖5所示的振子2的檢測(cè)靈敏度進(jìn)一步進(jìn)行說(shuō)明。本發(fā)明人如圖4(a)所示，使用細(xì)長(zhǎng)棒狀的振子8A、8B，將振子8B設(shè)置在X-Y平面內(nèi)并使其伸縮。但8A表示振子為伸展?fàn)顟B(tài)，8B表示振子為收縮狀態(tài)。現(xiàn)在考慮振子如箭頭E所示從8B狀態(tài)開(kāi)始向8A狀態(tài)伸展的瞬間。若使振子8B以Z軸為中心旋轉(zhuǎn)，則如箭頭F所示，受到哥氏力的作用。但是，因?yàn)檫@樣的壓電體的縱向振動(dòng)引起的變位小，共振頻率低，故不能提高靈敏度。與此相比較，在本發(fā)明中，如圖4(b)所示，使基部3如箭頭G所示作振動(dòng)，因此而使彎曲振動(dòng)片4A、4B如箭頭D所示作振動(dòng)。因此，可獲得比圖4(a)時(shí)遠(yuǎn)大得多的振幅和振動(dòng)速度，可加大哥氏力。另外，當(dāng)使用圖3、圖5所示的振子時(shí)，對(duì)各彎曲振動(dòng)片4A、4B可激勵(lì)如箭頭A、B所示的彎曲振動(dòng)。若振子2在X-Y平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)，各彎曲振動(dòng)片即受到哥氏力的作用，而且各彎曲振動(dòng)片的哥氏力對(duì)基部3起作用。因此，基部3以連接部分26為中心如箭頭G所示作彎曲振動(dòng)。檢測(cè)該基部3的彎曲振動(dòng)，即能輸出與測(cè)出的彎曲振動(dòng)相應(yīng)的信號(hào)。當(dāng)用壓電單晶形成振子時(shí)，使用電極作為激振裝置、檢測(cè)裝置5A、5B、6A、6B、6C、6D。但是，振子可用彈性材料形成，此時(shí)，作為激振裝置、檢測(cè)裝置5A、5B、6A、6B、6C、6D，可以使用設(shè)有電極的壓電體。此外，若有激振裝置(或檢測(cè)裝置)5A、5B之一，則至少可進(jìn)行激振或檢測(cè)。此外，若有激振裝置(或檢測(cè)裝置)6A、6B、6C、6D中的一種，則至少可進(jìn)行激振(或檢測(cè))。在圖6-圖8所示各實(shí)施形態(tài)中，在兩端固定的固定片部的其中一側(cè)設(shè)置主臂，在固定片部的另一側(cè)設(shè)置共振片，并設(shè)置成固定片部、主臂及共振片基本上在一定平面內(nèi)延伸。在圖6所示的實(shí)施形態(tài)中，通過(guò)固定片部12將激振裝置側(cè)與檢測(cè)裝置側(cè)相分離。具體是，固定片部12的兩端由固定部件11固定。在固定片部12的一側(cè)設(shè)有主臂101B。主臂101B具有細(xì)長(zhǎng)的基部16及從基部16向與基部16的長(zhǎng)度方向正交的方向延伸的兩根彎曲振動(dòng)片4A、4B。在固定片部12的另一側(cè)設(shè)有共振片32。共振片32具有從固定片部12向垂直方向延伸的長(zhǎng)方形的支承部13，在支承部13內(nèi)設(shè)有規(guī)定的激振裝置5A、5B。在支承部13的另一端部13b側(cè)，設(shè)有向與支承部13垂直的方向延伸的兩根振動(dòng)片15A、15B?；?6的端部16a和共振片13的端部13a是與固定片部12相連的。這樣，固定片部12的兩側(cè)大致呈軸對(duì)稱的形狀。在此說(shuō)明該振子10的振動(dòng)模式。對(duì)激振裝置5A、5B施加驅(qū)動(dòng)電壓，使共振片13和一對(duì)振動(dòng)片15A、15B以與固定片部12的連接部分27為中心如箭頭M所示作振動(dòng)。由于對(duì)該振動(dòng)的共振，基部16及一對(duì)彎曲振動(dòng)片4A、4B分別以連接部分25為中心如箭頭A、B所示作振動(dòng)。這樣，由于共振片32的彎曲振動(dòng)，在各彎曲振動(dòng)片4A、4B內(nèi)，將在X-Y平面內(nèi)產(chǎn)生的哥氏力變換成以各彎曲振動(dòng)片4A、4B的連接部分25為中心的彎曲振動(dòng)，可以從該彎曲振動(dòng)求出旋轉(zhuǎn)角速度。因此，即使將振子相對(duì)轉(zhuǎn)軸Z垂直配置(橫置)，也能以高靈敏度測(cè)出旋轉(zhuǎn)角速度。又在圖6所示的實(shí)施形態(tài)中，振子10將共振片32的形態(tài)與主臂101B的形態(tài)做成相對(duì)固定片部12軸對(duì)稱，因此，使共振片與主臂的各振動(dòng)模式的固有共振頻率相匹配。但是，并沒(méi)有必要使共振片32側(cè)的形態(tài)與主臂形態(tài)相對(duì)固定片部12軸對(duì)稱。在圖7所示的振子20中，基部16、由一對(duì)彎曲振動(dòng)片4A、4B構(gòu)成的主臂101B的形態(tài)及固定片部12的形態(tài)與圖4所示的相同，故省略對(duì)其的說(shuō)明。從固定片部12向垂直方向延伸出細(xì)長(zhǎng)長(zhǎng)方形的共振片21。在共振片21的靠近固定片部12側(cè)的端部21a設(shè)有激振裝置5A、5B。對(duì)激振裝置5A、5B施加驅(qū)動(dòng)電壓，使共振片21以與固定片部12的連接部分27為中心如箭頭M所示作振動(dòng)。由于該振動(dòng)的共振，基部16和一對(duì)彎曲振動(dòng)片4A、4B以與固定部件11的連接部分26為中心如箭頭D所示作振動(dòng)。這樣，由于將共振片21做成細(xì)長(zhǎng)的長(zhǎng)方形，與圖6所示的實(shí)施形態(tài)相比較，整個(gè)振子的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化。但是，需要進(jìn)行調(diào)整，使兩側(cè)的力矩大小大致相同，以便固定片部12的激振側(cè)振動(dòng)頻率與檢測(cè)側(cè)的振動(dòng)頻率之差不增大。從該觀點(diǎn)出發(fā)，將圖7中的共振片21與圖6中的共振片32相比較，則在圖7中，不存在振動(dòng)片15A、15B，不存在它們的質(zhì)量。因此，需要使共振片21頂端部21b從固定片部12向外伸出的伸出尺寸比共振片32從固定片部12向外伸出的伸出部分的尺寸大，即需要使共振片21的質(zhì)量比支承部13的質(zhì)量大。因此，共振片21的從固定片部12向外伸出的伸出尺寸有增加的傾向。圖8所示振子的基部16、一對(duì)彎曲振動(dòng)片4A、4B構(gòu)成的主臂101B的形態(tài)及固定片部12的形態(tài)與圖4所示的相同，故省略對(duì)其說(shuō)明。在固定片部設(shè)有共振片31。共振片31有從固定片部12向垂直方向延伸的長(zhǎng)方形支承部30，在支承部30設(shè)有激振裝置5A、5B。在支承部30的頂端側(cè)形成有橫向?qū)挻蟮拈L(zhǎng)方形擴(kuò)張部23。對(duì)5A、5AB施加驅(qū)動(dòng)電壓，使共振片31以與固定片部2的連接部分27為中心如箭頭M所示作振動(dòng)。由于對(duì)該振動(dòng)的共振，基部16及一對(duì)彎曲振動(dòng)片4A、4B以與固定部件11的連接部分26為中心，如箭頭D所示作振動(dòng)。這樣，通過(guò)在共振片31內(nèi)設(shè)置擴(kuò)張部23，能減少共振片31從固定片部12向外伸出的尺寸，且可使共振片31的振動(dòng)頻率與基部16及彎曲振動(dòng)片4A、4B側(cè)的振動(dòng)頻率接近。本發(fā)明的各振子中的彎曲振動(dòng)片的長(zhǎng)度方向與基部的長(zhǎng)度方向未必一定要是成直角的。另外，彎曲振動(dòng)片的形狀可以是直線狀的，也可以是曲線狀的。但，當(dāng)設(shè)置一對(duì)彎曲振動(dòng)片時(shí)，兩者最好相對(duì)基部相互軸對(duì)稱。圖9所示的振子40的主臂101C的各彎曲振動(dòng)片33A、B相對(duì)基部3的延伸方向以一定角度θ交叉。交叉角度θ不是直角，但以45°-135°為宜，70°-100°更好。由此，各彎曲振動(dòng)片33A、33B的振動(dòng)N、P的振動(dòng)模式的固有共振頻率與圖3所示振子的彎曲振動(dòng)片的振動(dòng)模式的固有共振頻率相比有稍許變化。圖10所示振子41的主臂101D，其各彎曲振動(dòng)片34A、34B呈稍許彎曲的弧狀。因此，各彎曲振動(dòng)片34A、34B的振動(dòng)Q、R的振動(dòng)模式的固有共振頻率與圖3、圖9所示的振動(dòng)相比有一些變化。圖9、圖10所示的形態(tài)在圖6、圖7、圖8所示的振子中也可以采用。一般在壓電振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀中，為了使測(cè)定靈敏度良好，要求驅(qū)動(dòng)的振動(dòng)模式的固有共振頻率與檢測(cè)的振動(dòng)模式的固有共振頻率之間保持一定的振動(dòng)頻率差。在本發(fā)明的各振子中，若基部振動(dòng)模式的固有共振頻率與彎曲振動(dòng)片振動(dòng)模式的固有共振頻率接近，靈敏度良好但響應(yīng)速度惡化。若基部振動(dòng)模式的固有共振頻率與彎曲振動(dòng)片振動(dòng)模式的固有共振頻率之差增大，則響應(yīng)速度良好但靈敏度惡化。因此，可以通過(guò)減除彎曲振動(dòng)片頂端側(cè)的質(zhì)量來(lái)改變彎曲振動(dòng)片的振動(dòng)模式的固有共振頻率。此外，通過(guò)在與基部的固定端部相反的一側(cè)設(shè)置從彎曲振動(dòng)片向外凸出的凸出部并減除該凸出部的質(zhì)量，能改變基部振動(dòng)模式的固有共振頻率。例如，圖11所示的振子42的主臂101E，在基部3的另一端部3b一側(cè)，設(shè)有從彎曲振動(dòng)片4A、4B向外凸出的凸出部35。這樣，通過(guò)進(jìn)行加工從凸出部35的一部分37減除質(zhì)量，即能改變基部振動(dòng)D的振動(dòng)模式的固有共振頻率。另外，通過(guò)進(jìn)行從各彎曲振動(dòng)片4A、4B的各頂端側(cè)的36A、36B減除質(zhì)量的加工，即能使各彎曲振動(dòng)片的振動(dòng)A、B的振動(dòng)模式的固有共振頻率分別獨(dú)立發(fā)生變化。該減除加工可通過(guò)激光照射或機(jī)械加工來(lái)實(shí)施。以下敘述具有共振臂的本發(fā)明振子的狀況，該振子具有從固定部向外伸出的、對(duì)基部的振動(dòng)發(fā)生共振的至少一對(duì)共振片。如圖3-圖11所示，利用主臂或其共振片的彎曲振動(dòng)片的彎曲振動(dòng)的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，當(dāng)采用相對(duì)旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)垂直延伸的振子時(shí)，能達(dá)到以往達(dá)不到的高靈敏度。但是，本發(fā)明人進(jìn)一步研究卻發(fā)現(xiàn)，還存在如下問(wèn)題。即發(fā)現(xiàn)，因?yàn)橛蓮澢駝?dòng)片與基部組成的主臂呈從固定部向外伸出的形態(tài)，所以，例如當(dāng)以彎曲振動(dòng)片的彎曲振動(dòng)為驅(qū)動(dòng)振動(dòng)，對(duì)以基部的固定部為中心的彎曲振動(dòng)進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，基部的振動(dòng)比較容易早期衰減，因此，該檢測(cè)振動(dòng)的Q值尚還有改善的余地。本發(fā)明人為了解決該問(wèn)題進(jìn)行研究，結(jié)果想到了，至少與基部一起從固定部向外伸出一對(duì)共振臂，使共振臂相對(duì)基部振動(dòng)發(fā)生共振。此時(shí)，共振臂及基部的振動(dòng)也可以作為驅(qū)動(dòng)振動(dòng)使用，但將共振臂及基部的振動(dòng)作為檢測(cè)振動(dòng)使用更合適。這是因?yàn)槌袚?dān)回轉(zhuǎn)信號(hào)的檢測(cè)振動(dòng)一方與驅(qū)動(dòng)振動(dòng)相比，振幅遠(yuǎn)遠(yuǎn)小得多，所以Q值的改善效果非常大。圖12-圖14示出了該狀況涉及的各實(shí)施形態(tài)的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀。在圖12所示振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀43的振子44中，主臂101F從固定部1向外伸出，且在主臂101F的兩側(cè)伸出有一對(duì)共振臂48A、48B?；?從固定部1向外伸出，在基部3的端部3b一側(cè)形成有相對(duì)基部3垂直延伸的彎曲振動(dòng)片45A、45B，在各彎曲振動(dòng)片45A、45B的頂端形成有配重部47A、47B。在各彎曲振動(dòng)片45A、45B上分別設(shè)有激振裝置(檢測(cè)裝置)46A、46B、46C、46D。在從固定部1伸出的共振臂48A、48B上分別設(shè)有檢測(cè)裝置(激振裝置)49A、49B、49C、49D，并在各共振臂的頂端分別設(shè)有配重部50A、50B。參照?qǐng)D13(a)-(c)敘述此時(shí)的較佳振動(dòng)模式。如前所述，激勵(lì)彎曲振動(dòng)片45A、45B使其如圖13(a)中的箭頭S所示作彎曲振動(dòng)。如使整個(gè)振子如前所述旋轉(zhuǎn)，則如箭頭T所示哥氏力起作用。由于該哥氏力，基部及一對(duì)共振臂被激勵(lì)的振動(dòng)有多個(gè)。圖13(b)示出了二次振動(dòng)。此時(shí)，基部3與各共振臂48A、48B互相反相地作彎曲振動(dòng)，與此同時(shí)，彎曲振動(dòng)片45A、45B也以偏離直線58的狀態(tài)作振動(dòng)。圖13(c)示出了一次振動(dòng)。此時(shí)，基部3與各共振臂48A、48B互相反相地作彎曲振動(dòng)，與此同時(shí)，彎曲振動(dòng)片45A、45B也以偏離直線58的狀態(tài)作振動(dòng)。作一次振動(dòng)時(shí)與作二次振動(dòng)時(shí)的各彎曲振動(dòng)片45A、45B的振動(dòng)方向相反。此時(shí)，一次振動(dòng)或二次振動(dòng)都可以作為檢測(cè)振動(dòng)使用，但必須進(jìn)行選擇，使驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的固有共振頻率與檢測(cè)振動(dòng)的固有共振頻率之差在一定范圍之內(nèi)。在圖14所示的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀59A的振子60A中，主臂101G從固定部1向外伸出，基部3從固定部1伸出，在基部3的端部3b側(cè)形成有相對(duì)基部3垂直延伸的彎曲振動(dòng)片61A、61B。因?yàn)闆](méi)有與配重部47A、47B相當(dāng)?shù)牟糠?，所以，各彎曲振?dòng)片必須相應(yīng)延長(zhǎng)。在各彎曲振動(dòng)片61A、61B上分別設(shè)有激振裝置(檢測(cè)裝置)46A、46B、46C、46D。另外，從固定部伸出一對(duì)共振臂62A、62B，在各共振臂上分別設(shè)有檢測(cè)裝置(激振裝置)49A、49B、49C、49D。在本發(fā)明中，當(dāng)使用共振臂時(shí)，通過(guò)在共振臂從固定部伸出的位置，使共振臂兩側(cè)從固定部伸出的尺寸不一致，即能使所謂寄生模式振動(dòng)的固有共振頻率發(fā)生變動(dòng)。在該實(shí)施形態(tài)中，參照?qǐng)D15、圖16所示的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀59B進(jìn)行說(shuō)明。在振子60B中，主臂101H從固定部1的突出部1a向外伸出。即，基部3向外伸出，在基部3的端部3b一側(cè)形成有相對(duì)基部3垂直延伸的彎曲振動(dòng)片61A、61B。各彎曲振動(dòng)片61A、61B上設(shè)有驅(qū)動(dòng)電極46A、46B、46C、46D。此外，從固定部1伸出一對(duì)共振臂63、63B，在各共振臂上分別設(shè)有電極49A、49B、49C、49D。又，在圖16的立體圖中，將驅(qū)動(dòng)電極的形態(tài)及檢測(cè)電極的形態(tài)用剖視圖示出。在此，在各共振臂的外側(cè)設(shè)置尺寸a的缺口部74，由此，使高度a的伸出部1a從固定部1伸出。其結(jié)果，能使寄生模式的振動(dòng)的固有共振頻率與驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的固有共振頻率分離。例如，在圖15所示的振子中，當(dāng)將彎曲振動(dòng)片61A、61B的彎曲振動(dòng)作為驅(qū)動(dòng)振動(dòng)，將其固有共振頻率調(diào)整為8750Hz時(shí)，在圖15中，箭頭U所示各共振臂63A、63B的反相的彎曲振動(dòng)成為寄生模式的振動(dòng)。