電子部件搬運裝置以及電子部件檢查裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及電子部件搬運裝置以及電子部件檢查裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，例如公知有對1C器件等電子部件的電氣特性進(jìn)行檢查的電子部件檢查裝置，在該電子部件檢查裝置設(shè)置有用于將1C器件搬運至檢查部的保持部的電子部件搬運裝置。在進(jìn)行1C器件的檢查時，將1C器件配置于保持部，并使設(shè)置于保持部的多個探針與1C器件的各端子接觸。
[0003]存在將1C器件冷卻至規(guī)定溫度來進(jìn)行這樣的1C器件的檢查的情況。在該情況下，通過對配置1C器件的配置部件進(jìn)行冷卻而冷卻1C器件，并且以不產(chǎn)生結(jié)露、結(jié)冰(凍冰)的方式使上述配置部件的周圍氣氛的濕度(裝置內(nèi)的濕度)降低。
[0004]另外，在電子部件搬運裝置中，在動作中，例如在產(chǎn)生卡塞的情況、配置部件產(chǎn)生結(jié)露、結(jié)冰的情況下等，需要暫時停止電子部件搬運裝置的動作來消除卡塞或者除去結(jié)露、結(jié)冰。在產(chǎn)生卡塞、結(jié)露、結(jié)冰等的情況下，作業(yè)者按下規(guī)定的操作按鈕，暫時停止電子部件搬運裝置的動作，并進(jìn)行規(guī)定的作業(yè)。
[0005]在現(xiàn)有的電子部件搬運裝置中，若按下上述操作按鈕，則停止動作，并進(jìn)行下述的處理。
[0006]首先，電子部件搬運裝置停止配置部件的冷卻，并開始配置部件的加熱，并且待機(jī)直至變?yōu)槌貫橹?。由此，在配置部件產(chǎn)生結(jié)露、結(jié)冰的情況下，將其除去。然后，電子部件搬運裝置在待機(jī)直至內(nèi)部的氧濃度成為足夠的濃度后，打開門鎖。作業(yè)者打開門，并且在產(chǎn)生結(jié)露、結(jié)冰的情況下，確認(rèn)上述結(jié)露、結(jié)冰被除去。另外，作業(yè)者在產(chǎn)生卡塞的情況下，使1C器件向適當(dāng)?shù)奈恢靡苿印?br>[0007]對于作業(yè)者而言，若作業(yè)結(jié)束，則按下動作開始按鈕。由此，對于電子部件搬運裝置而言，只要停止配置部件的加熱并待機(jī)規(guī)定時間并且內(nèi)部的濕度充分降低，就開始配置部件的冷卻。而且，電子部件搬運裝置在待機(jī)直至配置部件的溫度充分降低后，開始(重新開始)動作。
[0008]專利文獻(xiàn)1:日本特開平11 - 111802號公報
[0009]然而，在現(xiàn)有的電子部件搬運裝置中，若按下上述規(guī)定的操作按鈕，則不論在消除卡塞的情況還是除去結(jié)露、結(jié)冰的情況下，一律使配置部件的溫度返回至常溫。在除去結(jié)露、結(jié)冰的情況下，需要使配置部件的溫度返回至常溫，但是在消除卡塞的情況下，不需要使配置部件的溫度返回至常溫。因此，在現(xiàn)有的電子部件搬運裝置中，在消除卡塞的情況下，需要花費本來不需要的使配置部件的溫度返回至常溫為止的時間，另外，在作業(yè)結(jié)束后，需要較長的時間將配置部件的溫度冷卻至規(guī)定溫度。
[0010]此外，在專利文獻(xiàn)1中，記載了與基板處理裝置在自動運轉(zhuǎn)中自動停止的情況下的自動運轉(zhuǎn)的重新開始相關(guān)的內(nèi)容，但是在該專利文獻(xiàn)1中無法解決上述現(xiàn)有的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]本發(fā)明的目的在于提供在進(jìn)行規(guī)定的作業(yè)的情況下，能夠縮短從一邊冷卻電子部件一邊執(zhí)行動作的狀態(tài)到停止動作、重新開始動作為止的時間的電子部件搬運裝置以及電子部件檢查裝置。
[0012]本發(fā)明是為了解決上述的課題的至少一部分而提出的，其能夠作為以下的方式或者應(yīng)用例來實現(xiàn)。
[0013]應(yīng)用例1
[0014]本發(fā)明的電子部件搬運裝置的特征在于，具備:冷卻加熱部件，其能夠配置電子部件，并能夠進(jìn)行至少冷卻或者加熱中的任一個；以及操作部，其能夠在停止上述冷卻加熱部件的冷卻的第一動作模式、以及停止上述冷卻加熱部件的冷卻并加熱上述冷卻加熱部件的第二動作模式之間進(jìn)行選擇。
[0015]由此，在暫時停止邊對冷卻加熱部件進(jìn)行冷卻邊執(zhí)行動作的電子部件搬運裝置的動作，例如進(jìn)行消除卡塞的作業(yè)、結(jié)露或結(jié)冰的除去等的情況中，若為消除卡塞的情況等不需要加熱的情況，則通過選擇第一動作模式，從而能夠縮短從邊對冷卻加熱部件進(jìn)行冷卻邊執(zhí)行動作的狀態(tài)到停止動作、進(jìn)行作業(yè)、并重新開始動作為止的時間。
[0016]應(yīng)用例2
