一種非接觸式電容復(fù)合電極型位移傳感器及測(cè)量?jī)x的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種非接觸式電容復(fù)合電極型位移傳感器及測(cè)量?jī)x，屬于位移型傳感 器技術(shù)及測(cè)量?jī)x技術(shù)，特別適用于位移、厚度和振動(dòng)的測(cè)量。
【背景技術(shù)】
[0002] 非接觸式電容微位移傳感器的應(yīng)用十分廣泛，其進(jìn)行位移測(cè)量的原理方法和儀器 也很多。如電容運(yùn)算法、電容諧振法、電容調(diào)頻法、電容調(diào)幅法、電容調(diào)脈寬法等等,通過(guò)變 換將被測(cè)位移轉(zhuǎn)換為電量輸出。以電容運(yùn)算法測(cè)量?jī)x為例：該儀器的測(cè)量原理是以電容運(yùn)
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種非接觸式電容復(fù)合電極型位移傳感器及測(cè)量?jī)x，其特征在于：該位移傳感器由 外屏蔽電極殼及其殼內(nèi)的測(cè)量電極、內(nèi)屏蔽電極、電路板、電纜接頭構(gòu)成。其特征在于內(nèi)屏 蔽電極與測(cè)量電極之間加設(shè)了復(fù)合電極。在該傳感器上端設(shè)有氣嘴接頭，該氣嘴與傳感器 內(nèi)腔及電極間隙構(gòu)成氣路通道。電極所連接的電路板主要包括熱敏元件、壓力敏感元件和 濕敏元件組成。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種非接觸式電容復(fù)合電極型位移傳感器及測(cè)量?jī)x，特別適用于位移和厚度的測(cè)量。所述的傳感器由外屏蔽電極殼、測(cè)量電極、復(fù)合電極、內(nèi)屏蔽電極、電路板、電纜接頭構(gòu)成。并在該傳感器上端設(shè)有氣嘴接頭，該氣嘴與傳感器內(nèi)腔及電極間隙構(gòu)成氣路通道。電路板主要包括熱敏元件、壓力敏感元件和濕敏元件。所述的測(cè)量?jī)x包括標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)發(fā)生器電路，負(fù)反饋運(yùn)算放大器，單片機(jī)數(shù)據(jù)處理及控制電路，顯示電路系統(tǒng)構(gòu)成。本發(fā)明具有被測(cè)位移僅僅與儀器的結(jié)構(gòu)參數(shù)有關(guān)，而與被測(cè)物體所在介質(zhì)環(huán)境的變化無(wú)關(guān)的特點(diǎn)。因此它幾乎不受外界環(huán)境介質(zhì)對(duì)位移測(cè)量的影響。提高儀器的穩(wěn)定性、重復(fù)性、分辨力和線性度更好，測(cè)量范圍更寬，應(yīng)用范圍廣泛。
【IPC分類】G01B7-06, G01H11-06, G01B7-02
【公開號(hào)】CN104654995
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201310578632
【發(fā)明人】鞠洪建
【申請(qǐng)人】大連康賽譜科技發(fā)展有限公司
【公開日】2015年5月27日
【申請(qǐng)日】2013年11月15日