4接通(ON)，在電容器52中保持的電荷被放電，并且DA輸出部62的開關(guān)64a、64b成為接通，在電容器63中保持的電荷被放電。由觸發(fā)器72鎖存的值“I”的數(shù)字信號在下一個期間Pl被輸入到DA變換部48的DA切換部47，被切換為產(chǎn)生相當(dāng)于值“-10”的電荷的基準(zhǔn)電壓V50。同樣地，由觸發(fā)器72鎖存的值“ I ”的數(shù)字信號被輸入到DA變換部66的DA切換部59，被切換為產(chǎn)生相當(dāng)于值“10”的電荷的基準(zhǔn)電壓V60。由此，在DA輸出部51的電容器52中蓄積與基準(zhǔn)電壓V50的相當(dāng)于值“-10”的電荷相對應(yīng)的電荷并輸入到積分電路56，并且在DA輸出部62的電容器63中蓄積與基準(zhǔn)電壓V60的相當(dāng)于值“10”的電荷相對應(yīng)的電荷，并輸入到積分電路67。隨之，在期間Pl中開關(guān)55接通，與由檢測元件30的感測電極34產(chǎn)生的相當(dāng)于值“8”的電荷相對應(yīng)的電荷被輸出到積分電路56。而且，開關(guān)65接通，從感測電極35輸入與相當(dāng)于值“8”的電荷相對應(yīng)的電荷到積分電路67。
[0042]由此，在期間P2中，在積分電路56的電容器58中對圖2所示的電荷量G34和由DA變換部48輸出的電荷量的總和進(jìn)行積分，由相當(dāng)于值“6”的電荷構(gòu)成的輸出信號被保持在積分電路56中。同樣地，在期間P2中，在積分電路67的電容器69中對圖2所不的電荷量G35和由DA變換部66輸出的電荷量的總和進(jìn)行積分，由相當(dāng)于值“_6”的電荷構(gòu)成的輸出信號被保持在積分電路67中。比較器71將對積分電路56、67的輸出信號進(jìn)行比較的結(jié)果作為I比特?cái)?shù)字信號而輸出到觸發(fā)器72。每次反復(fù)期間P1、P2中的上述動作，保持在積分電路56中的電壓就依次下降與相當(dāng)于值“2”的電荷相當(dāng)?shù)碾妷?，另一方面，保持在積分電路67中的電壓增加與相當(dāng)于值“2”的電荷相當(dāng)?shù)碾妷?。結(jié)果，直到保持在積分電路56、67中的電壓成為相當(dāng)于值“O”的電荷為止，比較電路70輸出值“I”的I比特?cái)?shù)字信號。然后，若保持在積分電路56中的電壓成為相當(dāng)于值“_2”的電荷，并且保持在積分電路67中的電壓成為相當(dāng)于值“2”的電荷，則比較器71輸出值“-1”的I比特?cái)?shù)字信號。由此，觸發(fā)器72將值“-1”的輸出信號輸出到DA切換部47、DA切換部59，從DA變換部48的基準(zhǔn)電壓V49輸出相當(dāng)于值“ 10 ”的電荷的電壓，所對應(yīng)的電荷保持在電容器52中，并且從DA變換部66的基準(zhǔn)電壓V61輸出相當(dāng)于值“-10”的電荷的電壓，所對應(yīng)的電荷保持在電容器63中。由此，在積分電路56中保持相當(dāng)于值“16”的電荷的電壓，并且在積分電路67中保持相當(dāng)于值“-16”的電荷的電壓。之后，積分電路56、67的輸出電壓以與相當(dāng)于值“2”的電荷相當(dāng)?shù)碾妷合鄳?yīng)量為單位依次變化，從而比較器71輸出9次值“I”的I比特?cái)?shù)字信號之后，輸出I次值“-1”的I比特?cái)?shù)字信號。通過對該I比特?cái)?shù)字信號進(jìn)行多比特化從而將值“0.8”的輸出信號作為表示物理量即角速度的檢測信號來輸出。在數(shù)字濾波器74中輸入由檢測電路73輸出的I比特?cái)?shù)字信號，進(jìn)行去除噪聲分量的濾波處理，并向校正運(yùn)算部75輸出表示物理量即角速度的檢測值S74。
[0043]圖3是校正運(yùn)算部75的電路圖。校正運(yùn)算部75對檢測值S74進(jìn)行校正并輸出校正后值S89。校正運(yùn)算部75具有微分判定部77、AND運(yùn)算器78、窗口比較器80、更新條件判定部81、更新緩沖器79、減法運(yùn)算器89和延遲設(shè)定部84。在微分判定部77中輸入檢測值S74。在AND運(yùn)算器78中輸出來自微分判定部77的輸出信號。更新緩沖器79保持偏置值
S79。減法運(yùn)算器89通過從由數(shù)字濾波器74輸出的檢測值S74減去偏置值S79來輸出校正后值S89。在物理量傳感器1000中，校正運(yùn)算部75根據(jù)檢測值S74、校正后值S89它們自身來判定檢測值S74的變動是否是因?qū)z測元件30賦予檢測值S74的物理量以外的溫度漂移(drift)等主要原因而引起的。校正運(yùn)算部75在檢測值S74是因物理量以外的主要原因而引起的情況下，對從檢測值S74減去的偏置值S79進(jìn)行更新使得校正后值S89實(shí)質(zhì)上成為零值。在檢測值S74是基于物理量的情況下，更新緩沖器79停止偏置值S79的更新，減法運(yùn)算器89輸出從檢測值S74減去所保持的偏置值S79而得到的校正后值S89。
