圖像生成裝置、缺陷檢查裝置以及缺陷檢查方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及生成用于檢查薄片狀成形體的缺陷的圖像數(shù)據(jù)的圖像生成裝置、具備該圖像生成裝置的缺陷檢查裝置以及缺陷檢查方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)有技術(shù)中，作為用于檢查偏振薄膜、相位差薄膜等薄片狀成形體的缺陷的方法，公知有利用了照相機(jī)的檢查。例如，JP特開2007-333563號公報(bào)(專利文獻(xiàn)I)中，通過光源向薄片狀成形體照射光，通過線傳感器照相機(jī)(line sensor camera)拍攝透過以及折射了該薄片狀成形體的透射光像，從而檢查該薄片狀成形體的缺陷。此外，在現(xiàn)有技術(shù)中，還公知有拍攝反射光像來代替拍攝透射光像，由此檢查薄片狀成形體的缺陷的方法。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]利用圖10，說明通過線傳感器照相機(jī)檢查有無在薄片狀成形體中產(chǎn)生的點(diǎn)狀凹部缺陷的方法的一例。假設(shè)圖10所示的薄片狀成形體L在其寬度方向X中央產(chǎn)生了點(diǎn)狀凹部缺陷U。薄片狀成形體L被傳輸?shù)狡溟L邊方向Y的一方，其結(jié)果，如圖10(a)?圖10(c)所不，凹部缺陷L1沿著長邊方向Y的一方而依次移動(dòng)。
[0004]如圖10(a)?圖10(c)所示，通過在寬度方向X上延伸的未圖示的光源，在薄片狀成形體L中產(chǎn)生了明部L2和暗部L 3。光源的位置被固定，通過傳輸薄片狀成形體L，從而明部匕的位置在薄片狀成形體L上沿著長邊方向Y的另一方而依次移動(dòng)。將未圖示的線傳感器照相機(jī)設(shè)置成該明部L2與暗部L 3的邊界線附近成為攝像范圍B。線傳感器照相機(jī)的位置相對于光源是固定的，穩(wěn)定地傳輸薄片狀成形體L，且只要凹部缺陷L1F存在于攝像區(qū)域附近，就如圖10(a)以及圖10(c)所示，明部L2與暗部L3的邊界線附近的像就相同，通過線傳感器照相機(jī)取得的圖像匕、63也相同。但是，如圖10(b)所示，在凹部缺陷L ^立于攝像區(qū)域附近的情況下，明部L2與暗部L 3的邊界線附近的像就會(huì)因該凹部缺陷L i而發(fā)生變化，其結(jié)果，通過線傳感器照相機(jī)取得的圖像62中，與圖像G 1、G/變得不同，暗部L 3被拍攝得較大。因此，如圖10(d)所示，依次合成通過線傳感器照相機(jī)取得的圖像，從而能夠合成通過暗部表示了凹部缺陷L1的位置的檢查用圖像G 4。
[0005]如上所述，利用圖10說明的缺陷檢查的方法以穩(wěn)定地傳輸薄片狀成形體L作為前提。但是，薄片狀成形體L有時(shí)會(huì)在傳輸中不穩(wěn)定，不可能做到完全穩(wěn)定的傳輸。如果薄片狀成形體L在傳輸中有變化，則該薄片狀成形體L與線傳感器照相機(jī)以及光源之間的位置關(guān)系發(fā)生變化，因此有時(shí)無法通過上述缺陷檢查的方法很好地發(fā)現(xiàn)缺陷。
[0006]另外，在本發(fā)明中，薄片狀成形體有變化的狀態(tài)是指，例如在水平方向上傳輸薄片狀成形體的情況下，指薄片狀成形體的一部分或全部在上下被激烈地晃動(dòng)的狀態(tài)，例如在垂直方向上傳輸薄片狀成形體的情況下，指薄片狀成形體的一部分或全部在左右被激烈地晃動(dòng)的狀態(tài)。
