真空輥道絕緣在線測量裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明創(chuàng)造屬于玻璃深加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于玻璃鍍膜設(shè)備的真空腔室內(nèi)旋轉(zhuǎn)輥道絕緣的在線監(jiān)測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]玻璃深加工技術(shù)領(lǐng)域中鍍膜設(shè)備生產(chǎn)大板玻璃時普遍存在玻璃表面的放電現(xiàn)象。玻璃鍍膜后表面出現(xiàn)放電現(xiàn)象會造成鍍膜玻璃的報廢。在鍍膜設(shè)備中銀靶輥道的絕緣失效是造成大板玻璃表面產(chǎn)生放電的原因之一。通常的狀態(tài)下，當(dāng)大板玻璃出現(xiàn)放電時，由于輥道處于真空腔室中，無法對旋轉(zhuǎn)的輥道絕緣進行測量，無法判斷玻璃的放電是否由于銀靶輥道絕緣失效造成。輥道的絕緣測量只有在設(shè)備換靶檢修時真空室回氣后，在大氣狀態(tài)下進行測量。這樣種情況下，一方面無法實時獲得玻璃放電與銀靶輥道絕緣失效的關(guān)聯(lián)情況，線下測量具有滯后性，從而獲得指導(dǎo)性解決方案;另一方面，真空室回氣嚴重影響生產(chǎn)穩(wěn)定性，測試后投入生產(chǎn)時還需反復(fù)進行調(diào)試，降低生產(chǎn)效率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明創(chuàng)造為解決現(xiàn)有技術(shù)中的問題，提供了一種真空輥道絕緣在線測量裝置，能夠在連續(xù)生產(chǎn)時對鍍膜設(shè)備中的傳動輥道絕緣進行在線測量，將連續(xù)生產(chǎn)時旋轉(zhuǎn)輥道的絕緣情況實時的反映出來。
[0004]本發(fā)明創(chuàng)造提供的真空輥道絕緣在線測量裝置，包括端軸、殼體以及旋轉(zhuǎn)軸承;所述端軸一側(cè)與真空輥道的軸頭固定連接，另一端設(shè)有深入所述殼體內(nèi)的凸起;所述殼體中央設(shè)有供所述端軸的凸起通過的殼孔，所述旋轉(zhuǎn)軸承的外套固定于所述殼體內(nèi)部，且所述旋轉(zhuǎn)軸承的內(nèi)套與深入所述殼體內(nèi)的端軸的凸起固定連接;其中，所述端軸、殼體以及旋轉(zhuǎn)軸承均由導(dǎo)體材料(如金屬)制成，所述殼體連接有測量引線。
[0005]進一步，所述端軸與真空輥道的軸頭以插接的方式固定連接，所述端軸上設(shè)有供真空輥道的軸頭插入的插槽，優(yōu)選的，所述插槽與真空輥道的軸頭過盈配合連接。
[0006]進一步，作為所述端軸與真空輥道的軸頭的另一種連接方式，所述端軸上設(shè)有若干頂絲孔，真空輥道的軸頭通過穿過所述頂絲孔的頂絲固定于所述端軸內(nèi)。更進一步，所述頂絲孔與頂絲優(yōu)選為3個，互成120°角均布于所述端軸上。
[0007]進一步，所述旋轉(zhuǎn)軸承靠近所述真空輥道的一側(cè)與所述殼體內(nèi)部抵接。
[0008]進一步，所述端軸的凸起上與所述旋轉(zhuǎn)軸承的遠離所述真空棍道的一側(cè)相鄰的位置上還固定有擋圈，用于使旋轉(zhuǎn)軸承更好地定位。更進一步，所述端軸的凸起上還設(shè)有供所述擋圈安裝或定位的環(huán)槽。
[0009]進一步，所述殼體后端還設(shè)有蓋體，能夠起到防護作用，防止真空腔室內(nèi)部的濺射物進入旋轉(zhuǎn)軸承內(nèi)部造成旋轉(zhuǎn)連接部分異常損壞。更進一步，所述蓋體上還設(shè)有蓋環(huán)，所述蓋體蓋合時，所述蓋環(huán)的自由端與所述旋轉(zhuǎn)軸承的遠離所述真空輥道的一側(cè)鄰接，一方面，所述蓋環(huán)能夠?qū)崿F(xiàn)所述蓋體與殼體的插接連接，另一方面，所述蓋環(huán)能夠?qū)λ鲂D(zhuǎn)軸承起到輔助定位的作用。
[0010]進一步，作為所述蓋體與殼體的附加的或另一種連接方式，所述蓋體上設(shè)有若干帶螺紋的蓋孔，所述殼體上設(shè)有與所述蓋孔位置相對應(yīng)的若干帶螺紋的連接孔，所述蓋體與殼體通過分別穿過所述蓋孔和連接孔的螺釘進行附加的或單獨的固定連接。優(yōu)選的，所述蓋孔和連接孔的數(shù)量各為3個，互成120°角分別均布于所述蓋體和殼體上。
