擦可編程只讀存儲器(Electrically Erasable Programmable Read Only Memory ;EEPR0M)，和閃速存儲器裝置；磁盤，例如，內(nèi)部硬盤或可移動(dòng)磁盤；磁光盤；和光盤只讀存儲器(Compact Disc-Read OnlyMemory ；CD ROM)和數(shù)字化視頻光盤只讀存儲器(Digital Video Disk Read Only Memory ；DVD-ROM)磁盤。處理器和存儲器可由特殊目的邏輯電路補(bǔ)充，或并入特殊目的邏輯電路。
[0076]對本說明書中所述的各種系統(tǒng)和過程，所述系統(tǒng)和過程的部分的控制可實(shí)施在包括指令的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品中，所述指令存儲在一或多個(gè)非暫態(tài)計(jì)算機(jī)可讀存儲媒體上，且所述指令在一或多個(gè)處理裝置上可執(zhí)行。在本說明書中描述的系統(tǒng)，或所述系統(tǒng)的部分可實(shí)施為設(shè)備、方法，或電子系統(tǒng)，所述設(shè)備、方法，或電子系統(tǒng)可包括一或多個(gè)處理裝置和存儲器，所述存儲器用于存儲執(zhí)行本說明書中所述的操作的可執(zhí)行指令。
[0077]雖然本說明書包含許多特定實(shí)施細(xì)節(jié)，但是所述細(xì)節(jié)不應(yīng)被理解為對任何發(fā)明范圍或?qū)赡苤鲝埖姆秶南拗?，而是?yīng)被理解為可能特定于特定發(fā)明的特殊實(shí)施例的特征的描述。在個(gè)別實(shí)施例的上下文中的在本說明書描述的某些特征也可在單個(gè)實(shí)施例中以組合實(shí)施。相反地，在單個(gè)實(shí)施例的上下文中描述的各種特征也可分別地在多個(gè)實(shí)施例中或以任何適當(dāng)?shù)淖咏M合實(shí)施。此外，盡管特征可在上文中被描述為以某些組合起作用且甚至最初地如此主張，但是有時(shí)可從組合中除去來自所主張組合的一或多個(gè)特征，且所主張的組合可針對于子組合或子組合的變化。
[0078]類似地，雖然操作在附圖中以特定次序圖示，但是不應(yīng)將此理解為要求所述操作以所圖示的特定次序或以順序次序執(zhí)行，或要求執(zhí)行所有圖示的操作以獲得所需結(jié)果。在某些情況下，多重任務(wù)和并行處理可能是有利的。此外，在上述實(shí)施例中的各種系統(tǒng)模塊和元件的分離不應(yīng)被理解為要求在所有實(shí)施例中的所述分離；且應(yīng)理解，所述程序元件和系統(tǒng)可通常在單個(gè)軟件產(chǎn)品中集成在一起或封裝到多個(gè)軟件產(chǎn)品中。
[0079]已描述本發(fā)明標(biāo)的的特定實(shí)施例。其他實(shí)施例在以下權(quán)利要求書的范圍之內(nèi)。例如，在權(quán)利要求書中所述的動(dòng)作可以不同次序執(zhí)行且仍獲得所需結(jié)果。作為一個(gè)實(shí)例，在附圖中所示的過程不必要求所圖示的特定次序，或順序次序以獲得所需結(jié)果。在一些情況下，多重任務(wù)和并行處理可能是有利的。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種基于計(jì)算機(jī)的方法，包含: 通過一或多個(gè)計(jì)算機(jī)接收在基板上的數(shù)個(gè)不同位置處從所述基板反射的數(shù)個(gè)測量光譜，所述基板包含具有不同結(jié)構(gòu)特征的至少兩個(gè)區(qū)域； 通過所述一或多個(gè)計(jì)算機(jī)對所述數(shù)個(gè)測量光譜執(zhí)行群集算法，以基于所述數(shù)個(gè)測量光譜的光譜特性將所述數(shù)個(gè)測量光譜分成若干群組； 選擇所述若干群組中的一個(gè)群組以提供選定群組，所述選定群組具有來自所述數(shù)個(gè)測量光譜的光譜子集；和 在所述一或多個(gè)計(jì)算機(jī)中基于所述選定群組的所述光譜子集確定所述基板的至少一個(gè)表征值。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述表征值是所述基板的最外層的厚度。
3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述群集算法包含k均值群集算法。
4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，執(zhí)行所述群集算法包含為每一群組初始化矩心。
5.如權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，為每一群組初始化矩心包含從所述數(shù)個(gè)測量光譜中選擇光譜以提供選定光譜，和設(shè)置所述矩心以具有所述選定光譜的光譜特性。
6.如權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，為每一群組初始化矩心包含從所述數(shù)個(gè)測量光譜中選擇具有最大距離度量的光譜對，設(shè)置第一矩心以具有所述光譜對中的第一光譜的光譜特性和設(shè)置第二矩心以具有所述光譜對中的第二光譜的光譜特性。
7.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，從所述數(shù)個(gè)測量光譜中選擇具有最大距離度量的光譜對包含確定來自所述數(shù)個(gè)測量光譜的每對光譜之間的歐幾里得距離，和選擇具有最大歐幾里德距離的光譜對。
8.如權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，執(zhí)行所述群集算法包含將所述接收的數(shù)個(gè)光譜的每一光譜分配到所述光譜的最接近的初始化矩心，和基于所述分配形成多個(gè)群組。
