一種三維移動(dòng)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光學(xué)測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種三維移動(dòng)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，利用光學(xué)測(cè)量技術(shù)精確測(cè)量晶片上單層或多層薄膜的結(jié)構(gòu)，厚度，空間形貌和材料特性變得十分重要。光學(xué)測(cè)量手段的多樣性，使得各種光學(xué)測(cè)量設(shè)備應(yīng)運(yùn)而生，一種測(cè)量設(shè)備往往只能滿足一種測(cè)量的需要，對(duì)于光學(xué)實(shí)驗(yàn)室中多種測(cè)量需要，則需要定制多種不同的測(cè)量設(shè)備。不僅浪費(fèi)財(cái)力，而且不利于環(huán)保。應(yīng)用光學(xué)測(cè)量平臺(tái)對(duì)晶片上單層或多層薄膜的結(jié)構(gòu)，厚度，空間形貌和材料特性進(jìn)行光學(xué)測(cè)量時(shí)，為了能夠使待測(cè)樣品到達(dá)待測(cè)位置，需要從XYZ三個(gè)方向?qū)Υ郎y(cè)樣品進(jìn)行移動(dòng)，現(xiàn)有的移動(dòng)裝置難以保證待測(cè)樣品在XYZ三個(gè)方向均移動(dòng)到精確的測(cè)量位置。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提出了一種能夠保證承載機(jī)構(gòu)在XYZ三個(gè)方向均移動(dòng)到精確的測(cè)量位置的三維移動(dòng)裝置。
[0004]本發(fā)明提供的三維移動(dòng)裝置包括底座、固定連接件、X方向移動(dòng)平臺(tái)、Y方向移動(dòng)平臺(tái)、限位板、升降機(jī)構(gòu)和承載機(jī)構(gòu)，
[0005]所述固定連接件固定連接于所述底座，所述固定連接件上部設(shè)有X方向?qū)蜍墸龉潭ㄟB接件中心具有第一通孔；
[0006]所述X方向移動(dòng)平臺(tái)下部能夠與所述X方向?qū)蜍墭?gòu)成X方向滑動(dòng)副，所述X方向移動(dòng)平臺(tái)上部設(shè)有Y方向?qū)蜍?，所述X方向移動(dòng)平臺(tái)中心具有第二通孔；
[0007]所述Y方向移動(dòng)平臺(tái)的下部能夠與所述Y方向?qū)蜍墭?gòu)成Y方向滑動(dòng)副，所述Y方向移動(dòng)平臺(tái)中心具有第三通孔；
[0008]所述限位板嵌合于所述第三通孔內(nèi)，所述限位板中心具有第四通孔；
[0009]所述第一通孔、第二通孔、第三通孔和第四通孔連通并形成容置空間，所述升降機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述容置空間內(nèi)并受限于所述容置空間；
[0010]所述承載機(jī)構(gòu)固定連接于所述升降機(jī)構(gòu)的頂部。
[0011]本發(fā)明提供的三維移動(dòng)裝置的升降機(jī)構(gòu)受限于由固定連接件的第一通孔、X方向移動(dòng)平臺(tái)的第二通孔、Y方向移動(dòng)平臺(tái)的第三通孔和限位板的第四通孔形成的容置空間，操作X方向移動(dòng)平臺(tái)能夠使該升降機(jī)構(gòu)沿X方向移動(dòng)，操作Y方向移動(dòng)平臺(tái)能夠是該升降機(jī)構(gòu)沿Y方向移動(dòng)，該升降機(jī)構(gòu)本身能夠沿Z方向移動(dòng)，因此，固定連接于該升降機(jī)構(gòu)的承載機(jī)構(gòu)能夠分別沿XYZ三個(gè)方向移動(dòng)到精確的測(cè)量位置。
【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的三維移動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0013]為了深入了解本發(fā)明，下面結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0014]參見附圖1，本發(fā)明提供的光學(xué)測(cè)量平臺(tái)包括底座1、固定連接件2、X方向移動(dòng)平臺(tái)17、Y方向移動(dòng)平臺(tái)18、限位板8、升降機(jī)構(gòu)10和承載機(jī)構(gòu)11。
