專利名稱：測(cè)量用衍射器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于測(cè)量?jī)x器的附件，主要提出一種測(cè)量用衍射器。其可同萬能工具顯微鏡和大型工具顯微鏡配套，利用“雙光束干涉測(cè)量法”對(duì)各種精密零件、圓柱圓錐量規(guī)、刀具等進(jìn)行精密測(cè)量。
現(xiàn)在利用萬能工具顯微鏡進(jìn)行測(cè)量的方法和缺點(diǎn)是1、影象法，此法簡(jiǎn)單方便、迅速，一般適于公差較大的零件或量規(guī)，其缺點(diǎn)是誤差太大(如測(cè)量平面零件誤差±(5～9)微米，測(cè)量圓柱類零件時(shí)誤差均為±(7～10)微米；測(cè)量螺紋中徑時(shí)，誤差為±10微米左右)。
2、軸切法一般是用兩只測(cè)量刀的刀刃和被測(cè)零件進(jìn)行無間隙的接觸，同時(shí)利用測(cè)量刀的上表面所刻的細(xì)刻線進(jìn)行瞄準(zhǔn)，再進(jìn)行其尺寸的測(cè)量。該法較影象法測(cè)量精度稍高。存在的缺點(diǎn)是測(cè)量效率較低，不能測(cè)量凹表面的尺寸，另外對(duì)測(cè)量刀要求較嚴(yán)，且測(cè)量刀容易磨損。
3、同心平行照明干涉測(cè)量法其實(shí)質(zhì)是縮小儀器內(nèi)部可變光欄孔徑，使得在被測(cè)表面附近產(chǎn)生干涉條紋來代替測(cè)量刀上面剖線的一種測(cè)量方法。但其局限性較大，只能測(cè)量角度、螺距等。
本實(shí)用新型提出的目的即在于提高測(cè)量精度和效率，并使其具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、裝調(diào)方便的特點(diǎn)，從而克服現(xiàn)在測(cè)量方法所存在的不足。
本實(shí)用新型完成其發(fā)明任務(wù)所采取的技術(shù)方案是其根據(jù)惠更斯新光源理論以及羅埃鏡的光束轉(zhuǎn)折關(guān)系和光線疊加干涉原理而設(shè)計(jì)；用于萬能工具顯微鏡測(cè)量時(shí)，能在表面附近形成一族相互平行的干涉條紋，加在測(cè)量備種直徑大小不同的圓柱軸件時(shí)，這些條紋到被測(cè)圓柱表面的距離都是恒定的，因此可用于更高精度的測(cè)量工作。
本實(shí)用新型提出的技術(shù)結(jié)構(gòu)為衍射器的圓形座體上部開置有通光孔，通光孔下部的孔、槽內(nèi)設(shè)置有疊加在一起的濾光片、衍射片和防塵片，衍射片上開置有圓形或長(zhǎng)方形的衍射孔。
通光孔可為一個(gè)并設(shè)置在座體上部的中心位置，衍射片上具有兩個(gè)或多個(gè)圓形衍射孔。
通光孔可為兩個(gè)并對(duì)稱于圓形座體中心，兩個(gè)衍射片上均具有一個(gè)長(zhǎng)方形衍射孔。
兩個(gè)衍射孔的間距為2-36mm。
本實(shí)用新型衍射器在萬能工具顯微鏡上的應(yīng)用1、安裝用手端正的將衍射器直接蓋放在下照明座上即可。
2、調(diào)節(jié)邊從鏡頭中觀察，邊用手移動(dòng)衍射器，直到能看到衍射器中出現(xiàn)的凹錐形陰影與鏡頭中米字線上、下、左、右對(duì)稱為止。
例圓柱直徑測(cè)量過程將已擦洗干凈的被測(cè)軸件頂在儀器的頂尖中，再轉(zhuǎn)動(dòng)橫向移動(dòng)手輪，使被測(cè)軸面移至米字線的水平線附近。轉(zhuǎn)動(dòng)升降手輪，觀察干涉條的移動(dòng)，當(dāng)干涉條之移動(dòng)出現(xiàn)反向移動(dòng)的一剎那時(shí)，立即停止轉(zhuǎn)動(dòng)升降手輪。以下讀數(shù)與算法省略。
附

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例1結(jié)構(gòu)示意圖。
附圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例2結(jié)構(gòu)示意圖。
參照附圖給出的實(shí)施例對(duì)其結(jié)構(gòu)加以進(jìn)一步說明實(shí)施例1，如附圖1所示衍射器的圓形座體3上部具有通光孔6(通光孔為圓形)，其位于圓形座體上部的中心位置，通光孔6下部的孔內(nèi)疊放有濾光片1、衍射片3、防塵片5；底部用扣緊環(huán)4將它們固緊在座體的孔內(nèi)。衍射片2上開置有兩個(gè)圓形衍射孔。
實(shí)施例2，如附圖3所示衍射器的圓形座體3上具有兩個(gè)通光孔6并對(duì)稱于座體中心(通光孔為長(zhǎng)方形)，每個(gè)通光孔下部的槽內(nèi)疊放有濾光片1、衍射片2和防塵片5，底部用扣緊環(huán)4將它們固緊在座體的槽內(nèi)。每個(gè)衍射片上均開置有一個(gè)長(zhǎng)方形的衍射孔。
圖中7為座體上開置的盲孔，用于減輕整個(gè)衍射器體的重量并保證上平面的平直。
本實(shí)用新型中，兩個(gè)衍射孔之間的距離為2-36mm。
權(quán)利要求1.一種測(cè)量用衍射器，其特征是衍射器的圓形座體(3)上部開置有通光孔(6)，通光孔(6)下部的孔、槽內(nèi)設(shè)置有疊加在一起的濾光片(1)、衍射片(2)和防塵片(5)，衍射片(2)上開置有圓形或長(zhǎng)方形的衍射孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量用衍射器，其特征是通光孔(6)為一個(gè)并設(shè)置在座體上部的中心位置，衍射片(2)上具有兩個(gè)圓形衍射孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量用衍射器，其特征是通光孔(6)為兩個(gè)并對(duì)稱于座體中心，兩個(gè)衍射片(2)上均具有一個(gè)長(zhǎng)方形衍射孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量用衍射器，其特征是兩個(gè)衍射孔之間的間距為2-36mm。
專利摘要本實(shí)用新型為測(cè)量用衍射器。其主要結(jié)構(gòu)是:衍射器的圓形座體上部開置有通光孔,通光孔下部的孔槽內(nèi)設(shè)置有疊加在一起的濾光片、衍射片和防塵片,衍射片上開置有圓形或長(zhǎng)方形的衍射孔。通光孔可為一個(gè)其對(duì)應(yīng)設(shè)置的衍射片上具有兩個(gè)或多個(gè)圓形衍射孔。通光孔為兩個(gè)且兩個(gè)衍射片上均具有一個(gè)長(zhǎng)方形衍射孔。本實(shí)用新型設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)科學(xué)合理,非常方便地與各種萬能工具測(cè)量?jī)x器配套使用,具有操作簡(jiǎn)便、測(cè)量精度高的特點(diǎn)。
文檔編號(hào)G01N21/41GK2350722SQ98250780
公開日1999年11月24日 申請(qǐng)日期1998年12月20日 優(yōu)先權(quán)日1998年12月20日
發(fā)明者李新春 申請(qǐng)人:李新春