濕法腐蝕實(shí)驗(yàn)平臺(tái)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及MEMS及其工藝技術(shù)領(lǐng)域，具體地，涉及一種能夠提供均勻的酸堿溶液流動(dòng)的濕法腐蝕實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。
【背景技術(shù)】
[0002]濕法腐蝕是MEMS工藝中重要的一種工藝。在這種工藝中，大部分的加工過(guò)程需要具有均勻流動(dòng)的酸堿溶液才能完成。溶液的均勻性越好，完成的效果則越好。
[0003]但是由于實(shí)驗(yàn)環(huán)境是在極端的酸堿溶液中完成的，因此很少有與之配套的實(shí)驗(yàn)裝置。
[0004]目前市場(chǎng)上常用的一種方法是使用磁力攪拌機(jī)，通過(guò)磁力間接地使酸堿溶液進(jìn)行流動(dòng)，這種方法雖然能滿足比較粗糙的實(shí)驗(yàn)需求，但是其溶液的均勻性是相對(duì)較低的。對(duì)于精度要求較高的實(shí)驗(yàn)很難滿足需求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，本發(fā)明的目的是提供一種濕法腐蝕實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，所述平臺(tái)整體通過(guò)聚四氟乙烯制造，能夠抗強(qiáng)酸強(qiáng)堿；本發(fā)明通過(guò)風(fēng)洞的原理給基片提供十分均勻的流動(dòng)酸堿溶液，同時(shí)水洞結(jié)構(gòu)具有多個(gè)放置基片的位置，可以滿足不同流動(dòng)性能需求的實(shí)驗(yàn)。
[0006]為實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明提供一種濕法腐蝕實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，包括水洞部分、基片放置部分和整體框架部分，其中:所述水洞部分、基片放置部分和整體框架部分均采用聚四氟乙烯材料制作；整體框架部分內(nèi)部充滿酸堿溶液，水洞部分和基片放置部分均放置在整體框架部分的內(nèi)部，并浸沒(méi)在酸堿溶液中；
[0007]所述水洞部分由傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、螺旋槳和水洞通道組成，水洞通道由水洞入口和水洞本體相對(duì)接組成；傳動(dòng)機(jī)構(gòu)置于螺旋槳前方并與螺旋槳接觸，螺旋槳置于水洞通道的前方并位于水洞入口處；
[0008]所述基片放置部分放置于水洞通道的內(nèi)部，需要進(jìn)行試驗(yàn)的基片放置于基片放置部分的內(nèi)部；
[0009]所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)上端外接驅(qū)動(dòng)裝置，驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與螺旋槳接觸從而帶動(dòng)螺旋槳轉(zhuǎn)動(dòng)，螺旋槳轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)吹動(dòng)酸堿溶液流動(dòng)通過(guò)水洞通道，酸堿溶液在螺旋槳的吹動(dòng)作用下均勻腐蝕基片。
[0010]優(yōu)選地，所述整體框架部分為一長(zhǎng)方體結(jié)構(gòu)，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、螺旋槳和水洞通道均位于整體框架部分長(zhǎng)方體的底面與長(zhǎng)邊平行的中垂面上。
[0011]優(yōu)選地，在所述整體框架部分的底面上、沿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)往水洞通道方向，依次設(shè)置有用于固定螺旋槳的兩個(gè)螺旋槳固定結(jié)構(gòu)、用于固定水洞入口的一對(duì)水洞入口固定結(jié)構(gòu)，以及用于固定水洞本體的兩對(duì)水洞本體固定結(jié)構(gòu)，其中:
[0012]兩個(gè)螺旋槳固定結(jié)構(gòu)兩者互相為前后分布，分別位于螺旋槳的前后位置，并與螺旋槳的軸心對(duì)齊固定，從而使螺旋槳沿其軸線旋轉(zhuǎn)；
[0013]一對(duì)水洞入口固定結(jié)構(gòu)為兩個(gè)突出的圓柱體，兩個(gè)突出圓柱體在入水洞口左右分布且均設(shè)有一圓柱形孔；
[0014]兩對(duì)水洞本體固定結(jié)構(gòu)沿入水洞口左右分布且結(jié)構(gòu)相同；每對(duì)水洞本體固定結(jié)構(gòu)兩者互相為前后分布，且均設(shè)有一個(gè)方形的固定孔；所述水洞本體固定結(jié)構(gòu)的前后方位為:前后兩對(duì)水洞本體固定結(jié)構(gòu)的中間位置與水洞入口固定位置的距離和水洞本體長(zhǎng)度的一半相同，從而使水洞本體能正反兩端都能插入水洞本體固定結(jié)構(gòu)并與整體相匹配。
[0015]更優(yōu)選地，所述螺旋槳固定結(jié)構(gòu)的固定部分與螺旋槳的軸同為圓形且直徑相同。
[0016]更優(yōu)選地，所述水洞本體固定結(jié)構(gòu)的一邊有一延伸段，該延伸段的邊緣與方形的固定孔邊緣對(duì)齊，其作用是使水洞本體的倒“T”形結(jié)構(gòu)易于對(duì)齊固定孔。
[0017]優(yōu)選地，所述水洞入口的底部設(shè)置有與水洞入口固定結(jié)構(gòu)位置相對(duì)應(yīng)且相互匹配的兩個(gè)突出圓柱體。
[0018]更優(yōu)選地，所述水洞入口的突出圓柱體直徑與水洞入口固定結(jié)構(gòu)的突出圓柱體上圓柱形孔直徑相同。
[0019]優(yōu)選地，所述水洞本體的底部設(shè)置有四個(gè)倒“T”形結(jié)構(gòu)，四個(gè)倒“T”形結(jié)構(gòu)的相對(duì)位置與水洞本體固定結(jié)構(gòu)相同；所述倒“T”形結(jié)構(gòu)的上方與水洞本體的下方相對(duì)固定成一整體，倒“T”形結(jié)構(gòu)的下方形狀和水洞本體固定結(jié)構(gòu)的固定部分形狀相同，兩者相互匹配固定。