當(dāng)如圖14所示，a＝0時(shí)，該振動(dòng)的固有共振頻率如圖17所示為8700Hz。其結(jié)果，驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的固有共振頻率與寄生模式的固有共振頻率之差為50Hz，所以共振臂的反相振動(dòng)產(chǎn)生的信號(hào)與回轉(zhuǎn)信號(hào)相比非常大。但如圖17所示，隨著尺寸a的增大，寄生模式的固有共振頻率顯著變化。尤其是，若使a為1.0mm以上時(shí)，可以使寄生模式的固有共振頻率遠(yuǎn)遠(yuǎn)離開(kāi)驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的固有共振頻率。如上所述，在上述共振臂從固定部伸出的位置使共振臂兩側(cè)從固定部伸出的尺寸相異，這種方法用于使寄生模式振動(dòng)影響導(dǎo)致的噪音減少是有效的，因此，將a設(shè)定為1.0mm以上尤其適宜。但設(shè)定在6.0mm以下為好。在上述各實(shí)施形態(tài)的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀中，當(dāng)振子用壓電單晶形成時(shí)，都是通過(guò)施加對(duì)紙面垂直方向的電壓來(lái)使各彎曲振動(dòng)片、基部或共振臂作彎曲振動(dòng)的。這樣的彎曲振動(dòng)方式，例如當(dāng)是鈮酸鋰、鉭酸鋰、鈮酸鋰-鉭酸鋰固溶體單晶時(shí)特別有用。然而，圖3-圖16所示各實(shí)施形態(tài)的振子，如前所述，在采用完全相同的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)和檢測(cè)振動(dòng)的狀況，對(duì)于水晶等的其他壓電單晶當(dāng)然也可應(yīng)用。但是，在該場(chǎng)合，因?yàn)閴弘妴尉е?，有效壓電軸的方向與鈮酸鋰等時(shí)是不同的，為了使有效壓電軸能用于彎曲振動(dòng)，必須適當(dāng)改變驅(qū)動(dòng)電極、檢測(cè)電極的各形態(tài)。圖18-圖20示出的都是當(dāng)使用水晶那樣在一定平面內(nèi)有三次對(duì)稱軸(a軸)的壓電單晶來(lái)形成振子，并且其c軸面向著對(duì)一定平面垂直的方向時(shí)，特別適宜的實(shí)施形態(tài)的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀。在這樣的狀況下，最好使對(duì)彎曲振動(dòng)片的電壓施加方向及共振臂中的信號(hào)電壓方向分別面向著a軸。圖18和圖19是該實(shí)施形態(tài)涉及的圖。在圖18所示振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀59C的振子60C中，從固定部1伸出主臂101I及基部3，在基部3的端部3b一側(cè)，形成有相對(duì)基部3垂直延伸的彎曲振動(dòng)片64A、64B。在各彎曲振動(dòng)片64A、64B上分別設(shè)有驅(qū)動(dòng)電極65A、65B。該驅(qū)動(dòng)電極的形態(tài)如A-A’剖面所示，驅(qū)動(dòng)電極65A接地，驅(qū)動(dòng)電極65B與交流電源68連接。因此，彎曲振動(dòng)片64A、64B被施加沿a軸方向的電壓，產(chǎn)生彎曲振動(dòng)。一對(duì)共振臂66A、66B的長(zhǎng)度方向相對(duì)彎曲振動(dòng)片64A、64B分別傾斜120°。各共振臂66A、66B上的各檢測(cè)電極67A、67B的形態(tài)與驅(qū)動(dòng)電極65A、65B的形態(tài)相同。因此，在共振臂66A、66B上也被施加沿a軸方向的電壓。于是，彎曲振動(dòng)片中使用的壓電常數(shù)與共振臂上使用的壓電常數(shù)一起增高，且增高程度相同。在圖19所示振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀59D的振子60D中，從固定部1的凸出部1a伸出主臂101J或基部3，在基部3的端部3b一側(cè)，形成有向著與基部3傾斜120°的方向延伸的彎曲振動(dòng)片70A、70B。在各彎曲振動(dòng)片的頂端設(shè)有配重部71A、71B。在各彎曲振動(dòng)片70A、70B上分別設(shè)有驅(qū)動(dòng)電極72A、72B。該驅(qū)動(dòng)電極的形態(tài)如A-A’剖面所示，驅(qū)動(dòng)電極72B接地，驅(qū)動(dòng)電極72A與交流電源68連接。因此，彎曲振動(dòng)片70A、70B被施加沿a軸方向的電壓，產(chǎn)生彎曲振動(dòng)。一對(duì)共振臂75A、75B的長(zhǎng)度方向?qū)澢駝?dòng)片70A、70B傾斜120°。各共振臂上的各檢測(cè)電極76A、76B、76C、76D形態(tài)在B-B’剖面中示出，檢測(cè)電極76D接地，從檢測(cè)電極76C取出檢測(cè)信號(hào)。其結(jié)果，在各共振臂75A、75B上也產(chǎn)生沿a軸方向的信號(hào)電壓。此外，例如圖20的實(shí)施形態(tài)所示，當(dāng)彎曲振動(dòng)片與共振臂向垂直方向延伸時(shí)，通過(guò)使彎曲振動(dòng)片及共振臂的長(zhǎng)度方向相對(duì)a軸傾斜10°-20°、最好傾斜15°，可以取出檢測(cè)信號(hào)。即，在振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀59H中，從固定部1伸出主臂101N或基部3，在基部3的端部3b一側(cè)形成相對(duì)基部3垂直延伸的彎曲振動(dòng)片99A、99B，在各彎曲振動(dòng)片的頂端設(shè)有配重部47A、47B。在各彎曲振動(dòng)片上設(shè)有驅(qū)動(dòng)電極65A、65B。此外，從固定部1與基部3平行地伸出一對(duì)共振臂100A、100B，在各共振臂上分別設(shè)有檢測(cè)電極67A、67B。在此，無(wú)論是施加于各彎曲振動(dòng)片的電壓的施加方向還是各共振臂上的信號(hào)電壓的方向，都與a軸成15°，因此，兩個(gè)臂中使用的壓電常數(shù)是相同的。另外，在本發(fā)明中，可以在彎曲振動(dòng)片或共振臂上設(shè)置向其長(zhǎng)度方向延伸的通孔。這樣，可使彎曲振動(dòng)片或共振臂振動(dòng)的固有共振頻率下降，使共振臂的振動(dòng)振幅增大，并使傳感器的靈敏度提高。圖21、圖22是示出本發(fā)明該實(shí)施形態(tài)涉及的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的圖。在圖21所示振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀59E的振子60E中，從固定部1伸出主臂101K，而且從固定部1伸出基部3，在基部3的端部3b一側(cè)，形成有相對(duì)基部3垂直延伸的彎曲振動(dòng)片78A、78B。在各彎曲振動(dòng)片頂端設(shè)有配重部47A、47B。在各彎曲振動(dòng)片上分別形成有沿彎曲振動(dòng)片的長(zhǎng)度方向延伸的通孔79A、79B。而且，彎曲振動(dòng)片上，在各通孔的兩側(cè)位置處，設(shè)有細(xì)長(zhǎng)的驅(qū)動(dòng)電極80A、80B、80C、80D。在本實(shí)施形態(tài)之下，使用鉭酸鋰的130°Y板，c軸相對(duì)振子的主面成50°。在該角度下振子的溫度特性最好。如A-A’剖面所示，各彎曲振動(dòng)片因?yàn)樵隍?qū)動(dòng)電極80A、80C與驅(qū)動(dòng)電極80B、80D之間電壓的施加方向相反，故彎曲振動(dòng)片彎曲。此外，從固定部1伸出一對(duì)共振臂81A、81B，在共振臂上設(shè)有檢測(cè)電極83A、83B、83C、83D。在各共振臂上分別形成有向共振臂的長(zhǎng)度方向延伸的通孔82A、82B，并在共振臂上各通孔兩側(cè)的位置處，設(shè)有細(xì)長(zhǎng)的檢測(cè)電極83A、83B、83C、83D。如B-B’剖面所示，各共振臂在檢測(cè)電極83A、83C與檢測(cè)電極83B、83D之間產(chǎn)生的電位反相。在圖22所示振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀59F的振子60F中，從固定部1伸出主臂101L或基部3，在基部3的端部3b一側(cè)，形成有一對(duì)彎曲振動(dòng)片85A、85B。在各彎曲振動(dòng)片頂端設(shè)有配重部71A、71B。各彎曲振動(dòng)片相對(duì)基部成120°地延伸。在各彎曲振動(dòng)片上分別形成有沿彎曲振動(dòng)片的長(zhǎng)度方向延伸的通孔86A、86B。在各通孔的外側(cè)壁面上，設(shè)有驅(qū)動(dòng)電極98A、98D，在內(nèi)側(cè)壁面上設(shè)有驅(qū)動(dòng)電極98B、98C。在本實(shí)施形態(tài)下，使用如水晶那樣在一定平面內(nèi)有三次對(duì)稱軸(a軸)的壓電單晶板。各彎曲振動(dòng)片如A-A’剖面所示，外側(cè)面上的驅(qū)動(dòng)電極89A、89D與交流電源68連接，內(nèi)側(cè)面上的驅(qū)動(dòng)電極89B、89C接地。其結(jié)果，在驅(qū)動(dòng)電極89A-89B的組合與驅(qū)動(dòng)電極89C-89D的組合之間，電壓的施加方向反相，故彎曲振動(dòng)片發(fā)生彎曲。此外，從固定部1的凸出部分1a伸出一對(duì)共振臂87A、87B，在共振臂上分別形成有向共振臂的長(zhǎng)度方向延伸的通孔88A、88B。又如B-B’剖面圖所示，在各通孔的外側(cè)壁面上設(shè)有檢測(cè)電極90A、90D，在內(nèi)側(cè)壁面上設(shè)有檢測(cè)電極90B、90C。在各共振臂上，在檢測(cè)電極90A、90C側(cè)與90B、90D側(cè)之間，產(chǎn)生的電位反相。如本實(shí)施形態(tài)所示，對(duì)于共振臂及彎曲振動(dòng)片的通孔，通過(guò)在通孔兩側(cè)，在內(nèi)側(cè)面和外側(cè)面設(shè)置一對(duì)驅(qū)動(dòng)電極，可以使一根彎曲振動(dòng)片或共振臂發(fā)生彎曲。在檢測(cè)側(cè)也一樣。在本發(fā)明中，可以在固定片部的一側(cè)設(shè)置上述主臂和至少一對(duì)共振臂，并在固定片部的另一側(cè)設(shè)置與主臂共振的共振片。此時(shí)，在共振片的彎曲振動(dòng)片上設(shè)置驅(qū)動(dòng)電極，在共振臂方設(shè)置檢測(cè)電極。這樣，可以將共振片的彎曲振動(dòng)片的彎曲振動(dòng)作為驅(qū)動(dòng)振動(dòng)使用，面將共振臂的彎曲振動(dòng)作為檢測(cè)振動(dòng)使用。此外，在共振臂上設(shè)置驅(qū)動(dòng)電極，在共振片的彎曲振動(dòng)片上設(shè)置檢測(cè)電極。這樣，可以將共振臂的彎曲振動(dòng)作為驅(qū)動(dòng)振動(dòng)使用，而將共振片的彎曲振動(dòng)片的彎曲振動(dòng)作為檢測(cè)振動(dòng)使用。在這樣的狀況下，可以在固定片部的另一側(cè)再設(shè)置第2共振臂。圖23是概略地示出該實(shí)施形態(tài)涉及的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀59G的立體圖。在該振子60G中，在固定部件90的內(nèi)側(cè)設(shè)有固定片部12。在固定片部12的一側(cè)，從凸出部分94A伸出主臂101L和一對(duì)共振臂92A、92B。在主臂101L的基部3的端部側(cè)，形成有相對(duì)基部3垂直延伸的彎曲振動(dòng)片91A、91B。在彎曲振動(dòng)片上設(shè)有驅(qū)動(dòng)電極46A、46B、46C、46D。各共振臂的頂端設(shè)有配重部93A、93B。在各彎曲振動(dòng)片91A、91B上，如A-A’剖面所示，在驅(qū)動(dòng)電極46A、46C側(cè)與驅(qū)動(dòng)電極46B、46D側(cè)之間，電壓的施加方向反相。在固定片部12的另一側(cè)，從凸出部分94B設(shè)有共振片103和一對(duì)第2共振臂97A、97B。在共振片103的基部98的端部側(cè)，形成有相對(duì)基部98垂直延伸的彎曲振動(dòng)片95A、95B。在各共振臂97A、97B的頂端設(shè)有配重部96A、96B。如B-B’剖面圖所示，在共振臂上設(shè)有檢測(cè)電極49A、49B、49C、49D。在檢測(cè)電極49A、49C側(cè)與檢測(cè)電極49B、49D側(cè)之間，發(fā)生的信號(hào)電壓反相。以下對(duì)本發(fā)明第2實(shí)施形態(tài)作更詳細(xì)的舉例說(shuō)明。圖24是示出本發(fā)明振子之一例結(jié)構(gòu)的圖。在圖24所示例子中，振子108在XY平面內(nèi)延伸，包括一對(duì)音叉型振動(dòng)片109a和109b、使該對(duì)振動(dòng)片在XY平面內(nèi)結(jié)合的一對(duì)彎曲振動(dòng)片241a和241b及將該彎曲振動(dòng)片在XY平面內(nèi)固定于外部的固定部件1用的基部3。一對(duì)音叉型振動(dòng)片109a、109b基本相互平行，并與彎曲振動(dòng)片大致垂直地結(jié)合?；?安裝在彎曲振動(dòng)片241a和241b的大致中央部25處，與音叉型振動(dòng)片109a、109b大致平行。在上述結(jié)構(gòu)的本發(fā)明振子108中，若在音叉型振子的彎曲振動(dòng)片241a、241b的兩端有與音叉型振動(dòng)片109a、109b平行即沿Y方向的兩個(gè)方向相反的力F1、F2起作用，則基部3在XY平面內(nèi)會(huì)產(chǎn)生以基部3與固定部件1連接的根部26為支點(diǎn)的彎曲運(yùn)動(dòng)B。組成振子108的音叉型振動(dòng)片、彎曲振動(dòng)片及基部也可以用不同的構(gòu)件制成，但從尤其是使用單晶時(shí)制造更方便這一點(diǎn)考慮，最好是一體構(gòu)成的。此外，其材質(zhì)并無(wú)特別的限定，但最好使用LiNbO3、LiTaO3、Li(Nb，Ta)O3構(gòu)成的單晶。若使用這些單晶，可以使檢測(cè)靈敏度良好，并能減少檢測(cè)噪音。并且，因?yàn)閷?duì)溫度變化也反應(yīng)遲鈍，所以，作為必須有溫度穩(wěn)定性的車輛用裝置非常合適。另外，因?yàn)樵谏鲜鰡尉е校琇iNbO3單晶和LiTaO3單晶的電、機(jī)耦合系數(shù)相對(duì)較大，所以使用LiNbO3單晶或LiTaO3單晶比使用水晶更好。若將LiNbO3單晶與LiTaO3單晶相比較，則LiTaO3單晶的電、機(jī)耦合系數(shù)比LiNbO3單晶的更大，所以，使用LiTaO3單晶比使用LiNbO3單晶更好。上述結(jié)構(gòu)的振子108主要作為振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀使用。作為振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的第1發(fā)明，若在圖24考慮使用振子1的情況，則如下所述。首先，在以Z軸為中心軸的旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)中，用未圖示的激振裝置使音叉型振動(dòng)片在XY平面內(nèi)作相位完全相反的振動(dòng)。在該狀態(tài)下，若繞Z軸的旋轉(zhuǎn)角速度ω起作用，則由于哥氏力的作用，各音叉型振動(dòng)片受到沿Y軸且方向相反的力F1、F2的作用。其結(jié)果，在彎曲振動(dòng)片兩端產(chǎn)生相同方向的力矩M1、M2。由于該力矩M1、M2，基部3產(chǎn)生在XY平面內(nèi)的彎曲振動(dòng)B。將該彎曲振動(dòng)B作為基部3的變形用未圖示的彎曲振動(dòng)檢測(cè)裝置進(jìn)行檢測(cè)，從而可以測(cè)定旋轉(zhuǎn)角速度。如上所述。本發(fā)明的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀是把在音叉型振動(dòng)片所在的XY平面內(nèi)發(fā)生的哥氏力變換成基部3的彎曲振動(dòng)，并根據(jù)該彎曲振動(dòng)求出旋轉(zhuǎn)角速度，所以即使將振子與轉(zhuǎn)軸垂直配置(橫置)也能測(cè)出旋轉(zhuǎn)角速度。因此，當(dāng)將本發(fā)明的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀作為角速度傳感器安裝，以測(cè)出例如汽車車體的旋轉(zhuǎn)角速度時(shí)，也能降低安裝部分的高度。