[0044]以下說明校正運(yùn)算部75的動作的詳細(xì)情況。延遲設(shè)定部84將使檢測值S74延遲給定時(shí)間而得到的延遲檢測值S84輸出到更新緩沖器79。微分判定部77對從數(shù)字濾波器74 (檢測電路73)輸出的檢測值S74進(jìn)行時(shí)間微分而得到微分值。微分判定部77在該微分值的絕對值為給定微分閾值THDl (實(shí)施方式I中為800deg/sec2)以下的情況下將高電平(有效電平:active level)的信號S77輸出到AND運(yùn)算器78，而在該微分值的絕對值大于給定微分閾值THDl的情況下將低電平(非有效電平)的信號S77輸出到AND運(yùn)算器78。窗口比較器80在從減法運(yùn)算器89輸出的校正后值S89的絕對值是給定輸出閾值THl (實(shí)施方式I中為2deg/sec)以下的情況下將高電平(有效電平)的信號S80輸出到AND運(yùn)算器78，而在校正后值S89的絕對值大于給定輸出閾值THl的情況下將低電平(非有效電平)的信號S80輸出到AND運(yùn)算器78。AND運(yùn)算器78僅在來自微分判定部77和窗口比較器80的信號S77、S80都是高電平(有效電平)的情況下輸出高電平(有效電平)的信號S78，并判定為未對檢測元件30賦予物理量即角速度。另一方面，AND運(yùn)算器78在信號S77、S80的至少I個是低電平(非有效電平)的情況下輸出低電平(非有效電平)的信號S78，并判定為對檢測元件30賦予有物理量即角速度。若從AND運(yùn)算器78持續(xù)輸出給定漂移持續(xù)時(shí)間(實(shí)施方式I中為0.5sec)以上的高電平(有效電平)的信號S78，則更新條件判定部81向更新緩沖器79輸出一次更新指示信號S81。若即使輸出了更新指示信號S81之后從AND運(yùn)算器78又持續(xù)輸出給定漂移持續(xù)時(shí)間(實(shí)施方式I中為0.5sec)以上的高電平(有效電平)的信號S78，則更新條件判定部81向更新緩沖器79再輸出更新指示信號SSlo更新緩沖器79若接受更新指示信號S81，則進(jìn)行動作使得從減法運(yùn)算器89輸出的校正后值S89實(shí)質(zhì)上成為零值。具體來說，若接收更新指示信號S81，則更新緩沖器79用此時(shí)的延遲檢測值S84替換偏置值S79來更新偏置值S79并保持。在輸出了更新指示信號S81的情況下檢測值S74的時(shí)間微分值小且變化小，所以在剛接受到更新指示信號S81之后偏置值S79就等于檢測值S74。在該狀態(tài)下減法運(yùn)算器89從檢測值S74減去偏置值S79而得到校正后值S89，所以校正后值S89實(shí)質(zhì)上成為零值。在實(shí)施方式I中，更新緩沖器79只要沒有接受更新指示信號S81就維持偏置值S79而不進(jìn)行更新。
[0045]NOT運(yùn)算器82將窗口比較器80所輸出的信號S80進(jìn)行反相來輸出信號S82。艮P，NOT運(yùn)算器82在校正后值S89的絕對值大于輸出閾值THl (實(shí)施方式I中為2deg/sec)的情況下將高電平(有效電平)的信號S82輸出到更新緩沖器79，而在校正后值S89的絕對值是輸出閾值THl以下的情況下將低電平(非有效電平)的信號S82輸出到更新緩沖器79。更新緩沖器79若接受低電平的信號S82，則判斷為對檢測元件30賦予有物理量即角速度，從而更新緩沖器79維持并保持所保持的偏置值S79而不對其進(jìn)行更新。減法運(yùn)算器89輸出從檢測值S74減去所維持的偏置值S79而得到的校正后值S89。
[0046]起動時(shí)控制部83僅在物理量傳感器1000的起動時(shí)將更新條件判定部81中的給定漂移持續(xù)時(shí)間設(shè)定得比起動時(shí)以后的通常動作時(shí)的漂移持續(xù)時(shí)間短。在實(shí)施方式I中，起動時(shí)的漂移持續(xù)時(shí)間設(shè)定為0.15sec,比通常動作時(shí)的給定漂移持續(xù)時(shí)間的0.5sec設(shè)定得短。
