例的構(gòu)成要素還可以包括本領(lǐng)域技術(shù)人員容易想到的內(nèi)容、實(shí)質(zhì)上相同的內(nèi)容、以及包含等效范圍的內(nèi)容。此外,以下實(shí)施例和示例所公開(kāi)的構(gòu)成要素還可以適當(dāng)結(jié)合、或者適當(dāng)?shù)倪x擇性應(yīng)用。
[0040]圖3示出應(yīng)用了本發(fā)明的手動(dòng)操作型的圖像測(cè)量裝置的整體結(jié)構(gòu)。該圖像測(cè)量裝置包括:非接觸圖像測(cè)量型的測(cè)量裝置主體I ;執(zhí)行對(duì)測(cè)量裝置主體I的載物臺(tái)移動(dòng)操作的輔助處理以及執(zhí)行必要的測(cè)量數(shù)據(jù)處理的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)2 ;將需要的測(cè)量命令和測(cè)量參數(shù)提供至測(cè)量裝置主體I的命令輸入部3 ;鍵盤(pán)32 ;鼠標(biāo)33 ;以及將穩(wěn)定的電力供給至各種組件的電源單元4。
[0041]測(cè)量裝置主體I包括架臺(tái)11和安裝在架臺(tái)11上的載物臺(tái)13。工件12 (測(cè)量對(duì)象)可以放置在載物臺(tái)13上。X軸驅(qū)動(dòng)軸14和Y軸驅(qū)動(dòng)軸15分別在X軸方向和Y軸方向上驅(qū)動(dòng)載物臺(tái)13。向上方延伸的框架17固定在架臺(tái)11的后端部。在框架17上支撐照相機(jī)單元18。通過(guò)Z軸驅(qū)動(dòng)軸19可以使照相機(jī)單元18沿著框架17上所形成的導(dǎo)軌在Z軸方向上移動(dòng)。在照相機(jī)單元18的內(nèi)部安裝照相機(jī)(例如,CCD照相機(jī))20,以從上方拍攝載物臺(tái)13的圖像。在照相機(jī)20的下端附近設(shè)置對(duì)工件12進(jìn)行照明的環(huán)狀照明裝置21。
[0042]計(jì)算機(jī)系統(tǒng)2被配置為包括計(jì)算機(jī)主體31、鍵盤(pán)32、鼠標(biāo)33以及顯示部(例如液晶顯示部或者CRT顯示屏)34??梢詫⒁杂?jì)算機(jī)主體31為中心放置的該系統(tǒng)例如配置為如圖4所示。通過(guò)AD轉(zhuǎn)換部35將利用照相機(jī)20所拍攝的工件12的圖像的圖像信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字圖像數(shù)據(jù),并且將該數(shù)字圖像數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在圖像存儲(chǔ)器36中。通過(guò)顯示控制部37的操作,將存儲(chǔ)在圖像存儲(chǔ)器36中的數(shù)字圖像數(shù)據(jù)顯示在顯示部34上。將使用鍵盤(pán)32和鼠標(biāo)33所輸入的操作者的命令經(jīng)由接口(I/F)38發(fā)送至CPU 39。CPU 39根據(jù)操作者的命令或者存儲(chǔ)在程序存儲(chǔ)器40中的部件程序來(lái)執(zhí)行測(cè)量處理。工作存儲(chǔ)器41提供用于CPU 39的各種處理的工作區(qū)域。
[0043]為了檢測(cè)照相機(jī)20相對(duì)于載物臺(tái)13的X、Y和Z軸方向各自的位置,還設(shè)置了 X軸編碼器42、Y軸編碼器43和Z軸編碼器44。將來(lái)自這些編碼器42-44的輸出取出至CPU39。基于CPU 39所生成的指令值,照明控制部45生成模擬量的指令電壓并驅(qū)動(dòng)照明裝置
21ο
[0044]以下,詳細(xì)說(shuō)明各實(shí)施例。
