所述測試室(5)也是一個密封的不銹鋼耐壓容器，測試室(5)包括:進(jìn)氣口(501)、出氣□ (502),法蘭(506)、樣品臺(51)和電加熱管(508)，所述法蘭(506)是取放樣品臺(51)的安裝孔，法蘭(506 )位于測試室(5 )的頂部中間位置；所述出氣口( 502 )經(jīng)電磁閥(35 )連接至三通(34)；
所述控制系統(tǒng)包括:控制柜(7)和與控制柜(7)連接的計算機(jī)(8)，所述控制柜(7)的內(nèi)部安裝有:溫度采集與控制模塊、濕度采集與控制模塊、壓力采集模塊、真空度采集模塊、質(zhì)量流量采集與控制模塊、電磁閥通斷及真空栗啟停邏輯控制單元；還有匹配電阻盒(6)，所述匹配電阻盒(6)固定設(shè)置于控制柜(7)的上方；
所述測試機(jī)構(gòu)包括固定在測試室(5)內(nèi)部的樣品臺(51);
其特征在于:
所述配氣室(4)內(nèi)部還有真空傳感器(409)的壓力傳感器(410)，所述真空傳感器(409)和壓力傳感器(410)分別通過導(dǎo)線與所述真空度采集模塊及壓力采集模塊連接；所述測試室(5)殼體的左側(cè)、前側(cè)和后側(cè)的同一高度上，分別布置有石英玻璃法蘭(503),石英玻璃法蘭(505 )和石英玻璃法蘭(504 );所述石英玻璃法蘭用于氣體傳感器光學(xué)特性測試時的入射光、出射光和反射光的引入和檢測；
所述樣品臺(51)為絕緣陶瓷板，樣品臺(51)通過螺紋卡扣連接在法蘭(506)下部，樣品臺(51)背面是電加熱管(508)，還有溫度傳感器(511)、濕度傳感器(512)、壓力傳感器(513)，所述溫度傳感器(511)、濕度傳感器(512)和壓力傳感器(513)分別通過導(dǎo)線(509)與所述溫度采集與控制模塊、濕度采集與控制模塊、壓力采集模塊連接；
樣品臺(51)的正面為待測樣品放置區(qū)，樣品臺(51)兩側(cè)自上而下設(shè)置有兩排探針架，每一排探針架上固定設(shè)置有三對電學(xué)測試探針接頭，各電學(xué)測試探針接頭的引出線(507)穿過法蘭(506 )再與匹配電阻盒(6 )相連，所述匹配電阻盒(6 )用于六路氣體傳感器電學(xué)性能的同步測試；
樣品臺(51)上有一個直徑約5mm的光學(xué)通孔(510)，所述光學(xué)通孔(510)的中心與所述石英玻璃法蘭(503)的中心等高；
所述匹配電阻盒(6)包括:精密電阻箱和數(shù)據(jù)采集模塊DAQ (607)，所述精密電阻箱內(nèi)有至少六組相同的精密電阻，每一組精密電阻包括阻值分別為10 Ω、100 Ω、lkQ、10kQ、10k Ω、IM Ω、1M Ω、100M Ω、IG Ω、1G Ω的至少十只精密電阻和一個十檔位旋鈕開關(guān)，呈電阻性的被測氣敏元件一端與所述旋鈕開關(guān)串聯(lián)后再與十只精密電阻中的任一電阻串聯(lián)，構(gòu)成串聯(lián)分壓采樣電路；所述被測氣敏元件電阻值采集模塊DAQ (607)有至少六個分壓采集輸入端(A101?A106)。
[0010]如上所述一種多功能氣體傳感器測試系統(tǒng)，其特征在于:在測試光學(xué)型傳感器時，通過所述石英玻璃法蘭(503)、石英玻璃法蘭(504)和石英玻璃法蘭(505)，實現(xiàn)入射光、反射光和透射光的引入和檢測；當(dāng)測試電學(xué)型氣體傳感器時，通過六對電學(xué)測試探針連接至六個待測傳感器電阻的二端，實現(xiàn)六個傳感器的同步測試。
[0011]如上所述一種多功能氣體傳感器測試系統(tǒng)，其特征在于:所述多功能氣體傳感器測試系統(tǒng)或者是同時進(jìn)行六個電學(xué)型傳感器和一個光學(xué)型傳感器的同步測試。
[0012]一種采用如上所述的多功能氣體傳感器測試系統(tǒng)的測試室快速充氣方法，其特征在于:按如下步驟對測試室進(jìn)行快速充氣:
⑴關(guān)閉配氣室(4)和測試室(5)上部的進(jìn)氣電磁閥(30、32和29)，開通電磁閥(35)和電磁閥(36)，啟動真空栗(3)并抽出配氣室(4)和測試室(5)內(nèi)的空氣；當(dāng)配氣室(4)的真空傳感器(409)檢測值達(dá)到設(shè)定值時；即進(jìn)入如下步驟:
⑵關(guān)閉電磁閥(35 )和電磁閥(36 );
⑶按設(shè)定程序通過配氣機(jī)構(gòu)向配氣室(4)內(nèi)輸入配置好的待測氣體；
⑷開通電磁閥(29)電磁閥(32)，自配氣室(4)向測試室(5)內(nèi)快速充入待測氣體。其有益效果是:通過將測試室抽真空后快速通入配氣機(jī)構(gòu)配置好的特定濃度待測氣體，可實現(xiàn)待測傳感器與待測氣體的快速接觸，從而準(zhǔn)確測試傳感器的響應(yīng)時間和恢復(fù)時間，既提升了測試效率，又提高了測試精度。
[0013]本發(fā)明的有益效果是:
