研磨機(jī)研磨盤測(cè)量裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及測(cè)量裝置，尤其涉及研磨盤測(cè)量裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]研磨機(jī)是用涂上或嵌入磨料的研具對(duì)工件表面進(jìn)行研磨的磨床。主要用于研磨工件中的高精度平面、內(nèi)外圓柱面、圓錐面、球面、螺紋面和其他型面。研磨機(jī)的主要類型有圓盤式研磨機(jī)、轉(zhuǎn)軸式研磨機(jī)和各種專用研磨機(jī)。圓盤式研磨機(jī)的研磨盤每天都要進(jìn)行測(cè)量來保證盤面的平整度，目前測(cè)量盤面的工具一般采用刀尺和水平尺，測(cè)量時(shí)誤差大、測(cè)量不準(zhǔn)確，從而影響盤面的平整度。尤其是對(duì)于研磨晶片來說，晶片的平整度對(duì)于晶片的頻率有著非常大的影響。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是解決研磨盤平整度測(cè)量誤差大的問題，提供一種研磨盤測(cè)量裝置。
[0004]本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:研磨機(jī)研磨盤測(cè)量裝置，包括“L”型底座，所述的“L”型底座側(cè)邊外側(cè)固接有一個(gè)固定腳，所述的“L”型底座底邊固接有兩個(gè)固定腳，所述的“L”型底座底邊內(nèi)側(cè)固接有三個(gè)千分表，所述的三個(gè)千分表的中心處于同一水平面。
[0005]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述的千分表通過螺栓與“L”型底座連接。
[0006]本發(fā)明采用的有益效果是:固定腳能夠?qū)y(cè)量裝置和研磨盤固定，分布在“L”型底座的三個(gè)千分表同時(shí)工作測(cè)量研磨盤的平整度，確保測(cè)量研磨盤的精確度更高，可以精確到半絲以內(nèi)。
【附圖說明】
[0007]圖1為本發(fā)明示意圖。
[0008]圖中所示:1 “L”型底座，2固定腳，3千分表。
【具體實(shí)施方式】
[0009]下面結(jié)合圖1，對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的說明。
[0010]如圖1所示，研磨機(jī)研磨盤測(cè)量裝置，包括“L”型底座1，“L”型底座I側(cè)邊固接有一個(gè)固定腳2，“L”型底座I底邊外側(cè)固接有兩個(gè)固定腳2，“L”型底座I底邊內(nèi)側(cè)固接有三個(gè)千分表3，三個(gè)千分表3的中心處于同一水平面。利用三點(diǎn)構(gòu)成一個(gè)平面的原理，分別設(shè)置三個(gè)固定腳和三個(gè)千分表。以確保測(cè)量的準(zhǔn)確度。
[0011]千分表3通過螺栓與“L”型底座I連接，使得千分表能夠在垂直高度能夠進(jìn)行微調(diào)，以保證三個(gè)千分表能夠基本處于一個(gè)水平面。
[0012]采用了上述方案，使每天測(cè)量研磨盤的精確度更高，可以精確到半絲以內(nèi)。相對(duì)于一般的測(cè)量方法只精確到5絲以內(nèi)有了極大的提高，這樣研磨出的晶片頻率更準(zhǔn)確、更集中，大大提高了產(chǎn)品品質(zhì)與合格率，降低了生產(chǎn)成本。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.研磨機(jī)研磨盤測(cè)量裝置，其特征是包括“L”型底座(I)，所述的“L”型底座(I)側(cè)邊固接有一個(gè)固定腳(2)，所述的“L”型底座(I)底邊外側(cè)固接有兩個(gè)固定腳(2)，所述的“L”型底座(I)底邊內(nèi)側(cè)固接有三個(gè)千分表(3),所述的三個(gè)千分表(3)的中心處于同一水平面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨機(jī)研磨盤測(cè)量裝置，其特征是所述的千分表(3)通過螺栓與“L”型底座(I)連接。
【專利摘要】本發(fā)明公開了研磨機(jī)研磨盤測(cè)量裝置，其特征是包括“L”型底座（1），所述的“L”型底座（1）側(cè)邊固接有一個(gè)固定腳（2），所述的“L”型底座（1）底邊外側(cè)固接有兩個(gè)固定腳（2），所述的“L”型底座（1）底邊內(nèi)側(cè)固接有三個(gè)千分表（3），所述的三個(gè)千分表（3）的中心處于同一水平面。采用了上述方案，使每天測(cè)量研磨盤的精確度更高，可以精確到半絲以內(nèi)。相對(duì)于一般的測(cè)量方法只精確到5絲以內(nèi)有了極大的提高，這樣研磨出的晶片頻率更準(zhǔn)確、更集中，大大提高了產(chǎn)品品質(zhì)與合格率，降低了生產(chǎn)成本。
【IPC分類】G01B5-28
【公開號(hào)】CN104654989
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201310597159
【發(fā)明人】程路平
【申請(qǐng)人】銅陵市精品工具模具有限責(zé)任公司
【公開日】2015年5月27日
【申請(qǐng)日】2013年11月25日