另外，在上述例子中，是使音叉型振動(dòng)片及彎曲振動(dòng)片在XY平面內(nèi)振動(dòng)，在該狀態(tài)下根據(jù)基部3的彎曲振動(dòng)來(lái)測(cè)出旋轉(zhuǎn)角速度的，但也可以振動(dòng)與測(cè)定設(shè)定成相反。即，如圖27所示，在用未圖示的激振裝置激振基部3使其作彎曲振動(dòng)B的狀態(tài)下，由于旋轉(zhuǎn)角速度產(chǎn)生的哥氏力，各音叉型振動(dòng)片109a、109b受到沿Y軸的同方向的力F1、F2的作用。其結(jié)果，彎曲振動(dòng)片241a、241b的兩端受到方向不同的力矩M1、M2的作用。利用該力矩M1、M2，測(cè)出音叉型振子中產(chǎn)生的在XY平面內(nèi)的振動(dòng)，并利用未圖示的產(chǎn)生與測(cè)出的振動(dòng)相應(yīng)的信號(hào)的振動(dòng)檢測(cè)裝置，即能與上述例子一樣地測(cè)定旋轉(zhuǎn)角速度。該構(gòu)成是本發(fā)明振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的第2發(fā)明。圖25是示出本發(fā)明振子其他例子結(jié)構(gòu)的圖。在圖25所示例子中，與圖24所示部件相同的部件標(biāo)上相同的符號(hào)，并省略對(duì)其說(shuō)明。在圖25所示例子中，與圖24所示例子不同的是，設(shè)有使構(gòu)成音叉型振子的彎曲振動(dòng)片241a、241b的兩端比音叉型振動(dòng)片109a、109b的位置更向外伸出的伸出部111a、111b。在圖25所示例子中，通過(guò)減少伸出部中的至少一方的伸出量，即能方便地將音叉型振子在XY平面內(nèi)振動(dòng)的共振頻率與基部3的彎曲振動(dòng)的共振頻率調(diào)整為一定的關(guān)系。在此，若使音叉型振子的共振頻率與基部3的共振頻率接近，則靈敏度變高但反應(yīng)速度下降，而若使兩者分離，則反應(yīng)速度提高但靈敏度下降。因此，將音叉型振子的共振頻率與基部3的共振頻率調(diào)整為靈敏度與反應(yīng)速度雙方均較好的一定的關(guān)系。圖26是示出本發(fā)明振子的另一例子振子98結(jié)構(gòu)的圖。在圖26所示例子中，對(duì)與圖24所示例子相同的部件也標(biāo)上相同的符號(hào)，并省略對(duì)其的說(shuō)明。在圖26所示例子中，與圖24所示例子不同之處在于，在圖24所示例子中，音叉型振動(dòng)片109a、109b相對(duì)基部3和彎曲振動(dòng)片是向相反方向伸出的，而在圖26所示例子中，它們是向相同方向伸出的。若制成如圖26所示的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，則可以使裝置進(jìn)一步小型化。圖25及圖26所示振子的變形例與圖24所示振子一樣，主要也是作為振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀使用，其動(dòng)作也與圖24所示例子相同。此時(shí)，未圖示的激振裝置、彎曲振動(dòng)檢測(cè)裝置及振動(dòng)檢測(cè)裝置與現(xiàn)在的一樣，能較好地使用壓電陶瓷等壓電體。此外，當(dāng)所述振子使用壓電單晶制成的振子時(shí)，通過(guò)在一定位置設(shè)置電極，可以組成激振裝置、彎曲振動(dòng)檢測(cè)裝置和振動(dòng)檢測(cè)裝置。還有，使用圖24和圖25所示結(jié)構(gòu)的振子的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，除了由于上述橫置可降低高度之外，還可以將激振裝置、彎曲振動(dòng)檢測(cè)裝置及振動(dòng)檢測(cè)裝置設(shè)置在相分離的位置，由此，能進(jìn)一步防止兩者間電、機(jī)耦合之類的不良影響。還有，無(wú)論在哪一個(gè)例子中，本發(fā)明的振子都可以在同一平面激勵(lì)出驅(qū)動(dòng)振動(dòng)和檢測(cè)振動(dòng)，可以使振動(dòng)方向?qū)R在一個(gè)方向。因此，在本發(fā)明的振子用水晶、LiNbO3單晶或LiTaO3單晶等單晶制成時(shí)，若預(yù)先對(duì)驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的共振頻率和檢測(cè)振動(dòng)的共振頻率進(jìn)行調(diào)整，將其調(diào)整為檢測(cè)靈敏度最好的一定的頻率差，則即使溫度發(fā)生變化，也能維持該關(guān)系，而不會(huì)受到單晶的各向異性的影響。因此，可以最大限度發(fā)揮已知的單晶特征，即檢測(cè)靈敏度高、檢測(cè)噪音小及溫度穩(wěn)定性好的特征。以下，舉例說(shuō)明本發(fā)明的第3狀況。在圖28所示例子中，振子設(shè)有主臂121，該主臂121由兩端固定于固定部件114的固定片部115、用彎曲振動(dòng)片241a和241b將一對(duì)音叉型振動(dòng)片119a和119b結(jié)合在一定平面內(nèi)而構(gòu)成的音叉型振子118以及將該音叉型振子固定于一平面內(nèi)用的基部3構(gòu)成。另外，在固定片部的與基部3對(duì)應(yīng)位置的基部相反側(cè)，振子還設(shè)有共振片123。在本例中，作為共振片123，是在以固定片部為對(duì)稱軸的位置，設(shè)有與主臂121相同形狀相同結(jié)構(gòu)的共振片。此時(shí)，可以使主臂的振動(dòng)頻率與共振片的共振頻率相同。另外，122是共振片側(cè)的連接位置，120a、120b是驅(qū)動(dòng)電極，117是檢測(cè)電極，在整個(gè)振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀用單晶構(gòu)成時(shí)是必需的。固定片部、主臂及共振片也可以用各自的構(gòu)件構(gòu)成，但因?yàn)橛绕涫怯脝尉е瞥蓵r(shí)制造方便，所以一體構(gòu)成更好。另外，它們的材質(zhì)并無(wú)特別的限定，但如前所述，用水晶、LiNbO3、LiTaO3、Li(Nb，Ta)O3構(gòu)成的單晶更好。在上述結(jié)構(gòu)的本發(fā)明振子中，一旦與音叉型振動(dòng)片119a、119b平行即沿Y方向的相互反向的力F1、F2作用于音叉型振子118的彎曲振動(dòng)片的兩端，則在XY平面內(nèi)，基部3產(chǎn)生以基部的與固定片部連接的部分116為支點(diǎn)的彎曲運(yùn)動(dòng)B1。由于該基部3的彎曲運(yùn)動(dòng)B1，共振片同時(shí)產(chǎn)生以116為支點(diǎn)的相同方向的彎曲運(yùn)動(dòng)B2。因此，振子的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)呈圖29(a)所示狀態(tài)，此時(shí)，振子的檢測(cè)用的彎曲振動(dòng)如圖29(b)所示。上述結(jié)構(gòu)的振子主要作為振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀使用。作為振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的第1發(fā)明，若在圖28中考慮使用振子的情況，則如下所述。首先，在以Z軸為中心軸的旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)中，利用作為激振裝置的驅(qū)動(dòng)電極120a、120b，驅(qū)動(dòng)音叉型振動(dòng)片在XY平面內(nèi)以完全相反的相位作振動(dòng)。在該狀態(tài)下，一旦繞Z軸的旋轉(zhuǎn)角速度ω起作用，則由于哥氏力，各音叉型振動(dòng)片受到沿Y軸相互反向的力F1、F2的作用。其結(jié)果，在音叉型振子118的各彎曲振動(dòng)片的兩端，相同方向的力矩M1、M2起作用。由于該力矩M1、M2，在主臂的基部3產(chǎn)生XY平面內(nèi)的彎曲振動(dòng)B1，同時(shí)共振片123也產(chǎn)生在XY平面內(nèi)的彎曲振動(dòng)B2。通過(guò)用設(shè)于共振片的作為彎曲振動(dòng)檢測(cè)裝置的檢測(cè)電極117對(duì)該彎曲振動(dòng)B2進(jìn)行檢測(cè)，即能測(cè)定旋轉(zhuǎn)角速度ω。如上所述，本發(fā)明的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀是將音叉型振動(dòng)片所在的XY平面內(nèi)發(fā)生的哥氏力變換成基部3及共振片123的彎曲振動(dòng)，并根據(jù)該彎曲振動(dòng)來(lái)測(cè)出旋轉(zhuǎn)角速度的，所以即使將振子配置成與轉(zhuǎn)軸垂直(橫置)，也能測(cè)出旋轉(zhuǎn)角。因此，當(dāng)將本發(fā)明的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀作為角速度傳感器安裝，以測(cè)出例如汽車車體的旋轉(zhuǎn)角速度時(shí)，也能使安裝部分降低高度。另外，在本例中，將振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀設(shè)計(jì)成在對(duì)固定片部3對(duì)稱的位置設(shè)置主臂和共振片，因而能使設(shè)于主臂的驅(qū)動(dòng)裝置與設(shè)于共振片的檢測(cè)裝置的位置分離，可防止兩者間電、機(jī)耦合等的不良影響。圖30-圖33是分別示出本發(fā)明振子其他結(jié)構(gòu)例子的圖。在圖30-33中，對(duì)與圖28所示例子相同的構(gòu)件標(biāo)上相同的符號(hào)，并省略其說(shuō)明。在圖30所示例子中，共振片123由從固定片部115垂直延伸的長(zhǎng)方形共振片124所構(gòu)成。此時(shí)，可以使共振片的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化。在圖31所示例子中，將圖30所示共振片做得更短，同時(shí)在共振片125的頂端設(shè)置擴(kuò)張部126。因此，與圖30所示例子相比較，可以減小從固定片部起的共振片的伸出尺寸，可以使振子小型化，而且可以使共振片的共振頻率接近主臂的振動(dòng)頻率。在圖32所示例子中，與圖28所示例子不同，將主臂121和共振片123做成使一對(duì)音叉型振動(dòng)片119a、119b從彎曲振動(dòng)片241a、241b向與基部3相同方向伸出的結(jié)構(gòu)。因此，與圖28所示例子相比較，可以使裝置進(jìn)一步小型化。圖33所示例子構(gòu)成本發(fā)明振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的第2發(fā)明。即，在使用圖28所示本發(fā)明振子的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀中，使音叉型振子118在XY平面內(nèi)振動(dòng)，并在該狀態(tài)下根據(jù)共振部的彎曲振動(dòng)測(cè)出旋轉(zhuǎn)角速度，振動(dòng)與測(cè)定的構(gòu)成相反。而在圖33所示例子中，利用作為激振裝置的驅(qū)動(dòng)電極250使基部3作彎曲振動(dòng)B1，并使共振片123的基部125產(chǎn)生彎曲振動(dòng)B2，在此狀態(tài)下，由于旋轉(zhuǎn)角速度導(dǎo)致的哥氏力，各音叉型振動(dòng)片127a、127b受到沿Y軸的同方向的力F1、F2的作用。其結(jié)果，在音叉型振子128的彎曲振動(dòng)片的兩端有方向不同的力矩M1、M2起作用。利用該力矩M1、M2，對(duì)音叉型振子128發(fā)生的在XY平面內(nèi)的振動(dòng)進(jìn)行檢測(cè)，并利用產(chǎn)生與測(cè)出的振動(dòng)相應(yīng)信號(hào)的、作為振動(dòng)檢測(cè)裝置的檢測(cè)電極117a、117b，就能測(cè)定旋轉(zhuǎn)角速度。當(dāng)然，檢測(cè)電極117a或117b單獨(dú)都能測(cè)定旋轉(zhuǎn)角速度。又，126是連接部分。在圖30-圖33所示的變形例中，把振子作為整體，設(shè)想為是由水晶、LiNbO3單晶或LiTaO3單晶構(gòu)成的振子，作為激振裝置設(shè)置驅(qū)動(dòng)電極，作為彎曲振動(dòng)檢測(cè)裝置設(shè)置檢測(cè)電極。當(dāng)振子由現(xiàn)有的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀所用的其他材料構(gòu)成時(shí)，激振裝置、彎曲振動(dòng)檢測(cè)裝置及振動(dòng)檢測(cè)裝置與傳統(tǒng)的一樣，也適合使用壓電陶瓷之類的壓電體。圖34是示出本發(fā)明振子的又一例子的圖。在圖34中所示例子中，對(duì)與圖28所示部件相同的部件標(biāo)相同的符號(hào)，并省略其說(shuō)明。在圖34所示例子中，與圖28所示例子的不同之處在于，使構(gòu)成音叉型振子118的彎曲振動(dòng)片241a、241b的兩端比音叉型振動(dòng)片119a、119b的位置更向外伸出而形成伸出部127a、127b。在圖34所示例子中，通過(guò)減少至少一個(gè)伸出部的伸出量，即能將音叉型振子在XY平面內(nèi)的振動(dòng)的共振頻率與基部及共振片彎曲振動(dòng)的共振頻率方便地調(diào)整為一定的關(guān)系。在此，若音叉型振子的共振頻率與基部及共振片的共振頻率接近，則靈敏度提高但反應(yīng)速度下降，而若兩者離開(kāi)，則反應(yīng)速度提高但靈敏度下降。因此，將音叉型振子的共振頻率與基部及共振片的共振頻率調(diào)整為靈敏度和反應(yīng)速度均在一定程度上較佳的一定的關(guān)系。以下舉例說(shuō)明本發(fā)明的第4狀況。圖35-圖38主要說(shuō)明本發(fā)明振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的振子形狀。圖35是示出該實(shí)施形態(tài)涉及的振子98的立體圖。因?yàn)檫@與本說(shuō)明書的圖26所示振子98基本相同，故對(duì)重復(fù)部分不再進(jìn)行說(shuō)明，而引用上述的說(shuō)明。圖中的111a、111b是伸出部分。圖36是示出其他振子101E的主視圖，因?yàn)榕c本說(shuō)明書的圖11所示的基本相同，故省略對(duì)重復(fù)部分的說(shuō)明，引用前述的說(shuō)明。另外，可以將如上所述的振子應(yīng)用于所謂H型形態(tài)的振子。例如，可以制造具有兩端固定的固定片部、設(shè)于固定片部一側(cè)的基部、從基部向與基部長(zhǎng)度方向交叉的方向延伸的至少一條彎曲振動(dòng)片及設(shè)于固定片部另一側(cè)的共振片，且固定片部、基部、彎曲振動(dòng)片及共振片基本上在一定平面內(nèi)延伸的振子。圖37是示出該實(shí)施形態(tài)涉及的振子10的主視圖。因?yàn)檫@與本說(shuō)明書圖6所示的基本相同，故對(duì)重復(fù)部分的說(shuō)明省略。圖38是示出三腳音叉型振子131的主視圖。振子131具有應(yīng)固定于外部的固定部件上的基部135及從基部伸出的3條音叉型的振動(dòng)片132、133、134。兩端的振動(dòng)片132、134具有從基部135細(xì)長(zhǎng)狀地伸出的主體部分132a、134a和從各主體部分向垂直方向延伸的配重部132b、134b。在各振動(dòng)片132、134上形成有檢測(cè)用的電極136、137。中央的振動(dòng)片133上形成有驅(qū)動(dòng)用的一對(duì)電極138A、138B。圖35-圖38所示的任一例子都可構(gòu)成將振子橫置的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，故能降低裝置的高度。另外，因?yàn)樽鳛檎褡邮褂靡欢ǖ膯尉?，所以能用蝕刻、磨削等制造，振子制造方便，能以低成本制造裝置。還有，如圖37所示，當(dāng)在對(duì)固定片部對(duì)稱的位置設(shè)置振動(dòng)部和共振片時(shí)，可以使設(shè)于振動(dòng)片的驅(qū)動(dòng)裝置與設(shè)于共振片的檢測(cè)裝置相分離，能防止兩者間的電、機(jī)耦合之類的影響。以下，對(duì)上述結(jié)構(gòu)的具有由壓電性單晶構(gòu)成的水平橫置振子的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的旋轉(zhuǎn)角速度檢測(cè)方法進(jìn)行說(shuō)明。首先，已知關(guān)于傳統(tǒng)回轉(zhuǎn)儀的旋轉(zhuǎn)角速度的檢測(cè)，在檢測(cè)裝置測(cè)出的輸出信號(hào)中，含有因加工精度等引起的、因驅(qū)動(dòng)信號(hào)的影響產(chǎn)生的雜散振動(dòng)導(dǎo)致的漏信號(hào)。