⑴本發(fā)明的多功能氣敏元件性能測試系統(tǒng)，使氣敏元件所處環(huán)境的溫度、濕度實現(xiàn)自動化調(diào)控，通過計算機(jī)自動控制配置好待測標(biāo)準(zhǔn)濃度氣體并將該標(biāo)準(zhǔn)濃度氣體直接打入真空測試腔體中，實現(xiàn)測試氣體與待測氣敏元件的快速接觸，解決了目前氣敏元件測試系統(tǒng)中待測氣體進(jìn)入較慢而引起的響應(yīng)慢問題，使氣敏元件的測試環(huán)境與真實應(yīng)用環(huán)境相符。
[0014]⑵本發(fā)明所述測試系統(tǒng)可實現(xiàn)多個氣敏元件電學(xué)性能的測試，還可通過加入光源和光譜儀實現(xiàn)對單個氣敏元件電學(xué)和光學(xué)型響應(yīng)的同步測試。
[0015]⑶通過將測試室抽真空后快速通入配氣機(jī)構(gòu)配置好的特定濃度待測氣體，可實現(xiàn)待測傳感器與待測氣體的快速接觸，從而準(zhǔn)確測試傳感器的響應(yīng)時間和恢復(fù)時間，既提升了測試效率，又提高了測試精度。
【附圖說明】
[0016]圖1是本發(fā)明實施例多功能氣敏元件性能測試系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2是配氣室結(jié)構(gòu)示意圖；
圖3是測試室結(jié)構(gòu)示意圖；
圖4是樣品臺正面結(jié)構(gòu)示意圖；
圖5是樣品臺背面結(jié)構(gòu)示意圖；
圖6是樣品臺的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖；
圖7是匹配電阻盒電路原理圖。
[0017]圖中的標(biāo)記說明:
附圖1中:1 一待測氣瓶，2—載氣瓶，3—真空栗，4一配氣室，5—測試室，6—電阻盒，7—控制柜，8—計算機(jī)，9、16—減壓閥，(10、17)—過濾器，(11、14、18、22、24、27、29、30、31、32、33、35、36、37) —二位二通電磁閥，(12、15、19、21、23、25、26、28、33、34)—三通，(13、20) —質(zhì)量流量控制器。
[0018]附圖2 中:401—進(jìn)氣口，(402、403) —出氣口，404—加濕座，405—進(jìn)水管，406—法蘭，407—加熱絲，408—攪拌風(fēng)扇，409—真空傳感器，410—壓力傳感器，411 一濕度傳感器，412 一法蘭。
[0019]附圖3中:501—進(jìn)氣口，502—出氣口，(503、504、505) —石英玻璃法蘭，506—法.~~.0
[0020]附圖4、5、6中:51—樣品臺，506—法蘭，507—引出線，508—電加熱管，509—導(dǎo)線，510—光學(xué)通孔，511—溫度傳感器，512—濕度傳感器，513—壓力傳感器，514、515—第一探針接頭，(516、517) —第二探針接頭，(518、519) —第三探針接頭，(520、521) —第四探針接頭，(522、523) —第五探針接頭，(524、525) —第六探針接頭。
[0021]附圖7 中:607—電阻值采集模塊 DAQ，(601、602、603、604、605、606) —第一至第六組可調(diào)精密電阻，(S1、S2、S3、S4、S5、S6) 一第一至第六只被測氣敏傳感器。
【具體實施方式】
[0022]以下結(jié)合附圖對本發(fā)明實施例作進(jìn)一步說明，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，旨在用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對本發(fā)明的限制，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所做的任何修改、等同替換或改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍之內(nèi)，本技術(shù)方案中未詳細(xì)述及的，均為公知技術(shù)。
[0023]如附圖1所示，本發(fā)明一種多功能氣體傳感器測試系統(tǒng)，包括:配氣機(jī)構(gòu)與配氣室4、測試室5、控制系統(tǒng)、測試機(jī)構(gòu)、真空栗3。其中配氣機(jī)構(gòu)用于向配氣室4內(nèi)提供標(biāo)準(zhǔn)濃度氣體和背景氣體，測試室5內(nèi)存儲有配置好標(biāo)準(zhǔn)濃度測試氣體，測試室5用于測試標(biāo)準(zhǔn)待測氣體濃度下的傳感器敏感特性，控制系統(tǒng)用于控制配氣室4和測試室5內(nèi)的氣體配置，控制系統(tǒng)包括:溫濕度控制、氣壓或真空度控制、氣體的