[0007]利用圖11來說明薄片狀成形體L有變化的情況。在圖11(a)以及圖11(b)中，未產(chǎn)生變化，與圖10(a)以及圖10(b)的狀態(tài)相同，在圖11(c)中，產(chǎn)生了變化。如圖11(c)所示，如果薄片狀成形體L有變化，則即便凹部缺陷L1不在攝像區(qū)域附近，明部L 2與暗部L3的邊界線附近的像也會(huì)因薄片狀成形體L的變化而發(fā)生改變，其結(jié)果，在通過線傳感器照相機(jī)取得的圖像65中，與圖像61、62不同，有時(shí)暗部1^會(huì)被拍得較大。此時(shí)，在應(yīng)該通過暗部顯示凹部缺陷L1的位置的檢查用圖像G6中如圖11(d)所示那樣會(huì)產(chǎn)生與凹部缺陷L 1無關(guān)的暗部，有可能會(huì)錯(cuò)誤地判斷為在與凹部缺陷L1無關(guān)的位置上也存在缺陷。此外，在不同于圖11的變化的狀態(tài)下，當(dāng)凹部缺陷L1位于攝像區(qū)域附近時(shí)，有時(shí)通過線傳感器照相機(jī)取得的圖像會(huì)拍到暗部L3，有可能會(huì)錯(cuò)誤地判斷為薄片狀成形體L中沒有缺陷。
[0008]本發(fā)明為了解決上述問題而完成，其目的在于，提供一種圖像生成裝置、具備該圖像生成裝置的缺陷檢查裝置以及缺陷檢查方法，在生成用于檢查薄片狀成形體的缺陷的圖像數(shù)據(jù)的圖像生成裝置中，能夠防止因薄片狀成形體的變化等而導(dǎo)致錯(cuò)誤地判斷缺陷的有無的狀況。
[0009]本發(fā)明是一種生成用于檢查薄片狀成形體的缺陷的圖像數(shù)據(jù)的圖像生成裝置，其具備:傳輸部，在薄片狀成形體的長邊方向上傳輸該薄片狀成形體；光照射部，具備在薄片狀成形體的寬度方向上直線狀延伸的光源，通過該光源向薄片狀成形體照射光；攝像部，對傳輸中的所述薄片狀成形體進(jìn)行攝像動(dòng)作來生成表示二維圖像的二維圖像數(shù)據(jù)，該攝像部在該二維圖像內(nèi)包括與所述光源對應(yīng)的明部和亮度比該明部低的暗部的位置處對薄片狀成形體進(jìn)行多次攝像動(dòng)作；和檢查用圖像數(shù)據(jù)生成部，根據(jù)由所述攝像部生成的多個(gè)二維圖像數(shù)據(jù)，生成檢查用圖像數(shù)據(jù)，所述檢查用圖像數(shù)據(jù)生成部包括:邊界提取部，提取由各二維圖像數(shù)據(jù)所表示的各二維圖像內(nèi)的所述明部與所述暗部的邊界線部；重新提取部，連接所述邊界線部后看作表觀邊界線，對該表觀邊界線進(jìn)行平滑化，以使去除出現(xiàn)在該表觀邊界線中的尖銳的峰，從二維圖像數(shù)據(jù)中提取平滑化之后得到的構(gòu)成原來的邊界線的像素；和合成部，生成由所述重新提取部所提取的像素構(gòu)成的一維圖像數(shù)據(jù)，同樣地合成根據(jù)多個(gè)二維圖像數(shù)據(jù)得到的多個(gè)一維圖像數(shù)據(jù)來生成檢查用圖像數(shù)據(jù)。
[0010]此外，本發(fā)明提供一種缺陷檢查裝置，其具備:所述圖像生成裝置；和顯示部，顯示由通過所述圖像生成裝置的檢查用圖像數(shù)據(jù)生成部生成的檢查用圖像數(shù)據(jù)所表示的圖像。