若該漏信號(hào)較大，則輸出信號(hào)中的哥氏力引起的回轉(zhuǎn)信號(hào)就難于測(cè)出，所以，在傳統(tǒng)的根據(jù)輸出信號(hào)的振幅大小測(cè)出旋轉(zhuǎn)角速度的方法中，利用在兩處設(shè)置檢測(cè)裝置，并對(duì)其檢測(cè)輸出進(jìn)行處理等方法，來(lái)消除漏信號(hào)的影響。該漏信號(hào)的影響，對(duì)于在現(xiàn)有技術(shù)中說(shuō)明過(guò)的日本發(fā)明專利公告1992年第14734號(hào)公報(bào)所公開(kāi)的那種采用縱置音片型的、由恒彈性金屬構(gòu)成的高檢測(cè)靈敏度振子的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，是不太成問(wèn)題的。還有，如日本發(fā)明專利公告1992年第14734號(hào)公報(bào)所公開(kāi)的那樣，當(dāng)根據(jù)驅(qū)動(dòng)信號(hào)與檢測(cè)信號(hào)的相位差變化來(lái)測(cè)出旋轉(zhuǎn)角速度時(shí)，因?yàn)橄辔徊畹淖兓袔缀鯚o(wú)漏信號(hào)的影響，所以，漏信號(hào)幾乎不成為問(wèn)題。但是，當(dāng)如本發(fā)明那樣將振子水平橫置時(shí)，因?yàn)槠浣Y(jié)構(gòu)的關(guān)系，哥氏力引起的回轉(zhuǎn)信號(hào)小、檢測(cè)靈敏度低，根據(jù)一般考慮，認(rèn)為不能原封不動(dòng)地應(yīng)用上述利用相位差的檢測(cè)。關(guān)于這一點(diǎn)，本發(fā)明人經(jīng)過(guò)種種研究發(fā)現(xiàn)，通過(guò)使用有壓電性的單晶，即使在漏信號(hào)大而回轉(zhuǎn)信號(hào)小的的區(qū)域，根據(jù)參照信號(hào)與輸出信號(hào)的相位差，也能正確測(cè)出旋轉(zhuǎn)角速度。并且發(fā)現(xiàn)，與一般被認(rèn)為適合測(cè)定的區(qū)域相比較，漏信號(hào)相當(dāng)大而回轉(zhuǎn)信號(hào)相當(dāng)小的區(qū)域中的輸出信號(hào)，其相位差與旋轉(zhuǎn)角速度的直線性更良好，能以更高的檢測(cè)精度進(jìn)行測(cè)定。圖39是示出本發(fā)明振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀中的相位差檢測(cè)裝置之一例的方框圖。在圖39中，將發(fā)生驅(qū)動(dòng)振動(dòng)用的電信號(hào)作為參照信號(hào)，用檢測(cè)裝置將隨驅(qū)動(dòng)振動(dòng)而產(chǎn)生但振動(dòng)模式不同于驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的振動(dòng)作為電信號(hào)取出，將該取出的振動(dòng)作為輸出信號(hào)。具體是，在圖35所示例子中，供應(yīng)給設(shè)于音叉型振動(dòng)片109a或109b的未圖示的驅(qū)動(dòng)電極的電信號(hào)成為參照信號(hào)，從設(shè)于基部3的未圖示的檢測(cè)電極測(cè)出的電信號(hào)成為輸出信號(hào)。另外，在圖36所示例子中，供給激振裝置5A、5B的電信號(hào)為參照信號(hào)，從檢測(cè)裝置6A、6B、6C、6D測(cè)出的電信號(hào)為輸出信號(hào)。還有，在圖37所示例子中，供給激振裝置5A、5B的電信號(hào)為參照信號(hào)，從檢測(cè)裝置6A、6B、6C、6D測(cè)出的電信號(hào)為輸出信號(hào)。再有，在圖38所示例子中，供給電極136、137的電信號(hào)為參照信號(hào)，從電極138A、138B測(cè)出的電信號(hào)為輸出信號(hào)。在上述例子中，作為參照信號(hào)，使用發(fā)生驅(qū)動(dòng)振動(dòng)用的電信號(hào)，但是，也可以使驅(qū)動(dòng)振動(dòng)本身發(fā)生共振，將因共振獲得的電信號(hào)作為參照信號(hào)。在圖39所示相位差檢測(cè)裝置139中，輸出信號(hào)經(jīng)AC放大器140放大后供給相位差檢測(cè)電路141。參照信號(hào)在參照信號(hào)前處理電路142進(jìn)行波形修整等前處理之后，同樣供給相位差檢測(cè)電路141。相位差檢測(cè)電路141對(duì)輸入的經(jīng)過(guò)前處理的參照信號(hào)和輸出信號(hào)的相位差進(jìn)行檢測(cè)。測(cè)出的相位差被輸入低通過(guò)濾器143和DC放大器144，并變?yōu)榇笮∨c相位差大小相應(yīng)的直流信號(hào)。用上述相位差檢測(cè)裝置139求出的直流信號(hào)被輸入旋轉(zhuǎn)角速度檢測(cè)電路145。旋轉(zhuǎn)角速度檢測(cè)電路根據(jù)預(yù)先求出的直流信號(hào)的大小與旋轉(zhuǎn)角速度的關(guān)系，求出旋轉(zhuǎn)角速度。又，因?yàn)樵谏鲜鲭娐分校荒軐⑤敵鲂盘?hào)與參照信號(hào)的相位差直接作為數(shù)值求出，故根據(jù)與相位差對(duì)應(yīng)的直流信號(hào)的大小來(lái)求出旋轉(zhuǎn)角速度，但是，也可以直接將相位差作為數(shù)值求出，并根據(jù)預(yù)先求出的相位差與旋轉(zhuǎn)角速度的關(guān)系來(lái)求出旋轉(zhuǎn)角速度。以下對(duì)組成輸出信號(hào)的漏信號(hào)和回轉(zhuǎn)信號(hào)的關(guān)系進(jìn)行說(shuō)明。本發(fā)明人對(duì)具有結(jié)構(gòu)如圖38所示、由單晶構(gòu)成的振子的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，求出參照信號(hào)與輸出信號(hào)的相位差，并研究了求出的相位差變化與旋轉(zhuǎn)角速度的關(guān)系。圖40-圖42示出了其結(jié)果。圖40示出的是旋轉(zhuǎn)角速度為100°/sec的回轉(zhuǎn)信號(hào)與漏信號(hào)之比為1∶100時(shí)的關(guān)系，圖41示出的是旋轉(zhuǎn)角速度為100°/sec的回轉(zhuǎn)信號(hào)與漏信號(hào)之比為1∶7時(shí)的關(guān)系，圖42示出的是旋轉(zhuǎn)角速度為100°/sec的回轉(zhuǎn)信號(hào)與漏信號(hào)之比為5∶1時(shí)的關(guān)系。在此，所謂旋轉(zhuǎn)角速度為100°/sec的回轉(zhuǎn)信號(hào)與漏信號(hào)之比，是指當(dāng)旋轉(zhuǎn)角速度以100°/sec旋轉(zhuǎn)時(shí)，被輸出的輸出信號(hào)中的、由哥氏力激勵(lì)的信號(hào)，與輸出信號(hào)中的、無(wú)旋轉(zhuǎn)角速度時(shí)的輸出信號(hào)的振幅之比。另外，在各圖中示出的矢量圖，以各矢量起點(diǎn)為中心向旋轉(zhuǎn)方向取相位角，向半徑方向取信號(hào)的大小，示出了在各條件下的輸出信號(hào)、回轉(zhuǎn)信號(hào)及漏信號(hào)的狀態(tài)。此外，各圖示出的是漏信號(hào)與參照信號(hào)為同相位的狀態(tài)，并將漏信號(hào)與輸出信號(hào)的相位差作為參照信號(hào)與輸出信號(hào)的相位差標(biāo)注。但，當(dāng)漏信號(hào)與參照信號(hào)存在一定相位差時(shí)，相位差的變化如圖所示。從圖40的結(jié)果可知，對(duì)于使用水平橫置型的振子的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，當(dāng)使用有壓電性的單晶時(shí)，也能測(cè)出如圖40所示的微小量的相位差，此時(shí)，相位差與旋轉(zhuǎn)角速度之間可獲得極高的直線性。從圖41的結(jié)果可知，雖然不如圖40所示那樣好，但也能獲得良好的直線性。另一方面，從圖42的結(jié)果可知，不能維持相位差與旋轉(zhuǎn)角速度的直線性，使用范圍限制在旋轉(zhuǎn)角速度為約±50°/sec左右，在旋轉(zhuǎn)角速度為70-100°/sec的范圍內(nèi)難于判斷。將以上的結(jié)果歸納在圖43中，示出了相位差與旋轉(zhuǎn)角速度的直線性，與回轉(zhuǎn)信號(hào)與漏信號(hào)之比之間的關(guān)系。通常認(rèn)為必需有±1％的直線性，所以從圖43的結(jié)果可知，若要求出滿足上述條件的范圍，回轉(zhuǎn)信號(hào)與漏信號(hào)之比在1∶7或1∶7之上的漏信號(hào)大的區(qū)域，可獲得上述直線性的關(guān)系。又，若漏信號(hào)太大，即使使用壓電性相當(dāng)好的單晶，也會(huì)超出其檢測(cè)范圍。因此，漏信號(hào)的上限由振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的檢測(cè)靈敏度決定。如上所述，本發(fā)明在一定的旋轉(zhuǎn)角速度下，漏信號(hào)與回轉(zhuǎn)信號(hào)之比大于一定比例的區(qū)域，檢測(cè)靈敏度下降但相位差與旋轉(zhuǎn)角速度的直線性變好，通過(guò)用本身機(jī)械品質(zhì)系數(shù)良好的有壓電性的單晶來(lái)制成水平橫置型的振子，能比以往的提高對(duì)外來(lái)因素引起的噪音的信噪比(S/N)。又因?yàn)槁┬盘?hào)可以大，故不需要高精度的振子制造裝置，能大幅度降低加工成本，并可減除以往有時(shí)要進(jìn)行的再加工調(diào)整工序。此外，也不需要以往有時(shí)設(shè)置的漏信號(hào)消除電路等。以下舉例說(shuō)明本發(fā)明的第5狀況。本發(fā)明人制成如圖44所示的振子147，使用振子進(jìn)行旋轉(zhuǎn)角速度的檢測(cè)實(shí)驗(yàn)。在此，振子由壓電單晶構(gòu)成，具有相對(duì)外部結(jié)構(gòu)體固定的固定部分2和從固定部分2伸出的一對(duì)細(xì)長(zhǎng)音叉型的振動(dòng)臂148A、148B。一對(duì)振動(dòng)臂之間設(shè)有空隙149。在圖44所示的座標(biāo)系中，振子的主面150A、150B向著Y軸方向，各振動(dòng)臂的側(cè)面151A、151B分別向著X軸方向。激勵(lì)該振子的各振動(dòng)臂使其象箭頭C、D那樣沿X方向振動(dòng)。在該狀態(tài)下，使振子如ω所示以Z軸為中心作旋轉(zhuǎn)，則各振動(dòng)臂分別如箭頭A、B所示向Y軸方向振動(dòng)。通過(guò)檢測(cè)該振動(dòng)，算出旋轉(zhuǎn)角速度。另外，在原理上，可先使振動(dòng)臂如箭頭A、B所示作振動(dòng)，在該狀態(tài)下，使振子以Z軸為中心作旋轉(zhuǎn)，使各振動(dòng)臂如箭頭C、D所示作振動(dòng)，能測(cè)出該振動(dòng)。在這樣的振子147中，必須使各振動(dòng)臂148A、148B向Y軸方向作振動(dòng)，或者，必須將各振動(dòng)臂的Y軸方向的振動(dòng)變換成電信號(hào)。關(guān)于這樣的激振方法，在1996年3月社團(tuán)法人日本音響學(xué)會(huì)出版的《日本音響學(xué)會(huì)平成8年春季研究發(fā)表會(huì)演講論文集2》的第1071-1072頁(yè)中的“以水平橫置振動(dòng)回轉(zhuǎn)儀傳感器為目的的三腳音叉共振子”中，記載了圖45所示的方法。圖45(a)是從上側(cè)看到的振動(dòng)臂148A、148B的圖，圖45(b)是從正面看到的振動(dòng)臂的圖。在各振動(dòng)臂的各主面150A、150B上分別形成電極152A、152B，并在各側(cè)面151A、151B上分別形成電極153A、153B。使構(gòu)成振動(dòng)臂的壓電單晶的極化方向?yàn)榧^E所示的方向。使相對(duì)電極152A、152B分別為相同相位，相對(duì)電極153A、153B分別為相同相位。在某一瞬間，相對(duì)電極152A、152B為負(fù)，相對(duì)電極153A、153B為正。此時(shí)，在圖45(a)中的振動(dòng)臂的上半部分，產(chǎn)生如箭頭F、G所示的向斜上方的電場(chǎng)。該電場(chǎng)的Y軸方向的分量是+Y方向，與壓電單晶的極化方向E一致。因此，如圖45(b)中的箭頭K所示，振動(dòng)臂收縮。另一方面，在圖45(a)中的振動(dòng)臂的下半部分，產(chǎn)生如箭頭H、I所示的向斜下方的電場(chǎng)。該電場(chǎng)的Y軸方向的分量是-Y方向，與壓電單晶的極化方向E相反。因此，振動(dòng)臂如圖45(b)中的箭頭J所示膨脹。其結(jié)果，振動(dòng)臂如箭頭A(B)所示彎曲。但是，當(dāng)本發(fā)明人對(duì)該振子進(jìn)行詳細(xì)研究時(shí)卻發(fā)現(xiàn)了如下問(wèn)題。即，進(jìn)一步增大所加電壓對(duì)應(yīng)的彎曲振動(dòng)的變位雖好，但有限。此外，振動(dòng)臂內(nèi)各部分的彎曲振動(dòng)變位大小不均勻，振動(dòng)時(shí)在振動(dòng)臂內(nèi)部產(chǎn)生應(yīng)變及應(yīng)力。因此，施加電壓的大小與振動(dòng)臂的彎曲振動(dòng)的變位大小未必呈線性關(guān)系，并且，對(duì)于各振子，施加電壓的大小與振動(dòng)臂彎曲振動(dòng)的變位大小的關(guān)系在制造上有很大的差別?？梢哉J(rèn)為，上述情況是由于如圖45(a)所示，振動(dòng)臂內(nèi)部電場(chǎng)不均勻引起的。例如，在靠近振子邊角部的區(qū)域154處，被施加如箭頭F、H所示的電場(chǎng)，在該部分，電極153A、153B與電極152A、152B的間隔小，施加于壓電單晶的電場(chǎng)的強(qiáng)度較強(qiáng)。另一方面，在區(qū)域155處，被施加如箭頭G、I所示的電壓，在這些離邊角較遠(yuǎn)的區(qū)域155處，施加的電場(chǎng)較小。這樣，構(gòu)成振動(dòng)臂的壓電單晶的各部分的電場(chǎng)強(qiáng)度有很大的差別，于是就表現(xiàn)為應(yīng)變及內(nèi)部應(yīng)力。圖46是本發(fā)明一實(shí)施形態(tài)的的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的立體圖，圖47(a)是在圖46中從上方看到的面垂直振動(dòng)臂158A的俯視圖，圖47(b)是從X軸方向看到的振動(dòng)臂158A的主視圖。圖48是說(shuō)明面內(nèi)振動(dòng)臂154的動(dòng)作用的模式圖。振子156具有相對(duì)外部的固定構(gòu)件固定的固定部分157和從固定部分伸出的一對(duì)音叉型振動(dòng)臂154、158A(或158B、158C)。整個(gè)該振子是由兩片平板狀體159A、159B的接合體構(gòu)成的。平板狀體159A的極化方向(箭頭165所示)與平板狀體159B的極化方向(箭頭166所示)正相反，且與一側(cè)主面161A及另一側(cè)主面161B正交。在面垂直振動(dòng)臂158A的各主面上，分別形成有一側(cè)的電極163A和另一側(cè)的電極163B。在振動(dòng)臂158A的各側(cè)面162A、162B上未形成電極。此外，在面內(nèi)振動(dòng)臂154的一主面161A上形成有電極155A、155B，在另一主面161B上形成有電極155C、155D，在振動(dòng)臂154的各側(cè)面上未形成電極。在振動(dòng)臂154與158A之間設(shè)有空隙160。在圖46所示的座標(biāo)系中，振子的主面向著Y軸方向，側(cè)面分別向著X軸方向。要激勵(lì)面垂直振動(dòng)臂158A振動(dòng)，對(duì)一對(duì)電極163A、163B施加交流電壓。此時(shí)，在某一瞬間，如圖47(a)所示，一側(cè)的電極163A為正，另一側(cè)的電極163B成負(fù)。在該瞬間，被施加從電極163A向著電極163B的電壓。此時(shí)，在平板狀體159A的內(nèi)部，電場(chǎng)的方向與極化軸的方向165為正相反的方向。其結(jié)果，如圖47(b)所示，平板狀體159A如箭頭J所示膨脹。另一方面，在平板狀體159B的內(nèi)部，電場(chǎng)的方向與極化軸的方向166是相同的方向。其結(jié)果，如圖47(b)所示，平板狀體159B如箭頭K所示收縮。因此，可以使整個(gè)振動(dòng)臂如箭頭B所示作彎曲振動(dòng)。此時(shí)，通過(guò)將各振動(dòng)臂的共振頻率設(shè)定為一定值，使面內(nèi)振動(dòng)臂154如箭頭A所示發(fā)生共振。在該狀態(tài)下，若使振子如ω所示以Z軸為中心作旋轉(zhuǎn)，則各振動(dòng)臂154、158A分別如箭頭C、D所示向X軸方向振動(dòng)。