專利名稱：復(fù)合壓力傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種用于制造智能壓力變送器的復(fù)合壓力傳感器。
智能壓力變送器是近年來(lái)研制成的高科產(chǎn)品，具有很高的測(cè)量精度，這種精度是通過(guò)用靜壓，溫度對(duì)壓力示值的影響來(lái)修正差壓的誤差得到的這種復(fù)合傳感器除能對(duì)差壓進(jìn)行測(cè)量外，同時(shí)還具有對(duì)靜壓、溫度進(jìn)行測(cè)量的功能，目前所使用的復(fù)合壓力傳感器主要有圓杯單島和多邊形單島三杯結(jié)構(gòu)，其中圓杯單島結(jié)構(gòu)的復(fù)合壓力傳感器雖然具有一定的靈敏度和過(guò)載特性，并減少非線誤差，但是它的靜壓測(cè)量輸出無(wú)法得到大幅的提高，且這種結(jié)構(gòu)是依靠機(jī)械加工方法得到的，具有加工復(fù)雜，合格率低的缺點(diǎn)，另外一種多邊形單形三杯復(fù)合壓力傳感器是根椐絕壓元件對(duì)靜壓進(jìn)行測(cè)量的，由于組成惠斯登電橋的電阻是沿杯邊布置的，所以各應(yīng)力點(diǎn)的測(cè)量值變化很大，不能進(jìn)行非線性補(bǔ)償，具有圖形全是多邊形，制造困難，過(guò)載特性低的優(yōu)點(diǎn)。
本發(fā)明的目的提供一種靈敏度高，非線性可補(bǔ)償和過(guò)載特性優(yōu)良的復(fù)合壓力傳感器。
本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的，它包括基體，用于測(cè)量靜壓的敏感電阻Rg1，Rg2，Rg3和Rg4，用于測(cè)量靜壓的敏感電阻Rs1，Rs2，Rs3和Rs4，溫度敏電阻Rt和膜片，在基體上設(shè)置了一多邊雙島形的槽和兩個(gè)方形的凹槽，其中用于測(cè)量靜壓的敏感電阻Rs3布置在方形凹槽的中線，Rs1布置在另外方形凹槽的邊緣，用于測(cè)量差壓的敏感電阻Rg1，Rg2，Rg3和Rg4布置在多邊雙島形的凹槽的凸臺(tái)上。
本發(fā)明由于采用了雙島三杯結(jié)構(gòu)，所以當(dāng)雙面受力時(shí)雙島膜片受到的合力為零，當(dāng)單面受力時(shí)，壓力全部作用于Rs1和Rs3這兩個(gè)絕壓元件上，整個(gè)器件具有對(duì)差壓和壓力進(jìn)行測(cè)量的作用，可以實(shí)現(xiàn)微差壓，高靜壓的精確測(cè)量，具有非線性補(bǔ)償好和小電流，高靈敏度的優(yōu)點(diǎn)。
以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的描述，

圖1是復(fù)合壓力傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖，圖2是圖1的A--A的剖示圖，圖3是圖1的等效電路圖，如圖1-3所示，該復(fù)合壓力傳感器，它包括基體1，用于測(cè)量靜壓的敏感電阻Rg1，Rg2，Rg3和Rg4，用于測(cè)量靜壓的敏感電阻Rs1，Rs2，Rs3和Rs4，溫度敏電阻Rt和膜片2，其中Rs1，Rs2，Rs3和Rs4構(gòu)成測(cè)量靜壓的惠斯登電橋，Rg1，Rg2，Rg3和Rg4R1、R2、R3和R4構(gòu)成測(cè)量差壓的惠斯登電橋；Rt布置在平行<110>45度角的方向，在基體1上設(shè)置一個(gè)多邊雙島形的凹槽和兩個(gè)方形凹槽的中線，Rs1布置在另外方形凹槽4和5的邊緣，用于測(cè)量差壓的敏感電阻Rg1，Rg2，Rg3和Rg4布置在多邊雙島形槽的凸臺(tái)上，雙島的凹槽深度為150--250微米，當(dāng)傳感器雙面受力時(shí)，膜片2所受合力為零，通過(guò)Rs1，Rs2，Rs3和Rs4構(gòu)成的靜壓惠登電橋測(cè)出靜壓，當(dāng)單面受力時(shí)，壓力全部加在Rs1和sR3這兩個(gè)元件上，通過(guò)靜壓惠斯登電橋可以測(cè)出單面受力時(shí)的靜壓值；還可以通過(guò)由Rg1，Rg2，Rg3和Rg4，構(gòu)成的差壓惠斯登電橋測(cè)出傳感器單面或雙面受力的差壓值。
權(quán)利要求
1，一種復(fù)合壓力傳感器，它包括基體，用于測(cè)量靜壓的敏感電阻Rg1，Rg2，Rg3和Rg4，用于測(cè)量靜壓的敏感電阻Rs1，Rs2，Rs3和Rs4，溫度敏電阻Rt和膜片，在基體上設(shè)置了一多邊雙島形的槽和兩個(gè)方形的凹槽，其中用于測(cè)量靜壓的敏感電阻Rs3布置在方形凹槽的中線，Rs1布置在另外方形凹槽的邊緣，用于測(cè)量差壓的敏感電阻Rg1，Rg2，Rg3和Rg4布置在多邊雙島形的凹槽的凸臺(tái)上
全文摘要
一種復(fù)合壓力傳感器,它包括基體,用于測(cè)量靜壓的敏感電阻R
文檔編號(hào)G01D5/16GK1248696SQ98114329
公開(kāi)日2000年3月29日 申請(qǐng)日期1998年9月22日 優(yōu)先權(quán)日1998年9月22日
發(fā)明者丁文武 申請(qǐng)人:沈陽(yáng)信息技術(shù)研究所