[0020]優(yōu)選地，在所述水洞本體的中間和末端分別開(kāi)有一個(gè)槽用于嵌入基片放置部分；所述槽的左邊、右邊和下邊均不打通并距離水洞本體1-2mm，以防止酸堿溶液流出影響均勻性。
[0021]優(yōu)選地，所述水洞本體的側(cè)邊還開(kāi)有一個(gè)孔，孔的位置為固定好水洞本體后孔的一條邊緣與倒“T”形結(jié)構(gòu)底部突出部分邊緣對(duì)齊、另一條便于遠(yuǎn)離該突出部分；該孔插入一個(gè)插銷(xiāo)以防止水洞本體前后移動(dòng)。
[0022]優(yōu)選地，所述水洞本體靠近水洞入口的一端還設(shè)有一整流部分，該整流部分的長(zhǎng)度不超過(guò)水洞本體整體長(zhǎng)度的三分之一。
[0023]優(yōu)選地，所述基片放置部分的中央位置用于放置基片，基片通過(guò)兩細(xì)桿與基片放置部分相連接，以盡量減少對(duì)整體酸堿溶液均勻性的影響。
[0024]更優(yōu)選地，在所述基片放置部分的頂端還設(shè)一半圓形凸起，半圓形凸起以方便在酸堿溶液中通過(guò)鉤子對(duì)基片放置部分進(jìn)行取出與放置。
[0025]本發(fā)明所述實(shí)驗(yàn)平臺(tái)的工作原理:
[0026]整體材料使用聚四氟乙烯制作，能夠抵抗強(qiáng)酸強(qiáng)堿；水洞部分與基片放置部分均放置于整體框架部分內(nèi)部，整體框架部分的內(nèi)部充滿酸堿溶液。通過(guò)外界驅(qū)動(dòng)帶動(dòng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，使螺旋槳轉(zhuǎn)動(dòng)，螺旋槳?jiǎng)t能吹動(dòng)酸堿溶液；在水洞本體的不同位置設(shè)置用于嵌入基片放置部分的槽，通過(guò)在不同的位置插入基片放置部分，則能滿足對(duì)于不同酸堿溶液流動(dòng)性能需求的實(shí)驗(yàn)。
[0027]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有如下的有益效果:
[0028]本發(fā)明與常規(guī)磁力攪拌產(chǎn)生酸堿溶液流動(dòng)效果相比，能夠提供酸堿溶液流動(dòng)的均勻性更高，并且能夠滿足不同酸堿溶液流動(dòng)性能需求的實(shí)驗(yàn)。
【附圖說(shuō)明】
[0029]通過(guò)閱讀參照以下附圖對(duì)非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述，本發(fā)明的其它特征、目的和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更明顯:
[0030]圖1為本發(fā)明一較優(yōu)實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)的正等軸測(cè)圖的剖面圖；
[0031 ]圖2為本發(fā)明一較優(yōu)實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖；
[0032]圖3為本發(fā)明一較優(yōu)實(shí)施例的整體框架部分的正等軸測(cè)圖；
[0033]圖4為本發(fā)明一較優(yōu)實(shí)施例的基板的俯視圖；
[0034]圖中:整體框架部分I，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)2，螺旋槳3，水洞入口 4，水洞本體5，基片放置部分6，螺旋槳固定結(jié)構(gòu)7，水洞入口固定結(jié)構(gòu)8，水洞本體固定結(jié)構(gòu)9，整流部分10。
【具體實(shí)施方式】
[0035]下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。以下實(shí)施例將有助于本領(lǐng)域的技術(shù)人員進(jìn)一步理解本發(fā)明，但不以任何形式限制本發(fā)明。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)。這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0036]如圖1、圖2、圖3所示，本實(shí)施例提供一種濕法腐蝕實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，包括:整體框架部分I，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)2，螺旋槳3，水洞入口 4，水洞本體5，基片放置部分6，螺旋槳固定結(jié)構(gòu)7，水洞入口固定結(jié)構(gòu)8，水洞本體固定結(jié)構(gòu)9 ;所有部件材料全部使用聚四氟乙烯制作。
[0037]所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)2、螺旋槳3和水洞通道組成水洞部分，水洞通道由水洞入口 4和水洞本體5相對(duì)接組成；傳動(dòng)機(jī)構(gòu)2置于螺旋槳3前方并與螺旋槳3接觸，螺旋槳3置于水洞通道的前方并位于水洞入口 4處；
[0038]所述基片放置部分6置于水洞通道的內(nèi)部，需要進(jìn)行試驗(yàn)的基片放置于基片放置部分6的內(nèi)部；
[0039]所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)2上端外接驅(qū)動(dòng)裝置，驅(qū)動(dòng)裝置帶動(dòng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)2轉(zhuǎn)動(dòng)，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)2與螺旋槳3接觸從而帶動(dòng)螺旋槳3轉(zhuǎn)動(dòng)，螺旋槳3轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)吹動(dòng)酸堿溶液流動(dòng)通過(guò)水洞通道，酸堿溶液在螺旋槳3的吹動(dòng)作用下均勻腐蝕基片。
[0040]作為一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)2、螺旋槳3、水洞入口 4、水洞本體5、基片