由面內(nèi)振動(dòng)臂154檢測(cè)如上述箭頭C所示的面內(nèi)振動(dòng)，算出旋轉(zhuǎn)角速度。具體是，如圖48所示，將電極155A和155C與電壓檢測(cè)裝置168連接，將電極155B和155D接地。在該狀態(tài)下，在面內(nèi)振動(dòng)臂154內(nèi)，若施加如箭頭C所示的彎曲振動(dòng)，則被感應(yīng)起如箭頭167所示那樣的電場(chǎng)，與此相應(yīng)地，在電極155A與155B之間及155C與155D之間，分別產(chǎn)生電動(dòng)勢(shì)。檢測(cè)該電壓信號(hào)，根據(jù)該值測(cè)出旋轉(zhuǎn)角速度。此外，可以激勵(lì)振子的面內(nèi)振動(dòng)臂154，使其如箭頭C所示向X方向振動(dòng)。為此，在圖48中，將電極155A、155C連接到一定的交流電源上，并在電極155A和155B之間及155C和155D之間施加電場(chǎng)167。在該情況下，在圖48的面內(nèi)振動(dòng)臂154中的靠近電極155A、155C的區(qū)域，極化軸的方向與電場(chǎng)的方向相反，在靠近電極155B、155D的區(qū)域，極化軸的方向與電場(chǎng)的方向基本相同。因此，面內(nèi)振動(dòng)臂如箭頭C所示作振動(dòng)。面垂直振動(dòng)臂如箭頭D所示，對(duì)該振動(dòng)產(chǎn)生共振。在該狀態(tài)下，若使振子如ω所示以Z軸為中心作旋轉(zhuǎn)，則各振動(dòng)臂154、158A分別如箭頭A、B所示向Y軸方向振動(dòng)。由于該振動(dòng)臂158A的振動(dòng)，在電極163A和163B之間產(chǎn)生電動(dòng)勢(shì)。此時(shí)，電極163A和163B預(yù)先連接在一定的電壓檢測(cè)裝置168上。測(cè)定該電壓，算出旋轉(zhuǎn)角速度。圖49(a)、圖50(a)分別是本發(fā)明其他實(shí)施形態(tài)涉及的振子各振動(dòng)臂的俯視圖，圖49(b)、圖50(b)分別是從X軸方向看到的圖49(a)、圖50(a)中的各振動(dòng)臂的主視圖。在與圖47(a)、(b)所示的構(gòu)成部分相同的構(gòu)成部分上，標(biāo)上相同的符號(hào)，并省略其說(shuō)明。在圖49(a)、(b)中，振動(dòng)臂158B由一對(duì)平板狀體169A和169B的接合體構(gòu)成。平板狀體169A的極化方向(箭頭180所示)與平板狀體169B的極化方向(箭頭181所示)正相反，且與一主面161A及另一主面161B正交。對(duì)一對(duì)電極施加交流電壓。此時(shí)，在某一瞬間，如圖49(a)所示，一側(cè)的電極163A為負(fù)，另一側(cè)的電極163B為正。在該瞬間，被施加從電極163B向電極163A方的電壓。此時(shí)，在平板狀體169A的內(nèi)部，電場(chǎng)的方向與極化軸的方向?yàn)檎喾吹姆较?。其結(jié)果，如圖49(b)所示，平板狀體169A如箭頭J那樣膨脹。另一方面，在平板狀體169B的內(nèi)部，電場(chǎng)方向與極化軸的方向?yàn)橄嗤姆较颉Ｆ浣Y(jié)果，如圖49(b)所示，平板狀體如箭頭L那樣收縮。因此，整個(gè)振動(dòng)臂158如箭頭A、B所示作彎曲振動(dòng)。在圖50(a)、(b)中，振動(dòng)臂158由一對(duì)平板狀體251A和251B的接合體構(gòu)成。平板狀體251A的極化方向(箭頭165所示)與各主面正交。平板狀體251B的極化方向(箭頭172所示)與各主面平行。在這樣的情況下，也能使本發(fā)明的振動(dòng)臂向與主面垂直的方向動(dòng)作。即，對(duì)一對(duì)電極施加交流電壓。此時(shí)，在某一瞬間，如圖50(a)所示，一側(cè)的電極163A為正，另一側(cè)的電極163B為負(fù)。在此瞬間，被施加從電極163A向電極163B一側(cè)的電壓。此時(shí)，在平板狀體251A的內(nèi)部，電場(chǎng)方向與極化軸的方向正相反。其結(jié)果，如圖50(b)中的箭頭J所示，平板狀體膨脹。另一方面，在平板狀體251B的內(nèi)部，如此方向的收縮、膨脹較小。但是，由于平板狀體251A的膨脹收縮，整個(gè)振動(dòng)臂158C如箭頭A、B所示作彎曲振動(dòng)。圖51-圖53分別是示出具有3條音叉振動(dòng)臂的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的圖。但在圖51-圖53中，對(duì)在圖47中已說(shuō)明過(guò)的構(gòu)成部分，省略說(shuō)明。圖51所示振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的振子170具有相對(duì)外部的固定構(gòu)件固定的固定部分157，以及從固定部分向外伸出的3條音叉型振動(dòng)臂171A、172、171B。整個(gè)該振子由兩片平板狀體159A和159B的接合體構(gòu)成。平板狀體159A的極化方向與平板狀體159B的極化方向正相反，并且與主面161A、161B正交。面垂直振動(dòng)臂171A、171B的一主面161A上形成有一側(cè)的電極163A，在另一主面161B上形成有另一側(cè)的電極163B(163B未圖示，參照?qǐng)D47)。在面內(nèi)振動(dòng)臂172的一主面上，設(shè)有上述的電極155A、155B，在另一主面上，設(shè)有相對(duì)的電極155C、155D(155C、155D未圖示，參照?qǐng)D48)。在振動(dòng)臂171A與172之間及振動(dòng)臂172與171B之間，分別設(shè)有空隙160。在圖51-圖53所示的座標(biāo)系中，各振子的主面向著Y軸方向，側(cè)面分別向著X軸方向。在圖51中，例如，使中央的面內(nèi)振動(dòng)臂172如箭頭Q所示振動(dòng)，并使兩端側(cè)的振動(dòng)臂171A、171B分別如箭頭P、R那樣發(fā)生共振。在該狀態(tài)下，若使振子如ω所示以Z軸為中心作旋轉(zhuǎn)，則各振動(dòng)臂171A、171B分別如箭頭S、U所示向Y軸方向振動(dòng)。與此同時(shí)，中央的振動(dòng)臂172如箭頭T所示向Y軸方向振動(dòng)。由于該振動(dòng)臂171A、171B的振動(dòng)，根據(jù)本發(fā)明，在各電極之間產(chǎn)生電動(dòng)勢(shì)。測(cè)定該電壓，從而測(cè)出旋轉(zhuǎn)角速度。此外，在圖52所示的振子173中，在兩端側(cè)設(shè)置面內(nèi)振動(dòng)臂172A、172B，在中央設(shè)置面垂直振動(dòng)臂171。驅(qū)動(dòng)兩端側(cè)的面內(nèi)振動(dòng)臂分別如箭頭P、R那樣向X軸方向振動(dòng)，使中央的面垂直振動(dòng)臂如箭頭Q那樣作共振。其后，與圖51的情況相同。此外，根據(jù)本發(fā)明，可以激勵(lì)中央的面垂直振動(dòng)臂如箭頭T那樣振動(dòng)，使兩端側(cè)的面內(nèi)振動(dòng)臂分別如箭頭S、U那樣發(fā)生共振。在該狀態(tài)下，若使振子如ω所示以Z軸為中心作旋轉(zhuǎn)，則各振動(dòng)臂172A、172B分別如箭頭P、R所示向X軸方向振動(dòng)。與此同時(shí)，面垂直振動(dòng)臂171如箭頭Q所示向X軸方向振動(dòng)。由于振動(dòng)臂172A、172B的面內(nèi)振動(dòng)，在各電極155A與155B及155C與155D之間，產(chǎn)生電動(dòng)勢(shì)。通過(guò)測(cè)定該電壓來(lái)測(cè)出旋轉(zhuǎn)角速度。圖53所示振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的3條音叉型振子174中，在一個(gè)端部設(shè)置面內(nèi)振動(dòng)臂172，在另一個(gè)端部設(shè)置面垂直振動(dòng)臂171。如箭頭N那樣驅(qū)動(dòng)面內(nèi)振動(dòng)臂172，使面垂直振動(dòng)臂171如箭頭V那樣共振。在該狀態(tài)下，若使振子如ω所示以Z軸為中心作旋轉(zhuǎn)，則各振動(dòng)臂172、171分別如箭頭W、Ω所示向相反方向振動(dòng)。由于該振動(dòng)臂171的振動(dòng)，根據(jù)本發(fā)明，在電極之間產(chǎn)生電動(dòng)勢(shì)。通過(guò)測(cè)定該電壓來(lái)測(cè)出旋轉(zhuǎn)角速度。中央的臂175不振動(dòng)。此外，也可以根據(jù)本發(fā)明，驅(qū)動(dòng)面垂直振動(dòng)臂171如箭頭W那樣振動(dòng)，使面內(nèi)振動(dòng)臂172如箭頭Ω那樣共振。在該狀態(tài)下，若使振子如ω所示以Z軸為中心作旋轉(zhuǎn)，則各振動(dòng)臂171、172分別如箭頭V、N所示向X軸方向振動(dòng)。在此，通過(guò)測(cè)定由面內(nèi)振動(dòng)臂172的振動(dòng)產(chǎn)生的電壓，來(lái)測(cè)出旋轉(zhuǎn)角速度。接著，對(duì)適合制造本發(fā)明的振子及振動(dòng)臂的較佳方法進(jìn)行說(shuō)明。本發(fā)明的較佳狀況是，準(zhǔn)備好由壓電單晶構(gòu)成的多片板狀體。此時(shí)，使各板狀體中的各極化軸的方向互不相同。通過(guò)將這些片板狀體相接合，來(lái)制造具有極化軸方向互不相同的多層板狀體的基材。然后，對(duì)該基材進(jìn)行切割加工，形成振子。多片板狀體可以用粘結(jié)劑來(lái)粘接。此外，可以將板狀體層疊起來(lái)獲得層疊體，對(duì)該層疊體進(jìn)行熱處理使其接合。又，也可考慮通過(guò)單一的板狀體的熱處理，使該板狀體內(nèi)部生成極化軸的方向I不同的多個(gè)區(qū)域。若采用如上所述的制造方法，通過(guò)在振子的一主面上及另一主面上形成電極，可以制成能向與振子的各主面交叉方向作彎曲振動(dòng)的振子。即，使該振子作彎曲振動(dòng)用的電極，不必形成在振子的側(cè)面上，具體是不必形成在切割加工面上。因此，可以省去在振子的側(cè)面上形成電極的工序，所以，制造成本顯著減少，且制造上的性能差別也少。在如上所述的制造方法中，尤其理想的是，在基材的一主面和另一主面上，預(yù)先分別形成一定平面形狀的電極，然后切割加工該基材來(lái)形成振子。這樣，通過(guò)一次電極形成處理能形成多個(gè)振子用的電極。圖54(a)、(b)、(c)分別是示出這樣的基材185A、185B和185C的立體圖。基材185A由兩片平板狀體159A和159B的結(jié)合體構(gòu)成。平板狀體159A的極化方向(箭頭165所示)與平板狀體159B的極化方向(箭頭166所示)正相反，且與一主面及另一主面正交。此外，平板狀體159A的極化軸方向及平板狀體159B的極化軸方向分別從基材的中心面167趨向各主面。對(duì)該基材進(jìn)行切割加工，能制造出如圖46、圖51、圖52及圖53所示的各振子?；?85B由兩片平板狀體169A和169B的接合體構(gòu)成。平板狀體169A的極化方向(箭頭180所示)與平板狀體169B的極化方向(箭頭181所示)正相反，且與一主面及另一主面正交。此外，各極化軸的方向分別從主面趨向基材的中心面167。對(duì)該基材進(jìn)行切割加工，能制造出如圖49所示的振子。基材185C由兩片平板狀體186A和186B的接合體構(gòu)成。平板狀體186A的極化方向(箭頭182所示)與平板狀體186B的極化方向(箭頭183所示)正相反，且相對(duì)一主面及另一主面，與直角傾斜一定的角度。圖55-圖57舉例說(shuō)明的是如圖54(c)所示那樣的、各層狀部分的極化軸配置在相對(duì)各主面傾斜方向時(shí)較佳的振子及振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀。圖55是本例的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的振子187及電極等形態(tài)的立體圖，圖56是示出面垂直振動(dòng)臂的俯視圖，圖57是示出面內(nèi)振動(dòng)臂的俯視圖。圖55中所示的振子187具有相對(duì)外部的固定構(gòu)件固定的固定部分157及從固定部分伸出的三條音叉型振動(dòng)臂188A、189、188B。整個(gè)該振子由兩片平板狀體186A和186B的接合體構(gòu)成。在面垂直振動(dòng)臂188A、188B的一主面上形成有一側(cè)的電極190A，在另一主面上形成有另一側(cè)的電極190B。在面內(nèi)振動(dòng)臂189的一主面上，形成有3列電極191A、191B、191C，在另一主面的與各電極191A、191B、191C相對(duì)的位置，設(shè)有相對(duì)電極191D、191E、191F。在振動(dòng)臂188A、189之間及振動(dòng)臂189、188B之間，分別設(shè)有空隙160。例如，如箭頭Q所示激振中央的面內(nèi)振動(dòng)臂，使兩端側(cè)的振動(dòng)臂分別如箭頭P、R所示作共振。為此，例如將面內(nèi)振動(dòng)臂的各電極191A、191C、191E接地，將與此相對(duì)的各電極191B、191D、191F與交流電源192連接。在該狀態(tài)下，在一個(gè)層狀部分186A處，產(chǎn)生如符號(hào)198所示的從電極191向著191A、191C方向的電場(chǎng)，在另一個(gè)層狀部分186B處，產(chǎn)生如符號(hào)197所示的從電極191D及191F向著191E方向的電場(chǎng)。即，必須使在一個(gè)層狀部分與另一個(gè)層狀部分之間所產(chǎn)生的電場(chǎng)的方向相反。在該狀態(tài)下，若使振子如ω所示以Z軸為中心作旋轉(zhuǎn)，則各振動(dòng)臂188A、188B分別如箭頭S、U所示向Y軸方向作振動(dòng)。與此同時(shí)，中央的振動(dòng)臂如箭頭T所示向Y軸方向振動(dòng)。由于面垂直振動(dòng)臂的振動(dòng)，根據(jù)本發(fā)明，在各電極之間發(fā)生電動(dòng)勢(shì)。測(cè)定該電壓，從而測(cè)出旋轉(zhuǎn)角速度。此外，如圖58、圖59所示，可以將平板狀體200A和200B相接合來(lái)制造各振動(dòng)臂198A、198B、202。在該例子中，各平板狀體的極化方向194和199相對(duì)主面傾斜一定角度，且極化方向194和199在面內(nèi)方向的分量基本相同，而在面垂直方向的分量相反。在面垂直振動(dòng)臂198A、198B的一主面上形成有一側(cè)的電極190A，在另一主面上形成有另一側(cè)的電極190B。如圖59所示，面內(nèi)振動(dòng)臂202中，在一主面設(shè)有3列電極191A、191B、191C，在另一主面的與電極191A、191B、191C相對(duì)的位置，設(shè)有相對(duì)電極191D、191E、191F。例如，如箭頭Q所示激振中央的面內(nèi)振動(dòng)臂202，使兩端側(cè)的振動(dòng)臂198A、198B分別如箭頭P、R所示共振。為此，例如將面內(nèi)振動(dòng)臂的各電極191A、191C、191D、191F接地，將各電極191B、191E與交流電源連接。在該狀態(tài)下，在一側(cè)的層狀部分，例如產(chǎn)生如符號(hào)201所示的、從電極191A和191C向著191B的電場(chǎng)，在另一側(cè)的層狀部分，產(chǎn)生如符號(hào)197所示的、從電極191D及191F向著191E的電場(chǎng)。即，使在一側(cè)的層狀部分與另一側(cè)的層狀部分之間產(chǎn)生的電場(chǎng)的方向呈相同的朝向。然后，如上所述檢測(cè)旋轉(zhuǎn)角速度。以下敘述具體的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。制成如圖46-圖48所示的上述振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀。但是，作為各平板狀體，使用水晶的Z板。作為電極的材質(zhì)，使用Cr、Au的雙層電極。在電極163A和163B之間，施加1伏、頻率7.5kHz的交流電場(chǎng)，使振子旋轉(zhuǎn)，對(duì)旋轉(zhuǎn)角速度與從電極155A、155B、155C、155D的輸出電壓間的關(guān)系進(jìn)行測(cè)定。其結(jié)果在表1中示出。在輸出電壓與旋轉(zhuǎn)角速度之間表現(xiàn)了良好的直線性。表1以下舉例說(shuō)明本發(fā)明的第6狀況。圖60是示出本發(fā)明振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的振子之一例結(jié)構(gòu)的圖，其中，(a)是側(cè)視圖，(b)是主視圖，(c)是仰視圖。在本例中，示出的是驅(qū)動(dòng)振動(dòng)與檢測(cè)振動(dòng)垂直的縱置式振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀。