鋁溶射涂層性能測試方法
【技術領域】
[0001] 本發(fā)明屬于一種新型檢測方法，特別是一種針對熱噴涂表面處理性能的檢測。
【背景技術】
[0002] 在表面處理中常使用到鋁溶射，屬于熱噴涂技術的一種，經(jīng)過多年的發(fā)展已趨于 成熟，應用也十分廣泛，其主要作用是增加基材表面的粗糙度和用作改性過渡層。但具體到 專業(yè)的洗凈再生領域，尤其是尺寸越來越大的TFT相關設備部件的表面溶射，由于設備在 生產(chǎn)過程中需求提升，要求部品表面的溶射層具有良好的均勻性、致密性等等，目前行業(yè)內 缺乏有效的檢測和判定方法，通常的外觀、粗糙度檢測往往無法準確識別出鋁溶射層的性 能。

【發(fā)明內容】

[0003] 本發(fā)明的目的在于提供一種有效鋁溶射涂層性能測試方法。
[0004] 為解決上述技術問題，本發(fā)明鋁溶射涂層性能測試方法，使用耐擊穿電壓測試儀 對樣片進行耐擊穿電壓測試；其中所述耐擊穿電壓測試儀的電極與所述樣片之間的間距為 3. 8mm;溶射工藝條件為溶射電壓=30V;溶射電流=150A;噴射氣壓=65X2PSI;溶射距 離=200mm〇
[0005] 本發(fā)明鋁溶射涂層性能測試方法針對金屬基材表面鋁溶射涂層的局部不均勻性， 將具有溶射層的樣片作為一對電極之一，固定相對穩(wěn)定的環(huán)境，向兩極之間施加漸增的電 壓直至發(fā)生尖端放電，記錄放電電位。模擬半導體及TFT相關生產(chǎn)設備中的部品使用初期 狀態(tài)，通過測試放電的難易程度從一個角度來判定溶射層的性能，指導實際的生產(chǎn)環(huán)節(jié)進 行溶射設備、工藝參數(shù)的優(yōu)化和穩(wěn)定性評價，從而提升該類表面處理的質量，減少不良品的 制造和流出。本發(fā)明鋁溶射涂層性能測試方法操作簡單，耗時少，能耗低、可以保證完成去 除粘結劑、清洗效果理想，對粘結片無損傷。
【具體實施方式】
[0006] 擊穿電壓測試是利用尖端放電的原理進行，如果鋁溶射時所獲得的溶射層不夠致 密均勻，則表現(xiàn)在溶射層在微觀狀態(tài)上孔隙不均，局部堆積疏松、甚至出現(xiàn)尖端毛刺。測試 進行時，對電極之間的距離足夠小，施加在兩極間的電壓會尋找最薄弱處放電，毛刺的存在 則會成為最先放電點。
[0007] 本發(fā)明鋁溶射涂層性能測試方法，使用耐擊穿電壓測試儀對樣片進行耐擊穿電壓 測試。
[0008] 1)按照目前TFT生產(chǎn)設備的正常溶射工藝條件，制作5枚樣片作為基準樣片，進行 對電極間距離對擊穿電壓的影響測試試驗，分別定位3mm、3. 5mm、4. 0mm、4. 5mm、5mm，測得結 果如表1 :
[0009]
【主權項】
1.侶溶射涂層性能測試方法，其特征在于，使用耐擊穿電壓測試儀對樣片進行耐擊穿 電壓測試；其中 所述耐擊穿電壓測試儀的電極與所述樣片之間的間距為3. 8mm ; 溶射工藝條件為溶射電壓=30V ;溶射電流=150A ;噴射氣壓=65X2PSI ;溶射距離 =200mm。
【專利摘要】本發(fā)明鋁溶射涂層性能測試方法，使用耐擊穿電壓測試儀對樣片進行耐擊穿電壓測試；其中所述耐擊穿電壓測試儀的電極與所述樣片之間的間距為3.8mm；溶射工藝條件為溶射電壓＝30V；溶射電流＝150A；噴射氣壓＝65×2PSI；溶射距離＝200mm。本發(fā)明鋁溶射涂層性能測試方法操作簡單，耗時少，能耗低、可以保證完成去除粘結劑、清洗效果理想，對粘結片無損傷。
【IPC分類】G01R31-12
【公開號】CN104535911
【申請?zhí)枴緾N201510019137
【發(fā)明人】陳煜 , 賀賢漢, 吳小杰, 尚玉帝
【申請人】上海申和熱磁電子有限公司
【公開日】2015年4月22日
【申請日】2015年1月14日