[0011]本發(fā)明創(chuàng)造的有益效果是:能夠在連續(xù)生產(chǎn)時對鍍膜設(shè)備中的傳動輥道絕緣進行在線測量，將連續(xù)生產(chǎn)時旋轉(zhuǎn)輥道的絕緣情況實時的反映出來，一方面能夠協(xié)助分析生產(chǎn)時玻璃放電的原因，為解決大板玻璃的放電及時提供可靠的依據(jù)，另一方面減少了回氣狀態(tài)下檢測連續(xù)旋轉(zhuǎn)銀靶輥道絕緣性的繁瑣操作，有利于穩(wěn)定生產(chǎn)、提高效率。
【附圖說明】
[0012]圖1是本發(fā)明創(chuàng)造一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖2是圖1的分解圖；
[0014]圖3是本發(fā)明創(chuàng)造另一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖4是圖3的分解圖；
[0016]圖5是本發(fā)明創(chuàng)造安裝使用狀態(tài)示意圖。
[0017]其中，1-端軸；11-插槽；12-凸起；13-環(huán)槽；14-頂絲孔；15-頂絲;2_殼體;21-殼孔；22-連接孔;3-旋轉(zhuǎn)軸承;31-外套;32-內(nèi)套;4-真空輥道;41-軸頭;5-測量引線;6-擋圈；7-蓋體;71-蓋環(huán);7 2-蓋孔;73-螺釘;8-真空腔室;81-真空接頭;9-測量儀表。
【具體實施方式】
[0018]下面通過結(jié)合附圖對本發(fā)明創(chuàng)造進行進一步說明。下面的實施例中描述的具體方案僅是為了說明本發(fā)明創(chuàng)造的內(nèi)容，并不用于對本發(fā)明創(chuàng)造的限定。為敘述方便，在實施例的描述中省略了其他非必要的或常規(guī)的過程或結(jié)構(gòu)描述，如真空腔室的具體結(jié)構(gòu)及測量引線引出真空腔室的方式方法等，這些條件被認為是本領(lǐng)域技術(shù)人員容易調(diào)試并獲知的。
[0019]本發(fā)明創(chuàng)造一種結(jié)構(gòu)示意圖如圖1-2所示，包括端軸1、殼體2以及旋轉(zhuǎn)軸承3。所述端軸1 一側(cè)與真空輥道4的軸頭41以插接的方式過盈配合固定連接，另一端設(shè)有深入所述殼體2內(nèi)的凸起12。所述殼體2中央設(shè)有供所述端軸1的凸起12通過的殼孔21。所述旋轉(zhuǎn)軸承3的外套31固定于所述殼體2內(nèi)部，且其靠近所述真空輥道4的一側(cè)與所述殼體2內(nèi)部抵接。所述旋轉(zhuǎn)軸承3的內(nèi)套32與深入所述殼體2內(nèi)的端軸1的凸起12固定連接。其中，所述端軸1、殼體2以及旋轉(zhuǎn)軸承3均由導(dǎo)體材料(如金屬)制成，所述殼體2連接有測量引線5。
[0020]所述端軸1的凸起12上與所述旋轉(zhuǎn)軸承3的遠離所述真空輥道4的一側(cè)相鄰的位置上還固定有擋圈6，用于使旋轉(zhuǎn)軸承更好地定位，所述端軸1的凸起12上還設(shè)有供所述擋圈6安裝或定位的環(huán)槽13。
[0021]所述殼體2后端還設(shè)有蓋體7，能夠起到防護作用，防止真空腔室8內(nèi)部的濺射物進入旋轉(zhuǎn)軸承3內(nèi)部造成旋轉(zhuǎn)連接部分異常損壞。所述蓋體7上還設(shè)有蓋環(huán)71，所述蓋體7蓋合時，所述蓋環(huán)71的自由端與所述旋轉(zhuǎn)軸承3的遠離所述真空輥道4的一側(cè)鄰接，一方面，所述蓋環(huán)71能夠?qū)崿F(xiàn)所述蓋體7與殼體2的插接連接，另一方面，所述蓋環(huán)71能夠?qū)λ鲂D(zhuǎn)軸承3起到輔助定位的作用。
[0022]其中，如圖3-4所示，作為所述端軸1與真空輥道4的軸頭41的另一種連接方式，所述端軸1上設(shè)有若干頂絲孔14，真空輥道4的軸頭41通過穿過所述頂絲孔14的頂絲15固定于所述端軸1內(nèi)。更進一步，所述頂絲孔14與頂絲15優(yōu)選為3個，互成120°角均布于所述端軸1上。作為所述蓋體7與殼體2的附加的或另一種連接方式，所述蓋體7上設(shè)有若干帶螺紋的蓋孔72，所述殼體2上設(shè)有與所述蓋孔72位置相對應(yīng)的若干帶螺紋的連接孔22，所述蓋體7與殼體2通過分別穿過所述蓋孔72和連接孔22的螺釘73進行附加的或單獨的固定連接。優(yōu)選的，所述蓋孔72和連接孔22的數(shù)量各為3個，互成120°角分別均布于所述蓋體7和殼體2上。