在圖60(a)-(c)所示的例子中，構(gòu)成振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的音叉型振子205由3條互相平行配置的臂206、207、208及連接這3條臂的基部209構(gòu)成。3條臂之中，兩端的臂206、208構(gòu)成檢測(cè)臂，中央的臂207構(gòu)成驅(qū)動(dòng)臂。又，作為音叉型振子的材質(zhì)，以使用壓電陶瓷、水晶、LiTaO3單晶、LiNbO3單晶之類的壓電材料為宜，其中，使用水晶、LiTaO3單晶、LiNbO3單晶之類的單晶更理想。音叉型振子205的動(dòng)作與傳統(tǒng)已知的音叉型振子的動(dòng)作相同。即，首先，利用設(shè)于驅(qū)動(dòng)臂的未圖示的驅(qū)動(dòng)裝置使驅(qū)動(dòng)臂207在XZ面內(nèi)振動(dòng)。于是，左右的檢測(cè)臂206、208在同樣的XZ面內(nèi)振動(dòng)。在該狀態(tài)下，若以音叉型振子的對(duì)稱軸Z為中心，旋轉(zhuǎn)角速度起作用，則檢測(cè)臂受到哥氏力f的作用。因?yàn)闄z測(cè)臂在XZ面內(nèi)作振動(dòng)，所以，檢測(cè)臂被感應(yīng)在YZ面內(nèi)作振動(dòng)。用設(shè)于檢測(cè)臂上的未圖示的檢測(cè)裝置測(cè)出該振動(dòng)，測(cè)定旋轉(zhuǎn)角速度。在本發(fā)明中重要的是，當(dāng)支承上述音叉型振子構(gòu)成振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀時(shí)，通過(guò)在檢測(cè)振動(dòng)的最小區(qū)域所在的小區(qū)域支承音叉型振子，將音叉型振子的動(dòng)作最小區(qū)域固定這一點(diǎn)。因此，能有效產(chǎn)生哥氏力引發(fā)的檢測(cè)振動(dòng)，而不使其衰減，并且檢測(cè)振動(dòng)的Q值高，可以提高靈敏度。因?yàn)橛筛缡狭Ξa(chǎn)生的檢測(cè)振動(dòng)的振動(dòng)小，故本發(fā)明對(duì)于使靈敏度提高是特別有效的。具體地說(shuō)，在圖60(a)-(c)所示的例子中，在基部209的大致中央部的區(qū)域210處支承音叉型振子。關(guān)于支承音叉型振子的方法并無(wú)特別的限定，作為壓電材料的粘結(jié)方法，可以使用以往已知的任何一種方法。作為其一例，可以如圖61(a)、(b)所示，在基部209的大致中央部的區(qū)域210處，沿基部厚度方向設(shè)置一定的孔部213，在該孔部?jī)?nèi)，插入并固定頂端部214，該頂端部214是與從振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的基部211伸出設(shè)置的臂212的臂延伸方向垂直地伸出的。頂端部214和孔部213的固定，可以在頂端部的表面和/或孔部的內(nèi)表面包鍍上金屬，然后進(jìn)行錫焊或釬焊，或者在頂端部與孔部之間配置樹(shù)脂，即可進(jìn)行固定。又，圖61(a)、(b)所示的例子是在基部209的一表面支承基部209，但也可以在基部的兩表面進(jìn)行支承。此外，也可以不設(shè)置孔部213而設(shè)置通孔，支承臂穿過(guò)該通孔，將支承臂的兩端部固定于振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的基部211。在上述例子中，所以要將基部209的主面的大致中央部210作為檢測(cè)振動(dòng)的最小區(qū)域所在的小區(qū)域的理由如下所述。即，本發(fā)明人等首先為了調(diào)查對(duì)于上述形狀的音叉型振子205，是否存在振動(dòng)最小區(qū)域所在的小區(qū)域，對(duì)上述形狀的音叉型振子進(jìn)行了利用有限要素法的固有模式解析。并將假定在圖60所示的XZ面進(jìn)行切斷時(shí)的、在XZ面(發(fā)生驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的面)和YZ面(發(fā)生哥氏力導(dǎo)致的檢測(cè)振動(dòng)的面)中的音叉型振子各部的振動(dòng)振幅作為與最大振動(dòng)振幅點(diǎn)的比率的分布來(lái)求出。關(guān)于發(fā)生驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的面即XZ面的結(jié)果在圖62中示出，關(guān)于發(fā)生哥氏力導(dǎo)致的檢測(cè)振動(dòng)的YZ面的結(jié)果在圖63中示出。在圖62及圖63所示的例子中，各種顏色不同的區(qū)域表示各不相同的與最大振動(dòng)振幅點(diǎn)比率的區(qū)域，橙色部分是不到振子的最大振動(dòng)振幅點(diǎn)之1/1000的本發(fā)明振動(dòng)最小區(qū)域局部所在的小區(qū)域。在本例中，圖62示出了驅(qū)動(dòng)振動(dòng)(面內(nèi)振動(dòng))中的與最大振動(dòng)振幅點(diǎn)的比率，圖63示出了檢測(cè)振動(dòng)(面垂直振動(dòng))中的與最大振動(dòng)振幅點(diǎn)的比率，從圖63的結(jié)果可確認(rèn)，存在檢測(cè)振動(dòng)的最小區(qū)域局部所在的小區(qū)域。此外，如圖60所示的例子所示，若在基部209主面的大致中央部的區(qū)域210處、從表里進(jìn)行支承，則不僅是在圖63的檢測(cè)振動(dòng)最小區(qū)域局部所在的小區(qū)域進(jìn)行支承，而且也是在圖62的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)最小區(qū)域局部所在的小區(qū)域進(jìn)行支承，因此可知，在本例中，是在檢測(cè)振動(dòng)最小區(qū)域所在的小區(qū)域與驅(qū)動(dòng)振動(dòng)最小區(qū)域所在的小區(qū)域重疊的區(qū)域，支承音叉型振子。在以上結(jié)果的基礎(chǔ)上，對(duì)作為傳統(tǒng)例在圖2說(shuō)明過(guò)的底邊部固定的例子及一軸固定的例子、以及作為本發(fā)明進(jìn)行圖60所示的固定的例子，實(shí)際測(cè)定XZ面內(nèi)的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的Q值、YZ面內(nèi)的檢測(cè)振動(dòng)的Q值及靈敏度，獲得了如表2所示的結(jié)果。從表2所示結(jié)果可知，與傳統(tǒng)例子相比，本發(fā)明的例子的XZ面內(nèi)的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的Q值和YZ面內(nèi)的檢測(cè)振動(dòng)的Q值均高得多，靈敏度也高。表2又，在上述例子中，作為音叉型振子，示出了利用3條臂的例子，但不用說(shuō)，臂的數(shù)量并不限于3條，4條、5條等的條數(shù)也可以應(yīng)用于本發(fā)明。此外，上述例子中，示出的是在圖60中，使驅(qū)動(dòng)振動(dòng)在XZ面內(nèi)發(fā)生，并使檢測(cè)振動(dòng)在YZ面內(nèi)發(fā)生的例子，但很顯然，音叉型振子的形狀原封不動(dòng)，但使兩者的關(guān)系相反，即做成在YZ面內(nèi)發(fā)生驅(qū)動(dòng)振動(dòng)而在XZ面內(nèi)發(fā)生檢測(cè)振動(dòng)的結(jié)構(gòu)，當(dāng)然也可用本發(fā)明。在以上的例子中，對(duì)驅(qū)動(dòng)模式的振動(dòng)與檢測(cè)模式的振動(dòng)為垂直的縱置式振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的例子進(jìn)行了說(shuō)明，但是，驅(qū)動(dòng)模式的振動(dòng)與檢測(cè)模式的振動(dòng)在同一平面內(nèi)的水平橫置式振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀也能適用本發(fā)明。以下對(duì)橫置式的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，說(shuō)明與上述例子相同地進(jìn)行了有限要素法的解析的例子。圖64是示出對(duì)T型臂和基部構(gòu)成的振子進(jìn)行有限要素法的固有模式解析、對(duì)檢測(cè)模式的振動(dòng)求出的結(jié)果之一例的圖。又，關(guān)于該振子是圖3-圖5中說(shuō)明過(guò)的振子，故引用之。在圖64中，也將各部的振動(dòng)作為與最大振動(dòng)振幅點(diǎn)的比率，與圖62及圖63一樣地用不同顏色示出。在圖64所示的例子中，也與圖62或圖63所示的例子一樣，確認(rèn)了在基部的中央，存在檢測(cè)振動(dòng)最小區(qū)域所在的小區(qū)域。關(guān)于圖64的振子，對(duì)圖2說(shuō)明過(guò)的底邊部固定的例子，以及本發(fā)明那樣在檢測(cè)振動(dòng)最小區(qū)域所在的小區(qū)域處支承的例子，實(shí)際測(cè)定驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的Q值、驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的同一面內(nèi)的檢測(cè)振動(dòng)的Q值及靈敏度時(shí)，可獲得表3所示的結(jié)果。從表3的結(jié)果可知，與傳統(tǒng)例子相比，本發(fā)明例子的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的Q值較高，且檢測(cè)振動(dòng)的Q值遠(yuǎn)高得多，并且靈敏度也高。表3</tables>圖65是對(duì)由Y型臂和基部構(gòu)成的振子利用有限要素法對(duì)檢測(cè)模式的振動(dòng)進(jìn)行固有模式解析求得結(jié)果之一例的圖。關(guān)于該振子，因?yàn)樵陉P(guān)于圖24、圖25及圖27的說(shuō)明中已作說(shuō)明，故引用之。在圖65中，與64所示例子一樣，也可確認(rèn)在基部中央存在檢測(cè)振動(dòng)最小區(qū)域所在的區(qū)域。就圖65的振子和圖2說(shuō)明過(guò)的底邊部固定的例子，對(duì)驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的Q值、在驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的同一面內(nèi)的檢測(cè)振動(dòng)的Q值及靈敏度進(jìn)行實(shí)際測(cè)定后可知，與圖64的振子一樣，本發(fā)明的例子與傳統(tǒng)例子相比，驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的Q值較高，且檢測(cè)振動(dòng)的Q值高出一個(gè)位數(shù)，還有，靈敏度也增高。另外，關(guān)于圖64所示的有T型臂的振子及圖65所示的有Y型臂的振子，對(duì)驅(qū)動(dòng)模式的振動(dòng)也用有限要素法進(jìn)行了固有模式解析，其結(jié)果表明，上述檢測(cè)模式的振動(dòng)最小區(qū)域所在的小區(qū)域與驅(qū)動(dòng)模式的振動(dòng)最小區(qū)域所在的小區(qū)域是不一致的。圖66及圖67是示出對(duì)將Y型相對(duì)臂和兩個(gè)基部的連接部接合的振子用有限要素法進(jìn)行固有模式解析的結(jié)果的圖。關(guān)于該振子，因?yàn)樵趫D28、圖29中已進(jìn)行過(guò)說(shuō)明，故引用該說(shuō)明。圖66所示的例子是關(guān)于檢測(cè)模式的振動(dòng)的結(jié)果，圖67所示例子是關(guān)于驅(qū)動(dòng)模式的振動(dòng)的結(jié)果。從圖66所示例子可確認(rèn)，與圖64及圖65所示例子一樣，在兩基部的各自中央處及Y型相對(duì)臂與兩個(gè)基部的連接部的相交點(diǎn)處，存在檢測(cè)振動(dòng)最小區(qū)域所在的小區(qū)域。另外，從圖67所示例子也可確認(rèn)，在驅(qū)動(dòng)模式的振動(dòng)中，也存在驅(qū)動(dòng)振動(dòng)最小區(qū)域所在的小區(qū)域。圖66所示的例子中，若在兩基部的各中央及Y型相對(duì)臂與兩基部連接部的相交點(diǎn)處進(jìn)行支承，則從圖67可知，也就是在驅(qū)動(dòng)模式的振動(dòng)最小區(qū)域所在的小區(qū)域進(jìn)行支承，因此可判明，在本例子中，是在檢測(cè)振動(dòng)最小區(qū)域所在的小區(qū)域與驅(qū)動(dòng)振動(dòng)最小區(qū)域所在的小區(qū)域相重疊的區(qū)域支承振子。就圖66及圖67的振子，對(duì)圖2說(shuō)明過(guò)的底邊部固定的例子，以及如本發(fā)明那樣，在檢測(cè)振動(dòng)最小區(qū)域所在的小區(qū)域，即在兩基部的各中央和Y型相對(duì)臂與兩基部連接部的相交點(diǎn)處進(jìn)行支承的例子，實(shí)際測(cè)定其驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的Q值、在驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的同一面內(nèi)的檢測(cè)振動(dòng)的Q值及靈敏度，結(jié)果獲得如表4和表5所示的結(jié)果。在此，表5示出的是在Y型相對(duì)臂與兩基部連接部的相交點(diǎn)進(jìn)行支承的例子的結(jié)果，表4示出的是在兩基部各自中央的兩點(diǎn)處進(jìn)行支承的例子的結(jié)果。從表4及表5的結(jié)果可知，不論哪個(gè)例子，與傳統(tǒng)例子相比，本發(fā)明所示例子都有如下特點(diǎn)其驅(qū)動(dòng)振動(dòng)Q值較高，檢測(cè)振動(dòng)的Q值要高一個(gè)位數(shù)，且靈敏度也高。表4</tables>表5</tables>此外，在本發(fā)明例子之中，若將示出縱置式振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀結(jié)果的表2與示出橫置式振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀結(jié)果的表3-表5進(jìn)行比較，則可知，檢測(cè)模式振動(dòng)的Q值都要高一個(gè)位數(shù)，因此可知，若在原本檢測(cè)模式振動(dòng)的Q值很小的橫置式振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀中應(yīng)用本發(fā)明，則效果將更高。以下舉例說(shuō)明本發(fā)明的第7狀況。圖68是示出本申請(qǐng)人先前提出的使用壓電體的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀255之一例結(jié)構(gòu)的圖。在圖68所示例子中，振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀包括通過(guò)彎曲振動(dòng)片將一對(duì)振動(dòng)臂232a、232b結(jié)合在XY平面內(nèi)的音叉型振子234，將該音叉型振子在XY平面內(nèi)固定在外部固定構(gòu)件235上用的基部236，設(shè)于音叉型振動(dòng)片232a、232b、驅(qū)動(dòng)各音叉型振動(dòng)片用的電極237A、237B、237C、237D，以及根據(jù)基部236的振動(dòng)求出角速度用的電極238A、238B、238C、238D。圖68所示的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，在以Z軸為中心軸的旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)中，利用電極237A-237D使音叉型振動(dòng)片232a、232b在XY平面內(nèi)相位完全相反地作振動(dòng)。在該狀態(tài)下，一旦繞Z軸的旋轉(zhuǎn)角速度ω起作用，由于哥氏力，各音叉型振動(dòng)片受到沿Y軸的方向相反的力F1、F2的作用。其結(jié)果，音叉型振子234的彎曲振動(dòng)片的兩端受到相同方向的力矩M1、M2的作用。由于該力矩M1、M2，通過(guò)用電極238A-238D測(cè)出基部236的變形，即可測(cè)定旋轉(zhuǎn)角速度ω。