[0047]關(guān)于周圍的溫度變化時(shí)的物理量傳感器1000的動作進(jìn)行說明。圖4表示從數(shù)字濾波器74 (檢測電路73)輸出的檢測值S74、微分判定部77的輸出信號S77、校正后值S89和窗口比較器80的輸出信號S80。在圖4中橫軸表不時(shí)間。由于物理量傳感器1000的周圍的溫度發(fā)生變化，從數(shù)字濾波器74 (檢測電路73)輸出的檢測值S74發(fā)生變化。在檢測值S74中出現(xiàn)低頻的變動FL。變動FL的時(shí)間微分值的絕對值為微分判定部77的給定微分閾值THDl (實(shí)施方式I中為800deg/sec2)以下。
[0048]由于變動FL的時(shí)間微分值為給定微分閾值THDl (實(shí)施方式I中為800deg/sec2)以下，所以微分判定部77輸出高電平的信號S77。由于從減法運(yùn)算器89輸出的校正后值S89的絕對值為給定輸出閾值THl (2deg/sec)以下，所以窗口比較器80輸出高電平的信號
S80。于是，AND運(yùn)算器78輸出高電平的信號。若AND運(yùn)算器78輸出高電平的信號的狀態(tài)持續(xù)給定漂移持續(xù)時(shí)間(實(shí)施方式I中為0.5sec)以上，則更新條件判定部81向更新緩沖器79輸出更新指示信號S81。更新緩沖器79若接受更新指示信號S81，則通過用延遲檢測值S84置換偏置值S79來更新偏置值S79并保持。此時(shí)，由于檢測值S74的微分值的絕對值小且檢測值S74的變化小，所以延遲檢測值S84與檢測值S74相等，從而偏置值S79與檢測值S74相等。由于減法運(yùn)算器89從檢測值S74減去偏置值S79而得到校正后值S89，所以如圖4所示，更新緩沖器79對檢測值S74進(jìn)行校正使得校正后值S89的低頻即變動FL的部分實(shí)質(zhì)上成為零值。
[0049]此時(shí)，防止在對檢測元件30賦予有物理量即角速度的情況下，更新緩沖器79誤將校正后值S89強(qiáng)制性地校正為零值。因此，在實(shí)施方式I中的物理量傳感器1000中，窗口比較器80以及NOT運(yùn)算器82對物理量即角速度被施加給檢測元件30的情況進(jìn)行探測，更新緩沖器79停止對偏置值S79進(jìn)行更新并輸出從檢測值S74減去偏置值S79而得到的校正后值S89，能夠得到施加角速度時(shí)的校正后值S89。
[0050]起動時(shí)控制部83將物理量傳感器1000的起動時(shí)的更新條件判定部81中的判定中使用的給定漂移持續(xù)時(shí)間的值(實(shí)施方式I中為0.15sec)設(shè)定得比起動時(shí)以外的通常動作時(shí)的給定漂移持續(xù)時(shí)間的值(實(shí)施方式I中為0.5sec)短。由此，即使在檢測電路73的輸出的變動較大的起動時(shí)，物理量傳感器1000也能夠正確地檢測物理量即角速度。
[0051]圖5A是延遲設(shè)定部84的電路圖。圖5B表示延遲設(shè)定部84的信號。延遲設(shè)定部84由延遲元件84A構(gòu)成，所述延遲元件84A由D型觸發(fā)器構(gòu)成。延遲設(shè)定部84由與檢測值S74的比特?cái)?shù)相應(yīng)的量的延遲元件84A構(gòu)成。如圖5B所示，從檢測電路73經(jīng)由數(shù)字濾波器74輸出的檢測值S74的數(shù)據(jù)DO、D1、…與具有給定周期(實(shí)施方式I中為0.05sec)的檢測值采樣時(shí)鐘CK74同步地被輸出。更新緩沖器79若接受更新指示信號S81，則與具有將檢測值采樣時(shí)鐘CK74的周期與更新速率(updating rate)(實(shí)施方式I中為4)相乘而得到的周期(實(shí)施方式I中為0.2sec)的更新采樣時(shí)鐘CK79同步地取入延遲檢測值S84作為偏置值S79來保持。即更新緩沖器79能夠不取入檢測值S74的數(shù)據(jù)D0、D1、…而是取入檢測值S74的數(shù)據(jù)D0、D4、D8、…并作為偏置值S79來保持。由更新緩沖器79和減法運(yùn)算器89校正的檢測值S74的變動FL的時(shí)間微分值較小，所以檢測值S74的變動FL中的變化遲緩。因此，更新緩沖器79能夠通過保持抽取出的數(shù)據(jù)DO、D4、D8、…而并非檢測值S74的全部數(shù)據(jù)D0、D1、…，得到使變動FL充分地降低后的校正后值S89。
[0052]延遲元件84A與更新采樣時(shí)鐘CK79同步地保持檢測值S74的數(shù)據(jù)D0、D4、D8、…并延遲與更新采樣時(shí)鐘CK79的I個周期相應(yīng)的量，即延遲將檢測值采樣時(shí)鐘CK74的周期乘以更新速率而得到的周期來作為延遲檢測值S84進(jìn)行輸出。
[0053]圖5C是比較例的延遲設(shè)定部584的電路圖。在圖5C中，對與圖5A所示的實(shí)施方式I中的延遲設(shè)定部84相同的部分附上相同的參照編號。延遲設(shè)定部584