[0015]固定連接件2固定連接于底座1，固定連接件2上部設(shè)有X方向?qū)蜍?，固定連接件2中心具有第一通孔；
[0016]X方向移動(dòng)平臺(tái)17下部能夠與X方向?qū)蜍?構(gòu)成X方向滑動(dòng)副，X方向移動(dòng)平臺(tái)17上部設(shè)有Y方向?qū)蜍?，X方向移動(dòng)平臺(tái)17中心具有第二通孔；
[0017]Y方向移動(dòng)平臺(tái)18的下部能夠與Y方向?qū)蜍?構(gòu)成Y方向滑動(dòng)副，Y方向移動(dòng)平臺(tái)18中心具有第三通孔；
[0018]限位板8嵌合于第三通孔內(nèi)，限位板8中心具有第四通孔；
[0019]第一通孔、第二通孔、第三通孔和第四通孔連通并形成容置空間9，升降機(jī)構(gòu)10設(shè)置于容置空間9內(nèi)并受限于容置空間9 ；
[0020]承載機(jī)構(gòu)11固定連接于升降機(jī)構(gòu)10的頂部。
[0021]其中，X方向?qū)蜍?具有兩根，對(duì)稱地布置于固定連接件2的Y方向兩側(cè)，從而保證X方向移動(dòng)平臺(tái)的受力平衡。
[0022]其中，Y方向?qū)蜍?具有兩根，對(duì)稱地布置于X方向移動(dòng)平臺(tái)的X方向兩側(cè)，從而保證Y方向移動(dòng)平臺(tái)的受力平衡。
[0023]其中，X方向移動(dòng)平臺(tái)17的Y方向兩側(cè)邊具有向下的第一限位凸起5，第一限位凸起5與固定連接件2的Y方向兩側(cè)接觸，從而，保證X方向移動(dòng)平臺(tái)相對(duì)于固定連接件2的位置。
[0024]其中，Y方向移動(dòng)平臺(tái)18的X方向兩側(cè)邊具有向下的第二限位凸起6，第二限位凸起6與X方向移動(dòng)平臺(tái)17的X方向兩側(cè)接觸，從而保證Y方向移動(dòng)平臺(tái)相對(duì)于X方向移動(dòng)平臺(tái)17的位置。
[0025]其中，本發(fā)明提供的光學(xué)測(cè)量平臺(tái)還包括X方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4，用于驅(qū)動(dòng)X方向移動(dòng)平臺(tái)17沿X方向移動(dòng)，本實(shí)施例中，X方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)4是步進(jìn)電機(jī)，從而實(shí)現(xiàn)本發(fā)明提供的光學(xué)測(cè)量平臺(tái)在X方向的自動(dòng)移動(dòng)，由于該移動(dòng)受步進(jìn)電機(jī)的控制，因此，與手動(dòng)移動(dòng)相t匕，能夠?qū)崿F(xiàn)更加精確。
[0026]其中，本發(fā)明提供的光學(xué)測(cè)量平臺(tái)還包括Y方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13，用于驅(qū)動(dòng)Y方向移動(dòng)平臺(tái)18沿Y方向移動(dòng)，本實(shí)施例中，Y方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)13是步進(jìn)電機(jī)，從而實(shí)現(xiàn)本發(fā)明提供的光學(xué)測(cè)量平臺(tái)在Y方向的自動(dòng)移動(dòng)。
[0027]本發(fā)明提供的三維移動(dòng)裝置的升降機(jī)構(gòu)10受限于由固定連接件2的第一通孔、X方向移動(dòng)平臺(tái)17的第二通孔、Y方向移動(dòng)平臺(tái)18的第三通孔和限位板8的第四通孔形成的容置空間9，操作X方向移動(dòng)平臺(tái)17能夠使該升降機(jī)構(gòu)10沿X方向移動(dòng)，操作Y方向移動(dòng)平臺(tái)18能夠是該升降機(jī)構(gòu)10沿Y方向移動(dòng)，該升降機(jī)構(gòu)10本身能夠沿Z方向移動(dòng)，因此，固定連接于該升降機(jī)構(gòu)10的承載機(jī)構(gòu)11能夠分別沿XYZ三個(gè)方向移動(dòng)。
[0028]將待測(cè)樣品置于本發(fā)明提供的三維移動(dòng)平臺(tái)的承載機(jī)構(gòu)11上時(shí)，待測(cè)樣品便可以隨著承載機(jī)構(gòu)11能夠分別沿XYZ三個(gè)方向移動(dòng)到精確的測(cè)量位置。