在進(jìn)行如上所述動(dòng)作的圖68所示結(jié)構(gòu)的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀255中，例如作為一個(gè)例子，考慮將鉭酸鋰(LiTaO3)單晶作為壓電體使用，并在130°Y的結(jié)晶面進(jìn)行切割使用的情況時(shí)，進(jìn)行驅(qū)動(dòng)和檢測(cè)如下。即，如圖69所示的音叉型振動(dòng)片的電極237A-237D所在部分的剖面之一例所示，在音叉型振動(dòng)片的兩主面的端部，分別設(shè)置各自成對(duì)的電極237A-237D。然后，在237A和237B及237C和237D這兩對(duì)電極上施加相互反相的電壓，即可使各音叉型振動(dòng)片的圖69中的右側(cè)收縮，并使左側(cè)伸展。因此，通過(guò)在電極對(duì)237A和237B及237C和237D上施加反相的交流電壓，可以對(duì)振動(dòng)臂232a和232b施加在圖69中左右向的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)。此外，通過(guò)反向進(jìn)行以上動(dòng)作，可以根據(jù)音叉型振動(dòng)片的檢測(cè)振動(dòng)，由電極238A-238D求出角速度ω。上述結(jié)構(gòu)的以往的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀255在普通的角速度測(cè)定中動(dòng)作無(wú)問(wèn)題。但是，若如近年來(lái)所要求的那樣進(jìn)行高精度的角速度測(cè)定，則如圖70所示，在各音叉型振動(dòng)片及基部，電場(chǎng)E1會(huì)施加于電極237A(238A)和237B(238B)及電極237C(238C)和237D(238D)這樣兩對(duì)，但除此之外，還存在微量的橫向泄漏的電場(chǎng)E2，因而，音叉型振動(dòng)片及基部會(huì)發(fā)生不必要的變位，故存在引起噪音的問(wèn)題。所以，不能進(jìn)行高精度的角速度檢測(cè)。圖71是示出本發(fā)明的使用壓電體的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀之一例結(jié)構(gòu)的圖。在圖71所示例子中，振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀215包括通過(guò)彎曲振動(dòng)片256a和256b將一對(duì)音叉型振動(dòng)片216a、216b結(jié)合在XY平面內(nèi)而組成的音叉型振子218，將該音叉型振子218在XY平面內(nèi)固定在外部固定構(gòu)件219上用的基部220，設(shè)于音叉型振動(dòng)片上、驅(qū)動(dòng)音叉型振動(dòng)片用的電極221A、221B、221C、221D，以及根據(jù)基部220的振動(dòng)求出角速度用的電極223A、223B、223C、223D。此外，構(gòu)成振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的音叉型振動(dòng)片、彎曲振動(dòng)片、基部及固定部件是成一體的壓電體，具體是用PZT等的壓電陶瓷、水晶、鉭酸鋰等的壓電性單晶制成的。振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀215的結(jié)構(gòu)與上述以往的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的結(jié)構(gòu)相同。圖71所示本發(fā)明振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的重要之點(diǎn)是在音叉型振動(dòng)片216a、216b及基部220上，電極對(duì)221A(223A)和221B(223B)與電極對(duì)221C(223C)和221D(223D)之間，設(shè)有貫穿兩主面的中空部222a、222b及224。中空部222a、222b及224的大小無(wú)特別的限定，但較理想的是，中空部的長(zhǎng)度要在電極長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)度以上，中空部要設(shè)置在離臂的基部1/3-2/3的位置，而且壓電體用鉭酸鋰(LiTaO3)的130°Y板制成。圖71所示本發(fā)明的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的動(dòng)作也與上述以往例子的相同，在以Z軸為中心軸的旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)中，利用電極221A-221D使音叉型振動(dòng)片在XY平面內(nèi)作相位完全相反的振動(dòng)。在該狀態(tài)下，一旦繞Z軸的旋轉(zhuǎn)角速度ω起作用，由于哥氏力，各音叉型振動(dòng)片即受到沿Y軸的方向相反的力F1、F2的作用。其結(jié)果，在音叉型振子218的彎曲振動(dòng)片的兩端，相同方向的力矩M1、M2起作用。由于該力矩M1、M2，通過(guò)用電極223A-223D來(lái)測(cè)出基部的變形，可以測(cè)定旋轉(zhuǎn)角速度ω。本發(fā)明在圖72中，作為一個(gè)例子，示出了音叉型振動(dòng)片216a的中空部222a部分的剖面，當(dāng)對(duì)電極對(duì)221A和221B及電極對(duì)221C和221D施加相互反相的交流電壓、激勵(lì)音叉型振動(dòng)片216a振動(dòng)時(shí)，即使存在從一側(cè)的電極對(duì)橫向流向另一側(cè)的電極對(duì)的電場(chǎng)分量，也因?yàn)橛兄锌詹?22a，在該部分不存在壓電體，故音叉型振動(dòng)片不會(huì)發(fā)生不必要的變位。此外，本發(fā)明的由設(shè)有中空部的臂構(gòu)成的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，因?yàn)樵诒凵显O(shè)置中空部可使臂的剛性降低，能高效率獲得驅(qū)動(dòng)振動(dòng)及檢測(cè)振動(dòng)。因此，可以進(jìn)行更高精度的角速度檢測(cè)。圖73是示出本發(fā)明的使用壓電體的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀其他例子結(jié)構(gòu)的圖。在圖73所示例子中，對(duì)與圖71所示例子相同的構(gòu)件標(biāo)上相同的符號(hào)，并省略其說(shuō)明。在圖73所示例子中，與圖71的例子不同，作為壓電體使用在一定平面內(nèi)有三次對(duì)稱軸(a軸)的水晶。因此，在圖73所示例子中，如在圖74中作為其一例示出的音叉型振動(dòng)片216a的中空部222a部分的剖面那樣，將電極對(duì)221A和221B及電極對(duì)221C和221D分別設(shè)置在音叉型振動(dòng)片的外側(cè)側(cè)面和面對(duì)中空部222a的內(nèi)側(cè)側(cè)面。在本例中，因?yàn)樵谥锌詹?22a的部分也不存在作為壓電體的水晶，故可消除不必要的變位。又，在上述例子中，作為振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，是以這樣的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀為例進(jìn)行了說(shuō)明，即，該振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀包括通過(guò)彎曲振動(dòng)片256a、256b在XY平面內(nèi)將一對(duì)音叉型振動(dòng)片216a、216b相結(jié)合而組成的音叉型振子218，將該音叉型振子218在XY平面內(nèi)固定于外部的固定構(gòu)件219用的基部220，設(shè)于音叉型振動(dòng)片、驅(qū)動(dòng)音叉型振動(dòng)片用的電極221A-221D，以及根據(jù)基部220的振動(dòng)來(lái)求出角速度用的電極223A-223D。但很顯然，其他結(jié)構(gòu)的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，只要是將壓電體構(gòu)成的臂作為振子使用的例子，不論哪一個(gè)例子，都能獲得本發(fā)明的效果。在圖75的振子257中，中央的固定部分260具有四邊形狀的中央部260a和4個(gè)擴(kuò)張部260b。從固定部分260延伸出一對(duì)主臂258P、258Q。各主臂從各擴(kuò)張部260b分別延伸出基部3，從各基部3的頂端部分3b起設(shè)有相對(duì)基部3向垂直方向延伸的彎曲振動(dòng)片259，各彎曲振動(dòng)片259的兩端分別與基部3相連。因此，由固定部分260a、一對(duì)基部3及彎曲振動(dòng)片259圍成空間262。在固定部分260的中央部260a上，設(shè)有一對(duì)彎曲振動(dòng)片261。對(duì)規(guī)定的激振裝置施加驅(qū)動(dòng)電壓，使各主臂的各彎曲振動(dòng)片259如箭頭U所示作彎曲振動(dòng)。在該狀態(tài)下，一旦使振子以z軸為中心作旋轉(zhuǎn)，各基部3即以其根部3a為中心作彎曲振動(dòng)。與此相對(duì)應(yīng)，各彎曲振動(dòng)片261如箭頭V所示作共振，所以，根據(jù)隨著該振動(dòng)發(fā)生的檢測(cè)信號(hào)，可以測(cè)定角速度。權(quán)利要求1.一種振子，其特征在于，包括具有基部和從該基部起向與基部長(zhǎng)度方向交叉的方向延伸的至少一條彎曲振動(dòng)片的主臂，以及固定所述基部一端部的固定部，所述基部和所述彎曲振動(dòng)片基本上在一定平面內(nèi)延伸。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振子，其特征在于，在所述基部的與所述一端部相反的一側(cè)，設(shè)有從所述彎曲振動(dòng)片向外凸出的凸出部。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的振子，其特征在于，還設(shè)有對(duì)所述基部的振動(dòng)發(fā)生共振的至少一對(duì)共振臂，該共振臂從所述固定部向外伸出。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的振子，其特征在于，在從所述固定部伸出所述共振臂的伸出位置，所述共振臂的兩側(cè)從所述固定部伸出的尺寸不相同。5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中的任一項(xiàng)所述的振子，其特征在于，在所述彎曲振動(dòng)片或所述共振臂上，設(shè)有沿其長(zhǎng)度方向延伸的通孔。6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中的任一項(xiàng)所述的振子，其特征在于，所述固定部是兩端固定的固定片部，在該固定片部的一側(cè)，設(shè)有所述主臂，在所述固定片部的另一側(cè)，設(shè)有共振片，所述固定片部、所述主臂及所述共振片基本上在所述一定平面內(nèi)延伸。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的振子，其特征在于，在所述固定片部的所述一側(cè)設(shè)有所述共振臂，所述固定片部、所述主臂、所述共振臂及所述共振片基本上在所述一定平面內(nèi)延伸。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的振子，其特征在于，在所述固定片部的另一側(cè)設(shè)有第2共振臂。9.一種檢測(cè)旋轉(zhuǎn)角速度用的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，具有權(quán)利要求1-8中的任一項(xiàng)所述的振子；激勵(lì)該振子在一定平面內(nèi)振動(dòng)用的激振裝置；當(dāng)對(duì)所述振子施加在所述一定平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)時(shí)，檢測(cè)因施加于所述振子的哥氏力引起的所述振子的彎曲振動(dòng)并輸出與該彎曲振動(dòng)相應(yīng)信號(hào)用的檢測(cè)裝置。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，具有激勵(lì)所述振子以所述基部的固定部分為中心作彎曲振動(dòng)用的激振裝置；當(dāng)所述振子在所述平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)時(shí)，對(duì)因施加于所述彎曲振動(dòng)片的哥氏力引起的、所述彎曲振動(dòng)片的以與所述基部連接的部分為中心的彎曲振動(dòng)進(jìn)行檢測(cè)，并輸出與該彎曲振動(dòng)相應(yīng)信號(hào)用的檢測(cè)裝置。11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，具有對(duì)所述彎曲振動(dòng)片激勵(lì)彎曲振動(dòng)用的激振裝置；當(dāng)所述振子在所述平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)時(shí)，對(duì)因施加于所述振子的哥氏力引起的、以所述基部的固定部分為中心的彎曲振動(dòng)進(jìn)行檢測(cè)，并輸出與該彎曲振動(dòng)相應(yīng)信號(hào)用的檢測(cè)裝置。12.一種檢測(cè)旋轉(zhuǎn)角速度用的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，具有權(quán)利要求3或4所述的振子；激勵(lì)所述振子作以所述共振臂的固定部分為中心的彎曲振動(dòng)用的激振裝置；當(dāng)所述振子在所述平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)時(shí)，對(duì)因施加于所述振子的哥氏力引起的、所述彎曲振動(dòng)片的以與所述基部連接的部分為中心的彎曲振動(dòng)進(jìn)行檢測(cè)，并輸出與該彎曲振動(dòng)相應(yīng)信號(hào)用的檢測(cè)裝置。13.一種檢測(cè)旋轉(zhuǎn)角速度用的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，具有權(quán)利要求3或4所述的振子；激勵(lì)所述彎曲振動(dòng)片作彎曲振動(dòng)用的激振裝置；當(dāng)所述振子在所述平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)時(shí)，對(duì)因施加于所述振子的哥氏力引起的、以所述共振臂的固定部分為中心的彎曲振動(dòng)進(jìn)行檢測(cè)，并輸出與該彎曲振動(dòng)相應(yīng)信號(hào)用的檢測(cè)裝置。14.一種檢測(cè)旋轉(zhuǎn)角速度用的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，具有權(quán)利要求6-8中的任一項(xiàng)所述振子；固定所述固定片部用的固定裝置；激勵(lì)所述振子在所述一定平面內(nèi)作振動(dòng)用的激振裝置；當(dāng)所述振子在所述平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)時(shí)，對(duì)因施加于所述振子的哥氏力引起的所述振子的彎曲振動(dòng)進(jìn)行檢測(cè)，并輸出與該彎曲振動(dòng)相應(yīng)信號(hào)用的檢測(cè)裝置。15.一種調(diào)整權(quán)利要求1所述振子的調(diào)整方法，其特征在于，通過(guò)除去所述彎曲振動(dòng)片頂端側(cè)的質(zhì)量，來(lái)調(diào)整驅(qū)動(dòng)的振動(dòng)模式的固有共振頻率與檢測(cè)的振動(dòng)模式的固有共振頻率之差。16.一種調(diào)整權(quán)利要求2所述振子的調(diào)整方法，其特征在于，通過(guò)除去所述基部的所述凸出部分的質(zhì)量，來(lái)調(diào)整驅(qū)動(dòng)的振動(dòng)模式的固有共振頻率與檢測(cè)的振動(dòng)模式的固有共振頻率之差。17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振子，其特征在于，所述主臂具有向與所述基部的長(zhǎng)度方向交叉的方向延伸的一對(duì)所述彎曲振動(dòng)片和從所述各彎曲振動(dòng)片分別延伸出的音叉型振動(dòng)片，所述基部、所述彎曲振動(dòng)片及所述音叉型振動(dòng)片基本上在一定平面內(nèi)延伸。