[0017]在本發(fā)明的電子部件搬運裝置中，優(yōu)選，上述冷卻加熱部件具有搬運上述電子部件的搬運部、以及配置上述電子部件的配置部中的至少一方。
[0018]由此，在搬運部、配置部中，例如在進(jìn)行消除卡塞的作業(yè)、結(jié)露或結(jié)冰的除去等的情況中，若為消除卡塞的情況等不需要加熱的情況，則通過選擇第一動作模式，從而能夠縮短從邊冷卻搬運部、配置部邊執(zhí)行動作的狀態(tài)到停止動作、進(jìn)行作業(yè)、并重新開始動作為止的時間。
[0019]應(yīng)用例3
[0020]在本發(fā)明的電子部件搬運裝置中，優(yōu)選，在上述電子部件未配置于規(guī)定的位置的情況下選擇上述第一動作模式。
[0021]由此，在電子部件未配置于規(guī)定的位置的情況下，當(dāng)進(jìn)行將該電子部件配置于規(guī)定的位置的作業(yè)時，能夠縮短從邊對冷卻加熱部件進(jìn)行冷卻邊執(zhí)行動作的狀態(tài)到停止動作、進(jìn)行作業(yè)、并重新開始動作為止的時間。
[0022]應(yīng)用例4
[0023]在本發(fā)明的電子部件搬運裝置中，優(yōu)選，在對配置于上述電子部件搬運裝置的內(nèi)部的部件進(jìn)行調(diào)整的情況下選擇上述第一動作模式。
[0024]由此，在對配置于電子部件搬運裝置的內(nèi)部的部件進(jìn)行調(diào)整的情況下，能夠縮短從邊對冷卻加熱部件進(jìn)行冷卻邊執(zhí)行動作的狀態(tài)到停止動作、進(jìn)行作業(yè)、并重新開始動作為止的時間。
[0025]應(yīng)用例5
[0026]在本發(fā)明的電子部件搬運裝置中，優(yōu)選，在上述冷卻加熱部件結(jié)露或者結(jié)冰的情況下選擇上述第二動作模式。
[0027]由此，通過選擇第二動作模式，能夠除去結(jié)露、結(jié)冰。
[0028]應(yīng)用例6
[0029]在本發(fā)明的電子部件搬運裝置中，優(yōu)選，在上述第二動作模式中，在上述冷卻加熱部件結(jié)冰的情況下加熱上述冷卻加熱部件的能量，比在上述冷卻加熱部件結(jié)露的情況下加熱上述冷卻加熱部件的能量大。
[0030]由此，能夠高效地除去結(jié)露與結(jié)冰。
[0031]應(yīng)用例7
[0032]在本發(fā)明的電子部件搬運裝置中，優(yōu)選，上述操作部具有觸摸面板通過該觸摸面板而能夠進(jìn)行用于選擇上述第一動作模式以及上述第二動作模式的顯示和用于選擇上述第一動作模式以及上述第二動作模式的輸入。
[0033]由此，能夠容易地選擇第一動作模式以及第二動作模式。
[0034]應(yīng)用例8
[0035]在本發(fā)明的電子部件搬運裝置中，優(yōu)選，上述操作部具有:顯示部，其能夠進(jìn)行用于選擇上述第一動作模式以及上述第二動作模式的顯示；以及輸入部，其能夠進(jìn)行用于選擇上述第一動作模式以及上述第二動作模式的輸入。
[0036]由此，能夠容易地選擇第一動作模式以及第二動作模式。
[0037]應(yīng)用例9
[0038]在本發(fā)明的電子部件搬運裝置中，優(yōu)選，用于選擇上述第一動作模式的顯示位置比用于選擇上述第二動作模式的顯示位置更靠鉛垂方向上方。
[0039]由此，能夠容易并且迅速地選擇使用頻度高的第一動作模式。
[0040]應(yīng)用例10
[0041]本發(fā)明的電子部件檢查裝置的特征在于，具備:冷卻加熱部件，其能夠配置電子部件，并能夠進(jìn)行至少冷卻或者加熱中的任一個；操作部，其能夠在停止上述冷卻加熱部件的冷卻的第一動作模式、以及停止上述冷卻加熱部件的冷卻并加熱上述冷卻加熱部件的第二動作模式之間進(jìn)行選擇；以及檢查部，其對上述電子部件進(jìn)行檢查。
[0042]由此，在暫時停止邊對冷卻加熱部件進(jìn)行冷卻邊執(zhí)行動作的電子部件檢查裝置的動作，例如進(jìn)行消除卡塞的作業(yè)、結(jié)露或結(jié)冰的除去等的情況中，當(dāng)為消除卡塞的情況等不需要加熱的情況時，選擇第一動作模式，從而能夠縮短從邊對冷卻加熱部件進(jìn)行冷卻邊執(zhí)行動作的狀態(tài)到停止動作、進(jìn)行作業(yè)、并重新開始動作為止的時間。
[0043]應(yīng)用例11
[0044]在本發(fā)明的電子部件檢查裝置中，優(yōu)選，上述冷卻加熱部件具有搬運上述電子部件的搬運部、配置上述電子部件的配置部、在對上述電子部件進(jìn)行檢查的情況下保持上述電子部件的保持部、以及使上述電子部件與上述保持部抵接的抵接部中的至少一個。
[0045]由此，在搬運部、配置部、保持部、抵接部中，例如在進(jìn)行消除卡塞的作業(yè)、結(jié)露或結(jié)冰的除去等的情況下，當(dāng)為消除卡塞的情況等不需要加熱的情況時，選擇第一動作模式，從而能夠縮短從邊冷卻搬運部、配置部、保持部、抵接部邊執(zhí)行動作的狀態(tài)到停止動作、進(jìn)行作業(yè)、并重新開始動作為止的