[0045]圖5示出根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的處理流程,而圖6示出根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的顯示部34上的示例顯示。在第一實(shí)施例中,在從列表中選擇判斷結(jié)果的情況下,對(duì)拍攝圖像顯示畫(huà)面上的相應(yīng)測(cè)量位置提供突出顯示。
[0046]在第一實(shí)施例中,首先,在步驟100,將測(cè)量對(duì)象(工件12)放置在測(cè)量裝置主體I的載物臺(tái)13上。
[0047]接著,在步驟110,通過(guò)安裝至測(cè)量裝置主體I的照相機(jī)20拍攝工件12的圖像。
[0048]接著,在步驟120,如圖6的左上側(cè)所示,在顯示來(lái)自照相機(jī)20的拍攝圖像(工作12的放大圖像)的拍攝圖像顯示畫(huà)面34Α上選擇所期望的要素和邊緣檢測(cè)工具,并進(jìn)行測(cè)量。
[0049]每當(dāng)進(jìn)行測(cè)量時(shí),記錄包括公差判斷結(jié)果的測(cè)量結(jié)果的信息(步驟130),并且生成操作者在任何時(shí)候都能理解的公差判斷結(jié)果列表34Β (步驟140)。
[0050]在步驟150中判斷為測(cè)量已經(jīng)結(jié)束之前,處理在步驟160中移至下一測(cè)量位置,并且重復(fù)步驟120-140。
[0051]可以利用不同顏色來(lái)顯示公差判斷結(jié)果,例如OK為綠色并且失敗(NG)為紅色。
[0052]在步驟150中判斷為測(cè)量已經(jīng)結(jié)束之后,在操作者在步驟170中選擇了包括已經(jīng)生成的公差判斷結(jié)果列表34Β中所顯示的期望的判斷結(jié)果的測(cè)量結(jié)果(圖6中最上面的IDl)的情況下,在步驟180,對(duì)拍攝圖像顯示畫(huà)面34Α上所顯示的相應(yīng)測(cè)量位置(圖6的線(xiàn)_1)提供諸如尚殼等的突出顯不。
[0053]因此,即使多個(gè)測(cè)量結(jié)果顯示在一個(gè)畫(huà)面上(圖6示出IDl以外的ID2:圓_1,ID3:線(xiàn)-2,ID4:距離-1以及ID5:圓-2共5個(gè))并且難以選擇拍攝圖像顯示畫(huà)面34A內(nèi)指定的測(cè)量結(jié)果(這里為IDl)的情況下,通過(guò)選擇被轉(zhuǎn)換成列表的包括公差判斷結(jié)果的測(cè)量結(jié)果,操作者也可以容易地發(fā)現(xiàn)拍攝圖像顯示畫(huà)面34A上與列表34B中的測(cè)量結(jié)果相對(duì)應(yīng)的測(cè)量位置,并且可以防止發(fā)生操作者錯(cuò)誤地選擇測(cè)量結(jié)果。
[0054]在本發(fā)明的第一實(shí)施例中,圖2示出的列表34B包括提供針對(duì)各測(cè)量位置的公差判斷結(jié)果的詳細(xì)內(nèi)容的單個(gè)判斷結(jié)果顯示區(qū)域34B1 ;以及提供針對(duì)作為單位的工件12的總的判斷結(jié)果的總的判斷結(jié)果顯示區(qū)域34B2。另外,本實(shí)施例被配置為不僅顯示單個(gè)判斷結(jié)果而且顯示總的判斷結(jié)果(附圖中的“NG”),因此操作者可以很容易地發(fā)現(xiàn)總的判斷結(jié)果O
[0055]在本實(shí)施例中,總的判斷結(jié)果顯示區(qū)域34B2的括號(hào)中還顯示NG的數(shù)量,因此操作者還可以發(fā)現(xiàn)NG的程度。
[0056]并且,如圖7所示的本發(fā)明第二實(shí)施例中,將測(cè)量結(jié)果的總數(shù)(本示例中為5個(gè))設(shè)置為分母并且將NG的數(shù)量表示為分子,從而使得能夠知道NG的數(shù)量相對(duì)于測(cè)量結(jié)果的總數(shù)的比例。