[0023]本發(fā)明創(chuàng)造的簡要工作方式如下。如圖5所示，將本發(fā)明創(chuàng)造按照圖1組裝好，并安裝于真空腔室8內(nèi)真空輥道4的軸頭41上，將測量引線5自預(yù)先設(shè)置于真空腔室8側(cè)壁上的真空接頭81引出，并與外界的測量儀表9連接。在真空腔室8處于工作狀態(tài)時，真空輥道4若處于絕緣失效狀態(tài)，其電信號會經(jīng)由端軸1、旋轉(zhuǎn)軸承3、殼體2，最后由測量引線5引出至測量儀表9，測量儀表9在接收電信號后會進行相應(yīng)測量并將結(jié)果反饋出來，發(fā)揮對玻璃放電原因分析的指導(dǎo)作用。
[0024]以上所述僅為本發(fā)明創(chuàng)造的較佳實施例而已，并不用以限制本發(fā)明創(chuàng)造，凡在本發(fā)明創(chuàng)造的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本發(fā)明創(chuàng)造的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種真空輥道絕緣在線測量裝置，包括端軸、殼體以及旋轉(zhuǎn)軸承;所述端軸一側(cè)與真空輥道的軸頭固定連接，另一端設(shè)有深入所述殼體內(nèi)的凸起;所述殼體中央設(shè)有供所述端軸的凸起通過的殼孔，所述旋轉(zhuǎn)軸承的外套固定于所述殼體內(nèi)部，且所述旋轉(zhuǎn)軸承的內(nèi)套與深入所述殼體內(nèi)的端軸的凸起固定連接;其中，所述端軸、殼體以及旋轉(zhuǎn)軸承均由導(dǎo)體材料制成，所述殼體連接有測量引線。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空輥道絕緣在線測量裝置，其特征在于，所述端軸與真空輥道的軸頭以插接的方式固定連接，所述端軸上設(shè)有供真空輥道的軸頭插入的插槽。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空輥道絕緣在線測量裝置，其特征在于，所述插槽與真空輥道的軸頭過盈配合或通過頂絲連接。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空輥道絕緣在線測量裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)軸承靠近所述真空輥道的一側(cè)與所述殼體內(nèi)部抵接。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空輥道絕緣在線測量裝置，其特征在于，所述端軸的凸起上與所述旋轉(zhuǎn)軸承的遠離所述真空輥道的一側(cè)相鄰的位置上還固定有擋圈。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空輥道絕緣在線測量裝置，其特征在于，所述端軸的凸起上還設(shè)有供所述擋圈安裝或定位的環(huán)槽。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空輥道絕緣在線測量裝置，其特征在于，所述殼體后端還設(shè)有蓋體。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的真空輥道絕緣在線測量裝置，其特征在于，所述蓋體上還設(shè)有蓋環(huán)，所述蓋體蓋合時，所述蓋環(huán)的自由端與所述旋轉(zhuǎn)軸承的遠離所述真空輥道的一側(cè)鄰接。9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的真空輥道絕緣在線測量裝置，其特征在于，所述蓋體與殼體通過螺紋連接。
【專利摘要】本發(fā)明創(chuàng)造提供一種真空輥道絕緣在線測量裝置，包括端軸、殼體以及旋轉(zhuǎn)軸承；所述端軸一側(cè)與真空輥道的軸頭固定連接，另一端設(shè)有深入所述殼體內(nèi)的凸起；所述殼體中央設(shè)有供所述端軸的凸起通過的殼孔，所述旋轉(zhuǎn)軸承的外套固定于所述殼體內(nèi)部，且所述旋轉(zhuǎn)軸承的內(nèi)套與深入所述殼體內(nèi)的端軸的凸起固定連接；其中，所述端軸、殼體以及旋轉(zhuǎn)軸承均由導(dǎo)體材料制成，所述殼體連接有測量引線。
【IPC分類】G01R31/12
【公開號】CN105445631
【申請?zhí)枴緾N201510932933
【發(fā)明人】齊士新, 李陽, 寧超
【申請人】天津南玻節(jié)能玻璃有限公司
【公開日】2016年3月30日
【申請日】2015年12月14日