9.如權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，執(zhí)行所述群集算法包含通過對每一群組中的所述光譜求平均來為每一群組產(chǎn)生新的矩心。
10.如權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，執(zhí)行所述群集算法包含將所述接收的數(shù)個(gè)光譜的每一光譜再分配到所述光譜的最接近的新的矩心，和基于所述分配形成多個(gè)新的群組。
11.如權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于，執(zhí)行所述群集算法包含迭代地更新所述新的矩心和形成新的群組，直到所述新的矩心收斂為止。
12.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述群組的數(shù)目被選擇為大于在所述基板上預(yù)計(jì)的區(qū)域的數(shù)目。
13.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述數(shù)個(gè)測量光譜是在所述基板的拋光之前使用在線監(jiān)控系統(tǒng)測量的。
14.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述數(shù)個(gè)測量光譜是在所述基板的拋光期間使用原位監(jiān)控系統(tǒng)測量的。
15.—種位于計(jì)算機(jī)可讀媒體上的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，所述計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品包含促使處理器執(zhí)行以下操作的指令: 接收在基板上的數(shù)個(gè)不同位置處從所述基板反射的數(shù)個(gè)測量光譜，所述基板包含具有不同結(jié)構(gòu)特征的至少兩個(gè)區(qū)域； 對所述數(shù)個(gè)測量光譜執(zhí)行群集算法，以基于所述數(shù)個(gè)測量光譜的光譜特性將所述數(shù)個(gè)測量光譜分成若干群組； 選擇所述若干群組中的一個(gè)群組以提供選定群組，所述選定群組具有來自所述數(shù)個(gè)測量光譜的光譜子集；和 基于所述選定群組的所述光譜子集確定所述基板的至少一個(gè)表征值。
16.如權(quán)利要求15所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其特征在于，所述表征值為所述基板的最外層的厚度。
17.如權(quán)利要求15所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其特征在于，所述群組的數(shù)目被選擇為大于在所述基板上預(yù)計(jì)的區(qū)域的數(shù)目。
18.一種拋光系統(tǒng)，包含: 支撐件，用于保持拋光墊； 載具頭，用于保持包含至少兩個(gè)區(qū)域的基板與所述拋光墊接觸，所述至少兩個(gè)區(qū)域具有不同結(jié)構(gòu)特征； 原位光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng)，用于測量在所述基板上的數(shù)個(gè)不同位置處從基板反射的數(shù)個(gè)測量光譜；和 計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，包含: 處理器； 存儲器；和 存儲裝置，所述存儲裝置存儲使用所述存儲器通過所述處理器執(zhí)行的程序，所述程序包含被配置以促使所述處理器執(zhí)行以下操作的指令: 從所述原位光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng)接收反射的所述數(shù)個(gè)測量光譜； 對所述數(shù)個(gè)測量光譜執(zhí)行群集算法，以基于所述數(shù)個(gè)測量光譜的光譜特性將所述數(shù)個(gè)測量光譜分成若干群組； 選擇所述若干群組中的一個(gè)群組以提供選定群組，所述選定群組具有來自所述數(shù)個(gè)測量光譜的光譜子集；和 基于所述選定群組的所述光譜子集確定所述基板的至少一個(gè)表征值；和 基于所述表征值決定拋光終點(diǎn)。
19.如權(quán)利要求18所述的拋光系統(tǒng)，其特征在于，所述表征值為所述基板的最外層的厚度。
20.如權(quán)利要求18所述的拋光系統(tǒng)，其特征在于，所述群組的數(shù)目被選擇為大于在所述基板上預(yù)計(jì)的區(qū)域的數(shù)目。
【專利摘要】本發(fā)明尤其描述了基于計(jì)算機(jī)的方法。所述方法包含通過一或多個(gè)計(jì)算機(jī)接收在基板上的數(shù)個(gè)不同位置處從基板反射的數(shù)個(gè)測量光譜。所述基板包含具有不同結(jié)構(gòu)特征的至少兩個(gè)區(qū)域。所述方法還包含：通過一或多個(gè)計(jì)算機(jī)對數(shù)個(gè)測量光譜執(zhí)行群集算法以基于數(shù)個(gè)測量光譜的光譜特性將數(shù)個(gè)測量光譜分成若干群組；選擇所述若干群組中的一個(gè)群組以提供選定群組，所述選定群組具有來自數(shù)個(gè)測量光譜的光譜子集；和在一或多個(gè)計(jì)算機(jī)中，基于選定群組的光譜子集確定基板的至少一個(gè)表征值。
【IPC分類】G01N21-25
【公開號】CN104849218
【申請?zhí)枴緾N201410578917
【發(fā)明人】J·D·戴維, B·A·斯韋德克
【申請人】應(yīng)用材料公司
【公開日】2015年8月19日
【申請日】2014年10月24日
【公告號】US20150120242