18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的振子，其特征在于，其結(jié)構(gòu)為，一旦在所述主臂的所述各彎曲振動(dòng)片的各端部間有力矩作用，在所述一定平面內(nèi)，所述基部產(chǎn)生以所述基部的固定部分為支點(diǎn)的彎曲運(yùn)動(dòng)。19.根據(jù)權(quán)利要求17或18所述的振子，其特征在于，構(gòu)成所述基部、所述彎曲振動(dòng)片及所述音叉型振動(dòng)片的材質(zhì)是相同的，且是由從水晶片、LiTaO3單晶片、LiNbO3單晶片及Li(Nb，Ta)O3單晶片組成的組中選出的單晶片構(gòu)成的。20.一種權(quán)利要求17-19中的任一項(xiàng)所述的振子的調(diào)整方法，其特征在于，使所述主臂的所述彎曲振動(dòng)片的兩端在所述一定平面內(nèi)比所述音叉型振動(dòng)片的位置更向外伸出，通過(guò)減少該伸出部分中的至少一方的伸出量，來(lái)將所述音叉型振動(dòng)片在所述一定平面內(nèi)的振動(dòng)的共振頻率與所述基部的在所述一定平面內(nèi)的彎曲振動(dòng)的共振頻率調(diào)整為一定關(guān)系。21.使用權(quán)利要求17-19中的任一項(xiàng)所述的振子來(lái)檢測(cè)旋轉(zhuǎn)角速度的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，具有激勵(lì)所述彎曲振動(dòng)片及所述音叉型振動(dòng)片使其在所述一定平面內(nèi)振動(dòng)用的、設(shè)于所述音叉型振動(dòng)片上的激振裝置；檢測(cè)在所述基部出現(xiàn)的、在所述一定平面內(nèi)的彎曲振動(dòng)，并輸出與測(cè)出的彎曲振動(dòng)相應(yīng)的信號(hào)用的、設(shè)于所述基部的彎曲振動(dòng)檢測(cè)裝置。22.使用權(quán)利要求17-19中的任一項(xiàng)所述的振子來(lái)檢測(cè)旋轉(zhuǎn)角速度的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，具有激勵(lì)所述基部使其在所述一定平面內(nèi)作彎曲運(yùn)動(dòng)振動(dòng)用的、設(shè)于所述基部的激振裝置；檢測(cè)在所述音叉型振動(dòng)片出現(xiàn)的、在所述一定平面內(nèi)的振動(dòng)，并輸出與測(cè)出的振動(dòng)相應(yīng)的振動(dòng)用的、設(shè)于所述音叉型振動(dòng)片的振動(dòng)檢測(cè)裝置。23.根據(jù)權(quán)利要求17所述的振子，其特征在于，所述振子除了所述主臂之外，還具有兩端被固定且固定有所述主臂的所述基部的固定片部，以及在所述固定片部的與所述基部對(duì)應(yīng)的位置，且在所述基部的相反一側(cè)所設(shè)的共振片，所述主臂、所述固定片部及所述共振片在一定平面內(nèi)延伸。24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的振子，其特征在于其結(jié)構(gòu)為，當(dāng)所述彎曲振動(dòng)片的兩端有力矩作用時(shí)，在所述一定平面內(nèi)，所述基部產(chǎn)生以所述基部的與固定片部連接的部分為支點(diǎn)的彎曲運(yùn)動(dòng)，所述共振片產(chǎn)生以所述共振片與固定片部連接的部分為支點(diǎn)的彎曲運(yùn)動(dòng)。25.根據(jù)權(quán)利要求23或24所述的振子，其特征在于，所述主臂、所述固定片部及所述共振片是相同材質(zhì)構(gòu)成的，且是由從水晶振動(dòng)片、LiTaO3單晶振動(dòng)片、LiNbO3單晶振動(dòng)片及Li(Nb，Ta)O3振動(dòng)片組成的組中選出的振動(dòng)片構(gòu)成的。26.根據(jù)權(quán)利要求23-25中的任一項(xiàng)所述的振子，其特征在于，使所述彎曲振動(dòng)片的兩端在所述一定平面內(nèi)比所述音叉型振動(dòng)片更向外伸出。27.權(quán)利要求26所述的振子的調(diào)整方法，其特征在于，通過(guò)減少設(shè)于所述彎曲振動(dòng)片兩端的伸出部分中的至少一端的伸出量，來(lái)將所述彎曲振動(dòng)片和所述音叉型振動(dòng)片在所述一平面內(nèi)的共振頻率與所述基部和所述共振片在一定平面內(nèi)的彎曲振動(dòng)的共振頻率調(diào)整為一定關(guān)系。28.使用權(quán)利要求23-26中的任一項(xiàng)所述的振子來(lái)檢測(cè)旋轉(zhuǎn)角速度的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，具有激勵(lì)所述音叉型振動(dòng)片在所述一定平面內(nèi)作振動(dòng)用的、設(shè)于所述音叉型振動(dòng)片的激振裝置；檢測(cè)在所述共振片出現(xiàn)的在所述一平面內(nèi)的彎曲振動(dòng)，并輸出與測(cè)出的彎曲振動(dòng)相應(yīng)的振動(dòng)用的、設(shè)于所述共振片的彎曲檢測(cè)裝置。29.使用權(quán)利要求23-26中的任一項(xiàng)所述的振子來(lái)檢測(cè)旋轉(zhuǎn)角速度的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，具有激勵(lì)所述共振片在所述一定平面內(nèi)作彎曲振動(dòng)用的、設(shè)于所述共振片的激振裝置；檢測(cè)在所述音叉型振動(dòng)片出現(xiàn)的在所述平面內(nèi)的振動(dòng)，并輸出與測(cè)出的振動(dòng)相應(yīng)的振動(dòng)用的、設(shè)于所述音叉型振動(dòng)片的振動(dòng)檢測(cè)裝置。30.一種振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，具有權(quán)利要求1所述的振子，驅(qū)使驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置，對(duì)隨驅(qū)動(dòng)裝置導(dǎo)致的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)發(fā)生且振動(dòng)模式與驅(qū)動(dòng)振動(dòng)不同的振動(dòng)狀態(tài)進(jìn)行檢測(cè)的檢測(cè)裝置，以及相位差檢測(cè)裝置，當(dāng)將發(fā)生驅(qū)動(dòng)振動(dòng)用的電信號(hào)作為參照信號(hào)，并將由檢測(cè)裝置把隨驅(qū)動(dòng)振動(dòng)發(fā)生且具有振動(dòng)模式與驅(qū)動(dòng)振動(dòng)不同的振動(dòng)作為電信號(hào)取出時(shí)的信號(hào)作為輸出信號(hào)時(shí)，該相位差檢測(cè)裝置檢測(cè)參照信號(hào)與輸出信號(hào)的相位差，并根據(jù)由相位差檢測(cè)裝置測(cè)出的相位差的變化來(lái)檢測(cè)角速度。31.根據(jù)權(quán)利要求30所述的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，取代所述發(fā)生驅(qū)動(dòng)振動(dòng)用的電信號(hào)，把使驅(qū)動(dòng)振動(dòng)本身共振獲得的電信號(hào)作為參照信號(hào)。32.根據(jù)權(quán)利要求31所述的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，所述振子是由水晶、LiNbO3單晶及LiTaO3單晶組成的組中選出的壓電單晶構(gòu)成的。33.根據(jù)權(quán)利要求31或32所述的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，所述相位差檢測(cè)裝置包括檢測(cè)所述輸出信號(hào)與所述參照信號(hào)的相位差的相位差檢測(cè)部，從相位差檢測(cè)部測(cè)出的相位差獲得與相位差大小相應(yīng)的直流電壓的低通過(guò)濾器，將低通過(guò)濾器的輸出加以直流放大的放大器。34.根據(jù)權(quán)利要求31-33中的任一項(xiàng)所述的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，在無(wú)旋轉(zhuǎn)角速度時(shí)的輸出信號(hào)較其在如下的振幅比為1∶7時(shí)的輸出信號(hào)更大的狀態(tài)下進(jìn)行相位檢測(cè)，所述振幅比是當(dāng)以100°/sec的旋轉(zhuǎn)角速度旋轉(zhuǎn)時(shí)的輸出信號(hào)中由哥氏力激勵(lì)的信號(hào)與輸出信號(hào)中無(wú)旋轉(zhuǎn)角速度時(shí)的輸出信號(hào)的振幅之比。35.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振子，其特征在于，所述振子是由壓電單晶構(gòu)成的板狀振子，在所述振子的一主面與另一主面之間，設(shè)有由所述壓電單晶構(gòu)成的多層層狀部分，且所述各層狀部分中的極化軸的方向互不相同。36.根據(jù)權(quán)利要求35所述的振子，其特征在于，所述各層狀部分分別由所述壓電單晶制成的板狀體構(gòu)成，這些板狀體相接合而構(gòu)成所述各層狀部分。37.根據(jù)權(quán)利要求35或36所述的振子，其特征在于，位于所述一主面?zhèn)鹊囊粚訝畈糠种械乃鰳O化軸的方向相對(duì)位于所述另一主面?zhèn)鹊牧硪粚訝畈糠种械乃鰳O化軸的方向是相反的。38.根據(jù)權(quán)利要求37所述的振子，其特征在于，位于所述一主面?zhèn)鹊囊粚訝畈糠种械乃鰳O化軸的方向與所述一主面正交，位于所述另一主面?zhèn)鹊牧硪粚訝畈糠种械乃鰳O化軸的方向與所述另一主面正交。39.根據(jù)權(quán)利要求37所述的振子，其特征在于，位于所述一主面?zhèn)鹊囊粚訝畈糠种械乃鰳O化軸的方向相對(duì)所述一主面傾斜，位于所述另一主面?zhèn)鹊牧硪粚訝畈糠种械乃鰳O化軸的方向相對(duì)所述另一主面傾斜。40.一種振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，包括權(quán)利要求35-39中的任一項(xiàng)所述的振子，設(shè)于所述一主面上的一側(cè)電極，設(shè)于所述另一主面上且與所述一側(cè)電極相對(duì)的另一側(cè)電極。41.根據(jù)權(quán)利要求40所述的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，所述振子沿一定平面延伸，所述振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀是對(duì)沿與所述一定平面平行的轉(zhuǎn)軸的所述振子的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行檢測(cè)用的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，具有激勵(lì)或檢測(cè)相對(duì)所述一定平面垂直的方向的振動(dòng)用的面垂直振動(dòng)臂，以及激勵(lì)或檢測(cè)所述一定平面內(nèi)的面內(nèi)振動(dòng)用的面內(nèi)振動(dòng)臂。42.制造如權(quán)利要求40所述的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的方法，其特征在于，預(yù)備由壓電單晶構(gòu)成的多個(gè)板狀體，此時(shí)，所述各板狀體中的各極化軸的方向互不相同，使這些板狀體相接合，制造具有極化軸方向互不相同的多層板狀體的基材，接著對(duì)該基材進(jìn)行切割加工來(lái)形成所述的各層狀部分，制成所述振子。43.使權(quán)利要求35所述的振子向著與所述一主面及所述另一主面交叉的方向振動(dòng)的方法，其特征在于，在所述一主面上設(shè)置一側(cè)的電極，在所述另一主面上設(shè)置與所述一側(cè)的電極相對(duì)的另一側(cè)的電極，并對(duì)所述一側(cè)的電極和所述另一側(cè)的電極施加極性相異的交流電壓。44.檢測(cè)權(quán)利要求35所述振子的振動(dòng)的方法，其特征在于，在所述一主面上設(shè)置一側(cè)的電極，在所述另一主面上設(shè)置與所述一側(cè)的電極相對(duì)的另一側(cè)的電極，將所述一側(cè)的電極和所述另一側(cè)的電極與電壓檢測(cè)機(jī)構(gòu)連接，使所述振子向著與所述一主面及所述另一主面交叉的方向振動(dòng)，從而檢測(cè)在所述一側(cè)的電極與所述另一側(cè)的電極之間產(chǎn)生的交流電壓。45.一種振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，該振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀包括多條臂及連接多條臂的基部，對(duì)臂施加在一定面內(nèi)的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)，并根據(jù)與所施加的旋轉(zhuǎn)角速度對(duì)應(yīng)的檢測(cè)振動(dòng)來(lái)求出旋轉(zhuǎn)角速度，其特征在于，在檢測(cè)振動(dòng)最小區(qū)域所在的小區(qū)域支承振子。46.根據(jù)權(quán)利要求45所述的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，所述振子在檢測(cè)振動(dòng)最小區(qū)域所在的小區(qū)域與驅(qū)動(dòng)振動(dòng)最小區(qū)域所在的小區(qū)域重疊的區(qū)域進(jìn)行支承。47.根據(jù)權(quán)利要求45或46所述的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，所述振子是由壓電材料構(gòu)成的。48.根據(jù)權(quán)利要求47所述的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，所述壓電材料是水晶、LiTaO3單晶、LiNbO3單晶。49.一種具有由壓電體的臂構(gòu)成的振子的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，在所述臂上設(shè)置中空部，在該臂的夾著中空部的部分分別設(shè)有一對(duì)電極。50.根據(jù)權(quán)利要求49所述的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，所述中空部的長(zhǎng)度在電極長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)度以上。51.根據(jù)權(quán)利要求49或50所述的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，所述中空部設(shè)置在離臂的基部1/3-2/3的位置。52.根據(jù)權(quán)利要求49-51中的任一項(xiàng)所述的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，所述壓電體是鉭酸鋰。53.根據(jù)權(quán)利要求49-51中的任一項(xiàng)所述的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，所述壓電體是鈮酸鋰。54.根據(jù)權(quán)利要求49-51中的任一項(xiàng)所述的振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀，其特征在于，所述壓電體是水晶。全文摘要振動(dòng)型回轉(zhuǎn)儀的振子具有包括基部和從基部向與基部長(zhǎng)度方向交叉的方向延伸的至少1條彎曲振動(dòng)片的主臂,以及固定基部的一個(gè)端部的固定部,基部和彎曲振動(dòng)片設(shè)置成基本上在一定平面內(nèi)延伸。最好,在基部的與上述端部相反的一側(cè),設(shè)有從彎曲振動(dòng)片向外凸出的凸出部,或具有與基部的振動(dòng)發(fā)生共振且從固定部伸出的至少一對(duì)共振臂。因此,即使設(shè)置成振動(dòng)臂與轉(zhuǎn)軸垂直,不必設(shè)置一定重量的凸出部,也能高靈敏度地測(cè)出旋轉(zhuǎn)角速度。文檔編號(hào)G01C19/56GK1184937SQ9712301公開(kāi)日1998年6月17日申請(qǐng)日期1997年11月26日優(yōu)先權(quán)日1996年11月26日發(fā)明者菊池尊行,鄉(xiāng)治莊作,大杉幸久,相馬隆雄申請(qǐng)人:日本礙子株式會(huì)社