一種用于測量高度的裝置及測量顯影液噴嘴高度的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導體光刻技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于測量高度的裝置及測量顯影液噴嘴高度的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導體光刻制程中，顯影液噴嘴相對晶圓的高度是機臺維護中一個關(guān)鍵的參數(shù)。顯影液噴嘴高度太高或太低，或水平度不達標，不僅會影響圖形關(guān)鍵尺寸的均勻性，還會造成制程缺陷。
[0003]因為顯影液噴嘴形狀不規(guī)則，無法用常規(guī)方式直接測量其高度。目前，測量顯影液噴嘴高度普遍使用塞規(guī)，即特定厚度的塞規(guī)是否能夠通過顯影液噴嘴與晶圓之間的間隙，來判斷顯影液噴嘴高度是否在規(guī)格之內(nèi)。然而，塞規(guī)只能確定一個高度范圍，無法精確測量，在關(guān)鍵尺寸逐漸減小的情況下，有時無法滿足工藝要求。而且，塞規(guī)本身的磨損和形變也對測量結(jié)果有影響。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明目的是提供一種用于測量高度的裝置及測量顯影液噴嘴高度的方法，解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題。
[0005]本發(fā)明解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案如下:
[0006]—種用于測量高度的裝置，包括底板，所述底板的一端垂直安裝有液壓缸，所述液壓缸的第一活塞頂部設(shè)置有連桿;所述底板的另一端垂直安裝有線性導軌，所述線性導軌上設(shè)置有可沿豎直方向移動的滑塊;還包括與所述底板平行的量測板;所述量測板的一端固定于所述連桿上，另一端固定于所述滑塊上;所述液壓缸通過連通管與注射器連通，所述液壓缸、連通管和注射器的連通空間中充滿液壓油；所述注射器設(shè)置有用于讀取所述量測板的上表面與所述底板的下表面之間的高度差的刻度。
[0007]本發(fā)明的有益效果是:由于液壓油的體積保持不變，量測板上下移動將帶動注射器的活塞運動；將量測板處于不同位置時，量測板的上表面與底板的下表面之間的高度差的數(shù)值轉(zhuǎn)換為注射器上的刻度，從而從注射器上直接讀取;讀數(shù)方便，數(shù)據(jù)精準。
[0008]在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本發(fā)明還可以做如下改進。
[0009]進一步，所述液壓缸的內(nèi)部橫截面積大于所述注射器的內(nèi)部橫截面積。
[0010]采用上述進一步方案的有益效果是，將量測板的微小移動轉(zhuǎn)換為注射器的活塞的較大移動，提高測量精度。
[0011]進一步，所述刻度設(shè)置于所述注射器的第二活塞的側(cè)壁上。
[0012]采用上述進一步方案的有益效果是，避免刻度由于與外界的接觸而磨損，導致數(shù)值不清楚。
[0013]進一步，所述注射器的空筒的端口作為指針，用于指示所述刻度中表示所述量測板的上表面與所述底板的下表面之間的高度差的數(shù)值。
[0014]采用上述進一步方案的有益效果是，直接使用空筒的端口作為指針，制作方便，且不易受損。
[0015]進一步，所述第二活塞的側(cè)壁上設(shè)置有多個所述刻度。
[0016]采用上述進一步方案的有益效果是，方便讀數(shù)，且避免因轉(zhuǎn)動注射器而帶來誤差。
[0017]進一步，所述連桿為L型結(jié)構(gòu);所述連桿的一端與所述底板平行設(shè)置，并與所述第一活塞固定連接;所述連桿的另一端垂直向下指向所述底板，并與所述量測板的一端固定連接。
[0018]采用上述進一步方案的有益效果是，當L型結(jié)構(gòu)尺寸合理設(shè)計，量測板可無限接近底板，實現(xiàn)低高度測量。
[0019]本發(fā)明的另一技術(shù)方案如下:
[0020]一種測量顯影液噴嘴高度的方法，包括如下步驟:
[0021]步驟1，將晶元加載到顯影單元中的真空吸盤上；
[0022]步驟2，將權(quán)利要求1至6任一所述一種用于測量高度的裝置放置于所述晶元的上表面，并使所述底板的下表面緊貼于所述晶元的上表面；
[0023]步驟3，將顯影液噴嘴移動到噴吐位置；
[0024]步驟4，推動所述第二活塞，使所述量測板的上表面緊貼于所述顯影液噴嘴的下端，并從所述刻度讀取所述量測板的上表面與所述底板的下表面之間的高度差，所述高度差即為所述顯影液噴嘴相對所述晶元的高度。
[0025]本發(fā)明的有益效果是:量測板的上表面與底板的下表面之間的高度差，即為顯影液噴嘴相對晶元的高度，使顯影液噴嘴相對晶元高度的測量，操作方便，結(jié)果精確。
[0026]在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本發(fā)明還可以做如下改進。
[0027]進一步，所述步驟2與步驟3之間，還包括步驟23;
[0028]所述步驟23，按壓所述第一活塞，使所述量測板下移至其可移動范圍的最下方。
[0029]采用上述進一步方案的有益效果是，避免量測板過高，在移動顯影液噴嘴的過程中，量測板與顯影液噴嘴發(fā)生觸碰，損壞顯影液噴嘴，且影響測量準確性。
【附圖說明】
[0030]圖1為本發(fā)明一種用于測量高度的裝置的裝置正視圖；
[0031 ]圖2為本發(fā)明一種用于測量高度的裝置的裝置俯視圖；
[0032]圖3為本發(fā)明一種測量顯影液噴嘴高度的方法的第一示意圖；
[0033]圖4為本發(fā)明一種測量顯影液噴嘴高度的方法的第二示意圖；
[0034]圖5為本發(fā)明一種測量顯影液噴嘴高度的方法的第三示意圖。
[0035]附圖中，各標號所代表的部件列表如下:
[0036]1、底板，2、液壓缸，21、第一活塞，22、連桿，23、液壓油，3、線性導軌，31、滑塊，4、兩測板，5、連通管，6、注射器，61、刻度，62、第二活塞，63、空筒，631、端口，7、晶元，8、真空吸盤，9、顯影液噴嘴。
【具體實施方式】
[0037]以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本發(fā)明，并非用于限定本發(fā)明的范圍。
[0038]如圖1和圖2所示，一種用于測量高度的裝置，包括底板1，所述底板1的一端垂直安裝有液壓缸2，所述液壓缸2的第一活塞21頂部設(shè)置有連桿22;所述底板1的另一端垂直安裝有線性導軌3，所述線性導軌3上設(shè)置有可沿豎直方向移動的滑塊31;還包括與所述底板1平行的量測板4;所述量測板4的一端固定于所述連桿22上，另一端固定于所述滑塊31上;所述液壓缸2通過連通管5與注