[0011]另外，本發(fā)明提供一種用于檢查薄片狀成形體的缺陷的缺陷檢查方法，包括:攝像步驟，在通過在薄片狀成形體的寬度方向上直線狀延伸的光源向該薄片狀成形體照射光的同時(shí)在該薄片狀成形體的長邊方向上傳輸該薄片狀成形體的狀態(tài)下，對該薄片狀成形體進(jìn)行攝像動(dòng)作來生成表示二維圖像的二維圖像數(shù)據(jù)，在該攝像步驟中，對薄片狀成形體進(jìn)行多次攝像動(dòng)作，以使在該二維圖像內(nèi)包括與所述光源對應(yīng)的明部和亮度比該明部低的暗部；邊界提取步驟，提取在所述攝像步驟中生成的各二維圖像數(shù)據(jù)所表示的各二維圖像內(nèi)的所述明部與所述暗部的邊界線部；重新提取步驟，連接所述邊界線部后看作表觀邊界線，對該表觀邊界線進(jìn)行平滑化，以使去除出現(xiàn)在該表觀邊界線中的尖銳的峰，從二維圖像數(shù)據(jù)中提取平滑化之后得到的構(gòu)成原來的邊界線的像素；合成步驟，生成由在所述重新提取步驟中提取出的像素構(gòu)成的一維圖像數(shù)據(jù)，同樣地合成根據(jù)多個(gè)二維圖像數(shù)據(jù)得到的多個(gè)一維圖像數(shù)據(jù)來生成檢查用圖像數(shù)據(jù)；和顯示步驟，顯示由在所述合成步驟中生成的檢查用圖像數(shù)據(jù)所表示的圖像。
[0012]根據(jù)本發(fā)明，在圖像生成裝置中，在向傳輸中的薄片狀成形體照射光的狀態(tài)下，對該薄片狀成形體進(jìn)行多次攝像動(dòng)作來生成多個(gè)二維圖像數(shù)據(jù)。并且，提取由各二維圖像數(shù)據(jù)所表示的各二維圖像內(nèi)的明部與暗部的邊界線部。接著，連接該邊界線部之后看作表觀邊界線，對該表觀邊界線進(jìn)行平滑化，以使去除出現(xiàn)在該表觀邊界線中的尖銳的峰。然后，從二維圖像數(shù)據(jù)中重新提取平滑化之后得到的構(gòu)成原來的邊界線的像素，生成由構(gòu)成原來的邊界線的像素形成的一維圖像數(shù)據(jù)。同樣地合成根據(jù)多個(gè)二維圖像數(shù)據(jù)得到的多個(gè)一維圖像數(shù)據(jù)來生成檢查用圖像數(shù)據(jù)。
[0013]在薄片狀成形體中產(chǎn)生了缺陷的情況下，當(dāng)正在穩(wěn)定地傳輸該薄片狀成形體且缺陷位于邊界線部附近時(shí)，由于該缺陷，表觀邊界線會(huì)變成出現(xiàn)了尖銳的峰的翹曲的曲線。因此，平滑化該表觀邊界線后得到的原來的邊界線不同于表觀邊界線。此外，在薄片狀成形體重產(chǎn)生了缺陷的情況下，當(dāng)該薄片狀成形體在傳輸中有變化且缺陷并未位于邊界線部附近時(shí)，由于該薄片狀成形體的變化，表觀邊界線會(huì)變成坡度小的曲線。因此，平滑化該表觀邊界線之后得到的原來的邊界線是與表觀邊界線大致相同的曲線或者與表觀邊界線相同的曲線。
[0014]因此，根據(jù)各二維圖像數(shù)據(jù)生成由構(gòu)成原來的邊界線的像素形成的一維圖像數(shù)據(jù)，合成這樣得到的多個(gè)一維圖像數(shù)據(jù)來作為檢查用圖像數(shù)據(jù)，從而能夠通過明部和暗部的位置關(guān)系生成表示缺陷的位置的檢查用圖像數(shù)據(jù)。其結(jié)果，能夠基于該檢查用圖像數(shù)據(jù)判斷薄片狀