[0029]以上所述的【具體實(shí)施方式】，對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種三維移動(dòng)裝置，其特征在于，包括底座、固定連接件、X方向移動(dòng)平臺(tái)、Y方向移動(dòng)平臺(tái)、限位板、升降機(jī)構(gòu)和承載機(jī)構(gòu)， 所述固定連接件固定連接于所述底座，所述固定連接件上部設(shè)有X方向?qū)蜍墸龉潭ㄟB接件中心具有第一通孔； 所述X方向移動(dòng)平臺(tái)下部能夠與所述X方向?qū)蜍墭?gòu)成X方向滑動(dòng)副，所述X方向移動(dòng)平臺(tái)上部設(shè)有Y方向?qū)蜍墸鯴方向移動(dòng)平臺(tái)中心具有第二通孔； 所述Y方向移動(dòng)平臺(tái)的下部能夠與所述Y方向?qū)蜍墭?gòu)成Y方向滑動(dòng)副，所述Y方向移動(dòng)平臺(tái)中心具有第三通孔； 所述限位板嵌合于所述第三通孔內(nèi)，所述限位板中心具有第四通孔； 所述第一通孔、第二通孔、第三通孔和第四通孔連通并形成容置空間，所述升降機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述容置空間內(nèi)并受限于所述容置空間； 所述承載機(jī)構(gòu)固定連接于所述升降機(jī)構(gòu)的頂部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述X方向?qū)蜍壘哂袃筛?，?duì)稱地布置于所述固定連接件的Y方向兩側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述Y方向?qū)蜍壘哂袃筛?，?duì)稱地布置于所述X方向移動(dòng)平臺(tái)的X方向兩側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述X方向移動(dòng)平臺(tái)的Y方向兩側(cè)邊具有向下的第一限位凸起，所述第一限位凸起與所述固定連接件的Y方向兩側(cè)接觸。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述Y方向移動(dòng)平臺(tái)的X方向兩側(cè)邊具有向下的第二限位凸起，所述第二限位凸起與所述X方向移動(dòng)平臺(tái)的X方向兩側(cè)接觸。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括X方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于驅(qū)動(dòng)所述X方向移動(dòng)平臺(tái)沿X方向移動(dòng)。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種三維移動(dòng)裝置，屬于光學(xué)測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域。該裝置包括底座、固定連接件、X方向移動(dòng)平臺(tái)、Y方向移動(dòng)平臺(tái)、限位板、升降機(jī)構(gòu)和承載機(jī)構(gòu)。該裝置的升降機(jī)構(gòu)受限于由固定連接件的第一通孔、X方向移動(dòng)平臺(tái)的第二通孔、Y方向移動(dòng)平臺(tái)的第三通孔和限位板的第四通孔形成的容置空間，操作X方向移動(dòng)平臺(tái)能夠使該升降機(jī)構(gòu)沿X方向移動(dòng)，操作Y方向移動(dòng)平臺(tái)能夠是該升降機(jī)構(gòu)沿Y方向移動(dòng)，該升降機(jī)構(gòu)本身能夠沿Z方向移動(dòng)，因此，固定連接于該升降機(jī)構(gòu)的承載機(jī)構(gòu)能夠分別沿XYZ三個(gè)方向移動(dòng)到精確的測(cè)量位置。
【IPC分類】G01B11-00
【公開號(hào)】CN104567663
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201310498667
【發(fā)明人】吳文鏡, 張?zhí)? 李成敏
【申請(qǐng)人】北京智朗芯光科技有限公司
【公開日】2015年4月29日
【申請(qǐng)日】2013年10月22日