[0057]并且,在本實(shí)施例中,除了顯示來(lái)自照相機(jī)20的拍攝圖像34A和列表34B之外,還顯示表示整個(gè)測(cè)量對(duì)象的測(cè)量對(duì)象整體圖34C。因此,可以容易地發(fā)現(xiàn)所拍攝圖像(34A)相對(duì)于整個(gè)測(cè)量對(duì)象的位置。也可以省略測(cè)量對(duì)象整體圖34C。
[0058]接著,給出使選擇測(cè)量結(jié)果時(shí)的再次測(cè)量容易進(jìn)行的第二實(shí)施例的詳細(xì)說(shuō)明。圖8示出根據(jù)第二實(shí)施例的處理流程,而圖9示出顯示部34上的示例顯示。
[0059]在如圖5那樣進(jìn)行步驟100-150并且測(cè)量結(jié)束之后,在步驟270中操作者點(diǎn)擊拍攝圖像顯示畫(huà)面34A上所顯示的測(cè)量結(jié)果(圖9中的線(xiàn)-1)的情況下,在步驟280中如圖9所示顯示測(cè)量結(jié)果的詳細(xì)內(nèi)容(在本示例中,X和Y坐標(biāo)、投影角度、直線(xiàn)度)。在顯示測(cè)量結(jié)果期間,通過(guò)點(diǎn)擊詳細(xì)顯示來(lái)重復(fù)測(cè)量(步驟290)。在重復(fù)測(cè)量的情況下,使得能夠進(jìn)行測(cè)量期間所使用的檢測(cè)工具的檢測(cè)位置的編輯(測(cè)量開(kāi)始時(shí)再輸入手動(dòng)輸入的設(shè)計(jì)值)以及用于公差判斷結(jié)果的設(shè)計(jì)值、上限值或下限值的編輯,從而使得能夠更新測(cè)量結(jié)果。
[0060]根據(jù)本實(shí)施例,可以通過(guò)簡(jiǎn)單地點(diǎn)擊拍攝圖像顯示畫(huà)面34A上所顯示的測(cè)量結(jié)果來(lái)重復(fù)測(cè)量,并且可以提高工作效率。
[0061]并且,代替拍攝圖像顯示畫(huà)面34A上所顯示的測(cè)量結(jié)果,操作者還可以選擇列表34B的單個(gè)判斷結(jié)果顯示區(qū)域34B1中所顯示的測(cè)量結(jié)果和判斷結(jié)果并且重復(fù)測(cè)量。
[0062]接著,提供針對(duì)本發(fā)明第三實(shí)施例的詳細(xì)說(shuō)明,在第三實(shí)施例中,將測(cè)量結(jié)果和載物臺(tái)位置關(guān)聯(lián),使得在測(cè)量位置不位于目前(即當(dāng)前)顯示的拍攝圖像顯示畫(huà)面34A中的情況下能夠進(jìn)行載物臺(tái)移動(dòng)導(dǎo)航。圖10示出根據(jù)第三實(shí)施例的處理流程,而圖11示出顯示部34上的示例顯示。
[0063]在與第一實(shí)施例相同的步驟170結(jié)束之后,處理進(jìn)入步驟372并且判斷指定的(選擇的)測(cè)量結(jié)果(本示例中的ID5)是否位于拍攝圖像顯示畫(huà)面34A的當(dāng)前顯示畫(huà)面內(nèi)。在判斷結(jié)果是否定的情況下,處理進(jìn)入步驟374并且在畫(huà)面上顯示載物臺(tái)移動(dòng)導(dǎo)航畫(huà)面(這里為向ID5的X軸方向和Y軸方向的移動(dòng)距離),從而促使載物臺(tái)移動(dòng)(步驟376)。并且,可以更新剩余距離的信息以與載物臺(tái)移動(dòng)相匹配。
[0064]如圖11所示,導(dǎo)航不僅能夠利用數(shù)值來(lái)顯示剩余距離,而且例如還能夠展現(xiàn)瞄準(zhǔn)線(xiàn)的交點(diǎn)以使得交點(diǎn)移動(dòng)到拍攝圖像顯示畫(huà)面34A的中心,或者能夠利用箭頭等來(lái)直接地顯示移動(dòng)方向。另外,在諸如CNC等的自動(dòng)控制型圖像測(cè)量裝置的情況下,